JPH0587557A - 三次元測定機 - Google Patents
三次元測定機Info
- Publication number
- JPH0587557A JPH0587557A JP24964291A JP24964291A JPH0587557A JP H0587557 A JPH0587557 A JP H0587557A JP 24964291 A JP24964291 A JP 24964291A JP 24964291 A JP24964291 A JP 24964291A JP H0587557 A JPH0587557 A JP H0587557A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- measuring
- measurement
- distance
- shape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】ベッド１０に立設されたフレーム１３と、この
フレーム１３に支持されたシーリング部材１２に固着さ
れベッド１０の上面と平行な下面を有する基準プレート
１４と、シーリング部材１２を跨ぐように設けられたガ
ード部材１５と、ガード部材１５に装架された案内部材
１６と、ガード部材１５と案内部材１６内に設けられモ
ータ３０により駆動される駆動ワイヤ１７に固着された
摺動体１６ａと、この摺動体１６ａに固着され鉛直方向
の同軸線方向に被測定物Ｗの表面の形状を測定する第１
の測定子２１と、基準プレート１４の測定面１４ａの
形状を測定する第２の測定子２２を備えた測定ヘッド２
０とからなる。 【効果】測定子を備えた測定ヘッドを摺動体を介して摺
動可能に案内する案内部材の精度に影響されることな
く、被測定物の表面形状を高精度に測定することができ
る。
フレーム１３に支持されたシーリング部材１２に固着さ
れベッド１０の上面と平行な下面を有する基準プレート
１４と、シーリング部材１２を跨ぐように設けられたガ
ード部材１５と、ガード部材１５に装架された案内部材
１６と、ガード部材１５と案内部材１６内に設けられモ
ータ３０により駆動される駆動ワイヤ１７に固着された
摺動体１６ａと、この摺動体１６ａに固着され鉛直方向
の同軸線方向に被測定物Ｗの表面の形状を測定する第１
の測定子２１と、基準プレート１４の測定面１４ａの
形状を測定する第２の測定子２２を備えた測定ヘッド２
０とからなる。 【効果】測定子を備えた測定ヘッドを摺動体を介して摺
動可能に案内する案内部材の精度に影響されることな
く、被測定物の表面形状を高精度に測定することができ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被測定物の表面の形状
を測定子の接触により計測する三次元測定機に関するも
のである。
を測定子の接触により計測する三次元測定機に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】図３に示すように被測定物を載置するベ
ッド１０上に摺動可能に立設されたフレーム１３と、こ
のフレーム１３に装架された案内部材１６と、この案内
部材１６に摺動自在に案内された摺動体１６ａと、この
摺動体１６ａに鉛直方向に摺動可能に支持され先端に測
定子２１を有した測定ヘッド２０を備えた支持体５１と
から構成され、前記フレーム１３を摺動させ、前記摺動
体を前記フレームの摺動方向と直交する方向に摺動させ
て前記測定子２１を前記被測定物の表面形状に沿って移
動させて前記被測定物の表面の任意の測定点に接触させ
て前記被測定物の表面形状を測定する三次元測定機は公
知である。
ッド１０上に摺動可能に立設されたフレーム１３と、こ
のフレーム１３に装架された案内部材１６と、この案内
部材１６に摺動自在に案内された摺動体１６ａと、この
摺動体１６ａに鉛直方向に摺動可能に支持され先端に測
定子２１を有した測定ヘッド２０を備えた支持体５１と
から構成され、前記フレーム１３を摺動させ、前記摺動
体を前記フレームの摺動方向と直交する方向に摺動させ
て前記測定子２１を前記被測定物の表面形状に沿って移
動させて前記被測定物の表面の任意の測定点に接触させ
て前記被測定物の表面形状を測定する三次元測定機は公
知である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしこのような従来
技術においては、検出した値は測定ヘッド２０内に設定
