JPS62161490A - 生試料の加工方法 - Google Patents
生試料の加工方法Info
- Publication number
- JPS62161490A JPS62161490A JP61000582A JP58286A JPS62161490A JP S62161490 A JPS62161490 A JP S62161490A JP 61000582 A JP61000582 A JP 61000582A JP 58286 A JP58286 A JP 58286A JP S62161490 A JPS62161490 A JP S62161490A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing
- raw sample
- image
- light
- spot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Laser Beam Processing (AREA)
- Micro-Organisms Or Cultivation Processes Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、生試料の加工方法に係り、特に予定した位置
に正確に加工することのできる生試料の加工方法曇こ関
するものである。
に正確に加工することのできる生試料の加工方法曇こ関
するものである。
微生物や生細胞などの生試料に対し、切断、穿孔1手術
などの加工を行なうことは、一般によく知られている。
などの加工を行なうことは、一般によく知られている。
このような加工は、機械的な手段や、レーザ光などの光
学的手段によって行なわれる。生試料に対して、確実に
加工を行なう手段としては、光学的手段の方が一般に秀
れている。
学的手段によって行なわれる。生試料に対して、確実に
加工を行なう手段としては、光学的手段の方が一般に秀
れている。
こ゛のような光学的手段によって、生試料の加工を行な
うことは、例えば、1981年7月31日に発行された
文献[サイエンス、VOL、213(8CIgN(l
VOL、213)J(2)P2O3〜P513に開示
されている。
うことは、例えば、1981年7月31日に発行された
文献[サイエンス、VOL、213(8CIgN(l
VOL、213)J(2)P2O3〜P513に開示
されている。
ところで、レーザ光の如き光学的手段によって生試料に
加工を施こす場合、予定した位gtこ正確に加工するこ
とは非常にIIt要である。
加工を施こす場合、予定した位gtこ正確に加工するこ
とは非常にIIt要である。
本発明の目的は、生試料の予定した位K(lに対し正確
(こ加工を施こすことのできる生試料の加工方法を提供
することである。
(こ加工を施こすことのできる生試料の加工方法を提供
することである。
本発明は、加工すべき生試料をカメラによって撮像し、
この撮像された画像をモニタに表示し、表示された画像
をみながら、生試料の加工すべき位置を指示し、この指
示された位Jに加工用光線を照射するものにおいて、U
L加工用光線の照射後のf+lj像から得られる照射位
置と、前記加工すべき位置とのずれを算出し、次回の+
ta射に際しては。
この撮像された画像をモニタに表示し、表示された画像
をみながら、生試料の加工すべき位置を指示し、この指
示された位Jに加工用光線を照射するものにおいて、U
L加工用光線の照射後のf+lj像から得られる照射位
置と、前記加工すべき位置とのずれを算出し、次回の+
ta射に際しては。
該指示された位置を該ずれ分だけ補正して前記加工用光
線を照射することを特徴とする。
線を照射することを特徴とする。
以下、本発明を具体的な実施例に基づhIIP細に説明
する。
する。
第1図は本発明の一実施例にかかる制御動作フロー図を
示し、第2図は本発明の一実施例における生試料加工装
置例を示す。
示し、第2図は本発明の一実施例における生試料加工装
置例を示す。
まず、第2図により、生試料の加工装置の概略を説明す
る。第2図において、加工すべき微生物や生細胞などの
生試料は、試料容al内鐙こ存在する。生試料を内蔵す
る容器1は、XY平面方向への移動が可能なXYステー
ジ2上に載置されろ。
る。第2図において、加工すべき微生物や生細胞などの
生試料は、試料容al内鐙こ存在する。生試料を内蔵す
る容器1は、XY平面方向への移動が可能なXYステー
ジ2上に載置されろ。
XYステージ2は、ステージ位置制御装!g3によりて
%XY方向への移動がなされる。4は照明光源である。
