JPS62162437A - 加工物の保持方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野ン 本発明は、精密部品加工、たとえば磁気ディスク加工、
超精密鏡加工等に適用される加工物の保持方法に関する
ものであって、上記部品以外の薄板の保持共への取り付
けにも適用できろ保持方法に関するものである。

〈従来の技術〉 従来、厚さ数μｍ〜数ｍｍの薄物部品の加工においては
、加工時に部品を保持具に取り付ける際に保持力による
部品の変形、損傷を防止するため、接着剤による取り付
は方法または、真空チャックによる取り付は方法が用い
られている。第２図は上記接着による方法を示したもの
であって、加工物５ａ、５ｂは接着剤１１ａ、ｌｌｂに
よって保持具１２に接着されており、保持具１２は、軸
１３を介して加工機械に取り付けられ、保持具に回転を
与えるなどして図示していない工具により加工物５ａ、
５ｂが加工される。また、第３図は真空チャックによる
保持方法を示したものであって、保持具１４の側面には
小孔１５が多数設けられており、保持具１４内部の空間
１８と保持具１４に嵌合された軸１６内の空間１７を介
して、真空ポンプにつながっている。加工物５を保持す
る場合には真空ポンプにより吸引を行ない、空間１７，
１８を負圧にし、外気圧との圧力差によって生ずる力に
より加工物５を保持具１４に押し付は保持する。保持具
１４は軸１６を介して図示していない加工機械に取り付
けられ、図示していない工具によって加工されろ。

〈発明が解決しようとする問題点〉 しかしながら、第２図の接着による方法の場合には、加
熱−加工物取付→冷却固化−加工−剥離→洗浄という工
程をとるため、（１）接着剤の貼付に手間がかかる。

（２）接着剤を均一の厚みに貼付するために注意を払う
必要がある。

（３）長時間の作業時間を要する。

（４）接着剤及びその溶剤のコストを要する。

（５）溶剤の使用による作業環境の改善を要する。

（６）加工物の剥離に労力を要する。

（７）　　接着剤の洗浄に時間がかかる。

（８１人手がかかる。

（９）特に剥離の際に加工物の破損を生じることがある
。

という問題点がある。また、第３図の真空チャックによ
る方法では、 （１）加工物と保持具の間のすきまをなくすため、取付
前に加工物の保持具と接触する側の面を、高精度に加工
しておく必要があり、手間がかかる。

（２）　　吸引力により加工物が変形し、取りはずし後
に反り、歪等が生ずるため、加工精度が落ちる。

（３）　　真空ポンプ等の装置にコストを要する。

という問題点がある。

く問題点を解決するための手段〉 本発明は、従来法の問題点を解決するため、薄板と保持
具の間に水を浸透させ、その後、温度を氷点下以下に降
下させて水の固化を行ない、水の凝集作用によって薄板
を保持具に固着させ、薄板を取りはずす際には、加熱に
よって氷を溶融し、容易に薄板を着脱できろようにした
ことを特徴とする。

く実　施　例〉 以下、第１図に示した本発明の一実施例にもとずいて本
発明方法を説明する。

本実施例で保持具は上部３ａと下部３ｂによって構成さ
れ、３ａと３ｂによって構成される空間９には水６ａ、
’６ｂの冷却用として公知の技術であるペルチェ効果に
基ずく冷却素子１ａ、ｌｂが嵌合されている。冷却素子
ｌａ、ｌｂは電圧を印加すると、電圧の大きさに応じて
上下面２ａ、２ｂに温度差が生じ、一方の面が冷却され
他方の面が発熱する。冷却面と発熱面は電流の正負によ
って、変えることができる。すなわち保持具上部３ａを
冷却する場合には２ａが冷却面となるように電圧を印加
し、２ｂが発熱面となる。冷却素子ｌａ、ｌｂと保持具
３ａ、３ｂとの隙間２ｃ。

２ｄには熱伝導性の充填剤が充填されており、隙間の熱
抵抗を小さくするようにしている。

冷却素子１ａ、ｌｂの電源コード８ａ、８ｂは保持具下
部３ｂに嵌合された軸１０内の空間を通って図示してい
ない電源に結合されている。保持具上部３ａを冷却する
場合には冷却素子の下面２ｂが発熱するため、保持具下
部３ｂの下面には熱放散の目的で、冷却用フィン７ａ、
７ｂが接合されている。また、保持具の上部３ａと下部
３ｂの接合面には、上部と下部の熱伝導による冷却効率
の低下を防止するため、断熱材４が嵌合されている。さ
らに、冷却素子１ａ、ｌｂが嵌合されている空間９にも
断熱材が充填されている。

薄板５ａ、５ｂを保持具に接着するにあたっては、まず
保持具上部３ａの上面３Ｃに水６ａ、６ｂを付着させ、
その上に薄板５ａ。

５ｂを固定する。次いで冷却素子１ａ、ｌｂに電圧を印
加し、保持具上部３ａを一１０℃程度まで冷却する。こ
の時の水の凝集作用によって薄板５ａ、５ｂを保持具に
固着させる。

なお、この時の氷の接着力は〜１０　ｋｇ／ｃｌ　、凝
集力ば〜８０ｋｇ／ｃ＋ｊである。保持具は軸１０を介
して図示していない加工機械に取り付けられ、図示して
いない工具によって加工される。

加工完了後、薄板５ａ、５ｂを取りはずす際には、冷却
素子１ａ、ｌｂに印加する電流の正負を逆転し、保持具
上部を加熱するか又は熱風によって加熱することにより
、氷６ａ。

６ｂを溶融し、薄板５ａ、５ｂを保持具より取りはずす
。冷却素子１ａ、ｌｂへの印加電流の正負切り換えのみ
で薄板の固着、取りはずしか容易に行えるｔコめ、作業
時間が短縮されると共に、自動化が可能となる。また、
薄板加工物の剥離の際の破損などのトラブルがなく、収
率向上が図れる。

〈発明の効果〉 第１図に示した実施例にもとずいて説明したように、本
発明は、水の固化、溶融のみで薄板の接着、取りはずし
が容易に行えるため、従来の接着剤による方法と比較し
て接着剤の貼付、剥離、洗浄などが不要であり、作業時
間が大幅に短縮されると共に自動化が可能となる。また
、従来の真空チャックのような大きな外力が加わらない
ため、薄板の変形を防止することができる。さらには、 （１）　　薄板取り付は時のレベリングが容易に出来る
ため加工精度が上がる。

（２）接着剤真空チャックによる方法に比較して安価で
ある。

（３）薄板の剥離が容易である。

（４）作業環境に注意を払わなくてよい。

という効果をも奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法の一実施例としての冷却素子を利用
した薄板保持具の断面図、第２図は従来の接着剤による
保持方法を示す断面図、第３図は従来の真空チャックに
よる保持方法を示す断面図である。 ５ａ、５ｂ−−薄板、３ａ、３ｂ・・保持具、６ａ、６
ｂ・・水。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 加工物と保持具との間に水を浸透させるとともに、その
   後温度を氷点下以下に降下させることにより水を固化さ
   せ、その際の凝集作用により前記加工物を前記保持具に
   接着することを特徴とする加工物の保持方法。