された基準点からの距離として検出されるため、測定ヘ
ッド２０を備えた摺動体１６ａを摺動自在に案内する案
内部材１６の精度が被測定物Ｗの形状精度に影響すると
いう問題があった。
技術においては、検出した値は測定ヘッド２０内に設定
された基準点からの距離として検出されるため、測定ヘ
ッド２０を備えた摺動体１６ａを摺動自在に案内する案
内部材１６の精度が被測定物Ｗの形状精度に影響すると
いう問題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上述した問題点
を解決するためになされたもので、フレームの上端に支
持されべッドの上面と平行な測定面を有する測定の基準
となる基準プレートと、同軸線上に前記被測定物の形状
を測定する第１の測定子と基準プレートの表面の形状を
測定する第２の測定子とを備えた測定ヘッドと、この測
定ヘッドを移動させる駆動手段と、前記第１の測定子と
前記第２の測定子の検出値をもとに被測定物の形状を演
算する制御装置とを備えたものである。
を解決するためになされたもので、フレームの上端に支
持されべッドの上面と平行な測定面を有する測定の基準
となる基準プレートと、同軸線上に前記被測定物の形状
を測定する第１の測定子と基準プレートの表面の形状を
測定する第２の測定子とを備えた測定ヘッドと、この測
定ヘッドを移動させる駆動手段と、前記第１の測定子と
前記第２の測定子の検出値をもとに被測定物の形状を演
算する制御装置とを備えたものである。
【０００５】
【作用】駆動手段により測定ヘッドを移動させながら第
１の測定子で被測定物を測定し、同時に第２の測定子で
基準プレートを測定する。制御装置において各測定点の
検出値を演算し、非測定物の形状を求める。これにより
測定ヘッドを案内する案内部材の精度に影響されること
なく被測定物の形状を高精度に測定する。
１の測定子で被測定物を測定し、同時に第２の測定子で
基準プレートを測定する。制御装置において各測定点の
検出値を演算し、非測定物の形状を求める。これにより
測定ヘッドを案内する案内部材の精度に影響されること
なく被測定物の形状を高精度に測定する。
【０００６】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
図１および図２において、１０はベッドでこのベッド１
０上には被測定物Ｗを載置する置台１１が図略のねじ送
り機構によりＹ軸方向に摺動可能に備えられている。ま
た、ベッド１０の上方にはシーリング部材１２がベッド
１０の四隅に立設されたフレーム１３によって支持され
ている。このシーリング部材１２の下面には、ベッド１
０の上面と平行な測定面１４ａを有した基準プレート１
４が固着されている。そして、シーリング部材１２を跨
いでコの字状を呈したガード部材１５が固着されてい
る。このガード部材１５には案内部材１６が装架されて
おり、案内部材１６におよびガード部材１５内には、モ
ータ３０により駆動される駆動ワイヤ１７が備えられて
いる。そしてこの駆動ワイヤ１７には摺動体１６ａが固
着されており、この摺動体１６ａには測定ヘッド２０が
固着されている。この測定ヘッド２０には、鉛直方向の
同軸線上に被測定物Ｗまでの距離を測定し、表面形状を
測定する第１の測定子２１と、基準プレート１４までの
距離を測定し、表面形状を測定する第２の測定子２２が
それぞれがＺ軸方向に移動可能な状態で備えられてい
る。
図１および図２において、１０はベッドでこのベッド１
０上には被測定物Ｗを載置する置台１１が図略のねじ送
り機構によりＹ軸方向に摺動可能に備えられている。ま
た、ベッド１０の上方にはシーリング部材１２がベッド
１０の四隅に立設されたフレーム１３によって支持され
ている。このシーリング部材１２の下面には、ベッド１
０の上面と平行な測定面１４ａを有した基準プレート１
４が固着されている。そして、シーリング部材１２を跨
いでコの字状を呈したガード部材１５が固着されてい
る。このガード部材１５には案内部材１６が装架されて
おり、案内部材１６におよびガード部材１５内には、モ
ータ３０により駆動される駆動ワイヤ１７が備えられて
いる。そしてこの駆動ワイヤ１７には摺動体１６ａが固
着されており、この摺動体１６ａには測定ヘッド２０が
固着されている。この測定ヘッド２０には、鉛直方向の
同軸線上に被測定物Ｗまでの距離を測定し、表面形状を
測定する第１の測定子２１と、基準プレート１４までの
距離を測定し、表面形状を測定する第２の測定子２２が
それぞれがＺ軸方向に移動可能な状態で備えられてい
