JPH0660817B2 - 真直度測定方法及び装置 - Google Patents
真直度測定方法及び装置Info
- Publication number
- JPH0660817B2 JPH0660817B2 JP7471989A JP7471989A JPH0660817B2 JP H0660817 B2 JPH0660817 B2 JP H0660817B2 JP 7471989 A JP7471989 A JP 7471989A JP 7471989 A JP7471989 A JP 7471989A JP H0660817 B2 JPH0660817 B2 JP H0660817B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- measured
- distances
- objects
- straightness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
本発明は、被測定物の真直度を測定する方法及び装置に
係り、特に、真直の基準を用いることなく、被測定物の
真直度を高精度に測定し得る真直度測定方法及び装置に
関する。
係り、特に、真直の基準を用いることなく、被測定物の
真直度を高精度に測定し得る真直度測定方法及び装置に
関する。
従来、真直度の測定には、第７図に概略を示す如き、直
定規４５に従つて移動する検出器（電気マイクロメータ
等）３３を被測定物４６に沿つて動かしながら、その面
の真直度を測定する装置が用いられ、このような直定規
といつた真直基準に対して被測定物を比較して、被測定
物の真直度を測定していた。 しかしながら、上述の如く、従来の真直度測定装置で
は、真直基準として直定規等を用いているので、直定規
等自体に存在する真直誤差が測定結果に含まれることと
なり、そのために被測定物４６の真直度測定を高精度に
行うことができないという問題があつた。 このような問題を解決するべく、昭和４３年度精機学会
春季大会学術講演前刷の第３２７頁〜第３２８頁には、
第８図に示す如く、被測定物４６の測定面４６Ａとパス
ラインＰ上を移動する検出器間の距離 m1 を測定（１回
目）した後、被測定物を長手方向にずらすことなく１８
０゜反転して、反転した被測定物４６′の測定面４６Ｂ
と前記パスラインＰ上を再び移動する検出器間の距離 m
2 を測定（２回目）し、１回目の測定面４６Ａと２回目
の反転測定面４６Ｂが仮想軸Ｘを中心として対称形とな
ることを利用して、次式により、Ｘ軸に対する被測定物
形状ｙ′ｉ（真直度）及び検出器のパスライン形状ｙｉ
を決める反転法が提案されている。 ｙ′ｉ＝（ m1 ＋ m2 ）／２ ……（１） ｙｉ＝（ m2 − m1 ）／２ ……（２）
定規４５に従つて移動する検出器（電気マイクロメータ
等）３３を被測定物４６に沿つて動かしながら、その面
の真直度を測定する装置が用いられ、このような直定規
といつた真直基準に対して被測定物を比較して、被測定
物の真直度を測定していた。 しかしながら、上述の如く、従来の真直度測定装置で
は、真直基準として直定規等を用いているので、直定規
等自体に存在する真直誤差が測定結果に含まれることと
なり、そのために被測定物４６の真直度測定を高精度に
行うことができないという問題があつた。 このような問題を解決するべく、昭和４３年度精機学会
春季大会学術講演前刷の第３２７頁〜第３２８頁には、
第８図に示す如く、被測定物４６の測定面４６Ａとパス
ラインＰ上を移動する検出器間の距離 m1 を測定（１回
目）した後、被測定物を長手方向にずらすことなく１８
０゜反転して、反転した被測定物４６′の測定面４６Ｂ
と前記パスラインＰ上を再び移動する検出器間の距離 m
2 を測定（２回目）し、１回目の測定面４６Ａと２回目
の反転測定面４６Ｂが仮想軸Ｘを中心として対称形とな
