JPS62157750A - 磁気チャックの励磁装置 - Google Patents
磁気チャックの励磁装置Info
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- JPS62157750A JPS62157750A JP29363485A JP29363485A JPS62157750A JP S62157750 A JPS62157750 A JP S62157750A JP 29363485 A JP29363485 A JP 29363485A JP 29363485 A JP29363485 A JP 29363485A JP S62157750 A JPS62157750 A JP S62157750A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は、極性不可逆永久磁石と、極性可逆永久磁石と
、該極性可逆永久磁石の極性を転換させるための電磁コ
イルとを含む磁気チャックならびにその励磁方法および
装置に関する。
、該極性可逆永久磁石の極性を転換させるための電磁コ
イルとを含む磁気チャックならびにその励磁方法および
装置に関する。
（従来技術）
複数の極性可逆永久磁石と、複数の極性不可逆永久磁石
と、該極性不可逆永久磁石の極性を切り換えるための複
数の電磁コイルとを備えた磁気チャックは、一般に、極
性可逆永久磁石の極性を転換させるだめの励磁電流を各
電磁コイルに同時に供給している。しかし、このような
磁気チャックは、一度に多量の電流が流れるため、電源
容量が大きくなり、大容量の回路素子を設けなければな
らず、また極性可逆永久磁石の発熱量、熱歪、磁気歪が
大きく、さらには励磁電流を微細に調節することができ
ない。また、前記の磁気チャックは、これに吸着した磁
性体が着磁され、たとえ磁気チャックを非作動状態、す
なわち被吸着物を吸着する作業面を非励磁状態にしても
、前記磁性体を磁気チャックから外せないことがある。
と、該極性不可逆永久磁石の極性を切り換えるための複
数の電磁コイルとを備えた磁気チャックは、一般に、極
性可逆永久磁石の極性を転換させるだめの励磁電流を各
電磁コイルに同時に供給している。しかし、このような
磁気チャックは、一度に多量の電流が流れるため、電源
容量が大きくなり、大容量の回路素子を設けなければな
らず、また極性可逆永久磁石の発熱量、熱歪、磁気歪が
大きく、さらには励磁電流を微細に調節することができ
ない。また、前記の磁気チャックは、これに吸着した磁
性体が着磁され、たとえ磁気チャックを非作動状態、す
なわち被吸着物を吸着する作業面を非励磁状態にしても
、前記磁性体を磁気チャックから外せないことがある。
（発明の目的）
本発明は、電源容量が小さくなり、小容量の回路素子を
用いることができ、極性可逆永久磁石の発熱量、熱歪、
磁気歪が小さく、励磁電流を微細に調節することができ
、被吸着物の形状、材質、加工精度によっては磁気チャ
ックを非作動にすることによりその被吸着物を消磁する
ことができる、磁気チャックならびにその励磁方法およ
び装置を提供することを目的とする。
用いることができ、極性可逆永久磁石の発熱量、熱歪、
磁気歪が小さく、励磁電流を微細に調節することができ
、被吸着物の形状、材質、加工精度によっては磁気チャ
ックを非作動にすることによりその被吸着物を消磁する
ことができる、磁気チャックならびにその励磁方法およ
び装置を提供することを目的とする。
（発明の構成、作用効果）
本発明の磁気チャックは、少なくとも１つの極性不可逆
永久磁石と、該極性不可逆永久磁石に共通の磁気回路部
材により磁気的に接続された複数の極性可逆永久磁石と
、該極性可逆永久磁石の極性を磁石毎に転換させる複数
の励磁コイルとを含む。
永久磁石と、該極性不可逆永久磁石に共通の磁気回路部
材により磁気的に接続された複数の極性可逆永久磁石と
、該極性可逆永久磁石の極性を磁石毎に転換させる複数
の励磁コイルとを含む。
従って、本発明の磁気チャックによれば、前記極性不可
逆永久磁石に共通に磁気的に接続された前記極性可逆永
久磁石の極性を転換させるための前記励磁コイルを複数
に分け、前記磁気チャックの作業面を励磁状態および非
励磁状態におくべく前記極性可逆永久磁石の極性を転換
するときに前記励磁電流を分けた前記励磁コイルの群毎
に休止時間をおいて順次供給することができる。このよ
うに、励磁電流を励磁コイルに休止時間をおいて順次供
給すると、一度に流れる励磁電流量が少なく、電源容量
が小さくなり、小容量の回路素子を用いることができる
ため、極性可逆永久磁石の発熱量、熱歪、磁気歪が小さ
くなる。また、励磁電流を調節すればよいため、励磁電
流を微細にかつ正確に調節することができる。さらに、
励磁電流に休止時間があるため、特に磁気チャックを非
作動状態にするときに各励磁コイルに励磁電流を供給す
るたびに被吸着物に逆磁界が作用し、その結果被吸着物
の形状、材質、加工精度によってはその被吸着物が脱磁
される。
逆永久磁石に共通に磁気的に接続された前記極性可逆永
久磁石の極性を転換させるための前記励磁コイルを複数
に分け、前記磁気チャックの作業面を励磁状態および非
励磁状態におくべく前記極性可逆永久磁石の極性を転換
するときに前記励磁電流を分けた前記励磁コイルの群毎
に休止時間をおいて順次供給することができる。このよ
うに、励磁電流を励磁コイルに休止時間をおいて順次供
給すると、一度に流れる励磁電流量が少なく、電源容量
が小さくなり、小容量の回路素子を用いることができる
ため、極性可逆永久磁石の発熱量、熱歪、磁気歪が小さ
くなる。また、励磁電流を調節すればよいため、励磁電
流を微細にかつ正確に調節することができる。さらに、
励磁電流に休止時間があるため、特に磁気チャックを非
