JPH05273142A - 情報記録媒体の欠陥検査装置 - Google Patents
情報記録媒体の欠陥検査装置Info
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- JPH05273142A JPH05273142A JP10050692A JP10050692A JPH05273142A JP H05273142 A JPH05273142 A JP H05273142A JP 10050692 A JP10050692 A JP 10050692A JP 10050692 A JP10050692 A JP 10050692A JP H05273142 A JPH05273142 A JP H05273142A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 欠陥がトラック中心でも、それ以外の位置に
あっても大きさが正確に求められる。 【構成】 光源１からの光は、カップリグレンズ２で平
行光にされ、対物レンズ７で収光されて検査対象物３に
照射される。前記カップリングレンズ２の後に回折格子
１２を設けてビームを分割する。該回折格子のピッチを
変えることにより検査対象物３上に収光されるビームの
ビーム間距離を変えることができ、照射ビームの半径方
向の強度分布が台形形状とすることができる。この台形
ビームを検査対象物に照射することにより、欠陥がトラ
ックのどの位置に存在していても同じ欠陥検出感度で検
出できる。
あっても大きさが正確に求められる。 【構成】 光源１からの光は、カップリグレンズ２で平
行光にされ、対物レンズ７で収光されて検査対象物３に
照射される。前記カップリングレンズ２の後に回折格子
１２を設けてビームを分割する。該回折格子のピッチを
変えることにより検査対象物３上に収光されるビームの
ビーム間距離を変えることができ、照射ビームの半径方
向の強度分布が台形形状とすることができる。この台形
ビームを検査対象物に照射することにより、欠陥がトラ
ックのどの位置に存在していても同じ欠陥検出感度で検
出できる。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、情報記録媒体の欠陥検査装置に
関し、より詳細には、光ディスク、スタンパ、光ディス
ク原盤等のデータ領域の欠陥検査装置に関する。例え
ば、案内グルーブのないガラスや金属板等の欠陥検査に
適用されるものである。
関し、より詳細には、光ディスク、スタンパ、光ディス
ク原盤等のデータ領域の欠陥検査装置に関する。例え
ば、案内グルーブのないガラスや金属板等の欠陥検査に
適用されるものである。
【０００２】
【従来技術】光ディスク等の欠陥検査装置は種々提案さ
れているが、サンプルに集光したビームを照射し、その
反射光の変動より欠陥を検出する方式の欠陥検査装置に
関して、図７に基づいて以下に説明する。図中、２１は
光源、２２はカップリングレンズ、２３はサンプル、２
４はλ／２板、２５はＰＢＳ（Polarizing Beam Splitt
es：偏光ビーム、スプリッタ）、２６はλ／４板、２７
は対象レンズ、２８はＰＢＳ、２９はシリンドリカルレ
ンズ、３０はフォーカス用４分割ダイオード、３１はト
ラッキング用４分割ダイオードである。光源２１から出
た光は、カップリングレンズ２２で平行光にして対物レ
ンズ２７で集光してサンプル２３に照射される。該サン
プル２３からの反射光は、λ／４板２６で偏光が変えら
れ、ＰＢＳ２５で反射されてビームスプリッタ２８でフ
ォーカス用ビームとトラッキング用ビームに分けられ
る。フォーカス用ビームは、フォーカス用４分割ダイオ
ード３０で検出され、対物レンズ２７のフォーカス制御
に使われる。
れているが、サンプルに集光したビームを照射し、その
反射光の変動より欠陥を検出する方式の欠陥検査装置に
関して、図７に基づいて以下に説明する。図中、２１は
光源、２２はカップリングレンズ、２３はサンプル、２
４はλ／２板、２５はＰＢＳ（Polarizing Beam Splitt
es：偏光ビーム、スプリッタ）、２６はλ／４板、２７
は対象レンズ、２８はＰＢＳ、２９はシリンドリカルレ
