JPS63103932A - 複合レンズの芯出し方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は複数個のレンズによって構成された複合レンズ
の中の、少なくとも一個のレンズについて芯出しするた
めの方法及び装置に関するものである。

〔従来の技術〕

写真レンズに限らず、−ｇのレンズ系は複数個のレンズ
を組み合わせた複合レンズによって構成されている。複
合レンズを組み立ててゆく場合には、各々のレンズの光
軸を全て合致させる芯出し作業が必要になる。

従来におけるこの芯出し作業は、目視を主としている。

すなわち、複合レンズに点光源からの光を入射させてレ
チクルやスクリーンに点像として結像させ、その結像位
置のずれを目視観察しながら適宜のレンズを移動させて
点像のずれをなくすようにしたり、あるいは点像を目視
観察するときに複合レンズを光軸を中心として回転させ
、点像の振れがなくなるように適宜のレンズグ移動調節
したりしている。ところが、こうした目視的観察による
芯出し作業では、個人差、あるいは作業の繰り返しによ
って蓄積される疲労などの影響によって、芯出しの精度
を一定に維持しにくいという欠点がある。

このような欠点を解決するために、複合レンズの焦点面
に、光軸を中心として例えば扇型に４分割された光電素
子を配置し、これらの光電素子からの出力を比較するこ
とによって、光軸からの点像のずれを光電的、定量的に
評価する方法も行われている。これによれば、分割され
た各々の光電素子からの出力が均等になるように、すな
わち点像の中心が光電素子の分割中心にくるように所定
のレンズを移動調節することによって、芯出し調節を行
うことができるようになる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところが、このような手法によって芯出し調節を行おう
とするときには、複合レンズの中で基準となるレンズ系
の光軸を、光電素子の分割中心に正確に合致させておか
なくてはならない。例えば、前群レンズに対する後群レ
ンズの芯ずれを検査したり、あるいは芯出し調節する場
合には、前群レンズの光軸を予め光電素子の分割中心に
合致させる作業が不可欠となる。したがって、写真レン
ズのように量産を対象としたものでは、各々のレンズご
とに光軸合わせしなくてはならず、その作業は非常に煩
わしいものになっている。

本発明はこのような従来技術に鑑みてなされたもので、
複合レンズの芯出し作業を自動化してその作業効率を大
幅に向上させ、芯出しの精度も一定に維持できるように
するための芯出し方法及び装置を提供することを目的と
する。

もちろん、本発明において芯出しの対象となる複合レン
ズは、写真レンズだけでなく種々の光学系にも同様にし
て用いることができる。また、芯出しのために移動調節
されるレンズとしても、予め芯出し調節して結合した２
個以上のレンズユニットであってもよい。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は上記目的を達成するために、芯出しのために移
動調節されるレンズを含む複合レンズに光ビームを通し
、この光ビームの光軸上で、しかも光ビームの結像位置
から外れた位置に物点がくるように配置された検出光学
系に入射させるようにしている。これにより検出光学系
の焦点面上には、前記光ビームは低輝度のハロー部分及
び高輝度の核部分とからなるボケ像として結像されるこ
とになる。このボケ像は撮像装置によって撮像され、前
記ハロー部分及び核部分について各々の画像信号が得ら
れる。こうして得られた画像信号に基づき、ハロー部分
及び核部分の各々の輪郭を求め、さらにこれらの中心位
置が求められる。こうして求められたハロー部分及び核
部分の中心位置は、複合レンズの芯出しが不十分のとき
には合致することがない。そこで本発明では、これらの
中心位置を合致させるように、あるいは前記中心位置相
互間のずれ量を所定の管理値幅内に収めるよウニ、所定
のレンズすなわ・ち芯出しの対象トサしているレンズを
、その光軸と垂直な面内で移動調節して芯出しを行うよ
うにしたものである。

このような芯出しを行うための本発明装置は、複合レン
ズのうちの基準となるレンズを保持するテーブルと、芯
出しの対象となるレンズをその光軸と垂直な面内に移動
自在に保持する移動テーブルと、前記テーブル及び移動
テーブルに開設された光通路を介して複合レンズに光ビ
ームを入射させる光ビーム発生手段と、複合レンズによ
って結像された光ビームの光軸上で、その結像点から外
れた位置に物点がくるように位置決めされた検出光学系
と、この検出光学系によって形成されたノ１０一部分及
び核部分からなる像を撮像する撮像装置と、この撮像装
置からの出力信号に基いてハロー部分及び核部分の輪郭
を決定するとともに、これらの輪郭からハロー部分及び
核部分の中心位置を求める画像演算部と、前記各々の中
心位置を所定の管理値幅内に収めるように前記移動テー
ブルを移動させるテーブル駆動装置とを備えているもの
である。

以下、本発明の一実施例について図面を参照しながら説
明する。

〔実施例〕 本発明装置の一例を概略的に示す第１図において、ベー
ス１内にはランプ２．ランプ２からの光を一定の径の光
ビームにするための光学系３、そして光学系３の光軸３
ａに沿う光ビームを真上に向けるためのミラー４が設け
られている。ベース１の上面には、Ｘ軸方向（紙面と平
行な左右方向）にスライドするＸテーブル５が取り付け
られ、さらにこのＸテーブル５の上面にはＹ軸方向（Ｘ
軸と直交する方向）にスライドするＹテーブル６が取り
付けられている。また、前記Ｙテーブル６の上には、前
記Ｘ軸方向にスライドするＸテーブル７が設けられ、さ
らにこのＸテーブル７の上には前記Ｙ軸方向にスライド
するＸテーブル８が設けられている。

前記Ｘテーブル５．Ｙテーブル６のそれぞれの中央部に
は、後述するように光学系３からの光ビームを上方へと
通過させるための光通路が形成され、またＸテーブル７
及びＸテーブル８は光ビームが上方に通過するのを妨げ
ないように配設されている。そして、上方へと通過した
光ビームを受、けるように、支柱１０を介して顕微鏡１
２が設けられている。支柱１０と顕微鏡」２との間には
昇降機構１３が介装されており、これにより顕微鏡１３
はＸ軸方向（紙面と平行な上下方向）に移動自在となっ
ている。

顕微鏡１２のアイピースを所定の位置に調節し、あるい
はアダプターレンズ等を付加することによって顕微鏡１
２は実像を形成し、この像はビデオカメラ１４によって
撮像される。ビデオカメラ１４から得られるビデオ信号
は画像処理部１５に供給され、詳しくは後述するように
種々の信号変換や演算処理が行われ、その結果はモニタ
ー１６で映像表示されたり、ブＩ鬼ンタ１７でハードコ
ピーされたり、あるいはフロッピーディスク１８に情報
記録されたりする。

画像処理部１５にはマイクロコンピュータによって構成
されたコントローラ２０が接続されており、画像処理部
１５との間で信号の授受が行われる。コントローラ２０
はステージ移動機構２１の作動を制御するための信号も
出力するようになっており、この信号によってＸテーブ
ル５．Ｙテーブル６、Ｘテーブル７、Ｘテーブル８は、
それぞれ設けられたステッピングモータを介して個別に
スライドされる。また、同様にして昇降機構１３も作動
され、顕微鏡１２も上下に移動される。

上記装置の要部を図示した第２図にも示したように、写
真レンズ２４の前群レンズ２４ａは、Ｙステージ６に形
成されたスリーブ６ａを介して、所定の位置に保持され
る。また後群レンズ２４ｂは、前群レンズ２４ａの上面
に載置されるとともに、ｙステージ８に設けられたクラ
ンプレバ−８ａによって、Ｘ軸、Ｙ軸いずれの方向にも
移動しないように位置決めされる。なお、これらの前群
レンズ２４ａと後群レンズ２４ｂとをビス２５によって
緊締することによって、写真レンズ２４として一体化さ
れることになる。また、後群レンズ２４ｂの取り付は用
のフレーム２６にはビス２５の外径よりも内径の大きい
取り付は孔２６ａが形成されているから、後群レンズ２
４ｂをＸ軸及びＹ軸方向に位置調節した後にも、ビス２
５によって前群レンズ２４ａと後群レンズ２４ｂとを一
体に結合することができるようになっている。

ランプ２からの光は、集光レンズ２７．５０μｍのピン
ホールが形成されたピンホール板２８゜コリメータレン
ズ２９によって、１５ｍｍの径の光ビーム３０となって
ミラー４に入射する。ミラー４によって上方に向けられ
た光ビーム３０は、前群レンズ２４ａ及び後群レンズ２
４ｂを通過する。光ビーム３０は平行光であるから、前
群レンズ２４ａと後群レンズ２４ｂとが偏芯なく正しく
整列されている場合には、光ビーム３０は写真レンズ２
４の焦点Ｐ６に点像として結像される。