ることを利用して、次式により、Ｘ軸に対する被測定物
形状ｙ′ｉ（真直度）及び検出器のパスライン形状ｙｉ
を決める反転法が提案されている。 ｙ′ｉ＝（ m1 ＋ m2 ）／２ ……（１） ｙｉ＝（ m2 − m1 ）／２ ……（２）
しかしながら、検出器の運動の再現性は通常０．３μｍ
程度しかなく、そのパスラインが１回目と２回目の測定
で変化するため、測定精度を前記運動の再現性より高め
るのは困難であつた。 本発明は、以上の事情に鑑みてなされたものであり、真
直基準を用いることなく被測定物の真直度測定を行うこ
とが可能であり、しかも、パスライン変動等の測定装置
の運動の再現性の影響を受けることなく、高精度で真直
度を測定することが可能な真直度測定方法及び装置を提
供することを課題とする。
程度しかなく、そのパスラインが１回目と２回目の測定
で変化するため、測定精度を前記運動の再現性より高め
るのは困難であつた。 本発明は、以上の事情に鑑みてなされたものであり、真
直基準を用いることなく被測定物の真直度測定を行うこ
とが可能であり、しかも、パスライン変動等の測定装置
の運動の再現性の影響を受けることなく、高精度で真直
度を測定することが可能な真直度測定方法及び装置を提
供することを課題とする。
本発明は、３つの被測定物Ａ、Ｂ及びＣで構成される、
互いに異なる３組の被測定物対（Ａ、Ｂ）、（Ａ、Ｃ）
及び（Ｂ、Ｃ）のそれぞれについて、各被測定物を測定
毎に同一位置で測定面を対向して配置し、複数の測定点
ｉについて測定面間距離Ｌｉ（Ａ、Ｂ）、Ｌｉ（Ａ、
Ｃ）及びＬｉ（Ｂ、Ｃ）を測定し、各測定面間距離が、
その測定点における仮想線から各測定面までの距離の和
に等しいとして得られる３元連立一次方程式 ａｉ＋ｂｉ＝Ｌｉ（Ａ、Ｂ） ａｉ＋ｃｉ＝Ｌｉ（Ａ、Ｃ） ｂｉ＋ｃｉ＝Ｌｉ（Ｂ、Ｃ） （ａｉ、ｂｉ及びｃｉは、それぞれ、測定点ｉにおける
仮想線から被測定物Ａ、Ｂ及びＣの測定面までの距離） を解くことにより、複数の測定点ｉにおける仮想線から
各測定面までの距離ａｉ、ｂｉ及びｃｉを算出し、各測
定面毎に算出した仮想線からの距離に基づいて、被測定
物Ａ、Ｂ及びＣそれぞれの真直度を算出することによ
り、前記課題を達成したものである。 又、本発明は、上記本発明方法を実施するに好適な真直
度測定装置として、測定面を対向させて１対の被測定物
を位置決めするためのストツパがそれぞれ設けられた１
対の揺動テーブル、及び該ストツパで位置決めされた被
測定物の測定面に垂直な方向に上記揺動テーブルを移動
させ、各被測定物を同一位置に位置決めするための押ね
じを含む位置決め調整部を有する測定部と、対向して配
置した両被測定物の測定面間距離を実測する検出器を有
する検出部と、被測定物又は検出器の少なくとも一方を
移動させて測定点を変更する駆動制御部と、３つの被測
定物Ａ、Ｂ及びＣで構成される３組の被測定物対（Ａ、
Ｂ）、（Ａ、Ｃ）及び（Ｂ、Ｃ）について、それぞれが
複数の測定点ｉで実測した測定面間距離Ｌｉ（Ａ、
Ｂ）、Ｌｉ（Ａ、Ｃ）及びＬｉ（Ｂ、Ｃ）を記憶するメ
モリと、各被測定物対について実測される測定面間距離
はその測定点における仮想線から各測定面までの距離の
和に等しいとして得られる３元連立一次方程式 ａｉ＋ｂｉ＝Ｌｉ（Ａ、Ｂ） ａｉ＋ｃｉ＝Ｌｉ（Ａ、Ｂ） ｂｉ＋ｃｉ＝Ｌｉ（Ｂ、Ｃ） （ａｉ、ｂｉ及びｃｉは、それぞれ、測定点ｉにおける
仮想線から被測定物Ａ、Ｂ及びＣの測定面までの距離） に、上記測定面間距離を代入し、所定のプログラムに従
つて仮想線から各測定面までの距離ａｉ、ｂｉ及びｃｉ
を各測定点について算出し、各測定面毎に算出した仮想
線からの距離に基づいて、被測定物Ａ、Ｂ及びＣそれぞ
れの真直度を算出する演算部と、を備えた装置を提供す
ることにより、前記課題を解決したものである。
互いに異なる３組の被測定物対（Ａ、Ｂ）、（Ａ、Ｃ）
