JPS62145239A - ポジ型感光性耐熱材料 - Google Patents
ポジ型感光性耐熱材料Info
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- JPS62145239A JPS62145239A JP28815285A JP28815285A JPS62145239A JP S62145239 A JPS62145239 A JP S62145239A JP 28815285 A JP28815285 A JP 28815285A JP 28815285 A JP28815285 A JP 28815285A JP S62145239 A JPS62145239 A JP S62145239A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
（産業上の利用分野）
この発明は新規なポジ型の感光特性を有するポジ型感光
性耐熱材料に関するものである。 Ｌ従来の技術フ 従来、感光性を有する耐熱性樹脂として、（１）ポリア
ミド酸と重クロム酸塩の混合物（特公昭４９−１７８７
４号公報）（２）ピロメリット酸誘導体から合成される
感光性ポリアミド（特開昭４９−１１５５４１号公報）
（３）ポリアミド酸と不飽和アミンの混合物（特開昭５
４−１４５７９４号公報］（４）ポリアミド酸と不飽和
エポキシの反応物（特開昭５５−４５７４６号公報）（
５）ポリアミド酸とアジド基含有アミンの混合物（特開
昭５８−６７７２４号公報）など種々の提案がなされて
いる。
性耐熱材料に関するものである。 Ｌ従来の技術フ 従来、感光性を有する耐熱性樹脂として、（１）ポリア
ミド酸と重クロム酸塩の混合物（特公昭４９−１７８７
４号公報）（２）ピロメリット酸誘導体から合成される
感光性ポリアミド（特開昭４９−１１５５４１号公報）
（３）ポリアミド酸と不飽和アミンの混合物（特開昭５
４−１４５７９４号公報］（４）ポリアミド酸と不飽和
エポキシの反応物（特開昭５５−４５７４６号公報）（
５）ポリアミド酸とアジド基含有アミンの混合物（特開
昭５８−６７７２４号公報）など種々の提案がなされて
いる。
しかしながら、上記した材料はすべてネガ型の感光特性
を有したものである。ネガ型感光性樹脂は、溶解性の樹
脂を光架橋させて不溶化させ、未露光部との溶解差を利
用して現像を行ない、パターニングを行なうものである
。光架橋反応を完全に起こすことができれば、露光部と
未露光部とにおいて、良好な俗解差を生じさせることが
可能であるが１通常、この反応は完全には起こすことは
難しい。そのため、未露光部を洗い出すための現像工程
で、露光部の架橋不十分な部分が一部洗い出されるため
に１表面の膜粗れの原因となる。 さらに、ネガ型感光性樹脂は、現像液に溶解する樹脂を
、光架橋反応を起こさせて不溶化することにより１画像
を形成させるものであり、この現像の工程で、架橋部（
露光部）の現像液による膨潤はさけることが出来ない。 そのため、これを原因としたパターンの乱れや、剥離等
が発生して、画像形成の信頼性が乏しくなるばかりでな
く、高解像度の画像形成を行なう上で、非常に不利とな
る。 この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、直接光および電子線でパターニングが可能で、パ
ターンの乱れが無く、高耐熱性で高解像度のポジ型感光
性耐熱材料を得ることを目的とする。 〔問題点を解決するための手段〕 この発明のポジ型感光性耐熱材料は、一般式で示される
重合体および一般式 で示される重合体を含有するものである、〔作用コ この発明の感光性耐熱材料は、ポジ型であるため、現像
液による膨潤などが無く高解像度となり。 硬化時の重量変化が低減するためパターンの乱れが無く
、さらに加熱によるイミド化により高耐熱性となる。 Ｌ実施例〕 この発明の実施例のポジ型感光性耐熱材料が、一般式（
１）で示される重合体２０〜９０ηＮｕ部および一般式
（２）で示される重合体１０〜８０重量部含有すること
は好ましい。 この発明に係わる一般式（１）で示される重合体の合成
は種々可能であるが、典型的な方法を述べると、一般式
（３）で示されるジカルボン酸クロライドＨａＮ
