JPS6214372B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPS6214372B2
JPS6214372B2 JP55025830A JP2583080A JPS6214372B2 JP S6214372 B2 JPS6214372 B2 JP S6214372B2 JP 55025830 A JP55025830 A JP 55025830A JP 2583080 A JP2583080 A JP 2583080A JP S6214372 B2 JPS6214372 B2 JP S6214372B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wire electrode
workpiece
wire
detection
support guide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP55025830A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS56126530A (en
Inventor
Sadafumi Shichizawa
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2583080A priority Critical patent/JPS56126530A/ja
Publication of JPS56126530A publication Critical patent/JPS56126530A/ja
Publication of JPS6214372B2 publication Critical patent/JPS6214372B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/02Wire-cutting
    • B23H7/06Control of the travel curve of the relative movement between electrode and workpiece
    • B23H7/065Electric circuits specially adapted therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H2500/00Holding and positioning of tool electrodes
    • B23H2500/20Methods or devices for detecting wire or workpiece position

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ワイヤ電極型放電加工におけるワイ
ヤ電極の姿勢測定方法、および、その装置に係
り、特に、ワイヤ電極型放電加工において、所望
の加工精度を得る適正な制御を行なうために、被
加工物に対するワイヤ電極の交差角度と被加工物
に対するワイヤ電極が鉛直状態である時のワイヤ
電極の支持ガイド間隔とをワイヤ電極の姿勢とし
て測定するワイヤ電極の姿勢測定方法、および、
その測定方法に直接使用するワイヤ電極の姿勢測
定装置に関するものである。
現在、金属等の盤状被加工物の平面内部に複雑
な形状の窓孔を形成する場合、ワイヤ電極型放電
加工装置が使用され、ワイヤ電極による放電加工
方法が実施されることがある。この装置は、被加
工物を保持自在な取付面と、一対の支持ガイド間
に支持されて走行するワイヤ電極と、被加工物と
ワイヤ電極とに通電自在な供給手段と、取付面に
対しワイヤ電極を相対移動せしめる駆動手段とを
有するものであり、取付面に保持した被加工物と
ワイヤ電極を微小の間隙をもつて対向し、両者に
通電して放電を惹起せしめると共に、被加工物に
対しワイヤ電極を相対移動せしめ、もつて被加工
物にワイヤ電極による加工軌跡を形成し放電加工
を実施するようにしたものである。
かかるワイヤ電極による放電加工において、加
工精度を決定する要因としては、被加工物の取付
精度(平行度)と、ワイヤ電極の姿勢とがある。
このうち前者は、比較的容易に調整可能であるが
後者は、ワイヤ電極が非剛性体製であること、支
持ガイドが変位すること等の理由から、人手によ
る調整操作では、高精度の調整が非常に困難であ
り、この放電加工作業中で最も熟練を必要とし、
自動化、省力化を疎外する要因となつていた。
前記ワイヤ電極の姿勢を決定する要素として
は、第1に、被加工物に対するワイヤ電極の垂直