作動状態にするときに各励磁コイルに励磁電流を供給す
るたびに被吸着物に逆磁界が作用し、その結果被吸着物
の形状、材質、加工精度によってはその被吸着物が脱磁
される。
また、本発明の磁気チャックの励磁方法は、少なくとも
１つの極性不可逆永久磁石と、該極性不可逆永久磁石に
共通の磁気回路部材により磁気的に接続された複数の極
性可逆永久磁石と、該極性可逆永久磁石の極性を磁石毎
に転換させる複数のあって、前記極性不可逆永久磁石に
共通に磁気的に接続された前記極性可逆永久磁石の極性
を転換させるための前記励磁コイルを複数の群に分け、
前記磁気チャックの作業面を励磁状態および非励磁状態
におくべく前記極性可逆永久磁石の極性を転換するとき
に前記励磁電流を分けた前記励磁コイルの群毎に休止時
間をおいて順次供給することを特徴とする。
１つの極性不可逆永久磁石と、該極性不可逆永久磁石に
共通の磁気回路部材により磁気的に接続された複数の極
性可逆永久磁石と、該極性可逆永久磁石の極性を磁石毎
に転換させる複数のあって、前記極性不可逆永久磁石に
共通に磁気的に接続された前記極性可逆永久磁石の極性
を転換させるための前記励磁コイルを複数の群に分け、
前記磁気チャックの作業面を励磁状態および非励磁状態
におくべく前記極性可逆永久磁石の極性を転換するとき
に前記励磁電流を分けた前記励磁コイルの群毎に休止時
間をおいて順次供給することを特徴とする。
さらに、本発明の磁気チャックの励磁装設は。
少なくとも１つの極性不可逆永久磁石と、該極性不可逆
永久磁石に共通の磁気回路部材により磁気的に接続され
た複数の極性可逆永久磁石と、該極性可逆永久磁石の極
性を磁石毎に転換させる複数の励磁コイルとを含む、磁
気チャックの励磁ｉλであって、前記励磁コイルに供給
する励磁電流の極性を転換するための切換回路と、前記
極性不可逆永久磁石に共通に磁気的に接続された前記極
性可逆永久磁石の極性を転換させるための前記励磁コイ
ルを複数の群に分け、前記励磁コイルを前記群毎に休止
時間をおいて順次選択して前記励磁電流を前記励磁コイ
ルに供給する選択回路と、前記切換回路および前記選択
回路を制御する制御回路とを含む。
永久磁石に共通の磁気回路部材により磁気的に接続され
た複数の極性可逆永久磁石と、該極性可逆永久磁石の極
性を磁石毎に転換させる複数の励磁コイルとを含む、磁
気チャックの励磁ｉλであって、前記励磁コイルに供給
する励磁電流の極性を転換するための切換回路と、前記
極性不可逆永久磁石に共通に磁気的に接続された前記極
性可逆永久磁石の極性を転換させるための前記励磁コイ
ルを複数の群に分け、前記励磁コイルを前記群毎に休止
時間をおいて順次選択して前記励磁電流を前記励磁コイ
ルに供給する選択回路と、前記切換回路および前記選択
回路を制御する制御回路とを含む。
従って、本発明の磁気チャックの励磁方法お、よび装置
によれば、励磁電流を励磁コイルに休止時間をおいて順
次供給するため、一度に流れる励磁電流量が少なく、し
たがって電源容量が小さくなり、小容量の回路素子を用
いることができ、極性可逆永久磁石の発ｆ８量、熱歪、
磁気歪が小さくなる。また、少ない励磁電流を調節すれ
ばよいため、励磁電流を微細にかつ正確に調節すること
ができる。さらに、励磁電流に休止時間があるため、特
に磁気チャックを非作動状態にするときに各励磁コイル
に励磁電流を供給するたびに被吸着物に逆磁界が作用し
、その結果被吸着物の形状、材質、加工精度によっては
その被吸着物が脱磁される。
によれば、励磁電流を励磁コイルに休止時間をおいて順
次供給するため、一度に流れる励磁電流量が少なく、し
たがって電源容量が小さくなり、小容量の回路素子を用
いることができ、極性可逆永久磁石の発ｆ８量、熱歪、
磁気歪が小さくなる。また、少ない励磁電流を調節すれ
ばよいため、励磁電流を微細にかつ正確に調節すること
ができる。さらに、励磁電流に休止時間があるため、特
に磁気チャックを非作動状態にするときに各励磁コイル
に励磁電流を供給するたびに被吸着物に逆磁界が作用し
、その結果被吸着物の形状、材質、加工精度によっては
その被吸着物が脱磁される。
（実施例）
以下、図面に示す本発明の実施例について説明する。
第１図〜第３図に示す磁気チャック１０は、面板１２と
、磁性材料から成る一端開放のハウジング１４と、該ハ
ウジング内に配置された接続体１６と、ハウジング１４
内に配置された複数の極性可逆永久磁石１８ａ、１８ｂ
と、該極性可逆永久磁石の磁化方向すなわち極性を転換
させるべく極性可逆永久磁石１８ａ、１８ｂに巻かれた
複数の励磁コイル２０ａ 、２０ｂと、ハウジング１４
内に配置された極性不可逆永久磁石２２とを含む。
、磁性材料から成る一端開放のハウジング１４と、該ハ
ウジング内に配置された接続体１６と、ハウジング１４
内に配置された複数の極性可逆永久磁石１８ａ、１８ｂ
と、該極性可逆永久磁石の磁化方向すなわち極性を転換
させるべく極性可逆永久磁石１８ａ、１８ｂに巻かれた
複数の励磁コイル２０ａ 、２０ｂと、ハウジング１４
内に配置された極性不可逆永久磁石２２とを含む。
面板１２は、細長い多数の第１および第２の磁極片２６
．２８と、該磁極片の間に配置された板状の非磁性材料
から成るスペーサ３０とを有する。第１および第２の磁
極片２６．２８は、スペーサ３０を間にして互いに並列
的にかつ交互に配置され、スペーサ３０と共に磁性体８
６を吸着するための作業面３２を規定する。スペーサ３
０は、厚さ方向を一致させて配置されている。
．２８と、該磁極片の間に配置された板状の非磁性材料
から成るスペーサ３０とを有する。第１および第２の磁
極片２６．２８は、スペーサ３０を間にして互いに並列
的にかつ交互に配置され、スペーサ３０と共に磁性体８
６を吸着するための作業面３２を規定する。スペーサ３
０は、厚さ方向を一致させて配置されている。