ンズ、３０はフォーカス用４分割ダイオード、３１はト
ラッキング用４分割ダイオードである。光源２１から出
た光は、カップリングレンズ２２で平行光にして対物レ
ンズ２７で集光してサンプル２３に照射される。該サン
プル２３からの反射光は、λ／４板２６で偏光が変えら
れ、ＰＢＳ２５で反射されてビームスプリッタ２８でフ
ォーカス用ビームとトラッキング用ビームに分けられ
る。フォーカス用ビームは、フォーカス用４分割ダイオ
ード３０で検出され、対物レンズ２７のフォーカス制御
に使われる。
【０００３】図７では非点収差法によるフォーカス検出
系にしたが他のフォーカス方法も使われる。トラッキン
グ用ビームはトラッキング用４分割ダイオード３１で検
出され対物レンズ２７のトラッキング制御に使われる。
また図７は、プッシュプル法によるトラッキング制御系
だが他の方式も使われる。トラッキング・フォーカスに
は４分割ダイオードの差信号を使用するが、この和信号
が反射光量を示すＲＦ信号となる。フォーカス用ダイオ
ード３０の和信号だけの場合もトラッキングダイオード
３１の和信号だけの場合も両者の和信号の和をＲＦ信号
とする場合もある。欠陥検査装置はこのＲＦ信号の欠陥
による変動を検出する。検出方法は、例えば、特開平２
−２７２４１号公報に記載されているように、ＲＦ信号
の変動をしきい値を設けて検出する方法と、微分して検
出する方法とが一般的である。
系にしたが他のフォーカス方法も使われる。トラッキン
グ用ビームはトラッキング用４分割ダイオード３１で検
出され対物レンズ２７のトラッキング制御に使われる。
また図７は、プッシュプル法によるトラッキング制御系
だが他の方式も使われる。トラッキング・フォーカスに
は４分割ダイオードの差信号を使用するが、この和信号
が反射光量を示すＲＦ信号となる。フォーカス用ダイオ
ード３０の和信号だけの場合もトラッキングダイオード
３１の和信号だけの場合も両者の和信号の和をＲＦ信号
とする場合もある。欠陥検査装置はこのＲＦ信号の欠陥
による変動を検出する。検出方法は、例えば、特開平２
−２７２４１号公報に記載されているように、ＲＦ信号
の変動をしきい値を設けて検出する方法と、微分して検
出する方法とが一般的である。
【０００４】以下に、しきい値で検出する方法を図８
（ａ）〜（ｃ）に基づいて説明する。集光ビームがサン
プル上をトラックに沿って移動すると、ＲＦ信号は欠陥
で散乱、回折によりレベルが下がる。これをしきい値で
検出して欠陥信号を生成する。一般的にはこの欠陥信号
より図中のｔ1，ｔ2の長さをクロックより求め（特開昭
６４−８８３４９号公報参照）、欠陥の大きさや欠陥率
等を算出する。欠陥の大きさ、数の測定精度を向上させ
るため、微小欠陥の集りのように検出された欠陥を１つ
の大きな欠陥と判断することも一般的に行なわれる。例
えば、特開平２−２９８８７９号公報に記載されてい
る。また、図７のように透明基板を通して測定する光デ
ィスク等ではなく、記録面側から測定する光ディスクス
タンパ原盤の場合には、例えば、特開平２−２１８９０
６号公報のように、対物レンズ２７とサンプル２３の間
に透過性の補正板を付加することにより光ディスクと同
等に測定することができる。
（ａ）〜（ｃ）に基づいて説明する。集光ビームがサン
プル上をトラックに沿って移動すると、ＲＦ信号は欠陥
で散乱、回折によりレベルが下がる。これをしきい値で
検出して欠陥信号を生成する。一般的にはこの欠陥信号
より図中のｔ1，ｔ2の長さをクロックより求め（特開昭
６４−８８３４９号公報参照）、欠陥の大きさや欠陥率
等を算出する。欠陥の大きさ、数の測定精度を向上させ
るため、微小欠陥の集りのように検出された欠陥を１つ
の大きな欠陥と判断することも一般的に行なわれる。例
えば、特開平２−２９８８７９号公報に記載されてい
る。また、図７のように透明基板を通して測定する光デ
ィスク等ではなく、記録面側から測定する光ディスクス
タンパ原盤の場合には、例えば、特開平２−２１８９０
６号公報のように、対物レンズ２７とサンプル２３の間
に透過性の補正板を付加することにより光ディスクと同
等に測定することができる。
【０００５】しかしながら、レンズ２７で集光された光
は、図９（ａ）,（ｂ）に示すように、ガウンシアンビ