度、第2に、被加工物とワイヤ電極とのなす角が
鉛直であるときのワイヤ電極を支持する一対の支
持ガイド相互の間隔、がある。第1のワイヤ電極
の垂直度が不正確な場合には、第1図に示すよう
に、被加工物10の切断面10Aにおいて、上下
面差Mからなる傾斜面が生じ、例えば、切抜け部
10Bの上面を取付面にして、ポンチとして使用
した場合、傾斜面がダイスの切刃部(不図示)に
当たり、型の寿命の短縮、又は、型割れが発生す
る。一方、第2の前記支持ガイドの間隔が不適切
な場合には、加工精度に非常な悪影響を発生する
ことが経験および理論上知られている。そこで、
かかる不具合の発生を防止するため、前記垂直度
および間隔を測定し、適正なものに設定する調整
が実施されるのである。
従来、かかる調整方法の一例として、第2図お
よび第3図に示す方法が実施されている。第2図
において、ワイヤ電極12は、被加工物移動軸と
同一方向の移動軸16Xと16Yを持つ上部支持
ガイド14Aと、固定式の下部支持ガイド14B
とにより支持案内されて走行するようになつてお
り、この電極12の側方には、可及的に大なる相
関距離dを有する一対の接触検出子18A,18
Bが、移動自在な被加工物取付台(不図示)上に
固定されて設けられている。今、例えば、被加工
物取付台を移動軸20Xに沿つてワイヤ電極12
に接触検出子18A,18Bのいずれか一方が接
触するまで送り、上側の検出子18Aがワイヤ電
極12に先に接触したとすると、ワイヤ電極12
はX軸の正方向に傾斜していることになるので、
一度、前記取付台をX軸の正方向に戻してワイヤ
電極12と前記検出子18Aとの接触を解消して
から、上部支持ガイド14Aを移動軸16Xに沿
い負方向に数ミクロン変位させる。その後、再
び、被加工物取付台を移動軸20Xに沿つて送
り、以後、ワイヤ電極12が上下の接触検出子1
8A,18Bに数ミクロンの誤差内で同時に接触
するまで前記操作を繰返えす。かかる一連の操作
により、ワイヤ電極の垂直度を測定し、同時に、
修正調整していくわけであるが、ミクロンの誤差
内で上部支持ガイド14Aを操作し、ワイヤ電極
と検出子との接触状態を測定する必要があるた
め、作業者の経験と勘が必要となり、ワイヤ電極
による放電加工方法の自動化、省力化の疎外原因
になつていた。
次に、支持ガイドの間隔の測定調整は、前述の
ワイヤ電極の垂直度修正が完了してから始めて実
施させる。第3図に示すように、まず、支持ガイ
ドの間隔を設定値Dと仮定して置き、上部支持ガ
イド14Aを所定距離Eだけ移動させ、tanθ=
D/Eなる角度が得られたかを接触検出子18A,1 8Bを用いて測定する。第3図においては、tan
θ=d/eであるから、d/e=D/E、となり、D=
E/edであ り、現実の支持ガイドの間隔Dが求まる。したが
つて、適正な間隔Dの値に達するまで、上記支持
ガイド14Aの変位調整操作、および、下側の接
触検出子18Bとワイヤ電極12との間隔の測定
操作、並びに、それらに基づく前記演算を繰返え
す。しかしながら、かかる作業は、前述の垂直度
の測定調整作業と同様、熟練と手間、時間が必要
であり、試行錯誤的な作業であるため、極めて非
合理的な作業である。
本発明は前述した従来の課題に鑑み為されたも
のであり、その目的は、ワイヤ電極の垂直度とワ
イヤ電極の支持ガイドとをワイヤ電極の姿勢を決
定する要素として自動的かつ高精度に測定し、も
つて、ワイヤ電極の姿勢の修正調整操作を容易化
ないし自動化し得るワイヤ電極型放電加工法にお
けるワイヤ電極の姿勢測定方法、および、その測
定方法に使用されてそれを効果的に実施せしめる
ワイヤ電極型放電加工装置におけるワイヤ電極の
姿勢測定装置を提供するにある。
上記目的を達成するために、本発明は、前述の
ワイヤ電極による放電加工方法において、ワイヤ
電極の側方にワイヤ電極の通過を許し、その通過
時の差を検出する一対のワイヤ電極通過検出点を
被加工物に対して鉛直になるように相関距離隔て
て設定し、この検出点に対しワイヤ電極を相対的
に平行移動してこの検出点をそれぞれ通過させ、
両検出点にてワイヤ電極の対応部位の通過時の差
を量的に検出しその後、支持ガイドの一方を検出
点に対し所定距離移動してワイヤ電極の垂直度を
変更し、次いで前記検出点に対し変更後のワイヤ
電極を相対的に平行移動して検出点をそれぞれ通
過させ、両検出点にて再びワイヤ電極の対応部位
の通過時の差を量的に検出し、しかして、前記2
回の検出結果の値と、前記支持ガイドの移動距離
値と、検出点の相関距離値とを用い、2回目の検
出直後におけるワイヤ電極を垂直になすに必要な
支持ガイドの平行移動距離値及び支持ガイドの間