第１の磁極片２６は、第２図に示すように、その長手方
向の中央に切り欠き部３４を有し、第２の磁極片２８は
、第３図に示すように、その長手方向両端に切り欠き部
３６を有する。各切り欠き部３４．３６はハウジング１
４に向けて開放し、また各切り欠き部３４．３６には非
磁性部材３８．４０が配置されている。
向の中央に切り欠き部３４を有し、第２の磁極片２８は
、第３図に示すように、その長手方向両端に切り欠き部
３６を有する。各切り欠き部３４．３６はハウジング１
４に向けて開放し、また各切り欠き部３４．３６には非
磁性部材３８．４０が配置されている。
第１および第２の磁極片２６．２８．スペーサ３０およ
び非磁性部材３８．４０は一体的に結合されて面板１２
を構成し、面板１２は、各磁極片２６．２８がハウジン
グ１４の幅方向へ伸びかつハウジング１４の長手方向に
間隔をおいて交互に位置するように、ハウジング１４の
開放端に配置されている。
び非磁性部材３８．４０は一体的に結合されて面板１２
を構成し、面板１２は、各磁極片２６．２８がハウジン
グ１４の幅方向へ伸びかつハウジング１４の長手方向に
間隔をおいて交互に位置するように、ハウジング１４の
開放端に配置されている。
ハウジング１４は、面板１２から間隔をおいてこれとモ
行に配置された底板部４２と、該底板部の上に位置する
枠部４４とを有する。枠部４４のうち、第１および第２
の磁極片２６．２８の幅方向すなわち面板１２の長手方
向へ伸びる２つの部分は、全ての第１の磁極片２６の長
手方向両端部に磁気的に接続され、また非磁性部材４０
により全ての第２の磁極片２８と磁気的に絶縁されてい
る。
行に配置された底板部４２と、該底板部の上に位置する
枠部４４とを有する。枠部４４のうち、第１および第２
の磁極片２６．２８の幅方向すなわち面板１２の長手方
向へ伸びる２つの部分は、全ての第１の磁極片２６の長
手方向両端部に磁気的に接続され、また非磁性部材４０
により全ての第２の磁極片２８と磁気的に絶縁されてい
る。
接続体１６は、底板部４２と面板１２との間に配置され
かつ第１および第２の磁極片２６ 、２８の幅方向へ伸
びる２つの磁性部材４６．４８から成る。磁性部材４６
は底板部４２と磁性部材４８との間に配置されている。
かつ第１および第２の磁極片２６ 、２８の幅方向へ伸
びる２つの磁性部材４６．４８から成る。磁性部材４６
は底板部４２と磁性部材４８との間に配置されている。
磁性部材４６の下面は、極性不可逆永久磁石により底板
部４２に磁気的に接続されている。
部４２に磁気的に接続されている。
磁性部材４８は、磁性部材４６の幅寸法よりも大きい幅
寸法を有し、磁性部材４６と面板１２どの間に配置され
ている。磁性部材４８は、非磁性部材３８により全ての
第１の磁極片２６と磁気的に絶縁され、また全ての第２
の磁極片２８の長手方向中央部に磁気的に接続されてい
る。
寸法を有し、磁性部材４６と面板１２どの間に配置され
ている。磁性部材４８は、非磁性部材３８により全ての
第１の磁極片２６と磁気的に絶縁され、また全ての第２
の磁極片２８の長手方向中央部に磁気的に接続されてい
る。
極性可逆永久磁石Ｌ８ａ、１８ｂは、底板部４２と磁性
部材４８との間にあって磁性部材４６の幅方向の端部と
枠１ｉ４４との間に配置されている。極性可逆永久磁石
１８ａ、１８ｂの一方の磁極面は枠部４４の内側面に磁
気的に接触し、他方の磁極面は磁性部材４６の幅方向端
面に磁気的に接触する。このため、極性可逆永久磁石１
８ａ。
部材４８との間にあって磁性部材４６の幅方向の端部と
枠１ｉ４４との間に配置されている。極性可逆永久磁石
１８ａ、１８ｂの一方の磁極面は枠部４４の内側面に磁
気的に接触し、他方の磁極面は磁性部材４６の幅方向端
面に磁気的に接触する。このため、極性可逆永久磁石１
８ａ。
１８ｂの一方の磁極面は枠部４４を経て第１の磁極片２
６に磁気的に接続され、他方の磁極面は接続体１６を経
て第２の磁極片２８に磁気的に接続される。
６に磁気的に接続され、他方の磁極面は接続体１６を経
て第２の磁極片２８に磁気的に接続される。
極性可逆永久磁石１８ａ、１８ｂは、アルニコ磁石のよ
うに低保磁力の磁石であり、従って外８１１磁界によっ
てその磁化方向すなわちＮ極とＳ極の位置を反転される
。また、極性可逆永久磁石１８ａ、１８ｂは、図示の例
では励磁コイル２０ａ、２０ｂにより第１および第２の
磁極片２６．２８の長手方向と平行な方向に磁化される
。極性可逆永久磁石１８ａ、１８ｂの磁化方向は、励磁
コイル２０ａ、２０ｂにパルスのような直流電流を短時
間流し、極性可逆永久磁石１８ａ、１８ｂにその磁力線
の向きと逆向きの外部磁界を付与することにより、反転
することができる。
うに低保磁力の磁石であり、従って外８１１磁界によっ
てその磁化方向すなわちＮ極とＳ極の位置を反転される
。また、極性可逆永久磁石１８ａ、１８ｂは、図示の例
では励磁コイル２０ａ、２０ｂにより第１および第２の
磁極片２６．２８の長手方向と平行な方向に磁化される
。極性可逆永久磁石１８ａ、１８ｂの磁化方向は、励磁
コイル２０ａ、２０ｂにパルスのような直流電流を短時
間流し、極性可逆永久磁石１８ａ、１８ｂにその磁力線
の向きと逆向きの外部磁界を付与することにより、反転
することができる。
励磁コイル２０ａ、２０ｂは、第４図に示すように、第
１の群２０ａと、第２の群２０ｂとに分けられてそれぞ
れ第４図に示す励磁装置ｉ！１５０に接続されている。
１の群２０ａと、第２の群２０ｂとに分けられてそれぞ
れ第４図に示す励磁装置ｉ！１５０に接続されている。
コイル２０ａ、２０ｂには、各極性可逆永久磁石１８ａ
、１８ｂの磁性部材４６側の磁極面が同一の極性となる
ような直流電流が供給される。励磁コイル２０ａ、２０
ｂは３以上の群に分けてもよい。
、１８ｂの磁性部材４６側の磁極面が同一の極性となる