ームとなり、ビーム中心とその周辺では強度が大きく異
なる。そのため、トラック中心の欠陥Ａと、そうでない
欠陥Ｂでは検出感度や検出される欠陥の大きさが大きく
異なる。そのため、従来の欠陥検査装置では微小欠陥は
トラック中心に存在するものしか検出できなかったばか
りでなく、検出された欠陥も欠陥の大きさが正確に検出
できないという問題点があった。
は、図９（ａ）,（ｂ）に示すように、ガウンシアンビ
ームとなり、ビーム中心とその周辺では強度が大きく異
なる。そのため、トラック中心の欠陥Ａと、そうでない
欠陥Ｂでは検出感度や検出される欠陥の大きさが大きく
異なる。そのため、従来の欠陥検査装置では微小欠陥は
トラック中心に存在するものしか検出できなかったばか
りでなく、検出された欠陥も欠陥の大きさが正確に検出
できないという問題点があった。
【０００６】
【目的】本発明は、上述のごとき実情に鑑みなされたも
ので、欠陥がトラック中心でもそれ以外でも存在する位
置に関係なく検出でき、しかも大きさが正確に求められ
るようにした情報記録媒体の欠陥検査装置を提供するこ
とを目的としてなされたものである。
ので、欠陥がトラック中心でもそれ以外でも存在する位
置に関係なく検出でき、しかも大きさが正確に求められ
るようにした情報記録媒体の欠陥検査装置を提供するこ
とを目的としてなされたものである。
【０００７】
【構成】本発明は、上記目的を達成するために、（１）
光ディスク等の検査対象物からの反射光による検知信号
に基づいて検査対象物上の欠陥を検出する欠陥検査装置
において、前記検査対象物への照射ビームの半径方向の
強度分布が台形形状であること、更には、（２）前記照
射ビームが複数ビームの合成ビームであり、該複数ビー
ムが検査対象物の半径方向に並んでいるとともに、それ
ぞれの強度が等しいこと、更には（３）前記照射ビーム
が強度の等しい複数ビームの合成ビームであり、それぞ
れのビームのビーム径が等しく、該ビーム径をａとする
と、それぞれのビーム間距離が１.１ａ〜１.２ａの間
で、ビームが半径方向に並んでいること、更には、
（４）光源と、該光源からの光を集光する集光手段との
間に、前記光源の光を２分割する回折格子を配置したこ
と、更には、（５）前記（４）において、前記集光手段
に入射する複数ビームの合成ビームの半径方向のビーム
径を、前記集光手段の有効径よりも大きくしたことを特
徴としたものである。以下、本発明の実施例に基づいて
説明する。
光ディスク等の検査対象物からの反射光による検知信号
に基づいて検査対象物上の欠陥を検出する欠陥検査装置
において、前記検査対象物への照射ビームの半径方向の
強度分布が台形形状であること、更には、（２）前記照
射ビームが複数ビームの合成ビームであり、該複数ビー
ムが検査対象物の半径方向に並んでいるとともに、それ
ぞれの強度が等しいこと、更には（３）前記照射ビーム
が強度の等しい複数ビームの合成ビームであり、それぞ
れのビームのビーム径が等しく、該ビーム径をａとする
と、それぞれのビーム間距離が１.１ａ〜１.２ａの間
で、ビームが半径方向に並んでいること、更には、
（４）光源と、該光源からの光を集光する集光手段との
間に、前記光源の光を２分割する回折格子を配置したこ
と、更には、（５）前記（４）において、前記集光手段
に入射する複数ビームの合成ビームの半径方向のビーム
径を、前記集光手段の有効径よりも大きくしたことを特
徴としたものである。以下、本発明の実施例に基づいて
説明する。
【０００８】まず、図２（ａ）,（ｂ）は、本発明の欠
陥検査装置に用いられる光ビームの形状について説明す
るための図である。すなわち、従来の欠陥検査装置の集
光ビームがガウシアンビームであったのを改め、半径方
向に台形のビームを使用する。図７のようなガウシアン
ビームでは欠陥の位置により検出感度や検出される欠陥
長等が変化したが、図２のごとく台形ビームにすること
により欠陥の位置に関係なく正確に欠陥の検出や欠陥長
の測定が可能となる。
陥検査装置に用いられる光ビームの形状について説明す
るための図である。すなわち、従来の欠陥検査装置の集
光ビームがガウシアンビームであったのを改め、半径方
向に台形のビームを使用する。図７のようなガウシアン
