JPS62158755U - - Google Patents

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JPS62158755U
JPS62158755U JP4788686U JP4788686U JPS62158755U JP S62158755 U JPS62158755 U JP S62158755U JP 4788686 U JP4788686 U JP 4788686U JP 4788686 U JP4788686 U JP 4788686U JP S62158755 U JPS62158755 U JP S62158755U
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ion
electrode
deflection
ion beam
deflection electrode
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  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案実施例の構成を示す図である。
第２図Ａは上記本考案実施例に用いるイオン・ビ
ーム偏向電圧の波形を示す図である。第２図Ｂは
上記本考案実施例の作用説明図である。第３図は
本考案の他の実施例に用いるイオン・ビーム偏向
電圧の波形を示す図である。第４図は本考案の変
形実施例の構成を示す図である。第５図および第
６図は従来技術によるイオン・パルス発生装置の
構成を示す図である。第７図は第６図に示した装
置の作用説明図である。 １…イオン・ガン、２…イオン・ビーム偏向電
極、３…障壁電極、１１…イオン発生源、１２…
イオン加速電極、１３…イオン・ビーム収束用レ
ンズ系。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. イオン発生源と、イオン加速電極と、イオン・
    ビーム収束用電磁レンズ系より成るイオン・ガン
    と、このイオン・ガンより放射されるイオン・ビ
    ームの進路を偏向させるための偏向電極と、所定
    の方向に進行するイオン・ビームだけを通過させ
    るための有孔障壁電極から成り、上記偏向電極に
    、所定の周期で緩急の変動をくり返すイオン・ビ
    ーム偏向電圧が印加されるよう構成されているこ
    とを特徴とする、イオン・パルス発生装置。
JP1986047886U 1986-03-28 1986-03-28 飛行時間型質量分析器のイオン・パルス発生装置 Expired - Lifetime JPH0610609Y2 (ja)

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JP1986047886U JPH0610609Y2 (ja) 1986-03-28 1986-03-28 飛行時間型質量分析器のイオン・パルス発生装置

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JPS62158755U true JPS62158755U (ja) 1987-10-08
JPH0610609Y2 JPH0610609Y2 (ja) 1994-03-16

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ID=30868904

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58152767U (ja) * 1982-04-07 1983-10-13 株式会社東芝 パルスビ−ム発生装置
JPS60112236A (ja) * 1983-11-21 1985-06-18 Hitachi Ltd パルスビ−ム発生装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58152767U (ja) * 1982-04-07 1983-10-13 株式会社東芝 パルスビ−ム発生装置
JPS60112236A (ja) * 1983-11-21 1985-06-18 Hitachi Ltd パルスビ−ム発生装置

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JPH0610609Y2 (ja) 1994-03-16

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