顕微鏡１２の光軸は、光ビーム３０の光軸３ａと一致し
て配設されるとともに、その物点Ｐ、は写真レンズ２４
の焦点Ｐ０からｌだけ外されている。したがって、顕微
鏡１２の結像面にビデオカメラ１４のＣＣＤ３２を設け
てこれを撮像したときには、モニター１６には第６図に
示したような映像が表示される。すなわち、写真レンズ
２４の点像が焦点外し量ｌに応じて広がった高輝度の核
部分３５と、円形の淡い輝度をもったハロー部分３６と
が観察される。

次に、上記装置の機能ブロックを示す第３図にしたがっ
て、後群レンズ２４ｂに対する自動芯出し作用について
説明する。　　− まず、Ｙテーブル６のスリーブ６ａに前群レンズ２４ａ
をセットし、その上に後群レンズ２４ｂを載置してこれ
をクランプレバ−８ａによって水平に保持する。しかる
後にキーボード４０からマイクロプロセッサユニット４
１（以下、ＭＰＵ４１という）にスタート信号が入力さ
れると、”第２図にも示した昇降駆動部４３．Ｘテーブ
ル駆動部４４、Ｙテーブル駆動部４５．Ｘテーブル駆動
部４６、Ｘテーブル駆動部４７のそれぞれに駆動信号が
供給される。そして、これらの駆動部４３〜４７によっ
てステッピングモータ４９，５０，５１．５２．５３が
一定量回転され、各々予め設定された測定開始位置にセ
ットされる。また、顕微鏡１２の物点Ｐ、は、写真レン
ズ２４の焦点距離に対応して、一定の焦点外し５１Ｎに
くるように位置決めされる。なお、この測定開始位置の
設定のために必要なデータ及び各駆動部の作動プログラ
ムは、ＲＯＭ５５に記憶されている。

こうして各部が測定開始位置にセットされ、このセット
完了信号がＭＰＵ４１にフィードバックされると、顕微
鏡１２によってＣＣＤ３２上に形成された画像が電気信
号として読み取られる。ＣＣＤ３２によって読み取られ
た画像信号は、Ａ／Ｄコンバータ５７によって、ドツト
ごとに輝度を表すデジタル信号として画像演算部５８に
入力される。こうして得られたデジタル信号は、ＶＲＡ
Ｍ５９にドツト座標と対応づけられた画像データとして
格納される。そして、ＭＰＵ４１はこのＶＲＡＭ５９に
格納された画像データを、まず第１スレツシユホールド
レベル信号によって所定の輝度レベルを境にして２値化
し、この２値化された情報をドツト座標と対応し′てＢ
ＲＡＭ６０に格納する。なお、前記第１スレツシユホー
ルドレベル信号は、より高Ｈ度レベルの第２スレツシユ
ホールド信号とともに、キーボード４ｏがらの入力によ
ってＲＡＭ６１にメモリされている。また、ＶＲＡＭ５
９にデジタル信号として格納された画像信号は、信号処
理部６２によって映像表示のための信号処理を受け、こ
れによりモニター１６には第４図に示すような映像が表
示される。この映像は、後群レンズ２４ｂの偏芯に対応
して、いびつな形状をもつ高輝度の核部分３５と、その
回りにコマ状に方向性をもって広がった低輝度のハロー
部分３６とからなるボケ像として映出される。

ところで前述したように、前記ＢＲＡＭ６０には第１ス
レツシユホールドレベル信号によって２値化された２値
化データが格納されている。この第１スレツシユホール
ド信号の輝度レベルは、前記ハロー部分３６の輝度に対
応して決められている。そして、ＭＰＵ４１はＢＲＡＭ
６０の２値化データを参照してその中心位置をＸ軸方向
、Ｙ軸方向の座標位置として算出する。この中心位置を
算出するための演算プログラムはＲＯＭ５５にメモリさ
れており、例えば第４図のハロー部分３６の輪郭からそ
の重心を求めたり、ハロー部分３６の輪郭から円を近似
してその中心を求めればよい。