ＲＩ ＮＨ２（４） （式中−Ｒ１，Ｒｉ・Ｒ３は一般式（１）と同様ンと一
般式（４）で示されるジアミンとの重縮合により行なう
方法、および一般式（５）で示されるジカルボン酸と一
般式（６）で示されるジイソシアネートとのＯＣＮ −
Ｒ１−ＮＣＯ（６） （式中、Ｒ１，Ｒ２・Ｒ３は一般式（１）と同様】反応
により行なう方法などを挙げることができる。 また、この発明に係わる一般式（２）で示される重合体
は１種々の方法により合成が可能であるが。 通常、下記構造の一般式（７１、＋８）ＨＥＮ Ｒ
４ＮＨｊ （７）（式中＊ Ｒ４” Ｒ
５は一般式（２）と同様】の化合物の付加縮合により得
られるポリアミド酸を、シクロヘキシルカルボジイミド
（高分子論文集第３４巻第５７７頁１９７７年刊行）、
チオニルクロライド（雑誌（Ｅｕｒｏｐｅａｎ Ｐｏｌ
ｙｍｅｒ Ｊｏｕｒｎａｅ第１５巻第４０９頁１９７９
年刊行））、三塩化リン（雑誌（Ｊｏｕｒｎａｅｏｆ
Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｏｌｙｍｅｒ ５ｃｉｅｎｃｅ第１
１巻第６０９頁１９６７年刊行））、無水トリフルオロ
酢酸（雑誌（Ｖｙｓｏｋｏｍｏ／ ５ｏｙｅｄ 第Ａ
Ｉ７巻第１７６４頁１９７５年刊行））などの脱水剤を
用いて閉環させることにより合成することが可能である
。 一般式（１）で示される重合体の合成に際して使用され
る一般式（３）および（５）の化合物は以下のようにし
て合成することが可能である。即ち、ベンジルアルコー
ル誘導体とテトラカルボン酸二無水物との反応により、
一般式（５）のジカルボン酸が合成され、さらに酸ハロ
ゲン化を行なうことにより一般式（３）のジルカルボン
酸クロライドが合成される。 テトラカルボン酸二無水物としては１例えばピロメリッ
ト酸二無水物、ｓ、 ８： ４．４’−テトラカルボン
酸二無水物、 ａ、 ８： ４．４’−ビフェニルテ
トラカルボン酸二無水物、１．２，５．６−ナフタレン
テトラカルボン酸二無水物、２，２−ビス（ジカルボキ
シフェニル〕ヘキサフルオロプロパンニ酸無水物。 １、２．８．４−ブタンテトラカルボン酸二無水物およ
び１．２．８．４−シクロペンタンテトラカルボン酸二
蕪水物などをあげることができる。また、ベンジルアル
コール誘導体としては、２−ニトロベンジルアルコール
、ａ−メチル−２−二トロベンジルアルコール、ａ−エ
チル−２−二トロベンジルアルコール、２．４−ジニト
ロベンジルアルコールおよびα−メチル−２，４−ジニ
トロベンジルアルコールなどをあげることができる。 さらに、一般式（４）および（７）で示されるジアミン
としては１例えば、エチレンジアミン・トリメチレンジ
アミン？ヘキサメチレンジアミン、ジアミノジシクロへ
キシルジアミン、キシリレンジアミン、ジアミノジフェ
ニルエーテル、ジアミノジフェニルメタン、ジアミノジ
フェニルスルホン、ジアミノベンゾフェノン、ビス（γ
−アミノプロピル）テトラメチルジシロキサン、ジアミ
ノフェニルインデン、ベンジジン、０−トリジンおよび
１．３−ジ（Ｐ−アミノフエニルンテトラメチルジシロ
キサンなどを挙げることができる。 また、一般式（６）で示されるジイソシアネートとして
は、ジフェニルメタンジイソシアネート、トルエンジイ
ソシアネート、ジフェニルエーテルジイソシアネート、
ベンゾフェノンジイソシアネート、ジフェニルスルホン
ジイソシアネート、およびナフタレンジイソシアネート
などを挙げることができる。 この発明の一実施例のポジ型感光性耐熱材料は有機溶媒
の１０〜５０重量％のａ度の溶液として使用されるのが
好ましく、その濃度は作業上の条件に合せて任Ｍ（こ選
択が可能である。この有機溶媒としては、一般式（１）
および（２）の重合体に不活性であり、良溶媒であるも
のならばどのようなものでも使用可能であるが、Ｎ−メ
チル−２−ピロリドン、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド
、Ｎ、Ｎ−ジメチルスルホキシドｍ−クレゾールおよび
Ｎ、Ｎ−ジメチルホルムアミドなどは好ましい溶媒であ
る。 この発明のポジ型感光性耐熱材料をガラス板あるいはシ
リコンウェハーとに回転塗布したのち、５０〜９０℃で
