JPS62147340A - 光学ヘツド検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、光源より放射される元ビームによって記録媒
体上に情報を記録するためのあるいは、記銖媒体上の情
報信号を再生するための光学ヘッドの集光ビームスポッ
トを検査する装置に関するものである。

従来の技術 光ディスク等を用いた光情報配係再生装置においては、
レーザービームをトラック上にφＩ　Ｂｍ以下に集光す
る必要があつ、この集光ビームスポットの良否が装置の
性能を大きく左右する。すなわち集光ビームスポットの
劣化により、記録再生振幅の劣化、クロストークの増大
８周波数特性の劣化等が生じ、画像の乱れ、音飛び、デ
ーターエラーレートの増大等として現われる。したがっ
て記録再生特性の良好な光学へノドを提供するためには
集光ビームスポットの検査が大切である。

集光ビームスポットの検査には、顕微鏡により拡大し観
察する方法、ナイフェツジで強度分布を測定する方法（
角田他「大容伍光ディスクファイル」１日立評論、６６
．１０．２３−２８（１９８３））。

アイパターンを測定する方法（久保田「光ディスクにお
けるアイパターンのジッター解析」、光学。

１２　、６　、４３７−４４３　（１９８３）　）等が
ある。ところが、顕微鏡により拡大観察する方法は、感
応的な検査であり定量的な判断ができない。ナイフエラ
／による方法は、定量的で１′ｉあるが測定精度全土げ
るのがＸｆｎ　Ｌい。アイパターンによる方法全以下に
説明する。

アイパターンとは、第５図のように漂準ディスクに記録
された段階的なビット長さの信号の再生信号をオフロス
コープ上に表示したものである。

集光ビームスポットは有限の大きさをもつのでピット長
が短かくなると未記録部の影響を受けて再生振幅が低下
する。集光ビームスポット径が大きいと振幅低下が犬き
く、信号の立上がりもゆるやかになる。またトラックに
対して直角方向に集光ビームスポットが広がっている場
合は隣のトラックの影ｇを受けてアイパターンが不鮮明
になる。

したがって、アイパターンにより集光ビームスポットの
検査が行なえる。この方法は、光学ヘッドの実際の使用
法に近くまた検査も容易である。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら上記のような検査法では、アイパターンの
振幅低下、立上がりのなまりを定量的に判断するのが難
しく感応的な検査となっていた。

特にトラックに直角な方向の集光ビームスポットの検査
が困難であった。

本発明は上記問題点に鑑み、集光ビームスポットの検査
を、トラック方向及びトラックに直角な方向に対して高
速かつ高精度で行なう光学ヘッド検査装置を提供するも
のである。

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明の光学ヘッド検査装
置は、被検光学へノド出射光の焦点面に設置した溝付あ
るいはロンキー格子付ディスク板と、ディスク板を前記
焦点面内で移動する駆動手段と、前記被検光学ヘッドに
設けられたディスク板反射光量検出器の出力より光量変
化を演算する処理回路を備えたものである。

作　　用 上記した構成により、ディスク板を駆動すると被検光学
ヘッドによる集光ビームスポットがディスク溝またはロ
ンキー格子を走査し、その反射光量の変化を検出すれば
、集光ビームスポットのディスク溝あるいはロンキー格
子による変調度が測定できる。変調度は集光ビームスポ
ットの強度分布に直接関係しており、定量的な検査が可
能であるＯ 実施例 以下本発明の一実施例の光学ヘッド検査装置について、
図面を参照しながら説明する。

第２図は本発明の光学ヘッド検査装置で検査される光学
ヘッドの一例である。

第２図において１１は光源であり、たとえば半導体レー
ザーを用いる。１２はコリメーターレンズであり半導体
レーザー出射光を平行光に変換している。平行光はビー
ムスプリッタ−１３で反射され対物レンズ１４でディス
ク１５上にφ１μｍ以下に集光される。ディスク１５よ
りの反射光は対物レンズ１４で再び平行光に変換され、
ビームスプリッタ−１３を透過し、単レンズ１６で収束
光にされる。収束光は全反射ミラー１アで２つに分けら
れ、それぞれ焦点位置検出用２分割検出器１８、トラッ
クずれ検出用２分割検出器１９に入射する。これら２つ
の２分割検出器１８．１９の出力をサーボ回路を介して
対物レンズアクチュエーターにフィードバック制御する
ことにより、ディスクの面振れや偏芯に対して追従して
安定な集光ビームスポノトヲディスク上に形成する。デ
ィスクよりの反射光量は２つの２分割検出器１８゜１９
０総和で検出する。

