JPS62163984A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ピンを有しないエンベロープのｎ個の入出力
接点の信号を、このエンベロープに高周波集積回路キッ
プが設けられている場合に所定の特性インピーダンスを
有する高周波線路により測定装置に転送する検査装置に
関するものである。

本発明は、高周波集積回路の製造分野に関するものであ
る。

「ピンを有していないエンベロープ」とは当業者にとっ
て「チップキャリア」の称呼の下に知られている特別な
エンベロープを意味するものとする。これらのエンベロ
ープは表面取付により周辺プリント回路に直接取付けう
る特性を有している。

これによれば、高周波技術と矛盾するワイヤ接続を省略
する。一方これらのエンベロープは集積回路チップを良
好に保護するとともに集積回路を高周波分野で動作させ
た場合にこれら集積回路のクォリティレベルを優れた値
に維持する作用をする。

しかし、集積回路チップが設けられピンを有しないエン
ベロープはプリント回路板上に装着する前に検査する必
要がある。

この検査を行うのは、ピンが存在していないという事実
の為に極めて困難である。更にこの検査は、高周波回路
の場合、信号を必ず所定の特性インピーダンスを有する
高周波線路を経て伝送する必要があるという事実の為に
複雑である。

一方、ユーザの中には検査装置や集積回路を各特定の回
路に適合させることを要求している者がいる。従って、
集積回路の製造者は集積回路のカタログの中に上述した
種類の検査装置を開示する必要があり、回路設計者は市
場性のある、すなわち一般のユーザに広く用いられ簡単
で廉価な構成とした検査装置や集積回路自体も提供する
必要がある。

集積回路チップに対する検査装置は特開昭５５−７２８
７６号公報に記載されており既知である。この既知の検
査装置は２部分から成っている。第１の部分は弾性材料
の厚肉プレートを以って構成され、その上に簡単な導体
回路がプリント化され、この導体回路により集積回路チ
ップの入出力接点に対応する極めてコンパクトな接点を
、この弾性プレートの周辺に沿って分布させた大表面積
の導体接点に接続している。第２の部分は、集積回路チ
ップを収容する案内孔が中心にあけられた剛固な台部材
を以って構成され、この案内孔の深さはチップの厚さよ
りも浅くなっている。更に、この台部材には導体端子が
設けられており、これら導体端子の幾何学的分布は弾性
プレートの周辺に沿って配置した大表面積の導体接点の
幾何学的分布と一致している。

チップの配置は、集積回路が台部材の案内孔内で外側に
向き、集積回路の方向に導電面を有する弾性プレートを
台部材と集積回路チップとのアセンブリに押圧すること
により集積回路チップの入出力接点と剛固な台部材中に
取付けられた導体の端子との間を接触させるように行わ
れる。

従って前記の特開昭５５−７２８７６号公報に記載さ、
れた装置によって解決すべき問題は、集積回路を通常の
回路を経て集積回路検査用測定装置に直接接続すること
にある。

しかしその使用分野は高周波分野ではない。従って、厚
肉弾性プレート上にプリント配線された接続導体は簡単
構成の導体であり、高周波信号を伝送するのに適してい
ない極めて長い導体である。

このプレートは、これが弾性的であるという特性以外に
特定の誘電体特性を有していない。また、剛固な台部材
中に端部が現われる導体は高周波線路ではない。この特
開昭５５−７２８７６号公報に開示されている素子はい
ずれも高周波分野に置換えうる変形を行ないうる可能性
を与えるものではなく、このような装置をそのまま簡単
にこの高周波分野に適用するのは全く不可能である。