隔値とを求めるようにしたことを特徴とし、ま
た、前述のワイヤ電極型放電加工装置において、
ワイヤ電極の側方にワイヤ電極の通過を許し、そ
の通過時の差を量的に検出する一対のワイヤ電極
通過検出器を取付台と交差方向に相関距離隔てて
設け、支持ガイドの少なくとも一方を前記検出器
に対し平行かつ交差方向に移動自在に設け、他
方、演算器を設け、この演算器、検出器からの所
定の検出結果値と、支持ガイドの平行移動距離値
と、検出器の相関距離値とを用い、ワイヤ電極を
垂直になすに必要な支持ガイドの平行移動距離値
と、支持ガイドの間隔値とを演算するものとした
ことを特徴とする。
以下、図面に基づいて本発明の好適な実施例を
説明する。第4図から第6図は本発明の1実施例
たるワイヤ電極の姿勢測定装置を使用して本発明
の測定方法を実施した場合の1実施例を示してお
り、各図において、ワイヤ電極12の側方に設け
られた被加工物(不図示)の取付台22上には、
X軸線上に一対のX方向投光器本体24Xおよび
受光器本体26Xが、Y軸線上に一対のY方向投
光器本体24Yおよび受光器本体26Yがそれぞ
れ設けられ、各対の本体24X,26X,24
Y,26Yには、一対の投光部28Aおよび28
Bと、一対の受光部30Aおよび30Bとが、取
付台22の直角方向にそれぞれ設けられている。
投光部は例えばレーザの如く非発散性の光を投光
するものであり、これに正対する受光部はこの光
を常時受け、この光がワイヤ電極12の通過でさ
えぎられた時に、その通過を検出し所定の信号を
発生するものである。そして、上下位置で正対す
る2組の投光部と受光部、28Aと30A、28
Bと30Bは、ワイヤ電極12の通過時を検出す
る一対のワイヤ電極通過検出器32A,32Bを
構成し、この検出器32A,32Bは、受光部3
0A,30Bの前記発生信号に基づいてワイヤ電
極12の上下位置における通過時の差を量的に表
示する信号を発生するようになつている。
ワイヤ電極12を上側において支持案内する上
部支持ガイド14Aは、任意(手動の場合を含
む)の制御駆動手段34により、XYZ軸のいずれ
の方向にも移動できるように設けられており、下
側の下部支持ガイド14Bは固定的に設けられて
いる。
本実施例においては、演算器36が設けられて
おり、演算器36には、前記支持ガイド14Aの
XおよびY軸方向の変位量と、前記ワイヤ電極の
通過時の差信号とがそれぞれ自動又は手動的に入
力されるようになつており、それら入力に基づ
き、後述する演算処理により所定の解答を算出
し、その解答をワイヤ電極の姿勢測定結果として
出力するようになつている。
なお、被加工物取付台22は、X、Y方向に摺
動自在に設けられ、よつて、これに取付けられる
被加工物に対しワイヤ電極12は相対移動するも
のとなつている。ワイヤ電極12は、前記支持ガ
イド14A,14Bに支持案内されてその間に張
設され、下方向に走行し、かつ、その張力および
走行速度を図示しない制御手段により調整される
ようになつている。また、ワイヤ電極12と取付
台22に保持具(不図示)等により保持される被
加工物との間には、給電手段(不図示)により通
電自在になつており、通電状態において、所定の
繰返しパルス放電が行なわれるようになつてい
る。
次に、前記構成にかかるワイヤ電極型放電加工
装置におけるワイヤ電極の姿勢測定装置を使用し
た場合における本発明測定方法の1実施例につい
て説明する。まず、投光部28A,28Bから投
光し、受光部30A,30Bを作動状態に置く
と、それらは上下一対のワイヤ電極通過検出点3
8A,38Bを形成する。ここで、例えば、取付
台22をX軸の負(−)方向に移動させると、ワ
イヤ電極12はY方向投光器本体24Y、受光器
本体26Yの投光部、受光部がそれぞれ形成した
一対の前記検出点38A,38Bに対しX軸の正
(+)方向に相対的に平行移動し、それらを通過
する。このワイヤ電極12の通過時、第5図に示
すように、ワイヤ電極12が角度θをもつて傾
斜していた場合、ワイヤ電極12が上下の検出点
38A,38Bを通過する時点は異なり、両時点
は傾斜角θに応じた差を生じ、両検出点38
A,38Bはその差を量的に検出し所定の信号を
発生する。この差信号は、第5図に想像線から明
かなように、両検出点を通る水平線とワイヤ電極
とが交差する点から両検出点までの距離eと相関
関係を持ち、それを表示するものである。したが
つて、ワイヤ電極12の傾斜角θは、tanθ
=d/e、から求められる。そこで、演算器36は、 あらかじめ記憶された検出点36A,36Bの相
関距離dを受光器本体26Yから入力されてきた
前記差信号を表示する距離eで除し、傾斜角θ