ビームでは欠陥の位置により検出感度や検出される欠陥
長等が変化したが、図２のごとく台形ビームにすること
により欠陥の位置に関係なく正確に欠陥の検出や欠陥長
の測定が可能となる。
【０００９】図３（ａ）,（ｂ）は、台形ビームの作成
について説明するための図である。一定距離半径方向に
ずれた２つのビームの合成した強度分布は、図に示すよ
うにピークの平らな台形ビームとなる。図（ｂ）に、ビ
ーム半径（１／ｅ2）をａとしたときのビーム間距離と
台形の上底の長さの関係を示す。ビーム半径１μｍの
時、２ビームのビーム間距離を１.１５μｍとすると、
台形の上底の長さは、１.２μｍ弱となる。ピッチ１.６
μｍ、検出最小欠陥を０.５μｍであれば、１.１μｍ以
上上底の長さがあれば、完全に欠陥の位置に関係なく測
定が可能になる。但し、１ビームの場合（ガウシアンビ
ーム）は、図と同様に台形と見なすと上底の隔は０.２
／ａなのでビーム間距離０.８／ａでも、ガウシアンよ
り３倍以上も上底が大きいので測定精度の向上には効果
がある。
について説明するための図である。一定距離半径方向に
ずれた２つのビームの合成した強度分布は、図に示すよ
うにピークの平らな台形ビームとなる。図（ｂ）に、ビ
ーム半径（１／ｅ2）をａとしたときのビーム間距離と
台形の上底の長さの関係を示す。ビーム半径１μｍの
時、２ビームのビーム間距離を１.１５μｍとすると、
台形の上底の長さは、１.２μｍ弱となる。ピッチ１.６
μｍ、検出最小欠陥を０.５μｍであれば、１.１μｍ以
上上底の長さがあれば、完全に欠陥の位置に関係なく測
定が可能になる。但し、１ビームの場合（ガウシアンビ
ーム）は、図と同様に台形と見なすと上底の隔は０.２
／ａなのでビーム間距離０.８／ａでも、ガウシアンよ
り３倍以上も上底が大きいので測定精度の向上には効果
がある。
【００１０】図４（ａ）,（ｂ），図５（ａ）,（ｂ）
は、実際のシミュレーションの結果を示す図で、図４
（ａ）,（ｂ）が従来のガウシアンビームを用いた場合
のもので、図５（ａ）,（ｂ）が本発明の台形ビームを
用いた場合である。図より明らかなように、台形ビーム
では全くトラック中心とトラック中心から０.６μｍズ
レた信号の差は発生しない。
は、実際のシミュレーションの結果を示す図で、図４
（ａ）,（ｂ）が従来のガウシアンビームを用いた場合
のもので、図５（ａ）,（ｂ）が本発明の台形ビームを
用いた場合である。図より明らかなように、台形ビーム
では全くトラック中心とトラック中心から０.６μｍズ
レた信号の差は発生しない。
【００１１】図１は、本発明による情報記録媒体の欠陥
検査装置の一実施例を説明するための構成図で、図中、
１は光源、２はカップリングレンズ、３はサンプル、４
はλ／２板、５はＰＢＳ（Polarizing Beam Splitte：
偏向ビームスプリッタ）、６はλ／４板、７は対物レン
ズ、８はＰＢＳ、９はシリンドリカルレンズ、１０はフ
ォーカス用４分割ダイオード、１１はトラッキング用４
分割ダイオード、１２はビーム分割用回折格子である。
検査装置の一実施例を説明するための構成図で、図中、
１は光源、２はカップリングレンズ、３はサンプル、４
はλ／２板、５はＰＢＳ（Polarizing Beam Splitte：
偏向ビームスプリッタ）、６はλ／４板、７は対物レン
ズ、８はＰＢＳ、９はシリンドリカルレンズ、１０はフ
ォーカス用４分割ダイオード、１１はトラッキング用４
分割ダイオード、１２はビーム分割用回折格子である。
【００１２】光源１から出た光は、カップリングレンズ
２で平行にした対物レンズ７で集光してサンプル３に照
射される。該サンプル３からの反射光はλ／４板６で偏
光が変えられＰＢＳ５で反射されてビームスプリッタ８
でフォーカス用ビームとトラッキング用ビームに分けら
れる。フォーカス用ビームはフォーカス用４分割ダイオ
ード１０で検出され対物レンズ７のフォーカス制御に使
われる。カップリングレンズ２の後にビームを分割する
ための回折格子１２を付加した。ビームの分割比は５０
％：５０％とし、回折格子１２のピッチを変えることに
よりサンプル３上に集光されたビームのビーム間離を変
えることができる。前述のように、ビーム間距離は１.