ような直流電流が供給される。励磁コイル２０ａ、２０
ｂは３以上の群に分けてもよい。
なお、図示の磁気チャック１０では、全ての極性可逆永
久磁石１８ａ、１８ｂが磁性部材４６およびハウジング
１４を経て全ての極性不可逆永久磁石２２に磁気的に接
続されたいわゆる１磁気回路の磁気チャックであるため
、各励磁コイルを第１の群２０ａと、第２の群２０ｂと
に分けられているが、複数の磁気回路に分割された磁気
チャックであるときは磁気回路毎に複数の極性可逆永久
磁石を配置して該極性可逆永久磁石の磁化方向を反転さ
せる励磁コイルを第１の群と第２の群とに分割すればよ
い。
久磁石１８ａ、１８ｂが磁性部材４６およびハウジング
１４を経て全ての極性不可逆永久磁石２２に磁気的に接
続されたいわゆる１磁気回路の磁気チャックであるため
、各励磁コイルを第１の群２０ａと、第２の群２０ｂと
に分けられているが、複数の磁気回路に分割された磁気
チャックであるときは磁気回路毎に複数の極性可逆永久
磁石を配置して該極性可逆永久磁石の磁化方向を反転さ
せる励磁コイルを第１の群と第２の群とに分割すればよ
い。
すなわち、共通に°磁気的に接続される極性不可逆永久
磁石と極性可逆永久磁石の組みを複数力する（複数の磁
気回路を有する）？ａ気チャックの場合には、１つの磁
気回路毎に複数の極性可逆永久磁石とそれのための励磁
コイルとを配置し、各磁気回路の励磁コイルを第１の群
と第２の群とに分ければよい。
磁石と極性可逆永久磁石の組みを複数力する（複数の磁
気回路を有する）？ａ気チャックの場合には、１つの磁
気回路毎に複数の極性可逆永久磁石とそれのための励磁
コイルとを配置し、各磁気回路の励磁コイルを第１の群
と第２の群とに分ければよい。
極性不可逆永久磁石２２は、希土類金属磁石またはフェ
ライト磁石のように高保磁力を有する板状の磁石であり
、外部磁界によってその極性すなわちＮ極とＳ極の位置
を反転されない、極性不可逆永久磁石２２は底板部４２
と磁性部材４６との間に配置されており、一方の磁極面
が底板部４２の上面秤接触し、他方の磁極面が磁性部材
４６の下面に接触する。以下の説明では、第１の永久磁
石２２は、ハウジング１４側の磁極面がＮ、磁性部材４
６側の磁極面がＳであるものとする。
ライト磁石のように高保磁力を有する板状の磁石であり
、外部磁界によってその極性すなわちＮ極とＳ極の位置
を反転されない、極性不可逆永久磁石２２は底板部４２
と磁性部材４６との間に配置されており、一方の磁極面
が底板部４２の上面秤接触し、他方の磁極面が磁性部材
４６の下面に接触する。以下の説明では、第１の永久磁
石２２は、ハウジング１４側の磁極面がＮ、磁性部材４
６側の磁極面がＳであるものとする。
なお、第１および第２の磁極２６．２８間のそれぞれに
第２の極性不可逆永久磁石を配置してもよい。この場合
、該第２の極性不可逆永久磁石は、希土類金属磁石また
はフェライト磁石のように高保磁力を有する板状の磁石
であり、その厚さ方向に磁化され、同じ極性の磁極面が
互いに対向しかつ第１および第２の磁極片２６．２８に
極性不可逆永久磁石２２と同じ極性の磁界を付与するよ
うに、配置される。
第２の極性不可逆永久磁石を配置してもよい。この場合
、該第２の極性不可逆永久磁石は、希土類金属磁石また
はフェライト磁石のように高保磁力を有する板状の磁石
であり、その厚さ方向に磁化され、同じ極性の磁極面が
互いに対向しかつ第１および第２の磁極片２６．２８に
極性不可逆永久磁石２２と同じ極性の磁界を付与するよ
うに、配置される。
磁気チャックｌＯを励磁状態および非励磁状態にするた
めの第４図に示す励磁装置５０は、商用交流電源５２か
ら供給される交流を整流し、所定レベルの直流の励磁電
流を発生する整流回路５４を含む、該整流回路５４は、
複数の抵抗５６と、複数のコンデンサ５８と、複数のダ
イオード６０と、複数のサイリスタ６２とを用いた既知
のブリッジ回路から成る。整流回路５４からの前記励磁
電流の発生時およびその値は、制御回路６４からサイリ
スタ６２のゲートに供給されるトリガパルスにより制御
される。
めの第４図に示す励磁装置５０は、商用交流電源５２か
ら供給される交流を整流し、所定レベルの直流の励磁電
流を発生する整流回路５４を含む、該整流回路５４は、
複数の抵抗５６と、複数のコンデンサ５８と、複数のダ
イオード６０と、複数のサイリスタ６２とを用いた既知
のブリッジ回路から成る。整流回路５４からの前記励磁
電流の発生時およびその値は、制御回路６４からサイリ
スタ６２のゲートに供給されるトリガパルスにより制御
される。
整流回路５４で発生された前記励磁電波は、極性可逆永
久磁石１８ａ、１８ｂの磁化方向すなわち極性を切り換
えるべく、励磁コイル２０ａ 。
久磁石１８ａ、１８ｂの磁化方向すなわち極性を切り換
えるべく、励磁コイル２０ａ 。
２０ｂに供給する前記励磁電流の方向を切り換えるため
の切換回路６６に供給される。極性切換回路６６は、制
御回路６４により制御されるリレー６８と、その２つの
常閉接点６８ａ、６８ｂおよび２つの常開接点６８ｃ、
６８ｄとから成る。常閉接１４．６８ ａは前記励磁電
流のための入力端子７０ａと出力端子７２ａ、７２ｃと
に、常閉接点６８ｂは前記励磁電流のための入力端子７
０ｂと出力端子７２ｂとに、常開接点６８ｃは入力端子
７０ａと出力端子７２ｂとに、そして常開接点６８ｄは
入力端子７０ｂと出力端子７２ａ。
の切換回路６６に供給される。極性切換回路６６は、制
御回路６４により制御されるリレー６８と、その２つの
常閉接点６８ａ、６８ｂおよび２つの常開接点６８ｃ、
６８ｄとから成る。常閉接１４．６８ ａは前記励磁電
流のための入力端子７０ａと出力端子７２ａ、７２ｃと
に、常閉接点６８ｂは前記励磁電流のための入力端子７
０ｂと出力端子７２ｂとに、常開接点６８ｃは入力端子
７０ａと出力端子７２ｂとに、そして常開接点６８ｄは