%XY方向への移動がなされる。4は照明光源である。
5は集光レンズであり、加工用レーザ光を集光して生試
料への照射を行なう。光偏向手段6は、入射するレーザ
光を偏向させるためのものである。スポット位Hq制御
装置7は、入射するレーザ光のスポット位置を制御する
信号を光偏向手段6に出力する。接眼レンズ8は、顕微
装置lOで拡大された生試料を観察するために設けられ
る。
料への照射を行なう。光偏向手段6は、入射するレーザ
光を偏向させるためのものである。スポット位Hq制御
装置7は、入射するレーザ光のスポット位置を制御する
信号を光偏向手段6に出力する。接眼レンズ8は、顕微
装置lOで拡大された生試料を観察するために設けられ
る。
TVカメラ9は、生試料を撮像するためのものである。
Uは生試料に対する加工用光線(この実施例ではレーザ
光)を発生する加工用レーザ光源である。認はシャッタ
であり、加工用レーザ光の通過、不通過をコントロール
する。13と14はミラーである。アナログ・ディジタ
ル変換器(^/D)は、カメラ9が撮像したアナログの
ll!II像(ff号をディジタルの画像信号に変換す
る。ディジタル化された画像信号は、画像メモリnに記
憶される。モニタテレビスは1画像メモリこの内容、す
なわち生試料の映像をビューアに表示する。演算処理部
囚は、画像メモリnの内容を人力して、レーザ照射位1
xを画像処理によって求めること、ライトペン5が指示
した位〜を入力し、この位置に位置検知用レーザ光源1
5からのレーザスポット光を移動させる二と、加工用レ
ーザ光を照射すべくシャッタを開閉すること、ライトペ
ン指示位置と実際の加工位置とのずれを求め、このずれ
を次回のレーザ加工時に補正すること等の処理を行なう
。この演算処理部nの詳細な処理動作については、後述
する。
光)を発生する加工用レーザ光源である。認はシャッタ
であり、加工用レーザ光の通過、不通過をコントロール
する。13と14はミラーである。アナログ・ディジタ
ル変換器(^/D)は、カメラ9が撮像したアナログの
ll!II像(ff号をディジタルの画像信号に変換す
る。ディジタル化された画像信号は、画像メモリnに記
憶される。モニタテレビスは1画像メモリこの内容、す
なわち生試料の映像をビューアに表示する。演算処理部
囚は、画像メモリnの内容を人力して、レーザ照射位1
xを画像処理によって求めること、ライトペン5が指示
した位〜を入力し、この位置に位置検知用レーザ光源1
5からのレーザスポット光を移動させる二と、加工用レ
ーザ光を照射すべくシャッタを開閉すること、ライトペ
ン指示位置と実際の加工位置とのずれを求め、このずれ
を次回のレーザ加工時に補正すること等の処理を行なう
。この演算処理部nの詳細な処理動作については、後述
する。
次に、第1図および第2図により本発明の実施例におけ
る動作を説明する。加工用レーザ光源Uおよび位置検知
用レーザ光源すは、それぞれレーザ光を発生している。
る動作を説明する。加工用レーザ光源Uおよび位置検知
用レーザ光源すは、それぞれレーザ光を発生している。
加工用レーザ光としては、生試料の加工可能な例えばY
AGレーザを用いる。
AGレーザを用いる。
位置検知用レーザ光としては、生試料に影響を与えない
程度の出力を有するもの、例えばHen Neレーザ光
を用いる。第2図から明らかなように、通常、シャッタ
校は閉じられており、WX算処理部nからのシャッタW
IA!!11I G!号を入力したときのみ、シャッタ
を開閉する。′rvカメラ9は、生試料な顕微装置10
を介して撮像し1画像信号を出力する。
程度の出力を有するもの、例えばHen Neレーザ光
を用いる。第2図から明らかなように、通常、シャッタ
校は閉じられており、WX算処理部nからのシャッタW
IA!!11I G!号を入力したときのみ、シャッタ
を開閉する。′rvカメラ9は、生試料な顕微装置10
を介して撮像し1画像信号を出力する。
この信号は、A/D21によってディジタル化され、画
像メモリnに記憶される。モニタテレビスは、この内容
を表示する。操作者は、ライトペン5を持ち、モニタテ
レビをみながら、画面ζこ表示された生試料の加工すべ
き泣訴をライトペン5で指示する。このライトペン指示
位yは、演算処理部田内で演算される。この処理が、f
f11図におけるステップFlの処理(またはステップ
F15の処理)である。位置検知ハルレーザ光源15が
発生するスポット光は、生試料に照射されているので、
このスポット光はTVカメラ9で撮像される。したがっ
て、演算処J11!t11s23でハ、1JIIJ像J