ブレキュアーして膜を形成することができる。この際、
α−アミノプロピルトリメトキシシランおよび４−アミ
ノフェニルトリメトキシシランなどのカップリング剤を
処理した基板を用いることにより、さらにすぐれた接着
性を与えることができる。 上述の膜上に所定のパターンを有するマスクを装着し、
光または電子線を照射し、アルカリ水浴液で現像するこ
とにより、露光部が洗い出されて端面のシャープなレリ
ーフパターンが得られる。 この際、使用される現像液はアルカリ水溶液であればど
のようなものでも良（、苛性カリウム、テトラメチルア
ンモニウムヒドロキサイド、エタノールアミンおよびＮ
、Ｎ−ジメチルエタノールアミンなどの水浴液を例とし
てあげることができる、以下、この発明を実施例により
具体的に説明するが、これによりこの発明が限定されな
い。 実施例１ ８８．４６ｇ （０，２２モル〕のＯ−ニトロベンジ
ルアルコールと８００ｍｇの乾燥したトルエンとを加え
。 均一に溶解し、この中に、ピロメリット酸二無水物の２
１．８ ｇ （０，１モル）を加えて、５時間リフラッ
クスさせた。析出した結晶を回収し、元素分析・赤外線
吸収スペクトルの測定から、ピロメリット酸ジ（０−ニ
トロベンジルエステル）であることが確認できた。 得られた酸を、チオニルクロライド中で、リフラックス
させ、酸ハロゲン化させた。反応後、一部のチオニルク
ロライドを留去し、結晶を析出させた。元素分析および
、赤外線吸収スペクトルの測定から、酸ハロゲンの確認
ができた。また、この物質は７０％の収率で得られた。 ４．４−ジアミノジフェニルエーテル１ ｇ （０，０
０５モル）と無水炭酸ナトリウム０．６８ ｇ （０，
００６モ／Ｉ／ ）と、蒸留水１００ｍ／ 、アセトン
２００ｍＦとを１ｇのビー力に加え、完全に溶解させた
のち、水浴で冷却させた。一方、上記で得られた酸クロ
ライドの２．８０５ｇ （０，００５モル〕を乾燥した
クロロホルム１００ ｇに溶解させた。 これらの二液を、高速ミキサーで、低温で混合した。反
応後、メタノールを加えて、ポリマーを析出させ、十分
水洗後１回収し、乾燥させ一般式（１）の重合体を得た
。 表 １ 攪拌機、温度計、チッ素導入管、塩化カルシウム管を備
えた５００ｍｇの４つ目フラスコに、４．４’−ジアミ
ノジフェニルエーテル２０ｇ（０，１モル）と乾燥した
Ｎ−メチル−２−ピロリドン８５０ ｇを加え、均一に
溶解させた。ａ、 ８’、 ４．４’−ベンゾフェノン
テトラカルボン酸無水物の８２．２ ｇ （０，１モル
〕を反応温度が８０℃を越えないように、数回に分けて
添加させる。添加後、８時間反応を続けてポリアミド酸
を得た。次いで、この溶液を０〜５℃に冷却させ、シク
ロヘキシルカルボジイミド４１．８ ｇ （０，２モル
）を数回に分けて添加し、十分攪拌した。添加後、４時
間反応を続けたのち、室温にもどした。 反応後、析出した尿素誘導体を加圧ろ加して除き、メタ
ノール中に再沈して、十分、アルコール洗浄し、尿素誘
導体を除いて一般式（２）の重合体を得た。 得られた重合体の赤外線吸収スペクトルにおいて、１８
００ｃｍ−’、 １７１０ｃｍ−’ にカルボニル基に
よる吸収が、 ９１０ｃｍ−’にラクトンのＣ−０によ
る吸収が認められることから、一般式（２）のイソイミ
ド構造を有することが明らかとなった。 表 ２ 上記のようにして得た一般式（１）で示される重合体４
ｇ、および一般式（２）で示される重合体６ｇをＮ−メ
チル−２−ピロリドンに混合し樹脂液とし。 この発明の一実施例のポジ型感光性耐熱材料を得た。 得られた樹脂液をガラス板に塗布し、８０℃３０分間加
熱乾燥させることにより膜を得た。この膜に。 所定のマスクを通して、紫外線（Ｈｇ−Ｘｅランプ５０
０ Ｗ ）を８０秒間照射した。照射後、テトラメチル
アンモニウムヒドロキサイドの５％水溶液ｆこより現像
を行なうことにより、良好なパターンが得られた。この
パターンを、２００℃３０分、８５０℃３０分チッ素中
で加熱を行なったが、パターンの乱れは、はとんど起ら
ず、良好なパターンが得られた。 加熱処理を行なった膜の、熱Ｍ最減少を測定した結果を
１表３に合せて示した。なお、条件は。 １０℃／分、チッ素気流下で測定した。その結果。 耐熱性に優れていることが解る。 実施例２〜８ 表１のアミンを用いる他は上記と同様の方法により一般