入力端子７０ｂと出力端子７２ａ。
７２ｃとにそれぞれ接続されている。
切換回路６６の出力端子７２ａ、７２ｂ。
７２ｃは、前記励磁電流を供給すべき励磁コイル２０ａ
、２０ｂを選択するための選択回路７４が接続されてい
る。該選択回路７４は、制御回路６４により制御される
リレー７６と、その常閉接点７６ａおよび常開接点７８
ｂとから成る。常閉接ｒ７．７６ ａは端子７２ａ、７
８ａに接続され、常開接点７６ｂは端子７２ｃ 、７８
ｃに接続されている。端子７２ｂと端子７８ｂは短絡さ
れている。
、２０ｂを選択するための選択回路７４が接続されてい
る。該選択回路７４は、制御回路６４により制御される
リレー７６と、その常閉接点７６ａおよび常開接点７８
ｂとから成る。常閉接ｒ７．７６ ａは端子７２ａ、７
８ａに接続され、常開接点７６ｂは端子７２ｃ 、７８
ｃに接続されている。端子７２ｂと端子７８ｂは短絡さ
れている。
励磁コイル２０ａは端子７８ａ、７８ｂに接続されてい
るのに対し、励磁コイル２０ｂは端子７８ｂ、７８ｃに
接続されている。
るのに対し、励磁コイル２０ｂは端子７８ｂ、７８ｃに
接続されている。
制御回路６４には、磁気チャック１０を励磁状態、非励
磁状態にするためのスイッチ８ｏと、励磁電流の電圧レ
ベルを設定するための設定回路８２が接続されている。
磁状態にするためのスイッチ８ｏと、励磁電流の電圧レ
ベルを設定するための設定回路８２が接続されている。
設定回路８２は励磁コイル２０ａに供給する励磁電流の
値を設定するための可変抵抗８４ａと、励磁コイル２０
ｂに供給する励磁電流の値を設定するための可変抵抗８
４ｂとから成る。
値を設定するための可変抵抗８４ａと、励磁コイル２０
ｂに供給する励磁電流の値を設定するための可変抵抗８
４ｂとから成る。
チャック１０の使用時、第５図に示すように、磁気チャ
ック１０を励磁状態におくべくスイッチ８０の接点８０
ａが時刻Ｔ、に接続されると、制御回路６４は、先ず切
換回路６６および選択回路７４のリレー６８．７６を作
動させることなく、時刻Ｔ２からＴ３までの間整流回路
５４のサイリスタ６２にゲートパルスを供給する。これ
により、整流回路５４から出力される励磁電流が接点６
８ａから接点７６ａ、励磁コイル２０ａおよび接点６８
ｂを経て流れるため、励磁コイル２０ａが巻かれた極性
可逆永久磁石１８ａは、第２図および第３図とは逆に、
すなわち、ハウジング１４例の極がＮ極、接続体１６側
の極がＳ極の状態に磁化される。
ック１０を励磁状態におくべくスイッチ８０の接点８０
ａが時刻Ｔ、に接続されると、制御回路６４は、先ず切
換回路６６および選択回路７４のリレー６８．７６を作
動させることなく、時刻Ｔ２からＴ３までの間整流回路
５４のサイリスタ６２にゲートパルスを供給する。これ
により、整流回路５４から出力される励磁電流が接点６
８ａから接点７６ａ、励磁コイル２０ａおよび接点６８
ｂを経て流れるため、励磁コイル２０ａが巻かれた極性
可逆永久磁石１８ａは、第２図および第３図とは逆に、
すなわち、ハウジング１４例の極がＮ極、接続体１６側
の極がＳ極の状態に磁化される。
次いで、制御回路６４は、リレー７６を作動させた状態
で時刻Ｔ４から時刻Ｔ５の間サイリスタ６２にゲートパ
ルスを供給する。これにより、整流回路５４から出力さ
れる励磁電流が接点６８ａから接点７６ｂ、励磁コイル
２０ｂおよび接点６８ｂを経て流れるため、励磁コイル
２０ｂが巻かれた極性可逆永久磁石１８ｂは、極性可逆
永久磁石１８ａのように、ハウジング１４側の極がＮ極
、接続体１６側の極がＳ極の状態に磁化される。
で時刻Ｔ４から時刻Ｔ５の間サイリスタ６２にゲートパ
ルスを供給する。これにより、整流回路５４から出力さ
れる励磁電流が接点６８ａから接点７６ｂ、励磁コイル
２０ｂおよび接点６８ｂを経て流れるため、励磁コイル
２０ｂが巻かれた極性可逆永久磁石１８ｂは、極性可逆
永久磁石１８ａのように、ハウジング１４側の極がＮ極
、接続体１６側の極がＳ極の状態に磁化される。
この結果、第１の磁極片２６は永久磁石１８ａ。
１８ｂ、２２のＮ極に磁気的に接続するため永久磁石１
８ａ、１８ｂ、２２のＮ極として作用し、第２の磁極片
２８は永久磁石１８ａ、１８ｂ。
８ａ、１８ｂ、２２のＮ極として作用し、第２の磁極片
２８は永久磁石１８ａ、１８ｂ。
２２のＳ極に磁気的に接続するため全ての永久磁石１８
ａ、ｔａｂ、２２のＳ極として作用する。
ａ、ｔａｂ、２２のＳ極として作用する。
この励磁状態のときに磁性体８６に作用する磁束量Ｆ８
６は、第７図（Ａ）に示すように、Ｆ８Ｂ＝Ｆ２２＋Ｆ
１８ａ＋Ｆ１８ｂ である。ここに、 Ｆ２２＝磁石２２の磁束量 Ｆ１８ａ＝磁石１８ａの磁束量 Ｆ１８ｂ＝磁石１８ｂの磁束量 Ｆ２２＝Ｆ１８ａ＋Ｆ１８ｂ である、これにより、作業面３２は励磁状態（作動状態
）におかれ、磁性体８６は吸着される。
６は、第７図（Ａ）に示すように、Ｆ８Ｂ＝Ｆ２２＋Ｆ
１８ａ＋Ｆ１８ｂ である。ここに、 Ｆ２２＝磁石２２の磁束量 Ｆ１８ａ＝磁石１８ａの磁束量 Ｆ１８ｂ＝磁石１８ｂの磁束量 Ｆ２２＝Ｆ１８ａ＋Ｆ１８ｂ である、これにより、作業面３２は励磁状態（作動状態
）におかれ、磁性体８６は吸着される。
これに対し、第６図に示すように、磁気チャック１０を
非ｌ１ｌＩ］磁状態におくべくスイッチ８０の接点８０
ｂが時刻ｔ１に投入されると、制御回路６４は、先ず切
換回路６６のリレー６８を作動させた状態で、時刻ｔ２
からｔ３までの間整流回路５４のサイリスタ６２にゲー
トパルスを供給する。このときの励磁電流は、極性可逆
永久磁石２０ａの磁化方向を完全に反転させる値ではな
い。これにより、整流回路５４から出力される励磁電流
が接点６８ｃから励磁コイル２０ａ、接点７６ａおよび
６８ｄを経て流れ、励磁コイル２０ａが巻かれた極性可
逆永久磁石１８ａは、第２図および第３図に示すように