また特開昭５５−７２８７６号公報に開示された装置に
よって解決される問題はピンを有しないエンベロープ内
に既に装着されている集積回路に関するものでない。

本発明の目的は、ピンを有していないエンベロープを有
する集積回路チップに適用でき、高周波信号を転送せし
めうる検査装置を提供せんとするにある。

本発明は、ピンを有しないエンベロープのｎ個の入出力
接点の信号を、このエンベロープに高周波集積回路キッ
プが設けろれている場合に所定の特性インピーダンスを
有する高周波線路により測定装置に転送する検査装置に
おいて、この検査装置が高周波に適した誘電体特性を有
する材料より成る剛性プレートを具えており、この剛性
プレートの前面と称する表面に、所定の特性インピーダ
ンスを有するｎ本の高周波線路の共面回路網を構成する
プリント回路が共面技術により設けられており、前記の
検査装置は更に、エンベロープのｎ個の接点を前記の共
面回路網の線路のｎ個の入力端に接続する第１手段と、
前記の共面回路網の線路のｎ個の出力端を、同一の所定
のインピーダンスを有し測定装置に信号を供給する高周
波同軸線路に接続する第２手段とを具えていることを特
徴とする。

本発明による検査装置によれば、前述した問題を解決し
うる。

更に本発明によれば特に以下のような利点が得られる。

※高周波集積回路チップの検査を行う方法が簡単となり
、しかも高周波回路の新規性やいまだに解決されていな
い固有の困難性の為にこれまで可成り高価である高周波
回路の価格を増大せしめない。

※検査装置を集積回路と一緒に一般ユーザに対する装置
としてカタログに載せることができる。

※検査領域の各々における電気接触を良好にでき、高周
波でのインピーダンスの連続性を良好にできる（インピ
ーダンスのこの連続性は、ピンを有しないエンベロープ
の入出力端を周辺測定装置に接続する為の本発明による
装置に形成された高周波線路間の結合は装置の大面積部
と高周波線路の大面積部表面との間の圧力に依存し、こ
の圧力が適切でない場合にはこれら高周波線路間の結合
があまりにも強くなりすぎ、測定結果がひずんでしまう
）。

※測定の再現性が良好となる。

図面につき本発明を説明する。

第１ａ図はピンを有していないエンベロープ（容器）■
の表面２１を示し、本例ではこの表面に、大面積部（ｍ
　ａ　ｓ　ｓ　）に接続する作用をしうる補助接点５を
含む２４個の入出力接点４が設けられている。このエン
ベロープは絶縁支持板２を以って構成され、この絶縁支
持板２は高周波分野ではセラミック材料を以って構成し
ろる。

第１ｂ図に示すエンベロープの断面図に示されているよ
うに、接点４（或いは５）は本質的にエンベロープの表
面（前面と称する）２１に現われており、表面２２（裏
面と称し第１Ｃ図に平面図で示しである）にはキャップ
３が設けられており、このキャップ３は接点４（或いは
５）に接続される集積回路（図示せず）を保護する。

ピンを有しないエンベロープは周知であり、この点に関
しては、雑誌゛レエレクトロニーク・アンデュストリエ
ル（Ｌ’Ｅ１ｅｃｔｒｏｎｉｑｕｅ　Ｉｎｄｕｓｔｒｉ
ｅｌｌｅ）　”］ｏ、３１　（１９８２年４月１日発行
）の゛チップ・カリニ。

シポール・ユニベルセル・ド・パスティーユ・ア・オー
・ニボ・ダンテグラシオン（Ｃｈｉｐ　ｃａｒｒｉｅｒ
。

５ｕｐｐｏｒｔ　ｕｎｉｖｅｒｓｅｌ　ｄｅ　ｐａｓｔ
ｉｌｌｅｓ　’ａ　ｈａｕｔ　ｎ１ｖｅａｕｄ’　ｉｎ
ｔｅｇｒａｔｉｏｎ）　”　（セ・ハル（Ｃ，Ｖａ　ｌ
）氏等著）を参照しうる。

本発明の範囲内で予想しうる分野に適用しうるピンのな
いこのエンベロープは高周波集積回路チップを収容する
為のものである。

この高周波回路を検査する為には、ピンのないエンベロ
ープの入出力接点を、例えば５０Ωの所定の特性インピ
ーダンスを有する高周波線路により測定装置に接続する
必要がある。

