CN105729251B - 一种基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法 - Google Patents
一种基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105729251B CN105729251B CN201610071707.0A CN201610071707A CN105729251B CN 105729251 B CN105729251 B CN 105729251B CN 201610071707 A CN201610071707 A CN 201610071707A CN 105729251 B CN105729251 B CN 105729251B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- electric field
- ferroelectric material
- asymmetric electric
- surface finish
- emery wheel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B1/00—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
- B24B1/002—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes using electric current
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D7/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
一种基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法,实现该方法的装置包括基座、安装在基座上的砂轮和对称电场产生机构,所述基座上设有用于放置待加工铁电材料的加工工位,所述加工工位位于所述对称电场产生机构的对称电场内;所述加工方法包括以下过程:启动对称电场产生机构,产生对称电场,将待加工铁电材料放入加工工位,再启动砂轮进行表面加工。本发明提供一种避免铁电材料破损、成品率较高的基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法。
Description
技术领域
本发明涉及材料表面加工方法,更具体地说但非限于,适用于铁电材料的表面加工方法。
背景技术
铁电材料在航空、航天、民用光电产品等领域得到广泛应用,如表面波器件、窄带滤波器、传感器、光子可调谐滤波器、声光器件、光陀螺仪等,特别是在高频表面波器件,2.5G,3G标准下的声表面波器件还没有其他商品化材料可以代替铁电材料,是无线通讯中最重要的基础材料。
铁电材料在加工过程中由于外部载荷和热场共同作用再加上自身具有的压电效应和热释电效应,会出现分子正负电中心彼此分离而产生极化现象,材料表面会产生很强的电场。由于铁电材料又具有压电逆效应,电场会产生内应力。当内部应力大于材料强度时,无须外部载荷,裂纹就会产生,导致铁电材料破损,降低铁电材料的加工成品率。
目前的铁电材料表面加工技术,主要从材料机械特性角度来选择加工方法,铁电材料的极化特性及其逆效应没有引起足够重视,而极化现象产生的电场能量相当惊人,可以在不借助于任何外部载荷和热的条件下完成中子和氦离子的核聚变过程,无需外部载荷,电场对于加工的影响就足以导致铁电材料破损,因此,研究、开发一种外加电场的铁电材料表面加工方法尤为必要。
发明内容
为了克服现有的铁电材料表面加工技术的铁电材料容易破损、成品率较低的不足,本发明提供一种避免铁电材料破损、成品率较高的基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法。
为了解决上述技术问题提供如下的技术方案:
一种基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法,实现该方法的装置包括基座和安装在基座上的砂轮,所述加工装置还包括对称电场产生机构,所述基座上设有用于放置待加工铁电材料的加工工位,所述加工工位位于所述对称电场产生机构的对称电场内;
所述加工方法包括以下过程:启动对称电场产生机构,产生对称电场,将待加工铁电材料放入加工工位,再启动砂轮进行表面加工。
进一步,所述对称电场产生机构包括正极电极板和负极电极板,所述正极电极板和负极电极板相对布置,所述正极电极板位于所述待加工铁电材料的下方,所述负极电极板位于所述砂轮的上方。当然,也可以采用其他布置方式。
再进一步,所述砂轮的工作面粘附砂轮块。所述砂轮块呈心形,也可以是其他形状,等圆弧间隔布置在砂轮工作面的一圈,可以采用金刚石磨粒,也可以采用其他磨粒。
所述加工工位包括基片和真空吸盘,所述待加工铁电材料位于所述基片上,所述基片位于真空吸盘上。
更进一步,所述待加工铁电材料粘附在所述基片上。例如通过石蜡涂层粘附。
所述真空吸盘为多孔陶瓷吸盘。
本发明的有益效果为:避免铁电材料破损、成品率较高。
附图说明
图1是基于外加对称电场的铁电材料表面加工装置的示意图。
图2是对称电场产生机构的作用原理示意图。
图3是砂轮的工作面示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步说明。
参照图1~图3,一种基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法,实现该方法的装置包括基座和安装在基座上的砂轮1,其特征在于:所述加工装置还包括对称电场产生机构5,所述基座上设有用于放置待加工铁电材料2的加工工位,所述加工工位位于所述对称电场产生机构5的对称电场内;
所述加工方法包括以下过程:启动对称电场产生机构,产生对称电场,将待加工铁电材料放入加工工位,再启动砂轮进行表面加工。
进一步,所述对称电场产生机构5包括正极电极板和负极电极板,所述正极电极板和负极电极板相对布置,所述正极电极板位于所述待加工铁电材料2的下方,所述负极电极板位于所述砂轮1的上方。当然,也可以采用其他布置方式。
再进一步,所述砂轮1的工作面粘附砂轮块6。所述砂轮块6呈心形,也可以是其他形状,等圆弧间隔布置在砂轮工作面的一圈,可以采用金刚石磨粒,也可以采用其他磨粒。
所述加工工位包括基片3和真空吸盘4,所述待加工铁电材料2位于所述基片3上,所述基片3位于真空吸盘4上。
更进一步,所述待加工铁电材料2粘附在所述基片3上。例如通过石蜡涂层粘附。
所述真空吸盘4为多孔陶瓷吸盘。
参照图1,立式端面磨削加工铁电材料,砂轮1以ns的转速,f的进给速度对待加工铁电材料2(采用钽酸锂晶片)进行加工,钽酸锂晶片的转速是nw;参照图2,加工时施加外加对称电场5,端面磨削的外加对称电场中和铁电材料极化产生的正负电荷。
所述砂轮1,参照图3,端面非整体,阵列粘附金刚石磨粒的砂轮块6,砂轮块的几何形状包含心形。参照图2,所述钽酸锂晶片2,粘附于基片3上,基片3以真空吸盘4实现定位夹紧。所述钽酸锂晶片2的粘附方式,是以被加热后呈熔融状态的石蜡涂于基片3表面,钽酸锂晶片2排除气泡后均匀粘附在基片3上,待石蜡凝固实现粘附。
Claims (6)
1.一种基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法,其特征在于:实现该方法的装置包括基座、安装在基座上的砂轮和对称电场产生机构,所述基座上设有用于放置待加工铁电材料的加工工位,所述加工工位位于所述对称电场产生机构的对称电场内;
所述加工方法包括以下过程:启动对称电场产生机构,产生对称电场,将待加工铁电材料放入加工工位,再启动砂轮进行表面加工。