、ハウジング１４側の極がＳ極、接続体１６側の極がＮ
極となる磁束を作用を受ける。
非ｌ１ｌＩ］磁状態におくべくスイッチ８０の接点８０
ｂが時刻ｔ１に投入されると、制御回路６４は、先ず切
換回路６６のリレー６８を作動させた状態で、時刻ｔ２
からｔ３までの間整流回路５４のサイリスタ６２にゲー
トパルスを供給する。このときの励磁電流は、極性可逆
永久磁石２０ａの磁化方向を完全に反転させる値ではな
い。これにより、整流回路５４から出力される励磁電流
が接点６８ｃから励磁コイル２０ａ、接点７６ａおよび
６８ｄを経て流れ、励磁コイル２０ａが巻かれた極性可
逆永久磁石１８ａは、第２図および第３図に示すように
、ハウジング１４側の極がＳ極、接続体１６側の極がＮ
極となる磁束を作用を受ける。
このときに磁性体８６に作用する磁束量Ｆ８６は、第７
図（Ｂ）に示すように、 Ｆ８６＝Ｆ２２＋ΔＦ１８ａ＋Ｆ１８ｂ−Ｆ２０ａ−Δ
Ｆ１８ａ’ である。ここに、 ΔＦ１８ａ＝磁石１８ａの正の残留磁束量ΔＦＬ８ａ’
＝磁石１８ａの反転された磁束量Ｆ２０ａ＝励磁コイル
２０ａの磁束量 Ｆ１８ａ＝ΔＦ１８ａ＋ΔＦ１８ａ’ である。これにより、極性可逆永久磁石１８ａは全体と
してハウジング１４側の極がＳ極、接続体１６側の極が
Ｎ極の状態に弱く磁化されており、また作業面３２は励
磁状態（作動状態）に維持され、磁性体８６は吸着され
ている。
図（Ｂ）に示すように、 Ｆ８６＝Ｆ２２＋ΔＦ１８ａ＋Ｆ１８ｂ−Ｆ２０ａ−Δ
Ｆ１８ａ’ である。ここに、 ΔＦ１８ａ＝磁石１８ａの正の残留磁束量ΔＦＬ８ａ’
＝磁石１８ａの反転された磁束量Ｆ２０ａ＝励磁コイル
２０ａの磁束量 Ｆ１８ａ＝ΔＦ１８ａ＋ΔＦ１８ａ’ である。これにより、極性可逆永久磁石１８ａは全体と
してハウジング１４側の極がＳ極、接続体１６側の極が
Ｎ極の状態に弱く磁化されており、また作業面３２は励
磁状態（作動状態）に維持され、磁性体８６は吸着され
ている。
励磁コイル１８ａへの励磁電流が断たれると、磁性体８
６に作用する磁束量Ｆ８６は、第７図（Ｃ）に示す値に
なる。
６に作用する磁束量Ｆ８６は、第７図（Ｃ）に示す値に
なる。
次いで、制御回路６４は、リレー６８．７６を作動させ
た状態で時刻ｔ４から時刻ｔ５の間サイリスタ６２にゲ
ートパルスを供給する。これにより、整流回路５４から
出力される励磁電流が接点６８ｃから励磁コイル２０ｂ
、接点７６ｂおよび６８ｄを経て流れるため、励磁コイ
ル２０ｂが巻かれた極性可逆永久磁石１８ｂは、／＼ウ
ジング１４側の極がＳ極、接続体１６側の極がＮ極の状
態に磁化される。
た状態で時刻ｔ４から時刻ｔ５の間サイリスタ６２にゲ
ートパルスを供給する。これにより、整流回路５４から
出力される励磁電流が接点６８ｃから励磁コイル２０ｂ
、接点７６ｂおよび６８ｄを経て流れるため、励磁コイ
ル２０ｂが巻かれた極性可逆永久磁石１８ｂは、／＼ウ
ジング１４側の極がＳ極、接続体１６側の極がＮ極の状
態に磁化される。
このとき、磁性体８６に作用する磁束１Ｆ８６は、ｔＪ
Ｉ、７図（Ｄ）に示すように、Ｆ８６＝Ｆ２２＋ΔＦ１
８ａ−ΔＦ１８ａ ’−Ｆｉ８ｂ’−Ｆ２０ｂ となる。ここに、 ΔＦ１８ｂ＝磁石１８ｂの反転された磁束量Ｆ２０ｂ’
＝励磁コイル２０ｂの磁束量Ｆ１８ｂ＝ΔＦ１８ｂ’ Ｆ２２＝ ΔＦ１８ａ＋ΔＦ１８ａ’ ＋Ｆ１８ｂ’ である。このとき磁性体８６は、第７図（Ｅ）に示すよ
うな逆方向の磁束を受ける。しかし、このとき磁性体８
６が受ける磁束量は、励磁コイル２０ａ、２０ｂに同時
に励磁電流を供給する場合に比べて少なく、従って磁性
体８６は強く着磁されることがない。
Ｉ、７図（Ｄ）に示すように、Ｆ８６＝Ｆ２２＋ΔＦ１
８ａ−ΔＦ１８ａ ’−Ｆｉ８ｂ’−Ｆ２０ｂ となる。ここに、 ΔＦ１８ｂ＝磁石１８ｂの反転された磁束量Ｆ２０ｂ’
＝励磁コイル２０ｂの磁束量Ｆ１８ｂ＝ΔＦ１８ｂ’ Ｆ２２＝ ΔＦ１８ａ＋ΔＦ１８ａ’ ＋Ｆ１８ｂ’ である。このとき磁性体８６は、第７図（Ｅ）に示すよ
うな逆方向の磁束を受ける。しかし、このとき磁性体８
６が受ける磁束量は、励磁コイル２０ａ、２０ｂに同時
に励磁電流を供給する場合に比べて少なく、従って磁性
体８６は強く着磁されることがない。
励磁コイル２０ｂへの励磁電流が断たれると、磁性体８
６に作用する磁束量は第７図（Ｆ）のようになり、磁性
体８６には正の磁束が作用し、これにより磁性体８６は
消磁作用を受ける。
６に作用する磁束量は第７図（Ｆ）のようになり、磁性
体８６には正の磁束が作用し、これにより磁性体８６は
消磁作用を受ける。
次に、制御回路６４は、リレー６８を作動させた状態で
時刻ｔ６から時刻ｔ７の間サイリスタ６２にゲートパル
スを供給する。これにより、整流回路５４から出力され
る励磁電流が接点６８ｃから励磁コイル２０ａ、接点７
６ａおよび６８ｄを経て流れるため、励磁コイル２０ａ
が巻かれた極性可逆永久磁石１８ａは、ハウジング１４
側の極がＳ極、接続体１６側の極がＮ極の状態に完全に
磁化される。
時刻ｔ６から時刻ｔ７の間サイリスタ６２にゲートパル
スを供給する。これにより、整流回路５４から出力され
る励磁電流が接点６８ｃから励磁コイル２０ａ、接点７
６ａおよび６８ｄを経て流れるため、励磁コイル２０ａ
が巻かれた極性可逆永久磁石１８ａは、ハウジング１４
側の極がＳ極、接続体１６側の極がＮ極の状態に完全に
磁化される。
このとき、磁性体８６に作用する磁束量Ｆ８６は、第７
図（Ｇ）に示すように、 Ｆ８６＝Ｆ２２−ΔＦ１８ａ’ −ΔＦ１８ａ”−Ｆ１
８ｂ’−Ｆ２０ａ となる、ここに、 ΔＦ １８ ａ’“＝磁石１８ａの残りの反転された磁
束は Ｆ２０ａ’＝励磁コイル２０ａの磁束量Ｆ２２＝ΔＦ１
８ａ＋ΔＦ１８ａ’ ＋ΔＦ １８ ａ” ＋Ｆ １８ ｂ ’である。この
とき磁性体８６は、：５７図（Ｈ）に示すように逆方向
の磁束を受ける。しかし、このとき磁性体８６が受ける
磁束量は、励磁コイル２０ａ、２０ｂに同時に励磁電流
を供給する場合に比べて少なく、従って磁性体８６は強
く着磁されることがない。
図（Ｇ）に示すように、 Ｆ８６＝Ｆ２２−ΔＦ１８ａ’ −ΔＦ１８ａ”−Ｆ１
８ｂ’−Ｆ２０ａ となる、ここに、 ΔＦ １８ ａ’“＝磁石１８ａの残りの反転された磁
束は Ｆ２０ａ’＝励磁コイル２０ａの磁束量Ｆ２２＝ΔＦ１
８ａ＋ΔＦ１８ａ’ ＋ΔＦ １８ ａ” ＋Ｆ １８ ｂ ’である。この
とき磁性体８６は、：５７図（Ｈ）に示すように逆方向
の磁束を受ける。しかし、このとき磁性体８６が受ける
磁束量は、励磁コイル２０ａ、２０ｂに同時に励磁電流
を供給する場合に比べて少なく、従って磁性体８６は強
く着磁されることがない。
励磁コイル２０ｂへの励磁電流が断たれると、磁性体８
６に作用する磁束量はゼロになる。
６に作用する磁束量はゼロになる。
この結果、磁気チャック１０には、第１の磁極片２６、
枠部４４、永久磁石１８ａ、１８ｂ、接続体↓６および
第２の磁極片２８を通る閉磁路と、永久磁石２２、枠部
４４、永久磁石１８ａ 。
枠部４４、永久磁石１８ａ、１８ｂ、接続体↓６および
第２の磁極片２８を通る閉磁路と、永久磁石２２、枠部
４４、永久磁石１８ａ 。
１８ｂおよび接続体１６を通る閉磁路が生じ、作業面３
２は非励磁状態におかれ、磁性体８６は磁気チャック１
０から開放される。
２は非励磁状態におかれ、磁性体８６は磁気チャック１
０から開放される。
磁気チャック１０に吸着された磁性体８６は。
磁気チャック１０を非ｌ１ｉＩ］？ａ状態におくための
励磁電流を励磁コイル２０ｂに供給したときに該励磁コ
イル２０ｂにより発生された磁界の作用を受けて磁化さ
れるが、励磁コイル２０ｂへの前記励磁電流の供給を中
ししたときに第７図（Ｆ）に示す磁界の作用を受けて脱
磁される。この脱磁作用および脱磁量は、励磁コイル２
０ａに最初に供給する励磁電流量により異なる。
励磁電流を励磁コイル２０ｂに供給したときに該励磁コ
イル２０ｂにより発生された磁界の作用を受けて磁化さ
れるが、励磁コイル２０ｂへの前記励磁電流の供給を中
ししたときに第７図（Ｆ）に示す磁界の作用を受けて脱
磁される。この脱磁作用および脱磁量は、励磁コイル２
０ａに最初に供給する励磁電流量により異なる。
上記の励磁装置５０によれば、極性可逆永久磁石の極性
を転換するための励磁コイルを２つの群に分け、極性の
転換時励磁電流を励磁コイル１８ａ、１８ｂに体１ヒ時
間をおいて順次供給するため、一度に流れる励磁電流量
が少なく、したかって電源容量が小さくなり、小容量の
回路素子を用いることができ、極性可逆永久磁石の発熱
量、熱歪、磁気歪が小さくなる。また、少ない励磁電流
を調節すればよいため、励磁電流を微細にかつ正確に調
節することができる。さらに、励磁コイル１８ａ、１８
ｂへ供給する励磁電流を設定回路８２により別々に設定
することができる。
を転換するための励磁コイルを２つの群に分け、極性の
転換時励磁電流を励磁コイル１８ａ、１８ｂに体１ヒ時
間をおいて順次供給するため、一度に流れる励磁電流量
が少なく、したかって電源容量が小さくなり、小容量の
回路素子を用いることができ、極性可逆永久磁石の発熱
量、熱歪、磁気歪が小さくなる。また、少ない励磁電流
を調節すればよいため、励磁電流を微細にかつ正確に調
節することができる。さらに、励磁コイル１８ａ、１８
ｂへ供給する励磁電流を設定回路８２により別々に設定
することができる。
、なお、励磁コイル２０ａ、２０ｂに１度ずつ励磁電流
を供給しても、磁性体８６を脱磁することができる。す
なわち、この場合、励磁電流を励磁コイル２０ａ、２０
ｂの順に供給したとすると、磁気チャック１０に吸着さ
れた磁性体８６は、磁気チャック１０を非励磁状態にお
くための励磁電流を励磁コイル２０ａに供給したときに
該励磁コイル２０ａにより発生された磁界の作用を受け
て磁化されるが１次に磁気チャック１０を非励磁状態に
おくための励磁電流を励磁コイル２０ｂに供給したとき
に該励磁コイル２０ｂにより発生された磁界の作用を受
けるため、磁気チャック１０から容易に外すことができ
る程度に脱磁される。この脱磁作用および脱磁量は、前
記磁性体の材質、加工精度、形状、励磁電流等により異
なる。
を供給しても、磁性体８６を脱磁することができる。す
なわち、この場合、励磁電流を励磁コイル２０ａ、２０
ｂの順に供給したとすると、磁気チャック１０に吸着さ
れた磁性体８６は、磁気チャック１０を非励磁状態にお
くための励磁電流を励磁コイル２０ａに供給したときに
該励磁コイル２０ａにより発生された磁界の作用を受け
て磁化されるが１次に磁気チャック１０を非励磁状態に
おくための励磁電流を励磁コイル２０ｂに供給したとき
に該励磁コイル２０ｂにより発生された磁界の作用を受
けるため、磁気チャック１０から容易に外すことができ
る程度に脱磁される。この脱磁作用および脱磁量は、前
記磁性体の材質、加工精度、形状、励磁電流等により異
なる。
第１図は本発明の磁気チャックの一実施例の一部を切り
欠いて示す斜視図、第２図は第１図のｎ−ｎ線に沿って
得た断面図、第３図は第１図のＩ−ＩＩ線に沿って得た
断面図、第４因は本発明の励磁装置の一実施例を示す電
気回路のブロック図、第５図は磁気チャックを励磁状態
におくときの電気信号の波形を示す図、第６図は磁気チ
ャックを非励磁状態におくときの電気信号の波形を示す
図、第７図は吸着する磁性体に作用する磁束の説明図で
ある。 １０ ： ？ａ気チャック・ １８ａ、１８ｂ：極性可逆永久磁石、 ２０ａ、２０ｂ：励磁コイル、 ２２：極性不可逆永久磁石、５４：整流回路、６４：制
御回路、 ６６：極性の切換回路、７４：励磁コイ
ルの選択回路。 代理人 弁理士 松 永 宣 行 第２図 第３図 Ｂ ＜ＬＩＤ ＩＱ