通常の同軸高周波ラインはピンを有しないエンベロープ
に直接接続することができない為、本発明によればピン
を有しないエンベロープの入出力接点と、信号を測定装
置に転送する通常の同軸高周波線路との間の接続を達成
しうる中間装置を設ける。

本発明による検査装置のアセンブリを第５図の断面図に
示す。

このアセンブリは、高周波プリント回３０を収容するの
に適した誘電体特性と剛性の特性との双方を有するよう
にする必要がある材料を以って構成したプレート１０を
有する。この材書は例えばセラミンク材料とするのが有
利である。

この剛性プレート１０には一方の面から他方の面に貫通
する穴１１があけられており、この穴はエンベロープｌ
を摩擦なく通しうるようにするのに適した寸法および形
状を有する。このプレート１０には更に共面線路のプリ
ント回路３０が設けられており、このプリント回路の一
実施例を第３図に示す。

ここに「共面線路」とは、大面積部を構成する２つの大
きな金属化領域１００間に位置する幅凱の金属化細条（
リボン）５０の形態の線路を意味するもめとする。この
金属化細条５０は高周波線路の中心導体を構成し、大面
種部領域間（距離ｖ’＋２）に位置する。中心導体およ
び大面種部領域を構成する細条は剛性プレート１０の同
一表面１２上に形成されている。

本例の高周波線路のインピーダンスは極めて大きくする
。

この技術は、導体および大面積部を誘電体プレートの両
面上に形成した例えば３プレート或いは２ワイヤ技術の
ような池の高周波技術と相違する。

共面技術によれば、高周波線路の特性インピーダンスは
比ＩＬ／Ｗ２にのみ依存し、上述した他の技術における
ように比Ｗ／ｅに依存しない。ここにＷは中心導体を構
成する細条の幅であり、ｅは誘電体プレートの厚さであ
る。

従って共面線路の技術によれば幅狭な線路を用いても例
えば５０Ωのような電流インピーダンスを有する線路を
容易に形成しろる。従って、この技術によれば、５０Ω
のような所望のインピーダンスを有する多数本の線路を
、エンベロープ１を入れる為の穴１１のすぐ近くまで到
達せしめることができる。

線路５００本数はエンベロープ１の入出力接点４０個数
に対応して選択され、これらの線路の端部４０は、エン
ベロープを穴１１の中に配置した際にこれら接点４の幾
何学的延長部内に位置するようにするのが好ましい。第
１および３図の実施例では、補助接点５を除いてエンベ
ロープ１に２３個の入出力接点４が設けられている。従
って、プレート１０上にも２３木の線路５０を設けた。

しかし第３図には高周波プリント回路の二の部分のみを
示してあり、他の部分は軸線ＪＪ’或いはＫＫ’を中心
として対称的に描くことにより得られる。

エンベロープの入出力接点の中で特定の接点５が大面積
部に割当てられているものであり、従って大面種部領域
の端部がこの接点５に対向して配置されている。

しかし、この配置は一実施例にすぎないものである。細
条５０および大面種部領域１００の他の配置例では、エ
ンベロープの２つの接点のうちの１つの接点が大面積部
に割当てられるようにエンベロープの各接点を中心導体
或いは大面種部領域に対向するように配置することがで
きる。

従って、剛性プレート１０の表面（前面と称する）１２
上に形成される共面回路３０の形状をエンベローグーの
寸法や入出力接点の個数に応じて種々に変更することが
できる。

更にプレート１０の形状は円形以外に方形にすることも
できる。実際には当業者は、プレート１０が１０よりも
少ない本数の線路を有する場合に方形プレートを、プレ
ート１０が１０本以上の線路を有する場合に円形プレー
トをちゅうちょなく採用するであろう。この限界値は絶
対的なものではなく、その選択はユーザにとって全く自
由である。

第５図に示す検査装置は第２図に示す第１サブアセンブ
リを有しており、この第１サブアセンブリは、共面回路
３０（第３図）の線路５０の端部４０および大面種部領
域１００の端部９０（これら端部４０および９０は入力
端である）をエンベロープ１の入出力接点４（或いは５
）に接続する為のものである。