を算出することが可能である。
次に、第6図に示すように、上側の上部可動支
持ガイド14AをX軸の負方向に所定距離Fだけ
移動させる。この距離Fは、制御駆動手段34等
を介して演算器36に入力される。続いて、取付
台22を前述とは逆方向に移動させてワイヤ電極
12を検出点38A,38Bに対し相対的に平行
移動し、それらを通過させ、前記の場合と同様の
要領で、両検出点38A,38Bについて、第6
図における距離fを量的に表示すべき差信号を
得、演算器36にそれを入力する。演算器36
は、前述と同様、検出点間距離dを距離fで除
し、tanθ=d/f、から傾斜角θを算出すること が可能である。
そして、演算器36は、それに入力記憶された
第6図に示す各値d、e、F、fを用いて、次の
式で示される演算を行ない、その解答を出力す
る。なお式中および第6図中、Dは現在の支持ガ
イドの間距離をZ軸方向に正規化した距離、Eは
上部支持ガイド14Aの変位前における下部固定
支持ガイド14Bの垂線までの距離、に相当す
る。
tanθ=d/e=D/E、tanθ=d/f=D/E−
F ∴dE=De、(E−F)d=fD ∴dF=(e−f)D ∴D=d/e−fF ……………(1) また、 E−F=f/dD=f/e−fF ……………(2) かくして、前式(1)から現在における支持ガイド
14A,14Bが求まり、演算器36から出力さ
れる。また、前式(2)から、現在における上部支持
ガイド14Aの位置からワイヤ電極12を垂直状
態に修正するために必要な当該ガイド14Aの距
離E−Fが求まり、演算器36から出力される。
この演算器36から出力されるワイヤ電極垂直
必要移動値と、支持ガイド間隔値とを適当な表示
装置(不図示)に表示させるか、又は、上部支持
ガイド14の制御駆動手段34に直接もしくは間
接的に入力することにより、支持ガイド14Aを
X軸方向、および、Z軸方向に所定距離だけ手動
操作で、又は、自動的に移動させれば、被加工物
に対するワイヤ電極の交差角度(垂直を含む)を
適当に設定でき、また、支持ガイド間隔を適当に
設定できる。
なお、前記実施例ではX軸方向の場合について
のみ説明したが、Y軸方向の場合についても全く
同様である。また、実施例では上側支持ガイドの
みを可動にした場合について説明したが、下側お
よび双方の支持ガイドを可動にした場合にも、同
様の作用効果が得られる。ワイヤ電極の通過を許
し、通過時差を量的に検出する検出器は前記投光
器と受光器とを用いた光電検出機構に限定され
ず、通過に際し、ワイヤ電極の直線形状を損わな
い限りの力で作動するリミツトスイツチ機構等を
用いることもできる。また、本発明の測定方法
は、前記実施例の演算器を省略し、演算器におけ
る前記計算を作業者が手動的に行なうものとして
も、実施できること勿論である。さらに、本発明
測定装置において、演算器に対する検出値等各種
値の入力操作は測定装置操作者が手動により行な
うものとしてもよい。
以上説明する如く、本発明によれば、従来、ワ
イヤ電極型放電加工方法の準備作業の中で最も熟
練と時間とを必要とし、その自動化、省力化の疎
外原因となつていたワイヤ電極の垂直度の設定値
測定と、支持ガイド間隔の測定とが、試行錯誤的
操作を行なうことなく合理的、かつ、高精度に正
確に、しかも迅速に行なうことができる。よつて
ワイヤ電極型放電加工法についての自動化、省略
化を促進できる。また、高精度で加工進行方向に
対して交差方向に任意の角度を設定することがで
きるため、ワイヤ電極型放電加工方法によるテー
パ加工にも極めて有効である。
また、本発明測定装置によれば、本発明の測定
方法を極めて能率よく実施することができ、かつ
その方法の自動化、さらにはワイヤ電極型放電加
工装置の自動化をより促進することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はワイヤ電極の垂直度が不正確な場合を
示す説明図、第2図は従来例の斜視図、第3図は
同じく正面図、第4図は本発明の1実施例を示す
斜視図、第5図は同じく測定方法を示す説明図、
第6図はその測定原理を示す説明図である。各図
中同一部材には同一符号を付し、10は被加工
物、12はワイヤ電極、14A,14Bは支持ガ
イド、22は取付台、32A,32Bはワイヤ電
極通過検出器、34は支持ガイド制御駆動手段、
36は演算器、38A,38Bはワイヤ電極通過
検出点である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 互に微小間隙をもつて対向する被加工物と一
    対の支持ガイド間に支持されて走行するワイヤ電
    極とに通電して放電を惹起せしめると共に、被加
    工物に対しワイヤ電極を相対移動せしめ、もつ
    て、被加工物にワイヤ電極による加工軌跡を形成
    するようにしたワイヤ電極による放電加工方法に
    際し、前記被加工物に対するワイヤ電極の交差角
    度と該交差角が鉛直である時の前記一対の支持ガ
    イド間の距離を測定するワイヤ電極の姿勢測定方
    法において、ワイヤ電極の側方にワイヤ電極の通
    過を許し、その通過時の差を量的に検出する一対
    のワイヤ電極通過検出点を被加工物に対して鉛直
    方向に相関距離を隔てて設定し、この検出点に対
    しワイヤ電極を相対的に平行移動してこの検出点
    をそれぞれ通過させ、両検出点にてワイヤ電極の
    対応部位の通過時の差を量的に検出する第1検出
    行程と、支持ガイドの少なくとも一方を検出点に
    対し所定距離移動して被加工物に対するワイヤ電
    極の交差角度を変更し、その後、前記検出点に対
    しワイヤ電極を相対的に平行移動して検出点をそ
    れぞれ通過させ、両検出点にて再びワイヤ電極の
    対応部位の通過時の差を量的に検出する第2検出
    行程と、前記2回の検出結果の値と、前記支持ガ
    イドの移動距離値と、検出点の相関距離値とを用
    い、2回目の検出直後におけるワイヤ電極を被加
    工物に対し直交させるに必要な支持ガイドの平行
    移動距離値及び支持ガイドの間隔値とを求める演
    算行程と、から成ることを特徴とするワイヤ電極
    の姿勢測定方法。 2 被加工物を保持自在な取付台と、一対の支持
    ガイド間に支持されて走行するワイヤ電極と、被
    加工物とワイヤ電極とに通電自在な給電手段と、
    前記被加工物に対しワイヤ電極を相対移動せしめ
    る駆動手段とを有するワイヤ電極型放電加工装置
    にあつて、前記被加工物に対するワイヤ電極の交
    差角度と該交差角度が鉛直である時の前記一対の
    支持ガイドの間隔とを測定するワイヤ電極の姿勢
    測定装置において、ワイヤ電極の側方にワイヤ電
    極の通過を許し、その通過時の差を量的に検出す
    る一対のワイヤ電極通過検出器を前記取付台に対
    して鉛直方向に相関距離を隔てて設け、支持ガイ
    ドの少なくとも一方を前記検出器に対し移動自在
    に設けると共に、前記検出器から所定の検出結果
    と、支持ガイドの移動距離値と、検出器の相関距
    離値とを用い、ワイヤ電極を被加工物に対して直
    交させるに必要な支持ガイドの平行移動距離値及
    び支持ガイドの距離値とを演算する手段を有する
    ことを特徴とするワイヤ電極の姿勢測定装置。
JP2583080A 1980-02-29 1980-02-29 Attitude measuring method and device for wire electrode Granted JPS56126530A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2583080A JPS56126530A (en) 1980-02-29 1980-02-29 Attitude measuring method and device for wire electrode

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2583080A JPS56126530A (en) 1980-02-29 1980-02-29 Attitude measuring method and device for wire electrode

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS56126530A JPS56126530A (en) 1981-10-03
JPS6214372B2 true JPS6214372B2 (ja) 1987-04-02

Family

ID=12176767

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2583080A Granted JPS56126530A (en) 1980-02-29 1980-02-29 Attitude measuring method and device for wire electrode