る。
【０００７】そして、置台１１をＹ軸方向に摺動させる
ねじ送り機構の駆動装置と、測定ヘッド２０をＸ軸方向
に移動させるモータ３０とが、これらの駆動を制御する
の制御装置４０に連結されている。また、第１の測定子
２１および第２の測定子２２も制御装置４０に連結され
ている。以上のような構成に基づいて本実施例の三次元
測定機の動作を説明する。
ねじ送り機構の駆動装置と、測定ヘッド２０をＸ軸方向
に移動させるモータ３０とが、これらの駆動を制御する
の制御装置４０に連結されている。また、第１の測定子
２１および第２の測定子２２も制御装置４０に連結され
ている。以上のような構成に基づいて本実施例の三次元
測定機の動作を説明する。
【０００８】制御装置４０により図略のねじ送り機構
と、モータ３０の駆動を制御し測定ヘッド２０を測定点
（Ｘn ，Ｙn ）に移動させる。測定ヘッド２０に備えら
れた第１の測定子２１と第２の測定子２２はそれぞれ同
時に接触した被測定物Ｗと基準プレート１４の測定面１
４ａまでの距離を基準点Ｏからの距離として図略の非接
触距離センサにより検出する。このときの第１の測定子
２１での検出値Ｄanと、第２の測定子２２での検出値Ｄ
bnを制御装置４０に記憶させる。そして、制御装置４０
内において、被測定物Ｗの計測値ｌをｌ＝Ｄｎ─（Ｄan
＋Ｄbn）のように演算して記憶する。そして、測定点を
測定方向に移動させ、同様に計測値を認識し記憶する。
以上のような動作を繰り返し、被測定物Ｗの表面の任意
の複数点を測定することにより被測定物Ｗの表面の形状
を測定する。
と、モータ３０の駆動を制御し測定ヘッド２０を測定点
（Ｘn ，Ｙn ）に移動させる。測定ヘッド２０に備えら
れた第１の測定子２１と第２の測定子２２はそれぞれ同
時に接触した被測定物Ｗと基準プレート１４の測定面１
４ａまでの距離を基準点Ｏからの距離として図略の非接
触距離センサにより検出する。このときの第１の測定子
２１での検出値Ｄanと、第２の測定子２２での検出値Ｄ
bnを制御装置４０に記憶させる。そして、制御装置４０
内において、被測定物Ｗの計測値ｌをｌ＝Ｄｎ─（Ｄan
＋Ｄbn）のように演算して記憶する。そして、測定点を
測定方向に移動させ、同様に計測値を認識し記憶する。
以上のような動作を繰り返し、被測定物Ｗの表面の任意
の複数点を測定することにより被測定物Ｗの表面の形状
を測定する。
【０００９】以上のように、被測定物Ｗの表面形状をベ
ッド１０の上面と平行に設けられた基準プレート１４の
測定面１４ａからの距離として求めるため、測定ヘッド
２０を案内する案内部材１６の精度に影響されることな
く高精度に測定することができる。また、本実施例では
Ｙ軸方向に摺動するのは被測定物Ｗを載置する置台１１
であったが、測定ヘッド２０および駆動ワイヤ１７を備
えたガード部材１５がベッド１０に対してＹ軸方向に摺
動するようにしても同様の効果を得ることができる。
ッド１０の上面と平行に設けられた基準プレート１４の
測定面１４ａからの距離として求めるため、測定ヘッド
２０を案内する案内部材１６の精度に影響されることな
く高精度に測定することができる。また、本実施例では
Ｙ軸方向に摺動するのは被測定物Ｗを載置する置台１１
であったが、測定ヘッド２０および駆動ワイヤ１７を備
えたガード部材１５がベッド１０に対してＹ軸方向に摺
動するようにしても同様の効果を得ることができる。
【００１０】
【発明の効果】本発明の三次元測定機によると、第１の
測定子で被測定物と基準点間の距離を測定し、第２の測
定子で基準プレートと基準点間の距離を測定してこれら
の検出値の和を演算し、被測定物の表面の形状を基準プ
レートを基準として測定するため、測定ヘッドを摺動可
能に備えた案内部材の精度に影響されることなく高精度
に測定することができる。
測定子で被測定物と基準点間の距離を測定し、第２の測
定子で基準プレートと基準点間の距離を測定してこれら
の検出値の和を演算し、被測定物の表面の形状を基準プ
レートを基準として測定するため、測定ヘッドを摺動可
能に備えた案内部材の精度に影響されることなく高精度
に測定することができる。
【図１】本発明の実施例を示す図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面を示す図である。
【図３】従来技術を示す図である。
１０ ベッド １４ 基準プレート １４ａ 測定面 １６ 案内部材 １６ａ 摺動体 １７ 駆動ワイヤ ２０ 測定ヘッド ２１ 第１の測定子 ２２ 第２の測定子 ３０ モータ