この目的の為に、この第１サブアセンブリを、良好な誘
電体、例えばカプトン（Ｋａｐｔｏｎ；登録商標名）或
いはマイラー（？Ｊｙｌａｒ；登録商標名）或いは薄肉
で低誘電率のその池のいかなる誘電体より成る可撓性プ
レー目５の表面（前面と称する）上に形成した極めて短
い導体のプリント回路１６を以って構成する（第４図参
照）。これらの極めて短い導体（プリント回路１６）は
エンベロープの接点４く或いは５）と共面線路の端部４
０或いは９０との間を接続する為のものである。

電気接点を良好にし且つインピーダンスの連続性を良好
にする為に、弾性特性と高周波に適した誘電体特性、す
なわち低誘電率および低損失との双方を有する厚肉プレ
ート１７（第２図参照）により、プリント回路１６がプ
リント回路３０および接点４に対向して位置するように
プレー）１５の前面を剛性プレート１０およびエンベロ
ープの接点４（或いは５）に押圧する。プレート１７を
構成するのに適した材料は例えば天然ゴム或いはエラス
トマーである。

これらの素子間を電気接触せしめうる圧力はプレート１
７の他方の表面上に設けうる剛固な絶縁材料の第１押釦
８およびエンベロープの表面２２上に当接する同じく剛
固な絶縁材料の第２押釦７によって与える。この圧力は
剛性プレート１５の裏面に作用するねじ６によって微調
整しうる。プレート１０の端部（プリント回路３０の出
力端と称する）６０および１１０は、測定装置に信号を
供給する高周波線路２０５に接続する必要がある。この
接続は、剛性プレート１０と、ピンのないエンベロープ
１とを設けた第１サブアセンブリ（第２図に示す）を、
第５図の断面図に示す検査装置の第２アセンブリ内に入
れることにより達成される。

この第２サブアセンブリは押釦８およびプレート１７に
対する案内部材として作用する台部材２０１を以って構
成されており、この台部材２０１内には圧力を調整する
ねじ６がねじ込まれるようになっている。この台部材２
０１は例えばプレキシグラス（登録商標名）とすること
のできる剛性絶縁材料を以って構成することができる。

この第２サブアセンブリは更に、前記の台部材２０１と
同じ材料を以って構成しうる差込みキャップ２０２を有
する。

この差込みキャップ２０２内で押釦７が心合わせされ、
ばね２０９および圧力調整ねじ２０３によりこの押釦７
の圧力がエンベロープ１に与えられる。

この第２サブアセンブリは更に金属体２２０を有してお
り、この金属体の中央にはその一方の面から他方の面に
通じる穴があけられており、この穴により肩部２１９を
形成している。エンベロープ１および剛性プレート１０
を囲んで装着した第１サブアセンブリは、剛性プレート
１０の前面１２が前記の金属体の肩部に当接するように
前記の穴内に配置する。

この金属体２２０には更にその周囲に沿ってｎ個の円形
孔２１８があけられており、これらの円形孔の中心は同
一平面内にあり、これらの円形孔の直径は、これら円形
孔を通常の同軸高周波線路の導体２０５に対する収容部
として作用させるのに適したものとする。これらの円形
孔２１８は、第６図に同軸線路に対し直角な断面図で示
すように、これら円形孔の中心が共面線路の中心導体と
一致するような幾何学的配置に応じて金属体の周囲に沿
って分布させる。

従って、第１サブアセンブリを金属体の中央の穴内に配
置すると、同軸線路の導体２０５の中心導体２１１が共
面線路の中心導体の端部６０に当接し、共面線路の大面
種部領域１００が装置の大面債部を構成する金属体の肩
部２１９に当接する。