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS56126530A (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58217225A (ja) * 1982-06-07 1983-12-17 Mitsubishi Electric Corp ワイヤカツト放電加工装置のワイヤ電極垂直度測定装置
JPH069767B2 (ja) * 1983-06-15 1994-02-09 株式会社放電精密加工研究所 ワイヤ・カット装置におけるワイヤの垂直出し方法
JPH0722850B2 (ja) * 1987-01-29 1995-03-15 三菱電機株式会社 ワイヤ放電加工装置におけるテ−パ諸元自動算出方法
FR2735223B1 (fr) * 1995-06-07 1997-07-25 Reel Sa Dispositif de controle de la verticalite d'un mat d'une installation de levage et de manutention
CN116494023B (zh) * 2023-04-11 2024-03-22 中国航空制造技术研究院 电液束机床加工电极几何参数测量和纠偏的装置及方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5465057A (en) * 1977-11-02 1979-05-25 Hitachi Ltd Automatic size measuring apparatus of long length objects and measuring method for the same

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5465057A (en) * 1977-11-02 1979-05-25 Hitachi Ltd Automatic size measuring apparatus of long length objects and measuring method for the same

Also Published As

Publication number Publication date
JPS56126530A (en) 1981-10-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI568571B (zh) 列印平台調校系統及其調校方法
JP2006281439A (ja) 放電加工機上でテーパ加工用電極を測定及び調整するための方法及び装置
KR20130040694A (ko) 기판 상면 검출 방법 및 스크라이브 장치
KR101991173B1 (ko) 와이어 방전 가공기 및 와이어 방전 가공 방법
CN107131829B (zh) 一种尺寸公差检测装置和尺寸公差检测方法
JPS6214372B2 (ja)
KR20190073983A (ko) 대형 플라즈마 절단장비의 정도 모니터링 장치 및 방법
JPH06137842A (ja) 回転工具の刃部形状測定方法及びその装置
CN209927103U (zh) 玻璃曲率检测装置
JP6162745B2 (ja) 加工開始穴を使用したワーク設置誤差補正機能を備えた数値制御装置
US7952050B2 (en) Drilling method and laser machining apparatus
JPH0349833A (ja) 放電加工装置
KR100923553B1 (ko) 스트립의 압연 정밀도 측정방법
JP2752550B2 (ja) ワイヤー電極の角度設定装置
JPH08278103A (ja) ワーク端面の平面度測定方法および装置
CN208476175U (zh) 一种新型多功能检测设备
JP2630378B2 (ja) 2点接触法によるワイヤの垂直出し方法
CN220821517U (zh) 一种晶圆位置矫正装置
JP2001159515A (ja) 平面度測定方法および平面度測定装置
KR950002094B1 (ko) 와이어컷 방전가공기에 있어서의 와이어가이드스팬 측정방법 및 와이어전극 수직내기방법
US11022430B2 (en) Eyeglass frame shape measurement device and storage medium
JPH069767B2 (ja) ワイヤ・カット装置におけるワイヤの垂直出し方法
JP2604625B2 (ja) 狭開先溶接の開先形状の検知方法及び装置
JPH0587557A (ja) 三次元測定機
JPH0647540A (ja) 溶接開先形状の検知方法及び装置