こうしてハロー部分３６の中心位置が決定されると、そ
の座標データはＲＡＭ６１の所定番地に格納される。な
お、前述した輪郭は必ずしも輪郭線のみを意味するもの
ではなく、ハロー部分３６の形状が特定できるものであ
ればよい。

こうしてハロー部分３６の中心位置がＲＡＭ６１にメモ
リされた後、ＭＰＵ４１は第２スレツシユホールドレベ
ル信号に基づいて、ＶＲＡＭ５９に格納されている画像
データを再び２値化処理する。こうして新たに２値化さ
れたデータによってＢＲＡＭ６０の画像データが書き換
えられる。この第２スレツシユホールドレベル信号の輝
度レベルは、核部分３５の輝度に対応して決められてい
るから、この時点でＢＲＡＭ６０は核部分３５の形状を
表すデータを格納していることになる。引続きＭＰＵ４
１は、このＢＲＡＭ６０の２値化データを参照して前述
と同様の処理を繰り返し、核部分３５の中心位置を求め
、これを座標データとしてＲＡＭ６１０所定番地にメモ
リする。

以上の処理によってハロー部分３６と核部分３５のそれ
ぞれの中心位置を求めた後、ＭＰＵ４１はＲＡＭ６１に
メモリされているそれぞれの中心位置を比較する。すで
に述べたように、前群レンズ２４ａと後群レンズ２４ｂ
との間に芯ずれがあるときには、第４図に示したように
、ハロー部分３６の中心位置３６ａと、核部分３５の中
心位置３５ａとは一致せず、Δｘ、Δｙのずれがでてく
る。こうしてΔｘ、Δｙのずれが検出されると、これを
各々所定の管理値幅内の値（理想的には各々「０」）に
するようにＭＰＵ４１がＸテーブル駆動部４６及びＸテ
ーブル駆動部４７に駆動信号を供出する。この結果、後
群レンズ２４ｂは、Ｘテーブル８とともに前群レンズ２
４ａに対して偏心が減少するようにＸ軸方向及びＹ軸方
向に移動調節される。この移動調節の過程では、例えば
第５図に示したように、ハロー部分３６の中心位置３６
ａと核部分３５の中心位置３５ａとは接近してくる。な
お、顕微鏡１２の倍率を適当に調節しておき、各々の中
心位置３５ａ、３６ａとの間のずれ量Δｘ、Δｙに対し
、Ｘテーブル７、　　Ｘテーブル８の補正移動量を、例
えばに＝１．４としてそれぞれΔｘ×ｋ、ΔｙＸｋのよ
うに拡大して調節できるようにしておくことによって、
芯出し精度を向上させることができる。もちろん、前記
にの値は、芯出し処理の対象となる光学系の構成に応じ
て適宜設定することになる。

以上の移動調節を行い、Δｘ、Δｙの各々の値が所定の
管理値幅内の値になると、第６図に示したように、ハロ
ー部分３６及び核部分３５の１１郭が円になるとともに
、これらの中心位置３６ａ。

３５ａが一致する。かかる状態においては、前群レンズ
２４ａ、後群レンズ２４ｂの各々が偏芯なく整列された
状態、すなわち、芯出しが完了した状態であるから、ビ
ス２５を緊締してこれらを一体に結合することによって
、写真レンズ２４の組立が終了する。そして、キーボー
ド４０から終ｆ信号が入力されると、Ｘテーブル５ある
いはＹテーブル６が移動され、写真レンズ２４が顕微鏡
１２の下から退避した位置に移動されるから、調節済み
の写真レンズ２４を取り出し、次の調節のために新たな
前群レンズ２４ａ、後群レンズ２４ｂをセットすること
になる。

なお、第６図に示した例においては、各々の中心位置３
５ａ、３６ａが画面の中心位置、すなわち光ビーム３０
の光軸３ａとも合致している。しかしながら、核部分３
５．ハロー部分３６のそれぞれの中心位置３５ａ、３６
ａは、前記光軸３ａとは無関係に求められるものである
から、これらの中心位置３５ａ、３６ａを合致させてゆ
く際には、画面の中心位置については考慮する必要がな
い、したがって、画面内であればその中心位置を外れた
他の位置でも、前記中心位１３５ａ、３６ａを合致させ
ることができるものである。。