第１図は、本発明の一実施例である。１は被検光学ヘッ
ドであり、たとえば第２図のような構成から成る。２は
溝付ディスクであす１、駆動装置３により被検光学ヘッ
ド１の焦点面内で互いに直交する方向に移動できる。溝
付ディスク２よりの反射光は被検光学ヘッド１の光検出
器で検出され、フォーカスサーボ回路４に焦点位置ずれ
信号を、また総光量検出回路６に総光量信号を出力する
。

フォーカスサーボ回路４の出力は被検光学へノド１の対
物レンズアクチュエータ一部にフィードバックし、溝付
ディスク２上にフォーカス制御する。

総光量検出回路６の出力は処理回路６に入力される０ 第３図に示すように、溝付ディスク２には互いに直交す
る方向に溝が設けられており１．駆動装置３で移動する
ことにより被検光学へノド１で集光されたビームスポッ
ト２１は溝を直交する方向に走査する。

被検光学へノド１の総光量出力は、溝付ディスク２の移
動に従って第４図に示すような変化を生じる。信号の各
ピークが溝付ディスク２の溝に相当する。このとき信号
の最大値をＩｍａｘ最小値を工□□ユとすると変調度ン
は で定義される。変調度Ｍと対物レンズの収差量の関係は
Ｈｏｐｋｉｎｓ（Ｊ、　Ｏｐｔ、　Ｓｏｃ、　Ａｍ、　
、　６９（１９７９）４）により明らかにされており、
本実施例はこれに基づき、互いに直交する方向の溝に対
する変調度で被検光学ヘッド１により形成てれた集光ピ
ー。

ムスポノトの検査をするものである。

溝の深さは、光源の波長をλとすると４のときが変調度
最大となるため、処理回路６で変調度計算ヲするときの
Ｓ／Ｎ　に対して有利である。しかし４に限定するわけ
ではなく、一般に案内溝付ディスクに設けられているほ
ぼξ深さの溝であっても使用できる。さらに溝のかわり
にロンキー烙子のような反射率の異なる格子であっても
きしつかえない。溝間隔は、被検光学へノド１に用いら
れている対物レンズのＮＡ、収差量等によって異なるが
、ＮＡが０．５程度、収差は回折限界まで補正さ凡でい
るとすると、集光ビームスポットはφ１１ｔｍ以下に絞
られるため、１〜２７１ｍ　＠度が望せしい。一般の案
内溝付ディスクに設けられている゛１．６μｍ間隔の溝
も使用できる。

変調度は第１図の処理回路６で演算され、溝付ディヌク
の移動に従って互いに直交する方向の変調度が表示され
る。変調度は、フォーカス位置によって変化するので、
被検光学ヘッドのトラック方向の変調度最大の位置にフ
ォーカス制御すれば画一的な検査ができる。

発明の効果 以上のように本発明では、被検光学ヘッドにより形成さ
れた集光ビームスポットのディスク溝による変調度によ
り、光学ヘッドの検査を高速かつ定量的に行なえる。こ
のため従来例のように感応的な評価でなく正確な評価を
行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における光学ヘッド検査装置
の構成図、第２図は被検光学ヘッドの一例を示す構成図
、第３図は同実施例の溝付ディスクの説明図、第４図は
同実施例の動作説明図、第６図は従来の光学ヘッド検査
法における説明図である。 １・・被検光学ヘッド、２・・・・・溝付ディスク、３
・・・・・、駆動装置。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　はが１泡浴１
図 第　２ｒ！

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被検光学ヘッド出射光の焦点面に設置した溝付あるいは
   ロンキー格子付ディスク板と、ディスク板を前記焦点面
   内で移動する駆動手段と、前記被検光学ヘッドに設けら
   れたディスク板反射光量検出器の出力より光量変化を演
   算する処理回路とを有する光学ヘッド検査装置。