金属体２２０は例えば黄銅を以って、或いは金めっきし
た青銅を以って構成することができる。

また、多数のねじ２２１により金属体２２０と一体とし
た金属性の押圧部材２２２により可撓性で絶縁性の継手
２３０を介して剛性プレート１０の前面１２を肩部２１
９に押圧する。この押圧力により中心導体２１１および
６０間の電気接触を良好にし且つ高周波線路間の結合を
最小にする。大面種部領域１００と金属体の肩０部２１
９との間の押圧力が実際不充分であった場合には、高周
波線路間の結合があまりにも強くなり、測定が歪んだも
のとなる。

本発明による装置によれば、高周波線路間の結合を最小
にし、且つインピーダンスの連続性を良好にしうる。多
数のねじ２０４は台部材２０１を金属体２２０に保持さ
せる作用をする。

多数のねじ２２１は押圧部材２２２を金属体２２０に固
着する作用と、差込キャップ２０２を金属体２２０に固
着するボルトを構成する作用との双方を有する。

誘電体プレート１０が円形である場合、第５図に示す装
置のすべての部分を、エンベロープ１、誘電体弾性プレ
ート１７およびプレート１５を除いて軸線Ｉ−Ｉを中心
とする回転対称体とすることができる。

剛性プレート１０は共面線路の回路以外に、測定を行う
援助をする受動累子、例えば抵抗やコンデンサをも支持
しうろことを銘記すべきである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、ピンを有しないエンベロープの一実施例を示
し、第１ａ図がその正面図、第１ｂ図が断面図、第１Ｃ
図が裏面図であり、 第２図は、検査装置を構成する第１サブアセンブリを示
す断面図、 第３図は、剛性プレート上に形成された共面高周波線路
の回路網の一実施例を示す平面図、第４図は、エンベロ
ープを共面高周波線路に接続する為に薄肉で可撓性のプ
レート上に形成された極めて短い接続体を示す平面図、 第５図は、本発明による検査装置の種々の部分のアセン
ブリを示す断面図、 第６図は、本発明による装置内での同軸線路と剛性プレ
ートとのそれぞれの位置関係を示す凹面図である。 １・・・エンベロープ　　２・・・絶縁支持板３・・・
キャップ　　　　４・・・入出力接点５・・・補助接点
　　　　６・・・ねじ７．８・・・押釦　　　　１０・
・・剛性プレート１１・・・穴　　　　　　　１６・・
・プリント回路１７・・・誘電体弾性プレート ３０・・・高周波プリント回路 ５０・・・金属化細条　　　２０１・・・台部材２０２
・・・差込みキャップ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ピンを有しないエンベロープのｎ個の入出力接点の
   信号を、このエンベロープに高周波集積回路キップが設
   けられている場合に所定の特性インピーダンスを有する
   高周波線路により測定装置に転送する検査装置において
   、この検査装置が高周波に適した誘電体特性を有する材
   料より成る剛性プレートを具えており、この剛性プレー
   トの前面と称する表面に、所定の特性インピーダンスを
   有するｎ本の高周波線路の共面回路網を構成するプリン
   ト回路が共面技術により設けられており、前記の検査装
   置は更に、エンベロープのｎ個の接点を前記の共面回路
   網の線路のｎ個の入力端に接続する第１手段と、前記の
   共面回路網の線路のｎ個の出力端を、同一の所定のイン
   ピーダンスを有し測定装置に信号を供給する高周波同軸
   線路に接続する第２手段とを具えていることを特徴とす
   る検査装置。 ２、特許請求の範囲第１項に記載の検査装置において、
   前記の剛性プレートがその中心に一方の面から他方の面
   に貫通する穴を有しており、この穴の寸法および形状は
   前記のエンベロープを摩擦なくこの穴に通しうるものと
   し、この剛性プレートの前面上に形成されたｎ本の共面
   線路は前記の穴から径方向に配置されており、前記のエ
   ンベロープは、このエンベロープの前面と称する表面上
   に位置する当該エンベロープの導電接点が前記の共面回
   路網のプリント回路と同一の平面内に配置され且つこれ