ところで、前群レンズ２４ａをスリーブ６ａにセットす
るとき、そのセット状態は必ずしも一定ではない。した
がって、Ｘテーブル５．Ｙテーブル６を予め設定されて
いる測定開始位置に移動させたときに、前群レンズ２４
ａの光軸中心が光ビーム３０の光軸３ａからずれている
場合もある。

そして、このずれが大きすぎる場合には、核部分３５は
もとより、ハロー部分３６についてもＣＣＤ３２によっ
て捕捉できないことがある。こうした場合には、ＲＯＭ
５５にメモリされている測定開始位置補正用のプログラ
ムが起動され、ＣＣＤ３２がハロー部分３６を捕捉でき
る位置までＸテーブル５及びＹテーブル６が移動調節さ
れることになる。

さらに、クランプレバ−８ａによって仮クランプされた
後群レンズ２４ｂの位置が前群レンズ２４ａに対して大
きく偏芯している場合には、ハロー部分３６が撮像画面
いっばいに広がり、その輪郭及び中心位置を特定するこ
とができず、しかも核部分３５を識別することもできな
くなる。このようなときには、やはりＲＯＭ５５にメモ
リされているＺ軸補正プログラムが起動し、昇降駆動部
４３を介して顕微鏡１２をＺ軸方向に移動させ、焦点外
し世ｌを小さくする。焦点外し量ｌを小さくしてゆくに
つれ、ハロー部分３６０面積は減少し核部分３５も現れ
てくるようになるものである。

なお、このＺ軸補正プログラムを実行するときには、Ｖ
ＲＡＭ５９にメモリされた画像データを参照しながら、
まず核部分３５が検出される位置まで顕微鏡１２の位置
が調節される。しかる後に、ハロー部分３６の輪郭が得
られるような位置に顕微鏡１２が位置決めされることに
なる。

ハロー部分３６の輪郭が得られるか否かは、ハロー部分
３６の面積に基づいてこれを判別することができる。す
なわち、ＶＲＡＭ５９にメモリされている画像データか
らハロー部分３６の面積を算出することができるから、
こうして算出される面積値が所定範囲に収まるまでＺ軸
補正プログラムを繰り返すようにすればよい。また、ハ
ロー部分３６の面積値が小さすぎるときにも、この面積
値が前記所定範囲内に収まるようにＺ軸補正プログラム
が実行される。これにより、ハロー部分３６及び核部分
３５が適当な大きさになるから、各々の中心位置間のず
れ量Δｘ、Δｙも、調節しやすい適当な値に設定するこ
とができる。

このような芯出し方法では、前群レンズ２４ａの光軸を
、光ビーム３０の光軸３ａと必ずしも合致させなくても
よいという利点がある。すなわち、芯出し調節を行うた
めのデータとしては、ハロー部分３６及び核部分３５の
中心位置であり、これは光ビーム３０の光軸３ａや、基
準となっている前群レンズ２４ａの光軸の位置とは無関
係である。

すなわち、ハロー部分３６及び核部分３５のそれぞれが
ＣＣＤ３２の撮像面内に捕捉されればよいから、測定開
始位置のセツティングも簡便になり、上述のように完全
に自動化する二七が可能となるものである。

以上、図示した実施例にしたがって本発明について説明
してきたが、写真レンズ２４から一定の物体距離位置に
点光源を配置しても、光軸３ａ上には焦点Ｐ０の位置よ
りも上方の所定位置に点像が形成されるようになる。し
たがって、この結像位置から外れた位置に顕微鏡１２の
物点を設定してもほぼ同様の処理で芯出しができること
になるが、汎用性や処理の簡便さを考慮するときには、
やはりコリメータレンズ２９を利用して平行光束となる
光ビーム３０を利用するのがよい。

〔発明の効果〕

以上に説明したように、本発明によれば複合レンズの中
の少なくとも一個のレンズの芯出しを行うにあたり、複
合レンズの焦点面から光軸方向にずれた位置に形成され
るハロー部分及び核部分の像を撮像し、これを画像処理
することによって各々の画像中心を求め、これらの中心
位置間のずれを所定の管理値幅内に収めるようにするこ
とによって芯出しを行うようにしている。したがって、
測定用の光ビームの光軸に対し、複合レンズの基準とな
る光軸を精密に一致させなくてもハロー部分及び核部分
の像を得ることができるから、従来の芯出し作業の前処
理として不可欠であった焦点合わせや光軸合わせなどを
省略し、あるいは完全に自動化することが可能となり、
効率的でしかも精度的にも満足し得る芯出しを行うこと
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の一例を示す概略構成図である。 第２図は第１図の装置の要部断面図である。 第３図は第１図の装置に用いられる回路構成の概略を示
す機能ブロック図である。 第４図乃至第６図は、芯出し過程におけるハロー部分及
び核部分の変化を示す説明図である。 ｌ・・・ベース　　　　２・・・ランプ５・・°Ｘテー
ブル　　６・・・Ｙテーブル７・・・Ｘテーブル　　８
・・・Ｙテーブル１２・・顕微鏡　　　　１３・・昇降
機構１４・・ビデオカメラ　２４・・写真レンズ２４ａ
・・前群レンズ　２４ｂ・・後群レンズ３５・・核部分
　　　　３６・・ハロー部分。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）正パワーをもった複合レンズを構成する複数個の
   レンズの中の少なくとも一個を、その光軸が複合レンズ
   の光軸と一致するように芯出しする複合レンズの芯出し
   方法において、 前記複合レンズに光ビームを通した後、これを前記光ビ
   ームの光軸上に配置された検出光学系に入射させること
   によって、前記検出光学系の結像面に低輝度のハロー部
   分及び高輝度の核部分とからなる像を形成し、この像を
   撮像装置によって撮像して前記ハロー部分及び核部分の
   中心位置をそれぞれ測定し、これらの中心位置相互間の
   ずれ量が所定の管理値幅内に収まるように前記少なくと
   も一個のレンズを光軸と垂直な面内に移動させるように
   したことを特徴とする複合レンズの芯出し方法。
2. （２）前記撮像装置によって撮像されたハロー部分から
   所定レベル以上の輝度をもった領域を抽出するとともに
   この領域からハロー部分の輪郭を特定し、こうして得ら
   れた輪郭からハロー部分の中心位置を求めるようにした
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の複合レン
   ズの芯出し方法。
3. （３）前記各々の中心位置相互間のずれ量をそれぞれΔ
   ｘ、Δｙとしたとき、前記少なくとも一個のレンズをΔ
   ｘ×ｋ、Δｙ×ｋ（但し、ｋは正の数）移動させること
   によって、各々の中心位置相互間のずれ量を所定の管理
   値幅内に収めるようにしたことを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の複合レンズの芯出し方法。
4. （４）前記ハロー部分の中心位置を測定する前にハロー
   部分の面積を算出し、この面積値が所定範囲外の値であ
   るときには、前記検出光学系を光ビームの光軸に沿って
   移動させるようにしたことを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載の複合レンズの芯出し方法。
5. （５）全体として正パワーとなる複合レンズのうちの基
   準となるレンズを保持する第１テーブルと、前記複合レ
   ンズのうちの他の少なくとも一個のレンズをその光軸と
   垂直な面内に移動自在に保持する第２テーブルと、前記
   第１テーブル及び第２テーブルに開設された光通路を介
   して前記複合レンズに光ビームを入射させるための光ビ
   ーム発生手段と、光ビームの光軸に沿って配置され、前
   記複合レンズによる光ビームの結像点から光ビームの光
   軸方向に外れた位置に物点がくるように位置決めされた
   検出光学系と、この検出光学系によって形成されたハロ
   ー部分及び核部分からなる像を撮像する撮像装置と、こ
   の撮像装置からの出力信号に基いてハロー部分及び核部
   分の輪郭を決定するとともに、このハロー部分及び核部
   分の輪郭からそれぞれの中心位置を求める画像演算部と
   、この画像演算部によって求められた前記各々の中心位
   置を一致させるように前記第２テーブルを移動させるた
   めのテーブル駆動装置とを備えたことを特徴とする複合
   レンズの芯出し装置。
6. （６）前記第１テーブルを前記光軸と垂直な面内で移動
   自在とし、撮像装置によってハロー部分が撮像されない
   ときには、前記撮像装置によってハロー部分が捕捉され
   るように前記第１テーブルを移動させるようにしたこと
   を特徴とする特許請求の範囲第５項記載の複合レンズの
   芯出し装置。
7. （７）前記光ビーム発生手段は、光源及び光源からの光
   を平行光ビームにするコリメータレンズとからなり、複
   合レンズにはこの平行光ビームが入射されることを特徴
   とする特許請求の範囲第５項記載の複合レンズの芯出し
   装置。