及び（Ｂ、Ｃ）のそれぞれについて、各被測定物を測定
毎に同一位置で測定面を対向して配置し、複数の測定点
ｉについて測定面間距離Ｌｉ（Ａ、Ｂ）、Ｌｉ（Ａ、
Ｃ）及びＬｉ（Ｂ、Ｃ）を測定し、各測定面間距離が、
その測定点における仮想線から各測定面までの距離の和
に等しいとして得られる３元連立一次方程式 ａｉ＋ｂｉ＝Ｌｉ（Ａ、Ｂ） ａｉ＋ｃｉ＝Ｌｉ（Ａ、Ｃ） ｂｉ＋ｃｉ＝Ｌｉ（Ｂ、Ｃ） （ａｉ、ｂｉ及びｃｉは、それぞれ、測定点ｉにおける
仮想線から被測定物Ａ、Ｂ及びＣの測定面までの距離） を解くことにより、複数の測定点ｉにおける仮想線から
各測定面までの距離ａｉ、ｂｉ及びｃｉを算出し、各測
定面毎に算出した仮想線からの距離に基づいて、被測定
物Ａ、Ｂ及びＣそれぞれの真直度を算出することによ
り、前記課題を達成したものである。 又、本発明は、上記本発明方法を実施するに好適な真直
度測定装置として、測定面を対向させて１対の被測定物
を位置決めするためのストツパがそれぞれ設けられた１
対の揺動テーブル、及び該ストツパで位置決めされた被
測定物の測定面に垂直な方向に上記揺動テーブルを移動
させ、各被測定物を同一位置に位置決めするための押ね
じを含む位置決め調整部を有する測定部と、対向して配
置した両被測定物の測定面間距離を実測する検出器を有
する検出部と、被測定物又は検出器の少なくとも一方を
移動させて測定点を変更する駆動制御部と、３つの被測
定物Ａ、Ｂ及びＣで構成される３組の被測定物対（Ａ、
Ｂ）、（Ａ、Ｃ）及び（Ｂ、Ｃ）について、それぞれが
複数の測定点ｉで実測した測定面間距離Ｌｉ（Ａ、
Ｂ）、Ｌｉ（Ａ、Ｃ）及びＬｉ（Ｂ、Ｃ）を記憶するメ
モリと、各被測定物対について実測される測定面間距離
はその測定点における仮想線から各測定面までの距離の
和に等しいとして得られる３元連立一次方程式 ａｉ＋ｂｉ＝Ｌｉ（Ａ、Ｂ） ａｉ＋ｃｉ＝Ｌｉ（Ａ、Ｂ） ｂｉ＋ｃｉ＝Ｌｉ（Ｂ、Ｃ） （ａｉ、ｂｉ及びｃｉは、それぞれ、測定点ｉにおける
仮想線から被測定物Ａ、Ｂ及びＣの測定面までの距離） に、上記測定面間距離を代入し、所定のプログラムに従
つて仮想線から各測定面までの距離ａｉ、ｂｉ及びｃｉ
を各測定点について算出し、各測定面毎に算出した仮想
線からの距離に基づいて、被測定物Ａ、Ｂ及びＣそれぞ
れの真直度を算出する演算部と、を備えた装置を提供す
ることにより、前記課題を解決したものである。
本発明は、発明者等が鋭意研究して得られた知見に基づ
いてなされたものであり、例えば第１図（Ａ）に示す如
く、対向して配設された一対の被測定物（Ａ、Ｂ）につ
いて、対向して平行に配置されたそれぞれの測定面間距
離を測定点ｉについて実測し、実測値としてＬｉ（Ａ、
Ｂ）を得る。この測定面間距離はｉ＝１〜ｎの複数の点
について測定する。 上述の如き測定面間距離を、第１図（Ｂ）、（Ｃ）に示
す如く、他の２組の被測定物対（Ａ、Ｃ）及び（Ｂ、
Ｃ）に対しても実測し、実測値としてそれぞれＬ
ｉ（Ａ、Ｃ）及びＬｉ（Ｂ、Ｃ）を得る。 次いで、測定点ｉにおける仮想線から被測定物Ａ、Ｂ及
びＣの測定面までの距離をそれぞれａｉ、ｂｉ及びｃｉ
とした場合、上記３組の被測定物対に対して成立する３
元連立一次方程式 ａｉ＋ｂｉ＝Ｌｉ（Ａ、Ｂ） ａｉ＋ｃｉ＝Ｌｉ（Ａ、Ｃ） …（３） ｂｉ＋ｃｉ＝Ｌｉ（Ｂ、Ｃ） から、ａｉ、ｂｉ及びｃｉをそれぞれ算出する。 そして、被測定物Ａの場合であれば、ｉ＝１〜ｎのｎ点
についてａｉを算出し、例えばａｉの最大値と最小値を
比較し、その差として真直度を算出する。同様に被測定
物Ｂ及びＣについても算出することができる。 上述の如く、直定規等の真直基準を用いることなく仮想
線から各被測定物の測定面までの距離を正確に算出する
ことができるため、精度が高く且つ信頼性の高い真直度
測定が可能である。又、一対の被測定物の測定面を同時
に検出して測定面間距離を実測するため、パスライン変
動等の測定装置の運動の再現性に依存せずに真直度の測
定が可能であり、真直度の測定精度を更に向上できる。
いてなされたものであり、例えば第１図（Ａ）に示す如
く、対向して配設された一対の被測定物（Ａ、Ｂ）につ
いて、対向して平行に配置されたそれぞれの測定面間距
離を測定点ｉについて実測し、実測値としてＬｉ（Ａ、
Ｂ）を得る。この測定面間距離はｉ＝１〜ｎの複数の点
について測定する。 上述の如き測定面間距離を、第１図（Ｂ）、（Ｃ）に示
す如く、他の２組の被測定物対（Ａ、Ｃ）及び（Ｂ、
Ｃ）に対しても実測し、実測値としてそれぞれＬ
ｉ（Ａ、Ｃ）及びＬｉ（Ｂ、Ｃ）を得る。 次いで、測定点ｉにおける仮想線から被測定物Ａ、Ｂ及
びＣの測定面までの距離をそれぞれａｉ、ｂｉ及びｃｉ
とした場合、上記３組の被測定物対に対して成立する３
元連立一次方程式 ａｉ＋ｂｉ＝Ｌｉ（Ａ、Ｂ） ａｉ＋ｃｉ＝Ｌｉ（Ａ、Ｃ） …（３） ｂｉ＋ｃｉ＝Ｌｉ（Ｂ、Ｃ） から、ａｉ、ｂｉ及びｃｉをそれぞれ算出する。 そして、被測定物Ａの場合であれば、ｉ＝１〜ｎのｎ点
についてａｉを算出し、例えばａｉの最大値と最小値を
比較し、その差として真直度を算出する。同様に被測定
物Ｂ及びＣについても算出することができる。 上述の如く、直定規等の真直基準を用いることなく仮想
線から各被測定物の測定面までの距離を正確に算出する
ことができるため、精度が高く且つ信頼性の高い真直度
測定が可能である。又、一対の被測定物の測定面を同時
に検出して測定面間距離を実測するため、パスライン変
動等の測定装置の運動の再現性に依存せずに真直度の測
定が可能であり、真直度の測定精度を更に向上できる。
以下、図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明す
る。 第２図は、本実施例の真直度測定装置の全体斜視図であ
り、第３図は、上記装置の測定部を示す平面図、第４図
は、該測定部の左側面図、第５図は、上記装置の全体構
成の概略を示すブロツク図である。 本実施例の真直度測定装置は、第２図に示すように、測
定手段１と処理手段２とからなり、該測定手段１は、更
に測定部３、検出部４及び駆動制御部５からなる。 前記測定部３は、３つの被測定物（Ａ、Ｂ、Ｃ）によつ
て構成され得る３組の互いに異なる被測定物対（Ａ−
Ｂ、Ａ−Ｃ、Ｂ−Ｃ）のそれぞれについて、被測定物間
距離Ｌｉを測定するためのものである。この測定部３
は、第２図乃至第４図に示すように、ベース６上に往復
動可能とされたテーブル７を挾んで、対をなす被測定物
（図ではＡとＢ）が互いに対向配置され得るよう構成さ
れている。 ここに、テーブル７は、第４図に示す如く、その下面に
形成されたＶ字状及び平面状案内部８、８Ａが、それぞ
れベース６の上面に形成されたＶ字状及び平面状案内部
９、９Ａに係合されて、第３図中Ｘ方向に摺動案内され
ている。又、テーブル７は、モータ１０を駆動制御する
ことによつて、その下面に固定されたナツト部材１１
（第４図）とベース６に回動自在に保持された送りねじ
軸１２（第３図）とを介して移動されるようになつてい
る。 一方、対をなす被測定物（Ａ、Ｂ）は、それぞれ対向配
置されているライザーブロツク１３（第４図）及び揺動
テーブル１４（第３図）を介してベース６上に載置され
る。このライザーブロツク１３は、被測定物を所定の高
さに保持する機能を備えた載置台である。又、揺動テー
ブル１４が、ベース６上に立設されたピン１５を中心軸
として第３図中Ｒ方向に回動自在とされていると共に、
調整機構１６によりその回動量を調整可能とされている
ので、各被測定物は、テーブル７の移動方向に対して平
行調整され得るようになつている。 上記調整機構１６は、第３図に詳細に示す如く、揺動テ
ーブル１４とベース６との間に張架された引張りコイル
ばね１７と、揺動テーブル１４と隣接してベース６上面
に配設されたホルダ１８と、前記コイルばね１７の付勢
力に抗して先端が揺動テーブル１４に当接するよう前記
ホルダ１８に螺合且つ貫通された押ねじ１９とからな
る。 本実施例においては、押ねじ１９を含む調整機構１６を
揺動テーブル１４の片側（図の右側）にのみ設けている
ので構成、調整が簡単であるが、調整機構１６をテーブ
ル１４の両側に設けて、厳密な調整が行えるようにして
もよい。 なお、第３図中、符号２０は、送りねじ軸１２を回動保
持するための軸受、２１は、送りねじ軸１２とモータ１
０の出力軸とを連結するための軸継手、２２は、モータ
１０の回転速度を減速して送りねじ軸に伝達するための
減速機、２３は、各ライザーブロツク１３上に被測定物
（Ａ、Ｂ）を載置し、位置決めするためのストツパーで
ある。 上述の如き構成の測定部３における前記モータ１０の駆
動制御は駆動制御部５により行われる。この駆動制御部
５は、テーブル７を測定始点位置と終点位置との間で往
復動させるようモータ１０を駆動制御するものであつ
て、第５図に示すように、ロータリーエンコーダ２５で
検出されたモータ１０の回転量がカウンタ２６及びイン
ターフエイス回路２７を介してＣＰＵ２８でモニタされ
つつ、予めＲＯＭである駆動プログラム記憶部２９に記
憶されたプログラムに従つた駆動指令がＣＰＵ２８から
出力されるようになつている。そして、前記駆動指令に
従つたモータ１０の駆動が、コントローラ３０及びドラ
イバ３１で行われるようになつている。 ３つの被測定物Ａ、Ｂ、Ｃによつて構成され得る３組の
被測定物対の被測定物間距離は、検出部４を構成する検
出器としての一対の電気マイクロメータ３２で検出され
る。 各電気マイクロメータ３２は、第２図及び第５図に示す
ように、それぞれ検出器取付部材３３を介してテーブル
７に固定されており、各電気マイクロメータ３２の出力
が増幅器３４を介して加算器３５に入力するように構成
されている。ここに、電気マイクロメータ３２は、水平
方向に揺動自在とされた測定子３２Ａと、発振器３２Ｂ
の出力により、該測定子３２Ａの機械的変位量を電気的
信号として検出する差動トランスデユーサ（図示せず）
とを備えて構成されている。そのため、前記駆動制御部
５の操作によつてテーブル７を測定始点位置から終点位
置まで移動させると、測定子３２Ａが被測定物の測定面
に追従して変位し、各電気マイクロメータ３２からはテ
ーブル７の移動軌跡に対する各被測定物の形状が電気信
号として出力され、加算器３５からは両被測定物間の距
離が出力されることとなる。 検出部４では、更に加算器３５の出力が零設定回路３６
を介してＡ／Ｄコンバータ３７でデジタル化された後、
計数回路３８で計数されてデジタル表示器３９に表示さ
れ得るようになつており、被測定物間の距離が検出及び
表示されるようになされている。なお、テーブルのピツ
チング、ヨーイング及びローリングそれぞれにおける測
定誤差はテーブルの傾斜角度の２乗に比例するため、テ
ーブルの移動真直度が測定結果に誤差として加味される
ことはほとんどない。 そうして、前記３組の被測定物対の測定が順次行われ、
被測定物対の測定面間距離がそれぞれ検出されると、処
理手段を構成するＣＰＵ２８により各被測定物の真直度
が求められる。 処理手段による処理の態様を説明すると、各被測定物対
（被測定物ＡとＢ、ＡとＣ、ＢとＣ）を測定した結果、
検出された測定面間距離をそれぞれＬｉ（Ａ、Ｂ）、Ｌ
ｉ（Ａ、Ｃ）、Ｌｉ（Ｂ、Ｃ）とし、両被測定物間に仮
想された仮想線から各被測定物Ａ、Ｂ、Ｃの測定面まで
の距離をそれぞれａｉ、ｂｉ、ｃｉ（但し、ｉ＝１〜
ｎ）とすると、前述の如く、 ａｉ＋ｂｉ＝Ｌｉ（Ａ、Ｂ） ａｉ＋ｃｉ＝Ｌｉ（Ａ、Ｃ） …（３） ｂｉ＋ｃｉ＝Ｌｉ（Ｂ、Ｃ） なる３元連立一次方程式（３）が成立する。そして、こ
の連立一次方程式を解くと、各未知数ａｉ、ｂｉ、ｃｉ
に対して（４）式の解が得られることが理解される。 ａｉ＝１／２｛Ｌｉ（Ａ、Ｂ） ＋Ｌｉ（Ａ、Ｃ）−Ｌｉ（Ｂ、Ｃ）｝ ｂｉ＝１／２｛Ｌｉ（Ａ、Ｂ） −Ｌｉ（Ａ、Ｃ）＋Ｌｉ（Ｂ、Ｃ）｝ ｃｉ＝１／２｛−Ｌｉ（Ａ、Ｂ） ＋Ｌｉ（Ａ、Ｃ）＋Ｌｉ（Ｂ、Ｃ）｝…（４） 従つて、ＣＰＵ２８は、前記テーブル７の往動に際し、
所定のピツチ毎にＡ／Ｄコンバータ３７の出力をインタ
ーフエイス回路４０を介して取り込み、ＲＡＭである測
定データ記憶部４１に記憶する。そして、上記３組全て
の被測定物対の測定が終了した後、そのＲＡＭ４１に記
憶された測定面間距離Ｌｉ（Ａ、Ｂ）、Ｌｉ（Ａ、
Ｃ）、Ｌｉ（Ｂ、Ｃ）を測定点毎に抽出し、前記仮想線
から被測定物Ａ、Ｂ、Ｃまでの距離ａｉ、ｂｉ、ｃ
ｉを、ＲＯＭである測定プログラム記憶部４２に記憶さ
れている（４）式により求め、更に、得られた距離
ａｉ、ｂｉ、ｃｉのそれぞれについて、その最大値（ａ
ｉ max、ｂｉ max、ｃｉ max）と最小値（ａｉ min、ｂ
ｉ min、ｃｉ min）との差（ａｉ max−ａｉ min、ｂｉ
max−ｂｉ min、ｃｉ max−ｃｉ min）を演算して各被
測定物Ａ、Ｂ、Ｃの真直度を求める。そうして、各被測
定物に対する真直度が求められると、ＣＲＴ４３には、
その真直度と前記距離とが測定結果として表示される。
又、その結果がプリンタ４４にプリントアウトされる。 なお、各被測定物対の測定に際し、前述の（３）式が成
立するためには、第１図に示すように、各測定点（ｉ＝
１〜ｎ）に対し、各被測定物の１回目の測定における前
記距離（ａｉ１、ｂｉ１、ｃｉ１）と２回目の測定にお
ける前記距離（ａｉ２、ｂｉ２、ｃｉ２）とが同等の値
でなければならない（ａｉ＝ａｉ１＝ａｉ２、ｂｉ＝ｂ
ｉ１＝ｂｉ２、ｃｉ＝ｃｉ１＝ｃｉ２）。そのため、本
実施例では、前述の測定作業に先立つて、最初に測定対
象となる被測定物対（第１図では被測定物ＡとＢ）のそ
れぞれ被測定物について、対応する一方の検出器の測定
始点での出力値（a11、 b11）と測定終点での出力値
（ａｎ１、ｂｎ１）とを等しく（a11＝an1、 bn1）する
ために、前記押ねじ１９により調整し、電気マイクロメ
ータ３２の零設定を行い、それと共に、各被測定物対の
測定の際には、順次、一方の被測定物を共有しつつ、他
方の被測定物を交換して測定して、極力交換に伴う誤差
の発生を防止し、更に、１回目の測定と２回目の測定と
で異なるライザーブロツク１３に載置される被測定物
（Ｂ）については、上下面を反転して載置し、始点を合
せるようにする。そうして、前述（３）式を満足させ得
るテーブル７の測定始点位置と終点位置とを結ぶ直線と
平行な、即ちａ１＝ｂ１＝ｃ１＝ａｎ＝ｂｎ＝ｃｎとな
る仮想線を得る。 次に、上述の装置を用いて行う真直度測定方法を、第６
図のＣＰＵ２８の動作を示すフローチャートを参照しな
がら詳述する。 まず、３つの被測定物Ａ、Ｂ、Ｃのうち、対をなす被測
定物Ａ、Ｂをライザーブロツク１３上に載置する。そし
て、一対の電気マイクロメータ３２のうち、一方のみを
増幅器３４に接続し、テーブル７を往復動させつつ、測
定始点と終点との検出値が一致（ a11＝ an1）するよ
う、調整機構の押ねじ１９により調整する。次に、他方
の検出器３３のみを増幅器３４に接続し、同様にして測
定始点と終点との検出値を一致（ b11＝ bn1）させる。 このようにして、測定準備が完了したら、キーボード４
５のスタートキーを操作して、両被測定物間の測定面間
距離を測定する。ここに、スタートキーを操作すると、
ＣＰＵ２８は第６図に示すように、テーブル７を低速で
往動させつつ、所定ピツチ毎に測定面間距離Ｌｉ（Ａ、
Ｂ）をＲＡＭ４１に記憶する（ステツプ１〜４）。そし
て、測定終点位置に到達したテーブル７を停止させ（ス
テツプ５〜６）、所定時間後、高速で復動させて測定始
点位置で待機させる（ステツプ７〜１０）。 そして、被測定物Ａ及びＢに対する測定が完了したら、
被測定物Ｂを被測定物Ｃと交換し、Ａ及びＢの対の場合
と同様にして、被測定物対Ａ及びＣに対する測定を行
い、測定面間距離Ｌｉ（Ａ、Ｃ）をＲＡＭ４１に記憶す
る。 次に、被測定物Ａを被測定物Ｂと交換するが、このと
き、被測定物Ｂの測定点を前回の測定と一致させるた
め、被測定物Ｂを上下面反転してライザーブロツク１３
上に載置する。そうして、前述と同様にスタートキーを
操作して被測定物対Ｂ及びＣに対する測定を行い、測定
面間距離Ｌｉ（Ｂ、Ｃ）を記憶する。 以上の如くして３組の被測定物対に対する測定が完了し
たら、ＣＰＵ２８は、それを判断し（ステツプ１１）、
（４）式に基づいて、仮想線から各被測定物までの距離
ａｉ、ｂｉ、ｃｉを、各測定点について求めて記憶し
（ステツプ１２）、更に得られた距離ａｉ、ｂｉ、ｃｉ
からそれぞれ基直度を求めて記憶し（ステップ１３）、
上記それぞれの測定・演算結果をＣＲＴ４３、プリンタ
４４に出力し（ステツプ１４）、測定が完了する。 以上、本発明について実施例に基づいて具体的に説明し
たが、本発明は前記実施例に限られるものでない。 例えば、本発明の真直度測定装置は、前記実施例の如く
検出部が電気マイクロメータで構成されている装置に限
らず、検出部が静電容量形検出器、干渉計、リニヤゲー
ジ、ダイヤルゲージ、テコ式インジケータ等で構成され
ている装置であつてもよい。 又、本発明方法に適用可能な装置としては、上記装置以
外に測定面間距離を正確に測定することができる検出手
段を備えたものを任意に適用できる。なお、適用可能な
装置としては、測定面間距離を実測した後の演算を行う
演算処理部が連結されているものに限らない。 又、被測定物としては、高精度真直面を有するものであ
れば特に制限はなく、具体的には真直基準ゲージ（直定
規）、空気ベアリングのガイド、座標測定機のレール、
測定機のガイド等を挙げることができ、その形状も測定
面が平坦なものに限らず、丸棒、円筒スコヤ等のように
局面形状であつてもよい。 又、測定に際しては、被測定物の１つ又は２つのダミー
として用い、２つ又は１つの被測定物についての真直度
を測定することもできる。
る。 第２図は、本実施例の真直度測定装置の全体斜視図であ
り、第３図は、上記装置の測定部を示す平面図、第４図
は、該測定部の左側面図、第５図は、上記装置の全体構
成の概略を示すブロツク図である。 本実施例の真直度測定装置は、第２図に示すように、測
定手段１と処理手段２とからなり、該測定手段１は、更
に測定部３、検出部４及び駆動制御部５からなる。 前記測定部３は、３つの被測定物（Ａ、Ｂ、Ｃ）によつ
て構成され得る３組の互いに異なる被測定物対（Ａ−
Ｂ、Ａ−Ｃ、Ｂ−Ｃ）のそれぞれについて、被測定物間
距離Ｌｉを測定するためのものである。この測定部３
は、第２図乃至第４図に示すように、ベース６上に往復
動可能とされたテーブル７を挾んで、対をなす被測定物
（図ではＡとＢ）が互いに対向配置され得るよう構成さ
れている。 ここに、テーブル７は、第４図に示す如く、その下面に
形成されたＶ字状及び平面状案内部８、８Ａが、それぞ
れベース６の上面に形成されたＶ字状及び平面状案内部
９、９Ａに係合されて、第３図中Ｘ方向に摺動案内され
ている。又、テーブル７は、モータ１０を駆動制御する
ことによつて、その下面に固定されたナツト部材１１
（第４図）とベース６に回動自在に保持された送りねじ
軸１２（第３図）とを介して移動されるようになつてい
る。 一方、対をなす被測定物（Ａ、Ｂ）は、それぞれ対向配
置されているライザーブロツク１３（第４図）及び揺動
テーブル１４（第３図）を介してベース６上に載置され
る。このライザーブロツク１３は、被測定物を所定の高