Claims (1)
- 【請求項１】 ベッドと、このベッドに立設されたフレ
ームと、このフレームに支持された案内部材と、この案
内部材に摺動自在に案内された摺動体と、この摺動体に
支持され被測定物の表面に接触して前記被測定物の形状
を測定する測定子を備えた測定ヘッドとからなる三次元
測定機において、前記フレームの上端に支持され前記べ
ッドの上面と平行な測定面を有する測定の基準となる基
準プレートと、同軸線上に前記被測定物の形状を測定す
る第１の測定子と前記基準プレートの表面の形状を測定
する第２の測定子とを備えた測定ヘッドと、この測定ヘ
ッドを移動させる駆動手段と、前記第１の測定子と前記
第２の測定子の検出値をもとに被測定物の形状を演算す
る制御装置とを備えたことを特徴とする三次元測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24964291A JPH0587557A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 三次元測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24964291A JPH0587557A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 三次元測定機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0587557A true JPH0587557A (ja) | 1993-04-06 |
Family
ID=17196061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24964291A Pending JPH0587557A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 三次元測定機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0587557A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005351863A (ja) * | 2004-06-14 | 2005-12-22 | Kenichi Ishikawa | 表面形状計測方法 |
| JP2010249814A (ja) * | 2009-04-10 | 2010-11-04 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 誤差補正方法及びこれを用いた部品測定方法 |
| CN102692203A (zh) * | 2011-03-18 | 2012-09-26 | 株式会社三丰 | 校准表面结构测量装置的方法 |
| TWI460567B (zh) * | 2009-04-24 | 2014-11-11 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 誤差補正方法及採用該誤差補正方法之工件測量方法 |
-
1991
- 1991-09-27 JP JP24964291A patent/JPH0587557A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005351863A (ja) * | 2004-06-14 | 2005-12-22 | Kenichi Ishikawa | 表面形状計測方法 |
| JP2010249814A (ja) * | 2009-04-10 | 2010-11-04 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 誤差補正方法及びこれを用いた部品測定方法 |
| TWI460567B (zh) * | 2009-04-24 | 2014-11-11 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 誤差補正方法及採用該誤差補正方法之工件測量方法 |
| CN102692203A (zh) * | 2011-03-18 | 2012-09-26 | 株式会社三丰 | 校准表面结构测量装置的方法 |
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