欠いて示す斜視図、第２図は第１図のｎ−ｎ線に沿って
得た断面図、第３図は第１図のＩ−ＩＩ線に沿って得た
断面図、第４因は本発明の励磁装置の一実施例を示す電
気回路のブロック図、第５図は磁気チャックを励磁状態
におくときの電気信号の波形を示す図、第６図は磁気チ
ャックを非励磁状態におくときの電気信号の波形を示す
図、第７図は吸着する磁性体に作用する磁束の説明図で
ある。 １０ ： ？ａ気チャック・ １８ａ、１８ｂ：極性可逆永久磁石、 ２０ａ、２０ｂ：励磁コイル、 ２２：極性不可逆永久磁石、５４：整流回路、６４：制
御回路、 ６６：極性の切換回路、７４：励磁コイ
ルの選択回路。 代理人 弁理士 松 永 宣 行 第２図 第３図 Ｂ ＜ＬＩＤ ＩＱ
Claims (3)
- （１）少なくとも１つの極性不可逆永久磁石と、該極性
不可逆永久磁石に共通の磁気回路部材により磁気的に接
続された複数の極性可逆永久磁石と、該極性可逆永久磁
石の極性を磁石毎に転換させる複数の励磁コイルとを含
む、磁気チャック。 - （２）少なくとも１つの極性不可逆永久磁石と、該極性
不可逆永久磁石に共通の磁気回路部材により磁気的に接
続された複数の極性可逆永久磁石と、該極性可逆永久磁
石の極性を磁石毎に転換させる複数の励磁コイルとを含
む、磁気チャックの励磁方法であって、前記極性不可逆
永久磁石に共通に磁気的に接続された前記極性可逆永久
磁石の極性を転換させるための前記励磁コイルを複数の
群に分け、前記磁気チャックの作業面を励磁状態および
非励磁状態におくべく前記極性可逆永久磁石の極性を転
換するときに前記励磁電流を分けた前記励磁コイルの群
毎に休止時間をおいて順次供給することを特徴とする、
磁気チャックの励磁方法。 - （３）少なくとも１つの極性不可逆永久磁石と、該極性
不可逆永久磁石に共通の磁気回路部材により磁気的に接
続された複数の極性可逆永久磁石と、該極性可逆永久磁
石の極性を磁石毎に転換させる複数の励磁コイルとを含
む、磁気チャックの励磁装置であって、前記励磁コイル
に供給する励磁電流の極性を転換するための切換回路と
、前記極性不可逆永久磁石に共通に磁気的に接続された
前記極性可逆永久磁石の極性を転換させるための前記励
磁コイルを複数の群に分け、前記励磁コイルを前記群毎
に休止時間をおいて順次選択して前記励磁電流を前記励
磁コイルに供給する選択回路と、前記切換回路および前
記選択回路を制御する制御回路とを含む、磁気チャック
の励磁装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29363485A JPS62157750A (ja) | 1985-12-28 | 1985-12-28 | 磁気チャックの励磁装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29363485A JPS62157750A (ja) | 1985-12-28 | 1985-12-28 | 磁気チャックの励磁装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62157750A true JPS62157750A (ja) | 1987-07-13 |
| JPH0569650B2 JPH0569650B2 (ja) | 1993-10-01 |
Family
ID=17797247
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29363485A Granted JPS62157750A (ja) | 1985-12-28 | 1985-12-28 | 磁気チャックの励磁装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62157750A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03120005U (ja) * | 1990-03-23 | 1991-12-10 | ||
| KR101054885B1 (ko) | 2011-03-09 | 2011-08-08 | 주식회사진영정기 | 마그네틱 척 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6076815B2 (ja) | 2013-04-19 | 2017-02-08 | ナブテスコ株式会社 | 減速機 |
| JP6599152B2 (ja) | 2015-07-23 | 2019-10-30 | ナブテスコ株式会社 | 減速機 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5418430A (en) * | 1977-07-12 | 1979-02-10 | Kawasaki Steel Co | Apparatus for molten zinc plating on both sides |
| JPS6018271U (ja) * | 1983-07-15 | 1985-02-07 | 三菱電機株式会社 | 内燃機関用点火装置 |
| JPS60217036A (ja) * | 1984-04-13 | 1985-10-30 | Kanetsuu Kogyo Kk | 磁気チヤツク |
-
1985
- 1985-12-28 JP JP29363485A patent/JPS62157750A/ja active Granted
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0569650B2 (ja) | 1993-10-01 |
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