2.如权利要求1所述的基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法,其特征在于:所述对称电场产生机构包括正极电极板和负极电极板,所述正极电极板和负极电极板相对布置,所述正极电极板位于所述待加工铁电材料的下方,所述负极电极板位于所述砂轮的上方。
3.如权利要求1或2所述的基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法,其特征在于:所述砂轮的工作面粘附砂轮块。
4.如权利要求1或2所述的基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法,其特征在于:所述加工工位包括基片和真空吸盘,所述待加工铁电材料位于所述基片上,所述基片位于真空吸盘上。
5.如权利要求4所述的基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法,其特征在于:所述待加工铁电材料粘附在所述基片上。
6.如权利要求4所述的基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法,其特征在于:所述真空吸盘为多孔陶瓷吸盘。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610071707.0A CN105729251B (zh) | 2016-02-02 | 2016-02-02 | 一种基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610071707.0A CN105729251B (zh) | 2016-02-02 | 2016-02-02 | 一种基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN105729251A CN105729251A (zh) | 2016-07-06 |
CN105729251B true CN105729251B (zh) | 2017-12-29 |
Family
ID=56245691
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201610071707.0A Active CN105729251B (zh) | 2016-02-02 | 2016-02-02 | 一种基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN105729251B (zh) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106736937A (zh) * | 2016-12-02 | 2017-05-31 | 浙江工业大学 | 一种基于多场耦合的铁电材料减薄加工方法 |
CN106736936A (zh) * | 2016-12-02 | 2017-05-31 | 浙江工业大学 | 一种基于施加脉冲磁场的铁电材料减薄加工方法 |
CN113334235B (zh) * | 2021-08-02 | 2021-11-05 | 江苏中科云控智能工业装备有限公司 | 一种自适应不同工件形状的压铸件表面处理装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5575706A (en) * | 1996-01-11 | 1996-11-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Chemical/mechanical planarization (CMP) apparatus and polish method |
CN103264321A (zh) * | 2013-05-29 | 2013-08-28 | 浙江工业大学 | 基于介电泳效应的抛光方法及其专有设备 |
CN103433832A (zh) * | 2013-08-01 | 2013-12-11 | 浙江工业大学 | 基于介电泳效应的定偏心式研磨/抛光设备 |
CN104551871B (zh) * | 2014-12-31 | 2017-09-05 | 浙江工业大学 | 一种钽酸锂晶片的磨削加工方法 |
CN104752603A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-07-01 | 浙江工业大学 | 一种基于电场能抵消效应的铁电材料表面超精密加工方法 |
-
2016
- 2016-02-02 CN CN201610071707.0A patent/CN105729251B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105729251A (zh) | 2016-07-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105729251B (zh) | 一种基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法 | |
CN110197789B (zh) | SiC单晶片的超声辅助电化学机械抛光加工装置及方法 | |
CN102107391A (zh) | 一种SiC单晶晶片的加工方法 | |
CN107738370A (zh) | 一种多晶硅片制备工艺 | |
CN104551871B (zh) | 一种钽酸锂晶片的磨削加工方法 | |
CN101892521A (zh) | 单晶金刚石层生长用基板以及单晶金刚石基板的制造方法 | |
CN107309784B (zh) | 一种蓝宝石盖板的双面精磨工艺 | |
CN101719471B (zh) | 场效应晶体管制造方法 | |
CN107059128B (zh) | 一种微米级硅基底上的钽酸锂或铌酸锂单晶薄膜及其制备方法 | |
CN106625204B (zh) | 一种大尺寸SiC晶片的背面处理方法 | |
CN108381379A (zh) | 氮化铝单晶片电解抛光及化学机械抛光相结合的抛光方法 | |
JP3904943B2 (ja) | サファイアウエハーの加工方法及び電子装置の製造方法 | |
CN109972204A (zh) | 超薄超平晶片和制备该超薄超平晶片的方法 | |
CN104722864B (zh) | 基于双峰脉冲电流电化学复合机械的平面形金属表面的光整加工方法 | |
CN205415173U (zh) | 基于外加对称电场的铁电材料表面加工装置 | |
CN105127881A (zh) | 一种用于晶片双面磨抛机的承载盘及其磨抛机和磨抛方法 | |
CN108555773A (zh) | 一种超薄零件研磨抛光夹具 | |
CN106736937A (zh) | 一种基于多场耦合的铁电材料减薄加工方法 | |
CN206550778U (zh) | 基于施加脉冲磁场的铁电材料减薄加工装置 | |
CN206286936U (zh) | 基于多场耦合的铁电材料减薄加工装置 | |
JP2008041703A (ja) | シリコンウエハの加工方法 | |
CN109065508A (zh) | 一种反向台面复合结构超薄晶片及其制备方法 | |
CN106736936A (zh) | 一种基于施加脉冲磁场的铁电材料减薄加工方法 | |
CN111558851B (zh) | 一种研磨方法与研磨装置 | |
RU2020109381A (ru) | Многопереходный солнечный элемент, имеющий покровное стекло из плавленого кварца |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |