JPS6214921A - イオウおよびチツ素含有排ガスを浄化する装置 - Google Patents

イオウおよびチツ素含有排ガスを浄化する装置

Info

Publication number
JPS6214921A
JPS6214921A JP61159905A JP15990586A JPS6214921A JP S6214921 A JPS6214921 A JP S6214921A JP 61159905 A JP61159905 A JP 61159905A JP 15990586 A JP15990586 A JP 15990586A JP S6214921 A JPS6214921 A JP S6214921A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
reaction chamber
electron beam
reaction
beam source
exhaust gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP61159905A
Other languages
English (en)
Inventor
ヴアルター・デイートリヒ
ハインリツヒ・アムリンガー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold Heraeus GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Heraeus GmbH filed Critical Leybold Heraeus GmbH
Publication of JPS6214921A publication Critical patent/JPS6214921A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D46/00Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/007Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by irradiation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/46Removing components of defined structure
    • B01D53/60Simultaneously removing sulfur oxides and nitrogen oxides
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F3/00Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
    • B22F3/02Compacting only
    • B22F3/04Compacting only by applying fluid pressure, e.g. by cold isostatic pressing [CIP]
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/02Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes
    • B22F9/06Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material
    • B22F9/08Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying
    • B22F9/082Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying atomising using a fluid
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C9/00Methods or apparatus for discharging liquefied or solidified gases from vessels not under pressure
    • F17C9/02Methods or apparatus for discharging liquefied or solidified gases from vessels not under pressure with change of state, e.g. vaporisation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2259/00Type of treatment
    • B01D2259/80Employing electric, magnetic, electromagnetic or wave energy, or particle radiation
    • B01D2259/812Electrons

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
  • Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
  • Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
  • Catalysts (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野: 本発明は特許請求の範囲第1項の上位概念によるガス状
反応媒体とくにアンモニアガスの供給によってイオウお
よびチッ素含有排ガスを浄化する装置に関する。
従来の技術: この種の方法は環境保護規定に準じてイオウおよびチッ
素の危険な酸素化合物(SOxおよびNOx )の放出
を最小に低下するため主としていわゆる大ボイラ装置に
使用される。
エフ2フ日本のノぞンフレット’ Electron 
B−eam Flue Gas C1eanup 、P
rocess“によってすでに前記概念の方法が公知で
あり、これによれば排ガスにほぼ化学量論量のアンモニ
ア(NH3)ガスを添加した後、反応混合物は電子ビー
ムの作用にさらされる。それによって排ガスの有害成分
は硫酸アンモニウムまたは硝酸アンモニウムに変換され
、これは両方とも農業の肥料として使用するために適す
る。
この場合問題は一般に高温に加熱した電子放出陰極であ
る電子ビーム源からの電子ビームを内容物が大気圧また
は過圧下にある反応室へ導入することにある。電子ビー
ムはガス含有雰囲気内ではガス分子との衝突によって拡
がる性質を有するので、その真空から出た後の到達距離
は大気圧ですでに著しく制限される。これが電子ビーム
処理法の大部分が高真空または少なくとも部分真空下に
実施される理由である。もう1つの問題は反応混合物と
電子ビームの間にできるだけ均一な相互作用を生じさせ
ることにある。
公知法の場合電子ビームは300KVの加速電圧で発生
させ、薄い金属箔(Ti−Pd)からなる窓を通して反
応室内へ照射される。窓の箔は高真空下にある電子ビー
ム源と反応室内の雰囲気の間の隔壁を形成するけれど、
十分薄い形成の場合電子ビームに対し少なくとも部分的
に透明である。この場合窓の箔が高エネルギー密度の電
子ビームによって破壊されないように、電子ビームは電
子ビーム源に属する特殊な偏向系によって周期的に窓の
表面上で偏向される。
この種の方法および方法のために必要な装置は多数の欠
点を有する:窓の箔を通過するため必要な高い300K
Vの加速電圧は所要の絶縁距離のため高価な構造の電子
ビーム銃を必要とする。同時にこのよ5に高い加速電圧
は衝突位置に発生する強いX線を伴うので、広範囲の放
射シールドが必要である。窓の箔は約25%の高い出力
損失を伴うので、高い電気的出力を必要とする場合、エ
ネルギー損失が高くなるだけでなく、窓の熱負荷が非常
に高くなる。それによって、かつ窓の箔と反応室内容物
との相互作用によって窓の交換が頻繁に必要となるので
、浄化装置全体の停止時間の割合を比較的高く考えなげ
ればならない。そのため大ボイラ装置を連続作業する場
合、つねに多数の並列の浄化装置の存在が必要となる。
それゆえ西独公開特許公報筒3501158号には窓を
備える電子ビーム銃(加速電圧300〜800KV)の
代りに電子ビームがビームを発生させる高真空室から圧
力段区間を通って常圧下にある反応室へ達する装置(加
速電圧的200KV)の使用が提案されている。このよ
うな装置は窓が不用となるほか、電子ビームと材料の相
互作用で発生して装置から出るX線に対するシールPが
簡単になり、出力上昇のためにも簡単で安価な技術的可
能性を開く利点をもたらす。この提案はすでに電子ビー
ムを適当に反応室へ導入し、電磁的案内装置によって反
応部へ導き、かつ動的に分配する装置も含む。
発明が解決しようとする問題点: 本発明の目的はガス供給系と電子ビームの間のさらに密
接な融合および適合によって前記提案の装置の照射効果
を最適にすることである。
問題点を解決するための手段: この目的は本発明により特許請求の範囲第1項の特徴部
に記載の特徴によって解決される。
作用: 圧力段区間と反応室の軸平行配置(とくに圧力段区間お
よび反応室は正確に同軸配置される。
)および偏向する電子ビームの同軸回転によって十分に
高い線量出力の範囲における反応混合物と電子ビームの
最適の相互作用が達成されるので、全反応混合物は化学
量論的に反応することができる。このために適する電子
ビームは偏向していない状態ですでに少し扇形に開いて
いるので(発散角的1〜10°)、反応混合物の各体積
要素は、与えられた通過量または与えられた流速で電子
ビームの十分高い偏向または回転周波数を選択すること
を前提として、電子ビームの電子と相互作用を生ずる。
経験により約1.5メガラドまたは約15ジユール/2
の最低照射強度で有効な化学反応が行われることが明ら
かになった。
この最低照射強度を達成するため、電子ビームの偏向は
所定の最低照射強度を有する電子ビームの到達距離が十
分であるように調節される。
とくに有利な配置によれば円形断面を有する反応室で電
子ビームは円錐空間内を偏向可能であり、その際円錐の
頂点は圧力段区間の近くにあり、その底面は各位置で少
なくとも1.5メガラドのビーム線量の範囲の流路断面
を充てんする。
電子ビームの軸はこの場合円錐の壁面内を回転する。し
かし電子ビームの軸の仮想脚点な底面で周期的にら線運
動させることもでき、すなわち前記脚点は所定のら線軌
道上を迅速に反復運動するので、前記円錐空間は十分均
一に電子ビームが通過する。すべての場合に反応混合物
を必然的に円錐空間を貫通するように導くことが保証さ
れる。
多角形たとえば正方形または矩形断面を有する反応室の
場合、電子ビームを相当する角錐空間内で偏向させるこ
とももちろん同様可能であり、その際角錐の軸は再び有
利に反応室の流れ方向に走る軸と一致する。
電子ビームの最大偏向角(初めの方向に対し、または圧
力段区間の軸に対する)は次の考慮に基いて容易に決定
することができる:偏向角が小さ過ぎると、電子ビーム
はその線量が前記約1、5 Mrad の限界値より低
下した際に初めて反応室の壁に達する。この場合周辺流
れはもはや十分な強度で照射されない。それは電子ビー
ムがその途中で中心流れによってすでにそのエネルギー
の大部分を失うからである。逆に偏向角を過大に選択す
ると、電子ビームの偏向範囲内の反応混合物の滞留時間
が短か過ぎるだけでなく、ビームエネルギーの大部分は
室壁との相互作用で失われ、室壁の不所望の加熱が伴わ
れる。
この2つの限界の間に最適値があり、その際もちろん反
応室の横断面も考慮しなければならないことは明らかで
ある。
構造上の理由から反応室を曲管へ接続し、その反応室の
投影面内にある壁部に電子ビーム源を支持するのがとく
に有利である。
反応混合物の大きい質量流れを浄化する場合、本発明の
もう1つの形成によい反応室を案内装置へ接続すればと
くに有利であり、この装置を介して反応室に反応混合物
の多数の分流を供給することができ、分流は案内装置内
でまず半径方向の流れから反応室内に続く軸方向流れへ
変換される。
案内装置内の案内羽根の配置によってこの方法で付加的
に反応室に渦流を発生させることができ、それによって
反応混合物および(または)その電子ビームとの相互作
用が均一化される。
さらに電子ビーム源をビーム方向と流れ方向が一致する
ように反応室に対し整列させるのがとくに有利である。
このような場合反応混合物および反応生成物(固体)は
圧力段区間から離れるように動くので、とくに反応生成
物は圧力段区間の範囲内およびとくに圧力段区間自体内
に沈積することがない。
本発明の装置はとくに有利に、6ツテリ構造に形成する
ことができる。これはまずそれぞれ1つの電子ビーム源
を有する多数の反応室を分配導管と捕集導管の間に並列
接続で配置することによって可能である(第4図参照)
この、2ツテリ方式の1変化である本発明の他の実施例
によれば、分配導管とこれと平行の捕集導管の間に分配
および捕集導管の軸に垂直の、互いに平行する軸を有す
る多数の反応室が配置され、反応室の投影面内にある分
配導管の壁部にそれぞれ1つの電子ビーム源が支持され
る(第3図参照)。
実施例: 次に本発明の実施例を第1〜4図により説明する。
第1図には円筒形反応室1の上部が示され、この室の上
へ曲管2が移行部なく接続する。この曲管は反応室10
投影面内にある壁部3を有し、この部分へ支持板Φを介
してここには略示したビーム発生器6および加速陽極7
からなる細く集速した電子ビーム8を発生する公知の電
子ビーム源5が支持される。反応室1および電子ビーム
源5の共通軸はA−Aで表わされる。
電子ビーム源5はビーム発生器6の範囲に所要の作業真
空を得るため吸引管9によって排気可能である。ビーム
通過孔を有する加速陽極7はこの場合同時に下へ接続す
る圧力段区間に対する隔壁を形成する。圧力段区間は同
様公知の2つの直列接続した室1oおよび11からなり
、その詳細には示されていない隔壁に同様ビーム通過の
ための狭い孔が配置される。室11の下側仕切壁にも電
子ビーム8のための狭い通過孔が備えられ、これを通っ
て電子ビームは反応室1または曲管2へ入る。室10お
よび11は侵入するガスを吸出するため適当な吸引導管
を介して1組の真空デンゾと結合するけれど、ここには
簡単に矢印だけで示しである。
圧力段区間に属する室11の下に多数の極を有する電磁
偏向装置12が配置され、電子ビーム8はXおよびY座
標内で偏向可能である。これを達成するため偏向装置1
2は適当な偏向電圧を発生する図示されていない(公知
の)偏向発電機と結合しているので、偏向装置12の1
つの側にある電子ビーム8aの軸は任竜の勅、道たとえ
ば円またほら線軌道を案内することができる。
電子ビーム8aは円錐空間内を偏向可能なことが示され
、円錐の頂点は圧力段区間10.11の近くにあり、そ
の(仮想)底面8bは反応室1の内側断面したがって流
路な完全に充てんする。この底面の高さ位置したがって
電子ビームの最大偏向角は前記考察に基いて述められる
反応混合物すなわち排ガスおよびガス状反応媒体は反応
室1に下から、すなわち矢印13の方向に供給され、固
体反応生成物を含む反応した反応混合物は曲管2から矢
印14の方向に導出される。
前記特徴によって軸A−Aと垂直に走る反応室の流路断
面の各表面要素が流路の少なくとも1つの位置で、流速
が与えられた際に電子ビーム8aの偏向周波数が十分大
きいことを前提にして、電子ビームによって負荷される
ことは明らかである。
第2図の装置の場合反応室1へ、図示のもっとも簡単な
場合半径方向に横から開口する2つの導入管16.17
からなる案内装置15が支持される。この導入管を介し
て反応室1に反応混合物の2つの分流を供給することが
でき、この分流は案内装置内で黒い矢印で示すようにま
ず半径方向の流れから反応室1へ続く軸方向流れに変換
される。この場合流れ方向は第1図と反対であり、すな
わち反応成分および反応生成物は圧力段区間10/11
から離れるように動く。
電子ビーム源5は第1図のものと同じ構造を有し、電子
ビーム8aの案内および偏向に関する前提も同じである
第2図の案内装置15はさらに反応室1より直径の大き
い円筒室からなり、この室へ任意に多数の方向から反応
混合物の分流を導入するように形成することもできる。
このような場合案内装置に(図示されていない)案内羽
根を備えるのが適当であり、この羽根は反応室1内に反
応混合物を攪乱するため渦流が発生するように形成され
る。
第3図による・ぐツテリ配置の場合、分配導管18とこ
れに平行の捕集導管19の間に4つの反応室1が配置さ
れ、その軸は互いに平行であるけれど、分配導管18お
よび捕集導管19の軸に対しては垂直である。分配導管
18はその上部に反応室1の4つの投影面内にある壁部
な有し、すなわちこの壁部は反応室から見ることができ
る。この壁部へ反応室1と同軸に電子ビーム源5が配置
され、その電子ビーム8aは反応室1まで達するその幾
何学的関係は左外側にある反応室1に対してのみ示され
る。
導管18および19は各反応室の内側断面よりはるかに
大きい断面を有し、それによって均一な流れの分配が達
成される。全体の流れを全部で養つ(または以上)の反
応室1に分配することによって、電子ビームと反応成分
の間の強力で信頼しうる相互作用が行われる。
さらにすべての導管は断熱材20を備えることができる
けれど、第3図には分配導管18に関してのみ示される
。第3図はさらに各電子ビーム源5がその電力供給およ
び制御のため高圧ケーブル21を備えることを示す。
第4図はそれぞれ1つの反応室1および電子ビーム源5
を有する4つの曲管2を分配導管18とこれに平行の捕
集導管19の間に並列配置した装置を示す。各部分装置
の構造および機能は反応成分または反応生成物の流れ方
向は別として第1図のそれと一致する。第3図の装置の
場合とほぼ同様の作業法が可能である。
ガス状反応媒体を電子ビームと反応成分の相互作用の前
にできるだけ完全な混合が可能になるように排ガスに供
給することは明らかである。
それゆえ第1〜4図でガス状反応媒体の供給導管22は
記号的性格を有するに過ぎない。
第3および壬図の装置の場合適当な遮断要素を備えれば
もちろん個々の反応室1を接続または遮断することもで
きるので、このようなノ々ツテリ配置は個々に排ガス発
生器(ボイラ燃焼装置の負荷程度に適合させることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
第1図は電子ビーム源および曲管へ接続した反応室を有
する装置の縦断面図、第2図は電子ビーム源および案内
装置を有する反応室上部の縦断面図、第3図は4つの反
応室の)々ツテリ配置の斜視図、第4図はノ々ツテリ配
置のもう1つの実施例を示す斜視図である。 1・・・反応室、3・・・壁部、5・・・電子ビーム源
、8a・・・電子ビーム、8b・・・底面、10・・・
圧力段区間、15・・・案内装置、18−・・分配導管
、19・・・捕集導管

