JPS62161490A - 生試料の加工方法 - Google Patents

生試料の加工方法

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JPS62161490A
JPS62161490A JP61000582A JP58286A JPS62161490A JP S62161490 A JPS62161490 A JP S62161490A JP 61000582 A JP61000582 A JP 61000582A JP 58286 A JP58286 A JP 58286A JP S62161490 A JPS62161490 A JP S62161490A
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JP
Japan
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processing
raw sample
image
light
spot
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JP61000582A
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English (en)
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JPH0249197B2 (ja
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Muneo Kawamoto
川本 宗男
Nobuyuki Hosomi
細見 信行
Hiroshi Kanekiyo
寛 兼清
Sei Murakami
聖 村上
Shoji Yoshinaga
吉永 正二
Nobuo Kimura
信夫 木村
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Micro-Organisms Or Cultivation Processes Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、生試料の加工方法に係り、特に予定した位置
に正確に加工することのできる生試料の加工方法曇こ関
するものである。
〔発明の背景〕
微生物や生細胞などの生試料に対し、切断、穿孔1手術
などの加工を行なうことは、一般によく知られている。
このような加工は、機械的な手段や、レーザ光などの光
学的手段によって行なわれる。生試料に対して、確実に
加工を行なう手段としては、光学的手段の方が一般に秀
れている。
こ゛のような光学的手段によって、生試料の加工を行な
うことは、例えば、1981年7月31日に発行された
文献[サイエンス、VOL、213(8CIgN(l 
 VOL、213)J(2)P2O3〜P513に開示
されている。
ところで、レーザ光の如き光学的手段によって生試料に
加工を施こす場合、予定した位gtこ正確に加工するこ
とは非常にIIt要である。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、生試料の予定した位K(lに対し正確
(こ加工を施こすことのできる生試料の加工方法を提供
することである。
〔発明の概要〕
本発明は、加工すべき生試料をカメラによって撮像し、
この撮像された画像をモニタに表示し、表示された画像
をみながら、生試料の加工すべき位置を指示し、この指
示された位Jに加工用光線を照射するものにおいて、U
L加工用光線の照射後のf+lj像から得られる照射位
置と、前記加工すべき位置とのずれを算出し、次回の+
ta射に際しては。
該指示された位置を該ずれ分だけ補正して前記加工用光
線を照射することを特徴とする。
〔発明の実施例〕
以下、本発明を具体的な実施例に基づhIIP細に説明
する。
第1図は本発明の一実施例にかかる制御動作フロー図を
示し、第2図は本発明の一実施例における生試料加工装
置例を示す。
まず、第2図により、生試料の加工装置の概略を説明す
る。第2図において、加工すべき微生物や生細胞などの
生試料は、試料容al内鐙こ存在する。生試料を内蔵す
る容器1は、XY平面方向への移動が可能なXYステー
ジ2上に載置されろ。
XYステージ2は、ステージ位置制御装!g3によりて
%XY方向への移動がなされる。4は照明光源である。
5は集光レンズであり、加工用レーザ光を集光して生試
料への照射を行なう。光偏向手段6は、入射するレーザ
光を偏向させるためのものである。スポット位Hq制御
装置7は、入射するレーザ光のスポット位置を制御する
信号を光偏向手段6に出力する。接眼レンズ8は、顕微
装置lOで拡大された生試料を観察するために設けられ
る。
TVカメラ9は、生試料を撮像するためのものである。
Uは生試料に対する加工用光線(この実施例ではレーザ
光)を発生する加工用レーザ光源である。認はシャッタ
であり、加工用レーザ光の通過、不通過をコントロール
する。13と14はミラーである。アナログ・ディジタ
ル変換器(^/D)は、カメラ9が撮像したアナログの
ll!II像(ff号をディジタルの画像信号に変換す
る。ディジタル化された画像信号は、画像メモリnに記
憶される。モニタテレビスは1画像メモリこの内容、す
なわち生試料の映像をビューアに表示する。演算処理部
囚は、画像メモリnの内容を人力して、レーザ照射位1
xを画像処理によって求めること、ライトペン5が指示
した位〜を入力し、この位置に位置検知用レーザ光源1
5からのレーザスポット光を移動させる二と、加工用レ
ーザ光を照射すべくシャッタを開閉すること、ライトペ
ン指示位置と実際の加工位置とのずれを求め、このずれ
を次回のレーザ加工時に補正すること等の処理を行なう
。この演算処理部nの詳細な処理動作については、後述
する。
次に、第1図および第2図により本発明の実施例におけ
る動作を説明する。加工用レーザ光源Uおよび位置検知
用レーザ光源すは、それぞれレーザ光を発生している。
加工用レーザ光としては、生試料の加工可能な例えばY
AGレーザを用いる。
位置検知用レーザ光としては、生試料に影響を与えない
程度の出力を有するもの、例えばHen Neレーザ光
を用いる。第2図から明らかなように、通常、シャッタ
校は閉じられており、WX算処理部nからのシャッタW
IA!!11I G!号を入力したときのみ、シャッタ
を開閉する。′rvカメラ9は、生試料な顕微装置10
を介して撮像し1画像信号を出力する。
この信号は、A/D21によってディジタル化され、画
像メモリnに記憶される。モニタテレビスは、この内容
を表示する。操作者は、ライトペン5を持ち、モニタテ