モリ’12(D内容’4を堆込み、これを画障処理す
ることによって、スポット光の位置(厳密には、スポッ
ト光の中心位IS)を求めることができる。このスポッ
ト光の位1ヌが求まると、演算処理部田は、前述のライ
トペン指示位置に該スポット光が重なるようにスポット
位置制御信号をスポット位置制御!装置7に出力する。
像メモリnに記憶される。モニタテレビスは、この内容
を表示する。操作者は、ライトペン5を持ち、モニタテ
レビをみながら、画面ζこ表示された生試料の加工すべ
き泣訴をライトペン5で指示する。このライトペン指示
位yは、演算処理部田内で演算される。この処理が、f
f11図におけるステップFlの処理(またはステップ
F15の処理)である。位置検知ハルレーザ光源15が
発生するスポット光は、生試料に照射されているので、
このスポット光はTVカメラ9で撮像される。したがっ
て、演算処J11!t11s23でハ、1JIIJ像J
モリ’12(D内容’4を堆込み、これを画障処理す
ることによって、スポット光の位置(厳密には、スポッ
ト光の中心位IS)を求めることができる。このスポッ
ト光の位1ヌが求まると、演算処理部田は、前述のライ
トペン指示位置に該スポット光が重なるようにスポット
位置制御信号をスポット位置制御!装置7に出力する。
この処理は、ライトペン指示位置とスポット光の位置と
が一致するまで繰り返される。この処理が、m1図のス
テップF3およびF5の処理(あるいはステップF17
およびF19の処理)である。
が一致するまで繰り返される。この処理が、m1図のス
テップF3およびF5の処理(あるいはステップF17
およびF19の処理)である。
ステップF5において、両者の位置が一致したことによ
り、演算処理部りはシャッタ稔に対し、シャッタ駆動信
号を出力する。m2図から明らかなよう曇こ、位置検知
用レーザ光(スポット光)の光軸と、加工用レーザ光の
光軸とは一致しているので、シャッタLが間引ことによ
って、スポット光の照射位IN(=ライトペン指示位置
)に加工用レーザ光が照射される。すなわち、ライトペ
ン5で指示した位置に加工用レーザ光が照射される。二
の処理がm1図のステップF7である。
り、演算処理部りはシャッタ稔に対し、シャッタ駆動信
号を出力する。m2図から明らかなよう曇こ、位置検知
用レーザ光(スポット光)の光軸と、加工用レーザ光の
光軸とは一致しているので、シャッタLが間引ことによ
って、スポット光の照射位IN(=ライトペン指示位置
)に加工用レーザ光が照射される。すなわち、ライトペ
ン5で指示した位置に加工用レーザ光が照射される。二
の処理がm1図のステップF7である。
ところが、実際の照射においては、機械の各部の精曳、
光学系のひずみ9画像処理のしかた。モニタテレビのビ
ューア表面の不均一さ等のため、本来一致すべきはずの
ライトペン指示位置と加工用レーザ光の照射位置(加工
位訝)とがずれろ現象が生じる。このずれは、加工精度
に影響を与えるため、補正されなければならない。この
実施例では、第1図に示すように、ステップFllで加
工位盾を演算(画像メモリの内容を取付み、画像処理に
よって求める。)シ、次いでステップF13で両者の偏
差、すなわちずれを求める。このずれは1次回の生試料
に対する加工に適用され、このずれ分が補正される。す
なわち、ステップF15、F17.F19によってライ
トペン指示位置とスポット光位置とを一致させた後、ス
テップF24に進み、ステップF13で求めていたずれ
を用いて、このずれ分だけスポット位h゛9をずらす。
光学系のひずみ9画像処理のしかた。モニタテレビのビ
ューア表面の不均一さ等のため、本来一致すべきはずの
ライトペン指示位置と加工用レーザ光の照射位置(加工
位訝)とがずれろ現象が生じる。このずれは、加工精度
に影響を与えるため、補正されなければならない。この
実施例では、第1図に示すように、ステップFllで加
工位盾を演算(画像メモリの内容を取付み、画像処理に
よって求める。)シ、次いでステップF13で両者の偏
差、すなわちずれを求める。このずれは1次回の生試料
に対する加工に適用され、このずれ分が補正される。す
なわち、ステップF15、F17.F19によってライ
トペン指示位置とスポット光位置とを一致させた後、ス
テップF24に進み、ステップF13で求めていたずれ
を用いて、このずれ分だけスポット位h゛9をずらす。
そして、この位置補正の後、シャッタ校を駆動し。
生試料に対して加工用レーザ光を照射して加工を実行す
る。このステップがF23である。その後、ステップF
25に進み、加工が終了していなければステップF9に
戻り、上述の処理を続行する。