式（１）の重合体を合成し、表２のジアミンと酸二無水
物を用いる他は上記と同様の方法Ｃζより一般式（２）
の重合体を合成した。 表８（こ示した一般式（１）で示される重合体、一般式
（２）で示される重合体および溶媒を用いる他は実施例
１と同様にしてこの発明の他の実施例のポジ型感光性耐
熱材料を得、その特性を実施例１と同様に検討した結果
を合せて表３に示し、実施例１と同様の優れた特性を得
た。 〔発明の効果〕 で示される重合体を含有するものを用いることにより、
直接光および電子線でパターニングが可能で、パターン
の乱れが無く、高耐熱性で高解像度のポジ型感光性耐熱
材料を得ることができる。
を有したものである。ネガ型感光性樹脂は、溶解性の樹
脂を光架橋させて不溶化させ、未露光部との溶解差を利
用して現像を行ない、パターニングを行なうものである
。光架橋反応を完全に起こすことができれば、露光部と
未露光部とにおいて、良好な俗解差を生じさせることが
可能であるが１通常、この反応は完全には起こすことは
難しい。そのため、未露光部を洗い出すための現像工程
で、露光部の架橋不十分な部分が一部洗い出されるため
に１表面の膜粗れの原因となる。 さらに、ネガ型感光性樹脂は、現像液に溶解する樹脂を
、光架橋反応を起こさせて不溶化することにより１画像
を形成させるものであり、この現像の工程で、架橋部（
露光部）の現像液による膨潤はさけることが出来ない。 そのため、これを原因としたパターンの乱れや、剥離等
が発生して、画像形成の信頼性が乏しくなるばかりでな
く、高解像度の画像形成を行なう上で、非常に不利とな
る。 この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、直接光および電子線でパターニングが可能で、パ
ターンの乱れが無く、高耐熱性で高解像度のポジ型感光
性耐熱材料を得ることを目的とする。 〔問題点を解決するための手段〕 この発明のポジ型感光性耐熱材料は、一般式で示される
重合体および一般式 で示される重合体を含有するものである、〔作用コ この発明の感光性耐熱材料は、ポジ型であるため、現像
液による膨潤などが無く高解像度となり。 硬化時の重量変化が低減するためパターンの乱れが無く
、さらに加熱によるイミド化により高耐熱性となる。 Ｌ実施例〕 この発明の実施例のポジ型感光性耐熱材料が、一般式（
１）で示される重合体２０〜９０ηＮｕ部および一般式
（２）で示される重合体１０〜８０重量部含有すること
は好ましい。 この発明に係わる一般式（１）で示される重合体の合成
は種々可能であるが、典型的な方法を述べると、一般式
（３）で示されるジカルボン酸クロライドＨａＮ
ＲＩ ＮＨ２（４） （式中−Ｒ１，Ｒｉ・Ｒ３は一般式（１）と同様ンと一
般式（４）で示されるジアミンとの重縮合により行なう
方法、および一般式（５）で示されるジカルボン酸と一
般式（６）で示されるジイソシアネートとのＯＣＮ −
Ｒ１−ＮＣＯ（６） （式中、Ｒ１，Ｒ２・Ｒ３は一般式（１）と同様】反応
により行なう方法などを挙げることができる。 また、この発明に係わる一般式（２）で示される重合体
は１種々の方法により合成が可能であるが。 通常、下記構造の一般式（７１、＋８）ＨＥＮ Ｒ
４ＮＨｊ （７）（式中＊ Ｒ４” Ｒ
５は一般式（２）と同様】の化合物の付加縮合により得
られるポリアミド酸を、シクロヘキシルカルボジイミド
（高分子論文集第３４巻第５７７頁１９７７年刊行）、
チオニルクロライド（雑誌（Ｅｕｒｏｐｅａｎ Ｐｏｌ
ｙｍｅｒ Ｊｏｕｒｎａｅ第１５巻第４０９頁１９７９
年刊行））、三塩化リン（雑誌（Ｊｏｕｒｎａｅｏｆ
Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｏｌｙｍｅｒ ５ｃｉｅｎｃｅ第１
１巻第６０９頁１９６７年刊行））、無水トリフルオロ
酢酸（雑誌（Ｖｙｓｏｋｏｍｏ／ ５ｏｙｅｄ 第Ａ
Ｉ７巻第１７６４頁１９７５年刊行））などの脱水剤を
用いて閉環させることにより合成することが可能である
。 一般式（１）で示される重合体の合成に際して使用され
る一般式（３）および（５）の化合物は以下のようにし
て合成することが可能である。即ち、ベンジルアルコー