レビをみながら、画面ζこ表示された生試料の加工すべ
き泣訴をライトペン5で指示する。このライトペン指示
位yは、演算処理部田内で演算される。この処理が、f
f11図におけるステップFlの処理(またはステップ
F15の処理)である。位置検知ハルレーザ光源15が
発生するスポット光は、生試料に照射されているので、
このスポット光はTVカメラ9で撮像される。したがっ
て、演算処J11!t11s23でハ、1JIIJ像J
 モリ’12(D内容’4を堆込み、これを画障処理す
ることによって、スポット光の位置(厳密には、スポッ
ト光の中心位IS)を求めることができる。このスポッ
ト光の位1ヌが求まると、演算処理部田は、前述のライ
トペン指示位置に該スポット光が重なるようにスポット
位置制御信号をスポット位置制御!装置7に出力する。
この処理は、ライトペン指示位置とスポット光の位置と
が一致するまで繰り返される。この処理が、m1図のス
テップF3およびF5の処理(あるいはステップF17
およびF19の処理)である。
ステップF5において、両者の位置が一致したことによ
り、演算処理部りはシャッタ稔に対し、シャッタ駆動信
号を出力する。m2図から明らかなよう曇こ、位置検知
用レーザ光(スポット光)の光軸と、加工用レーザ光の
光軸とは一致しているので、シャッタLが間引ことによ
って、スポット光の照射位IN(=ライトペン指示位置
)に加工用レーザ光が照射される。すなわち、ライトペ
ン5で指示した位置に加工用レーザ光が照射される。二
の処理がm1図のステップF7である。
ところが、実際の照射においては、機械の各部の精曳、
光学系のひずみ9画像処理のしかた。モニタテレビのビ
ューア表面の不均一さ等のため、本来一致すべきはずの
ライトペン指示位置と加工用レーザ光の照射位置(加工
位訝)とがずれろ現象が生じる。このずれは、加工精度
に影響を与えるため、補正されなければならない。この
実施例では、第1図に示すように、ステップFllで加
工位盾を演算(画像メモリの内容を取付み、画像処理に
よって求める。)シ、次いでステップF13で両者の偏
差、すなわちずれを求める。このずれは1次回の生試料
に対する加工に適用され、このずれ分が補正される。す
なわち、ステップF15、F17.F19によってライ
トペン指示位置とスポット光位置とを一致させた後、ス
テップF24に進み、ステップF13で求めていたずれ
を用いて、このずれ分だけスポット位h゛9をずらす。
そして、この位置補正の後、シャッタ校を駆動し。
生試料に対して加工用レーザ光を照射して加工を実行す
る。このステップがF23である。その後、ステップF
25に進み、加工が終了していなければステップF9に
戻り、上述の処理を続行する。
〔発明の効果〕
以上詳細に説明したように本発明によれば、予定した位
置に正確に加工用光線を照射することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例にかかる動作フロー図、第2
図は本発明の一実施例における生試料加工装置例を示す
図である。 l・・−・・容器、2・・・・・・XYステージ、3・
・−・・ステージ位置制御装置、5・・・・・・集光レ
ンズ、6・・−・・光偏向手段、7・・−・・スポット
位置制御装「、8・・・・・・接眼レンズ、9・・・・
・・TVカメラ、10・・−・・顕微4t[。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、加工すべき生試料をカメラによって撮像し、該撮像
    された画像に基づいて、該生試料に対する加工位置を決
    定し、該決定された加工位置に加工用光線を照射する生
    試料の加工方法において、該加工用光線の照射後の画像
    から実際に照射された照射位置を求め、該照射位置と予
    定した前記加工位置とのずれを演算し、次回の照射に際
    しては、前記加工位置を該ずれ分だけ補正した位置に前
    記加工用光線を照射することを特徴とする生試料の加工
    方法。
JP61000582A 1986-01-08 1986-01-08 生試料の加工方法 Granted JPS62161490A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61000582A JPS62161490A (ja) 1986-01-08 1986-01-08 生試料の加工方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61000582A JPS62161490A (ja) 1986-01-08 1986-01-08 生試料の加工方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62161490A true JPS62161490A (ja) 1987-07-17
JPH0249197B2 JPH0249197B2 (ja) 1990-10-29

Family

ID=11477707

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JP61000582A Granted JPS62161490A (ja) 1986-01-08 1986-01-08 生試料の加工方法

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02129510A (ja) * 1988-11-10 1990-05-17 Agency Of Ind Science & Technol スポット光位置設定方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6072691A (ja) * 1983-09-29 1985-04-24 Fujitsu Ltd レ−ザ光ビ−ムの位置合わせ方法

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6072691A (ja) * 1983-09-29 1985-04-24 Fujitsu Ltd レ−ザ光ビ−ムの位置合わせ方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH02129510A (ja) * 1988-11-10 1990-05-17 Agency Of Ind Science & Technol スポット光位置設定方法

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JPH0249197B2 (ja) 1990-10-29

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