る。このステップがF23である。その後、ステップF
25に進み、加工が終了していなければステップF9に
戻り、上述の処理を続行する。
以上詳細に説明したように本発明によれば、予定した位
置に正確に加工用光線を照射することができる。
置に正確に加工用光線を照射することができる。
第1図は本発明の一実施例にかかる動作フロー図、第2
図は本発明の一実施例における生試料加工装置例を示す
図である。 l・・−・・容器、2・・・・・・XYステージ、3・
・−・・ステージ位置制御装置、5・・・・・・集光レ
ンズ、6・・−・・光偏向手段、7・・−・・スポット
位置制御装「、8・・・・・・接眼レンズ、9・・・・
・・TVカメラ、10・・−・・顕微4t[。
図は本発明の一実施例における生試料加工装置例を示す
図である。 l・・−・・容器、2・・・・・・XYステージ、3・
・−・・ステージ位置制御装置、5・・・・・・集光レ
ンズ、6・・−・・光偏向手段、7・・−・・スポット
位置制御装「、8・・・・・・接眼レンズ、9・・・・
・・TVカメラ、10・・−・・顕微4t[。
Claims (1)
- 1、加工すべき生試料をカメラによって撮像し、該撮像
された画像に基づいて、該生試料に対する加工位置を決
定し、該決定された加工位置に加工用光線を照射する生
試料の加工方法において、該加工用光線の照射後の画像
から実際に照射された照射位置を求め、該照射位置と予
定した前記加工位置とのずれを演算し、次回の照射に際
しては、前記加工位置を該ずれ分だけ補正した位置に前
記加工用光線を照射することを特徴とする生試料の加工
方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61000582A JPS62161490A (ja) | 1986-01-08 | 1986-01-08 | 生試料の加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61000582A JPS62161490A (ja) | 1986-01-08 | 1986-01-08 | 生試料の加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62161490A true JPS62161490A (ja) | 1987-07-17 |
JPH0249197B2 JPH0249197B2 (ja) | 1990-10-29 |
Family
ID=11477707
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61000582A Granted JPS62161490A (ja) | 1986-01-08 | 1986-01-08 | 生試料の加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62161490A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02129510A (ja) * | 1988-11-10 | 1990-05-17 | Agency Of Ind Science & Technol | スポット光位置設定方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6072691A (ja) * | 1983-09-29 | 1985-04-24 | Fujitsu Ltd | レ−ザ光ビ−ムの位置合わせ方法 |
-
1986
- 1986-01-08 JP JP61000582A patent/JPS62161490A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6072691A (ja) * | 1983-09-29 | 1985-04-24 | Fujitsu Ltd | レ−ザ光ビ−ムの位置合わせ方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02129510A (ja) * | 1988-11-10 | 1990-05-17 | Agency Of Ind Science & Technol | スポット光位置設定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0249197B2 (ja) | 1990-10-29 |
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