ル誘導体とテトラカルボン酸二無水物との反応により、
一般式（５）のジカルボン酸が合成され、さらに酸ハロ
ゲン化を行なうことにより一般式（３）のジルカルボン
酸クロライドが合成される。 テトラカルボン酸二無水物としては１例えばピロメリッ
ト酸二無水物、ｓ、 ８： ４．４’−テトラカルボン
酸二無水物、 ａ、 ８： ４．４’−ビフェニルテ
トラカルボン酸二無水物、１．２，５．６−ナフタレン
テトラカルボン酸二無水物、２，２−ビス（ジカルボキ
シフェニル〕ヘキサフルオロプロパンニ酸無水物。 １、２．８．４−ブタンテトラカルボン酸二無水物およ
び１．２．８．４−シクロペンタンテトラカルボン酸二
蕪水物などをあげることができる。また、ベンジルアル
コール誘導体としては、２−ニトロベンジルアルコール
、ａ−メチル−２−二トロベンジルアルコール、ａ−エ
チル−２−二トロベンジルアルコール、２．４−ジニト
ロベンジルアルコールおよびα−メチル−２，４−ジニ
トロベンジルアルコールなどをあげることができる。 さらに、一般式（４）および（７）で示されるジアミン
としては１例えば、エチレンジアミン・トリメチレンジ
アミン？ヘキサメチレンジアミン、ジアミノジシクロへ
キシルジアミン、キシリレンジアミン、ジアミノジフェ
ニルエーテル、ジアミノジフェニルメタン、ジアミノジ
フェニルスルホン、ジアミノベンゾフェノン、ビス（γ
−アミノプロピル）テトラメチルジシロキサン、ジアミ
ノフェニルインデン、ベンジジン、０−トリジンおよび
１．３−ジ（Ｐ−アミノフエニルンテトラメチルジシロ
キサンなどを挙げることができる。 また、一般式（６）で示されるジイソシアネートとして
は、ジフェニルメタンジイソシアネート、トルエンジイ
ソシアネート、ジフェニルエーテルジイソシアネート、
ベンゾフェノンジイソシアネート、ジフェニルスルホン
ジイソシアネート、およびナフタレンジイソシアネート
などを挙げることができる。 この発明の一実施例のポジ型感光性耐熱材料は有機溶媒
の１０〜５０重量％のａ度の溶液として使用されるのが
好ましく、その濃度は作業上の条件に合せて任Ｍ（こ選
択が可能である。この有機溶媒としては、一般式（１）
および（２）の重合体に不活性であり、良溶媒であるも
のならばどのようなものでも使用可能であるが、Ｎ−メ
チル−２−ピロリドン、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド
、Ｎ、Ｎ−ジメチルスルホキシドｍ−クレゾールおよび
Ｎ、Ｎ−ジメチルホルムアミドなどは好ましい溶媒であ
る。 この発明のポジ型感光性耐熱材料をガラス板あるいはシ
リコンウェハーとに回転塗布したのち、５０〜９０℃で
ブレキュアーして膜を形成することができる。この際、
α−アミノプロピルトリメトキシシランおよび４−アミ
ノフェニルトリメトキシシランなどのカップリング剤を
処理した基板を用いることにより、さらにすぐれた接着
性を与えることができる。 上述の膜上に所定のパターンを有するマスクを装着し、
光または電子線を照射し、アルカリ水浴液で現像するこ
とにより、露光部が洗い出されて端面のシャープなレリ
ーフパターンが得られる。 この際、使用される現像液はアルカリ水溶液であればど
のようなものでも良（、苛性カリウム、テトラメチルア
ンモニウムヒドロキサイド、エタノールアミンおよびＮ
、Ｎ−ジメチルエタノールアミンなどの水浴液を例とし
てあげることができる、以下、この発明を実施例により
具体的に説明するが、これによりこの発明が限定されな
い。 実施例１ ８８．４６ｇ （０，２２モル〕のＯ−ニトロベンジ
ルアルコールと８００ｍｇの乾燥したトルエンとを加え
。 均一に溶解し、この中に、ピロメリット酸二無水物の２
１．８ ｇ （０，１モル）を加えて、５時間リフラッ
クスさせた。析出した結晶を回収し、元素分析・赤外線
吸収スペクトルの測定から、ピロメリット酸ジ（０−ニ
トロベンジルエステル）であることが確認できた。 得られた酸を、チオニルクロライド中で、リフラックス
させ、酸ハロゲン化させた。反応後、一部のチオニルク
ロライドを留去し、結晶を析出させた。元素分析および
、赤外線吸収スペクトルの測定から、酸ハロゲンの確認