１５／ａが最も望ましい。また、１.２／ａを越えると
合成ビームの中心光量が下がり２つに分れてしまう。図
６（ａ）〜（ｄ）は、本発明による情報記録媒体の欠陥
検査装置の他の実施例を示す図である。図１で分割され
たビームを図６に示すように、第１・第２ビームの合成
がレンズ開口より大きくなるようにする。これにより収
光ビームは図（ｄ）に示すように台形の下底がせまくな
り、隣のトラックの欠陥を誤って検出してしまうような
ことを除去できる。
２で平行にした対物レンズ７で集光してサンプル３に照
射される。該サンプル３からの反射光はλ／４板６で偏
光が変えられＰＢＳ５で反射されてビームスプリッタ８
でフォーカス用ビームとトラッキング用ビームに分けら
れる。フォーカス用ビームはフォーカス用４分割ダイオ
ード１０で検出され対物レンズ７のフォーカス制御に使
われる。カップリングレンズ２の後にビームを分割する
ための回折格子１２を付加した。ビームの分割比は５０
％：５０％とし、回折格子１２のピッチを変えることに
よりサンプル３上に集光されたビームのビーム間離を変
えることができる。前述のように、ビーム間距離は１.
１５／ａが最も望ましい。また、１.２／ａを越えると
合成ビームの中心光量が下がり２つに分れてしまう。図
６（ａ）〜（ｄ）は、本発明による情報記録媒体の欠陥
検査装置の他の実施例を示す図である。図１で分割され
たビームを図６に示すように、第１・第２ビームの合成
がレンズ開口より大きくなるようにする。これにより収
光ビームは図（ｄ）に示すように台形の下底がせまくな
り、隣のトラックの欠陥を誤って検出してしまうような
ことを除去できる。
【００１３】
【効果】以上の説明から明らかなように、本発明による
と、以下のような効果がある。 （１）請求項１においては、検査対象への照射ビームを
半径方向に台形状にしたので、欠陥がトラック中心に存
在しても、トラック中心からハズレた所に存在しても同
じ欠陥検出感度や同じ欠陥長測定値が得られるので欠陥
検査精度が向上した。 （２）請求項２においては、台形ビームを従来からのガ
ウシアンビームの合成で作り出したので、従来の装置に
ビームを分割する手段を付加するだけで高精度な欠陥検
査装置を構成できる。 （３）請求項３においては、合成するビーム間距離を所
定の値にすることにより最も台形ビームの上底の長さを
広くすることができるので、必要な幅の台形ビームを最
も少ないビーム数（検査対称のトラックピッチが１.６
μｍ以下なら２ビームで可能）で構成することができる
ので簡単に高精度な欠陥検査装置を構成できる。 （４）請求項４においては、ビームを分割する手段に回
折格子を使ったので、従来の欠陥検査装置の光学系をそ
のままに回折格子を追加するだけで強度の等しい２つの
ビームに分割できるばかりでなく、回折格子のピッチ調
整により簡単にビーム間距離を変えられるので簡単に高
精度な欠陥検査装置を構成できる。 （５）請求項５においては、合成ビームをガウシアンで
なくエアリービームで構成できるので台形ビームの下底
を小さくすることができ、隣のトラックにある欠陥を誤
って検出することを防止できるので欠陥検査精度の向上
が図れる。
と、以下のような効果がある。 （１）請求項１においては、検査対象への照射ビームを
半径方向に台形状にしたので、欠陥がトラック中心に存
在しても、トラック中心からハズレた所に存在しても同
じ欠陥検出感度や同じ欠陥長測定値が得られるので欠陥
検査精度が向上した。 （２）請求項２においては、台形ビームを従来からのガ
ウシアンビームの合成で作り出したので、従来の装置に
ビームを分割する手段を付加するだけで高精度な欠陥検
査装置を構成できる。 （３）請求項３においては、合成するビーム間距離を所
定の値にすることにより最も台形ビームの上底の長さを
広くすることができるので、必要な幅の台形ビームを最
も少ないビーム数（検査対称のトラックピッチが１.６
μｍ以下なら２ビームで可能）で構成することができる
ので簡単に高精度な欠陥検査装置を構成できる。 （４）請求項４においては、ビームを分割する手段に回
折格子を使ったので、従来の欠陥検査装置の光学系をそ
のままに回折格子を追加するだけで強度の等しい２つの
ビームに分割できるばかりでなく、回折格子のピッチ調
整により簡単にビーム間距離を変えられるので簡単に高
精度な欠陥検査装置を構成できる。 （５）請求項５においては、合成ビームをガウシアンで
なくエアリービームで構成できるので台形ビームの下底
を小さくすることができ、隣のトラックにある欠陥を誤
って検出することを防止できるので欠陥検査精度の向上
が図れる。
【図１】 本発明による情報記録媒体の欠陥検査装置の
一実施例を説明するための構成図である。
一実施例を説明するための構成図である。
【図２】 本発明に用いられる光ビームの形状について
説明するための図である。
説明するための図である。
【図３】 台形ビームの作成について説明するための図
である。
である。
【図４】 実際のシミュレーションの結果（従来例）を
示す図である。
示す図である。
【図５】 実際のシミュレーションの結果（本発明）を
示す図である。
示す図である。