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、少なくとも1つの反応室およびそれぞれ1つの偏向
    装置を備える少なくとも1つの排気可能の電子ビーム源
    を有し、ここから電子ビームがビーム通路を包囲する少
    なくとも1つの圧力段区間を介して反応室へ導入される
    、ガス状反応媒体の供給および反応成分が軸方向に貫流
    する1〜5バールの圧力の反応室内で電子ビーム作用下
    の排ガスと反応媒体との反応によつてイオウおよびチッ
    素含有排ガスを浄化する装置において、電子ビーム源(
    5)が反応室(1)と構造的に1体化され、圧力段区間
    (10/11)の軸が反応室(1)の軸(A−A)と平
    行に走り、電子ビーム(8a)がこの軸を中心に回転す
    るように偏向可能であり、それによつて軸(A−A)に
    対し垂直に走る反応室の流路断面の各表面要素が流路の
    少なくとも1つの位置で電子ビームによつて負荷される
    ことを特徴とするイオウおよびチッ素含有排ガスを浄化
    する装置。 2、圧力段区間および反応室の軸(A−A)が一致する
    ように配置されている特許請求の範囲第1項記載の装置
    。 3、電子ビーム(8a)が円形断面の反応室(1)の場
    合、円錐空間内で偏向可能であり、円錐の頂点が圧力段
    区間(10/11)の近くにあり、その底面(8b)が
    各位置で少なくとも1.5メガラドになる線量の範囲内
    の流路断面を充てんしている特許請求の範囲第2項記載
    の装置。 4、反応室(1)が曲管(2)へ接続され、その反応室
    (1)の投影面内にある壁部(3)に電子ビーム源が支
    持されている特許請求の範囲第1項記載の装置。 5、反応室(1)が案内装置(15)へ接続し、この装
    置を介して反応室に反応混合物の多数の分流を供給する
    ことができ、この分流が案内装置内で初め半径方向の流
    れから反応室に続く軸方向の流れに変換される特許請求
    の範囲第1項記載の装置。 6、案内装置(15)が反応室(1)内に渦流を発生さ
    せるため案内羽根を有する特許請求の範囲第5項記載の
    装置。 7、ビーム方向と流れ方向が一致するように、電子ビー
    ム源(5)が反応室(1)に対し整列している特許請求
    の範囲第1項記載の装置。 8、それぞれ1つの反応室(1)および電子ビーム源(
    5)を有する多数の曲管(2)が分配導管(18)と捕
    集導管(19)の間に並列接続で配置されている特許請
    求の範囲第4項記載の装置。 9、分配導管(18)とこれに平行の捕集導管(19)
    の間に分配および捕集導管の軸と垂直の互いに平行する
    軸(A−A)を有する多数の反応室(1)が配置され、
    反応室(1)の投影面内にある分配導管の壁部にそれぞ
    れ1つの電子ビーム源(5)が支持されている特許請求
    の範囲第1項記載の装置。
JP61159905A 1985-07-11 1986-07-09 イオウおよびチツ素含有排ガスを浄化する装置 Pending JPS6214921A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19853524729 DE3524729A1 (de) 1985-07-11 1985-07-11 Vorrichtung zum reinigen von schwefel- und stickstoffhaltigen rauchgasen
DE3524729.0 1985-07-11
EP19860112317 EP0258487B1 (de) 1985-07-11 1986-09-05 Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung und Rückführung von Gasen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6214921A true JPS6214921A (ja) 1987-01-23

Family

ID=39636984

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61159905A Pending JPS6214921A (ja) 1985-07-11 1986-07-09 イオウおよびチツ素含有排ガスを浄化する装置
JP62213226A Granted JPS6380184A (ja) 1985-07-11 1987-08-28 ガスを浄化しかつ戻す方法および装置

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62213226A Granted JPS6380184A (ja) 1985-07-11 1987-08-28 ガスを浄化しかつ戻す方法および装置

Country Status (8)

Country Link
US (2) US4752450A (ja)
EP (1) EP0258487B1 (ja)
JP (2) JPS6214921A (ja)
AT (1) ATE67097T1 (ja)
DE (2) DE3524729A1 (ja)
FR (1) FR2584620B1 (ja)
GB (1) GB2177687B (ja)
IT (1) IT1190131B (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100303402B1 (ko) * 1998-10-26 2001-11-15 박유재 내연기관의배기가스정화장치및방법
JP2016526476A (ja) * 2013-06-10 2016-09-05 ビビラッド 少なくとも1つのガス状排出流を処理する装置および対応する処理方法
JP2019524426A (ja) * 2016-07-01 2019-09-05 アークス エナジー リミテッド 流体処理装置及び方法

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB8802456D0 (en) * 1988-02-04 1988-03-02 British Steel Corp Liquid metal processing
EP0331993B1 (de) * 1988-03-09 1992-01-02 Siemens Aktiengesellschaft Vorrichtung zum Druckverdüsen von Metallen oder Metallegierungen
DE69019346D1 (de) * 1990-02-08 1995-06-14 Meidensha Electric Mfg Co Ltd Verfahren und vorrichtung zum behandeln von stickoxyden.
US5220797A (en) * 1990-09-28 1993-06-22 The Boc Group, Inc. Argon recovery from argon-oxygen-decarburization process waste gases
US5106399A (en) * 1991-02-25 1992-04-21 Union Carbide Industrial Gases Technology Corporation Argon purification system
DE4132693A1 (de) * 1991-10-01 1993-04-08 Messer Griesheim Gmbh Verfahren und vorrichtung zur herstellung von pulvern
US5357291A (en) * 1992-09-08 1994-10-18 Zapit Technology, Inc. Transportable electron beam system and method
US5319211A (en) * 1992-09-08 1994-06-07 Schonberg Radiation Corp. Toxic remediation
US5378898A (en) * 1992-09-08 1995-01-03 Zapit Technology, Inc. Electron beam system
US5438837B1 (en) * 1992-10-06 1999-07-27 Oceaneering Int Inc Apparatus for storing and delivering liquid cryogen and apparatus and process for filling same
JP3431731B2 (ja) * 1994-08-16 2003-07-28 株式会社荏原製作所 電子線照射排ガス処理装置
US5651925A (en) * 1995-11-29 1997-07-29 Saint-Gobain/Norton Industrial Ceramics Corporation Process for quenching molten ceramic material
JPH10216460A (ja) * 1997-01-31 1998-08-18 Hitachi Ltd 電子ビームガス処理装置
US6623706B2 (en) 2000-06-20 2003-09-23 Advanced Electron Beams, Inc. Air sterilizing system
US6623705B2 (en) * 2000-06-20 2003-09-23 Advanced Electron Beams, Inc. Gas conversion system
US7189978B2 (en) * 2000-06-20 2007-03-13 Advanced Electron Beams, Inc. Air sterilizing system
FR2835907B1 (fr) * 2002-02-12 2004-09-17 Air Liquide Installation de trempe par gaz et procede de trempe correspondant
WO2005023415A1 (en) * 2003-09-04 2005-03-17 Scantech Holdings, Llc Dual-step process of industrial enterprise stack gas decontamination containing electron beam irradiation and treatment by gas discharge
US7310955B2 (en) * 2004-09-03 2007-12-25 Nitrocision Llc System and method for delivering cryogenic fluid
CN101672424A (zh) * 2004-09-03 2010-03-17 尼特西绅有限公司 用于输送低温流体的系统和方法
EP2448662B1 (en) * 2009-06-03 2016-04-06 Ixys Corporation Methods and apparatuses for converting carbon dioxide and treating waste material
KR100983947B1 (ko) * 2010-05-26 2010-09-27 연규엽 구형미세마그네슘분말 제조장치
US20130327404A1 (en) * 2012-06-08 2013-12-12 Air Liquide Industrial U.S. Lp Method for efficiently delivering liquid argon to a furnace
US20130327500A1 (en) * 2012-06-08 2013-12-12 Air Liquide Industrial U.S. Lp Method for efficiently delivering liquid argon to a furnace by cooling coil re-condensation and sub-cooling
US20130327067A1 (en) * 2012-06-08 2013-12-12 Air Liquide Industrial U.S. Lp Method for efficiently delivering liquid argon to a furnace by re-condensation in a phase separator
US20150219280A1 (en) * 2014-02-05 2015-08-06 Air Liquide Industrial U.S. Lp Method and apparatus for reducing boil-off gas losses from a liquid storage tank
BR112017005583A2 (pt) * 2014-09-21 2018-01-23 Hatch Ltd processo e sistema para preparar um produto granular, e produto da atomização de gás de combustão
CN105090739B (zh) * 2015-08-29 2017-08-25 华南理工大学 一种多功能天然气零散气智能回收装置及其方法
DE102018122312A1 (de) * 2018-09-12 2020-03-12 Air Liquide Deutschland Gmbh Anordnung und Verfahren zum Bereitstellen eines Gases wie eines Zerstäubergases zum Erzeugen eines Pulvers an einem Verwendungsort

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3120609A (en) * 1961-05-04 1964-02-04 High Voltage Engineering Corp Enlargement of charged particle beams
US3273349A (en) * 1965-02-15 1966-09-20 Air Reduction Variable demand air rectification plant with recycle
US3390869A (en) * 1966-11-16 1968-07-02 Alliger Howard Spray-type soot eliminator
FR2031747A5 (ja) * 1969-02-06 1970-11-20 Commissariat Energie Atomique
SE375455B (ja) * 1970-10-26 1975-04-21 Environmental Master Systems
JPS5388656A (en) * 1977-01-17 1978-08-04 Ebara Corp Irradiating method for gaseous material with electron beam
JPS5940051B2 (ja) * 1979-07-11 1984-09-27 株式会社荏原製作所 電子線照射排ガス処理装置
US4563258A (en) * 1980-05-22 1986-01-07 Hughes Aircraft Company Method and apparatus for separating isotopes using electrophoresis in a discharge
US4284394A (en) * 1980-09-19 1981-08-18 United Technologies Corporation Gas manifold for particle quenching
US4396580A (en) * 1981-03-18 1983-08-02 Avco Everett Research Laboratory, Inc. Fluid-dynamic means for efficaceous use of ionizing beams in treating process flows
US4346563A (en) * 1981-05-15 1982-08-31 Cvi Incorporated Super critical helium refrigeration process and apparatus
US4397823A (en) * 1982-01-29 1983-08-09 Chevron Research Company Process and apparatus for removing a pollutant from a gas stream
DE3224608A1 (de) * 1982-07-01 1984-01-05 Linde Ag, 6200 Wiesbaden Verfahren und vorrichtung zur druckgasversorgung
DE3403726A1 (de) * 1984-02-03 1985-08-08 Polymer-Physik GmbH & Co KG, 2844 Lemförde Verfahren und vorrichtung zur entschwefelung und denitrierung von rauchgasen durch elektronenbestrahlung
NL8400990A (nl) * 1984-03-29 1985-10-16 Philips Nv Werkwijze voor het vloeibaar maken van een gas en vloeibaarmakingsinstallatie voor het uitvoeren van de werkwijze.
DE3423597A1 (de) * 1984-06-27 1986-01-09 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Anlage zur metallpulver-herstellung durch edelgas- oder stickstoffverduesung
DE3501158A1 (de) * 1985-01-16 1986-07-17 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Verfahren und vorrichtung zum reinigen von schwefel- und stickstoffhaltigen rauchgasen
DE3513633C2 (de) * 1985-04-16 1994-06-16 Polymer Physik Gmbh Vorrichtung zur Entschwefelung und Denitrierung von Rauchgasen durch Elektronenbestrahlung

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100303402B1 (ko) * 1998-10-26 2001-11-15 박유재 내연기관의배기가스정화장치및방법
JP2016526476A (ja) * 2013-06-10 2016-09-05 ビビラッド 少なくとも1つのガス状排出流を処理する装置および対応する処理方法
JP2019524426A (ja) * 2016-07-01 2019-09-05 アークス エナジー リミテッド 流体処理装置及び方法
US10730031B2 (en) 2016-07-01 2020-08-04 Arcs Energy Limited Fluid treatment apparatus and method

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0413626B2 (ja) 1992-03-10
ATE67097T1 (de) 1991-09-15
IT8620826A0 (it) 1986-06-18
EP0258487A1 (de) 1988-03-09
US4838912A (en) 1989-06-13
IT1190131B (it) 1988-02-10
DE3524729A1 (de) 1987-01-15
FR2584620B1 (fr) 1989-05-19
GB2177687B (en) 1988-09-28
GB2177687A (en) 1987-01-28
JPS6380184A (ja) 1988-04-11
FR2584620A1 (fr) 1987-01-16
IT8620826A1 (it) 1987-12-18
DE3681448D1 (de) 1991-10-17
US4752450A (en) 1988-06-21
EP0258487B1 (de) 1991-09-11
GB8615556D0 (en) 1986-07-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6214921A (ja) イオウおよびチツ素含有排ガスを浄化する装置
US4915916A (en) Method of and apparatus for treating waste gas by irradiation with electron beam
US3883413A (en) Ozone generator using pulsed electron beam and decaying electric field
US7454893B2 (en) Electro-thermal nanoparticle generator
US4943356A (en) Method and apparatus for cleaning sulphur and nitrogen containing flue gases by reaction under the action of electron beams
US5397444A (en) Process for removal of SO2 and NOx from combustion flue gases and an apparatus used therefor
JPS60179123A (ja) 電子照射による煙道ガスの脱硫及び脱硝方法及びその装置
CN114830283A (zh) 用于将加速电子施加到气态介质的设备及方法
JP3110756B2 (ja) 熱発生用装置
KR20180085397A (ko) 다단 반응기 및 대기오염물질의 처리방법
US20050051067A1 (en) Method and apparatus for adding reducing agent to secondary overfire air stream
JPS61238325A (ja) 電子照射による排気ガスの脱硫及び脱硝装置
WO2008138998A1 (en) Electron accelerator and device using same
JP3929309B2 (ja) 電子線照射装置及び方法
US5939026A (en) Apparatus for processing gas by electron beam
RU2080171C1 (ru) Устройство для инициирования физико-химических реакций
JPS63501142A (ja) 廃ガスに電子線を放射することにより廃ガスから有害物質を選択または同時分離する方法
GB2166284A (en) Electron beam irradiation apparatus
Penetrante NOx reduction by electron beam-produced nitrogen atom injection
JPH08318128A (ja) 排煙処理装置
Greensburg Zimek et al.
KR20230115255A (ko) VOCs 처리 장치
KR100496809B1 (ko) 플라즈마방전에의한배가스처리장치
SU1740861A1 (ru) Газоход котла
JPH02195640A (ja) 電子銃による加熱装置および同位体分離装置