ができた。また、この物質は７０％の収率で得られた。 ４．４−ジアミノジフェニルエーテル１ ｇ （０，０
０５モル）と無水炭酸ナトリウム０．６８ ｇ （０，
００６モ／Ｉ／ ）と、蒸留水１００ｍ／ 、アセトン
２００ｍＦとを１ｇのビー力に加え、完全に溶解させた
のち、水浴で冷却させた。一方、上記で得られた酸クロ
ライドの２．８０５ｇ （０，００５モル〕を乾燥した
クロロホルム１００ ｇに溶解させた。 これらの二液を、高速ミキサーで、低温で混合した。反
応後、メタノールを加えて、ポリマーを析出させ、十分
水洗後１回収し、乾燥させ一般式（１）の重合体を得た
。 表 １ 攪拌機、温度計、チッ素導入管、塩化カルシウム管を備
えた５００ｍｇの４つ目フラスコに、４．４’−ジアミ
ノジフェニルエーテル２０ｇ（０，１モル）と乾燥した
Ｎ−メチル−２−ピロリドン８５０ ｇを加え、均一に
溶解させた。ａ、 ８’、 ４．４’−ベンゾフェノン
テトラカルボン酸無水物の８２．２ ｇ （０，１モル
〕を反応温度が８０℃を越えないように、数回に分けて
添加させる。添加後、８時間反応を続けてポリアミド酸
を得た。次いで、この溶液を０〜５℃に冷却させ、シク
ロヘキシルカルボジイミド４１．８ ｇ （０，２モル
）を数回に分けて添加し、十分攪拌した。添加後、４時
間反応を続けたのち、室温にもどした。 反応後、析出した尿素誘導体を加圧ろ加して除き、メタ
ノール中に再沈して、十分、アルコール洗浄し、尿素誘
導体を除いて一般式（２）の重合体を得た。 得られた重合体の赤外線吸収スペクトルにおいて、１８
００ｃｍ−’、 １７１０ｃｍ−’ にカルボニル基に
よる吸収が、 ９１０ｃｍ−’にラクトンのＣ−０によ
る吸収が認められることから、一般式（２）のイソイミ
ド構造を有することが明らかとなった。 表 ２ 上記のようにして得た一般式（１）で示される重合体４
ｇ、および一般式（２）で示される重合体６ｇをＮ−メ
チル−２−ピロリドンに混合し樹脂液とし。 この発明の一実施例のポジ型感光性耐熱材料を得た。 得られた樹脂液をガラス板に塗布し、８０℃３０分間加
熱乾燥させることにより膜を得た。この膜に。 所定のマスクを通して、紫外線（Ｈｇ−Ｘｅランプ５０
０ Ｗ ）を８０秒間照射した。照射後、テトラメチル
アンモニウムヒドロキサイドの５％水溶液ｆこより現像
を行なうことにより、良好なパターンが得られた。この
パターンを、２００℃３０分、８５０℃３０分チッ素中
で加熱を行なったが、パターンの乱れは、はとんど起ら
ず、良好なパターンが得られた。 加熱処理を行なった膜の、熱Ｍ最減少を測定した結果を
１表３に合せて示した。なお、条件は。 １０℃／分、チッ素気流下で測定した。その結果。 耐熱性に優れていることが解る。 実施例２〜８ 表１のアミンを用いる他は上記と同様の方法により一般
式（１）の重合体を合成し、表２のジアミンと酸二無水
物を用いる他は上記と同様の方法Ｃζより一般式（２）
の重合体を合成した。 表８（こ示した一般式（１）で示される重合体、一般式
（２）で示される重合体および溶媒を用いる他は実施例
１と同様にしてこの発明の他の実施例のポジ型感光性耐
熱材料を得、その特性を実施例１と同様に検討した結果
を合せて表３に示し、実施例１と同様の優れた特性を得
た。 〔発明の効果〕 で示される重合体を含有するものを用いることにより、
直接光および電子線でパターニングが可能で、パターン
の乱れが無く、高耐熱性で高解像度のポジ型感光性耐熱
材料を得ることができる。
Claims (2)
- （１）一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼（１） （式中、Ｒ＿１は２価の有機基、Ｒ＿２は４価の有機基
、Ｒ＿２はオルト位にニトロ基を有するベンジル誘導体
残基ｎは任意の正の整数を示 す。） で示される重合体、および 一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼（２） （式中、Ｒ＿４は２価の有機基、Ｒ＿５は４価の有機基
、ｍは任意の正の整数を示す。） で示される重合体を含有するポジ型感光性耐熱材料。 - （２）Ｒ＿３が ▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、