【図６】 本発明による情報記録媒体の欠陥検査装置の
他の実施例を示す図である。
他の実施例を示す図である。
【図７】 光ビームがガウシアンビームである場合につ
いて説明するための図である。
いて説明するための図である。
【図８】 従来の欠陥検査方法を説明するための図であ
る。
る。
【図９】 従来の欠陥検査装置を示す図である。
１…光源、２…カップリングレンズ、３…サンプル、４
…λ／２板、５…ＰＢＳ（Polarizing Beam Splitte：
偏向ビームスプリッタ）、６…λ／４板、７…対物レン
ズ、８…ＰＢＳ、９…シリンドリカルレンズ、１０…フ
ォーカス用４分割ダイオード、１１…トラッキング用４
分割ダイオード、１２…ビーム分割用回折格子。
…λ／２板、５…ＰＢＳ（Polarizing Beam Splitte：
偏向ビームスプリッタ）、６…λ／４板、７…対物レン
ズ、８…ＰＢＳ、９…シリンドリカルレンズ、１０…フ
ォーカス用４分割ダイオード、１１…トラッキング用４
分割ダイオード、１２…ビーム分割用回折格子。
Claims (5)
- 【請求項１】 光ディスク等の検査対象物からの反射光
による検知信号に基づいて検査対象物上の欠陥を検出す
る欠陥検査装置において、前記検査対象物への照射ビー
ムの半径方向の強度分布が台形形状であることを特徴と
する情報記録媒体の欠陥検査装置。 - 【請求項２】 前記照射ビームが複数ビームの合成ビー
ムであり、該複数ビームが検査対象物の半径方向に並ん
でいるとともに、それぞれの強度が等しいことを特徴と
する請求項１記載の情報記録媒体の欠陥検査装置。 - 【請求項３】 前記照射ビームが強度の等しい複数ビー
ムの合成ビームであり、それぞれのビームのビーム径が
等しく、該ビーム径をａとすると、それぞれのビーム間
距離が１.１ａ〜１.２ａの間で、ビームが半径方向に並
んでいることを特徴とする請求項１記載の情報記録媒体
の欠陥検査装置。 - 【請求項４】 光源と、該光源からの光を集光する集光
手段との間に、前記光源の光を２分割する回折格子を配
置したことを特徴とする請求項１記載の情報記録媒体の
欠陥検査装置。 - 【請求項５】 前記集光手段に入射する複数ビームの合
成ビームの半径方向のビーム径を、前記集光手段の有効
径よりも大きくしたことを特徴とする請求項４記載の情
報記録媒体の欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10050692A JPH05273142A (ja) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | 情報記録媒体の欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10050692A JPH05273142A (ja) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | 情報記録媒体の欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05273142A true JPH05273142A (ja) | 1993-10-22 |
Family
ID=14275835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10050692A Pending JPH05273142A (ja) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | 情報記録媒体の欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05273142A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1318392A1 (en) | 2001-12-04 | 2003-06-11 | Kabushiki Kaisha Topcon | Surface inspection system |
| JP2003166946A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-13 | Topcon Corp | 表面検査装置 |
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| US8533948B2 (en) | 2007-11-19 | 2013-09-17 | Alstom Technology Ltd | Process for producing a rotor |
| JP2018124065A (ja) * | 2017-01-30 | 2018-08-09 | 株式会社ディスコ | 検査装置 |
-
1992
- 1992-03-25 JP JP10050692A patent/JPH05273142A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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