   ら導電接点の各々が前記の共面回路網の１つの共面線路
   の入力端と称する端部に対向するように配置されるよう
   に前記の穴内に収容されるようになっていることを特徴
   とする検査装置。 ３、特許請求の範囲第２項に記載の検査装置において、
   前記の第１手段が、 ａ）前記の共面線路の入力端と前記のエンベロープの対
   応する接点との間を接続するのに適した幾何学的形状に
   応じて設計したｎ個の極めて短い導体の回路網を構成す
   るプリント回路を前面と称する表面に有する薄肉可撓性
   誘電体のプレートであって、その前記の前面が、前記の
   エンベロープを前記の穴内に配置した際に前記の剛性プ
   レートの前面およびエンベロープの前面に対向して位置
   し、この薄肉可撓性のプレートの前記の極めて短い導体
   が前記の共面線路の入力端およびエンベロープの対応す
   る接点上にタブとして位置するようになっている当該薄
   肉可撓性誘電体プレートと、 ｂ）この薄肉可撓性誘電体プレートの裏面上に圧力を与
   える厚肉弾性誘電体プレートと、ｃ）この厚肉弾性誘電
   体プレートの圧力を前記の薄肉可撓性誘電体プレート上
   に維持する絶縁性で剛固な第１押釦装置と、 ｄ）前記のエンベロープの裏面上に圧力を加えて前記の
   タブと、前記の共面線路の入力端と、前記のエンベロー
   プの接点との間の電気接触を保持する絶縁性で剛固な第
   ２押釦装置と を以って構成されていることを特徴とする検査装置。 ４、特許請求の範囲第３項に記載の検査装置において、
   前記の第２手段が、 ａ）前記の厚肉弾性誘電体プレートおよび第１押釦装置
   に対する案内部材として作用する絶縁性で剛固な台部材
   と、 ｂ）前記の第２押釦装置が前記のエンベロープの裏面に
   当接する位置にこの第２押釦装置を保持する絶縁性で剛
   固な差込みキャップと、ｃ）電気的な大面積部として作
   用する金属体であって、この金属体の中心には肩部を有
   する穴があけられており、この穴は前記の第１手段のア
   センブリを収容する為のものであり、前記の剛性プレー
   トの前面が前記の肩部上に当接し、前記の金属体にはそ
   の周囲に沿ってｎ個の円形孔があけられており、これら
   円形孔は通常の同軸線路のｎ本の導体を収容する孔とし
   て作用し、これらの同軸線路は、これら同軸線路の各中
   心導体を１つの共面線路の、出力端と称する端部と一致
   させるのに適した幾何学的配置に応じて分布され、これ
   らｎ個の円形孔によって共面線路の大面積部領域のみが
   前記の金属体上に当接し、一方、共面線路の中心導体が
   同軸線路の中心導体上に当接するようにした当該金属体
   と、 ｄ）前記の金属体と一体となっている金属押圧部材であ
   って、可撓性継手を介して共面線路の中心導体の出力端
   を同軸線路の中心導体上に押圧するとともに、共面線路
   の大面積部領域を、電気的な大面積部を構成する前記の
   金属体の肩部上に押圧する当該金属押圧部材と、 ｅ）前記の金属押圧部材および前記の差込みキャップを
   前記の金属体上に保持する複数のねじおよび絶縁性で剛
   固な前記の台部材を前記の金属体上に保持する複数のね
   じと を以って構成されていることを特徴とする検査装置。 ５、特許請求の範囲第１〜４項のいずれか１項に記載の
   検査装置において、前記の剛性プレートがセラミック材
   料を以って構成されていることを特徴とする検査装置。 ６、特許請求の範囲第１〜５項のいずれか１項に記載の
   検査装置において、前記の剛性プレートは円形であるこ
   とを特徴とする検査装置。 ７、特許請求の範囲第６項に記載の検査装置において、
   前記の弾性誘電体プレートおよびその第１押釦装置を除
   いてすべての部分が回転対称体であることを特徴とする
   検査装置。 ８、特許請求の範囲第１〜７項のいずれか１項に記載の
   検査装置において、前記の剛性プレートが抵抗およびコ
   ンデンサのような受動素子をも有していることを特徴と
   する検査装置。