表等があります▼、▲数式、化学式、表等があります▼
および ▲数式、化学式、表等があります▼ のうちの何れか一種である特許請求の範囲第１項記載の
ポジ型感光性耐熱材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28815285A JPS62145239A (ja) | 1985-12-19 | 1985-12-19 | ポジ型感光性耐熱材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28815285A JPS62145239A (ja) | 1985-12-19 | 1985-12-19 | ポジ型感光性耐熱材料 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62145239A true JPS62145239A (ja) | 1987-06-29 |
| JPH0437423B2 JPH0437423B2 (ja) | 1992-06-19 |
Family
ID=17726474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28815285A Granted JPS62145239A (ja) | 1985-12-19 | 1985-12-19 | ポジ型感光性耐熱材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62145239A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994018607A1 (en) * | 1993-02-03 | 1994-08-18 | Toray Industries, Inc. | Process for forming positive polyimide pattern |
| WO2007119384A1 (ja) | 2006-03-16 | 2007-10-25 | Asahi Glass Company, Limited | ネガ型感光性含フッ素芳香族系樹脂組成物 |
| WO2021261429A1 (ja) * | 2020-06-23 | 2021-12-30 | 富士フイルム株式会社 | 硬化性樹脂組成物、硬化膜、積層体、硬化膜の製造方法、半導体デバイス、及び、熱硬化性樹脂 |
-
1985
- 1985-12-19 JP JP28815285A patent/JPS62145239A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994018607A1 (en) * | 1993-02-03 | 1994-08-18 | Toray Industries, Inc. | Process for forming positive polyimide pattern |
| WO2007119384A1 (ja) | 2006-03-16 | 2007-10-25 | Asahi Glass Company, Limited | ネガ型感光性含フッ素芳香族系樹脂組成物 |
| US7892720B2 (en) | 2006-03-16 | 2011-02-22 | Asahi Glass Company, Limited | Negative photosensitive fluorinated aromatic resin composition |
| JP4730436B2 (ja) * | 2006-03-16 | 2011-07-20 | 旭硝子株式会社 | ネガ型感光性含フッ素芳香族系樹脂組成物 |
| WO2021261429A1 (ja) * | 2020-06-23 | 2021-12-30 | 富士フイルム株式会社 | 硬化性樹脂組成物、硬化膜、積層体、硬化膜の製造方法、半導体デバイス、及び、熱硬化性樹脂 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0437423B2 (ja) | 1992-06-19 |
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