さに保持する機能を備えた載置台である。又、揺動テー
ブル１４が、ベース６上に立設されたピン１５を中心軸
として第３図中Ｒ方向に回動自在とされていると共に、
調整機構１６によりその回動量を調整可能とされている
ので、各被測定物は、テーブル７の移動方向に対して平
行調整され得るようになつている。 上記調整機構１６は、第３図に詳細に示す如く、揺動テ
ーブル１４とベース６との間に張架された引張りコイル
ばね１７と、揺動テーブル１４と隣接してベース６上面
に配設されたホルダ１８と、前記コイルばね１７の付勢
力に抗して先端が揺動テーブル１４に当接するよう前記
ホルダ１８に螺合且つ貫通された押ねじ１９とからな
る。 本実施例においては、押ねじ１９を含む調整機構１６を
揺動テーブル１４の片側（図の右側）にのみ設けている
ので構成、調整が簡単であるが、調整機構１６をテーブ
ル１４の両側に設けて、厳密な調整が行えるようにして
もよい。 なお、第３図中、符号２０は、送りねじ軸１２を回動保
持するための軸受、２１は、送りねじ軸１２とモータ１
０の出力軸とを連結するための軸継手、２２は、モータ
１０の回転速度を減速して送りねじ軸に伝達するための
減速機、２３は、各ライザーブロツク１３上に被測定物
（Ａ、Ｂ）を載置し、位置決めするためのストツパーで
ある。 上述の如き構成の測定部３における前記モータ１０の駆
動制御は駆動制御部５により行われる。この駆動制御部
５は、テーブル７を測定始点位置と終点位置との間で往
復動させるようモータ１０を駆動制御するものであつ
て、第５図に示すように、ロータリーエンコーダ２５で
検出されたモータ１０の回転量がカウンタ２６及びイン
ターフエイス回路２７を介してＣＰＵ２８でモニタされ
つつ、予めＲＯＭである駆動プログラム記憶部２９に記
憶されたプログラムに従つた駆動指令がＣＰＵ２８から
出力されるようになつている。そして、前記駆動指令に
従つたモータ１０の駆動が、コントローラ３０及びドラ
イバ３１で行われるようになつている。 ３つの被測定物Ａ、Ｂ、Ｃによつて構成され得る３組の
被測定物対の被測定物間距離は、検出部４を構成する検
出器としての一対の電気マイクロメータ３２で検出され
る。 各電気マイクロメータ３２は、第２図及び第５図に示す
ように、それぞれ検出器取付部材３３を介してテーブル
７に固定されており、各電気マイクロメータ３２の出力
が増幅器３４を介して加算器３５に入力するように構成
されている。ここに、電気マイクロメータ３２は、水平
方向に揺動自在とされた測定子３２Ａと、発振器３２Ｂ
の出力により、該測定子３２Ａの機械的変位量を電気的
信号として検出する差動トランスデユーサ（図示せず）
とを備えて構成されている。そのため、前記駆動制御部
５の操作によつてテーブル７を測定始点位置から終点位
置まで移動させると、測定子３２Ａが被測定物の測定面
に追従して変位し、各電気マイクロメータ３２からはテ
ーブル７の移動軌跡に対する各被測定物の形状が電気信
号として出力され、加算器３５からは両被測定物間の距
離が出力されることとなる。 検出部４では、更に加算器３５の出力が零設定回路３６
を介してＡ／Ｄコンバータ３７でデジタル化された後、
計数回路３８で計数されてデジタル表示器３９に表示さ
れ得るようになつており、被測定物間の距離が検出及び
表示されるようになされている。なお、テーブルのピツ
チング、ヨーイング及びローリングそれぞれにおける測
定誤差はテーブルの傾斜角度の２乗に比例するため、テ
ーブルの移動真直度が測定結果に誤差として加味される
ことはほとんどない。 そうして、前記３組の被測定物対の測定が順次行われ、
被測定物対の測定面間距離がそれぞれ検出されると、処
理手段を構成するＣＰＵ２８により各被測定物の真直度
が求められる。 処理手段による処理の態様を説明すると、各被測定物対
（被測定物ＡとＢ、ＡとＣ、ＢとＣ）を測定した結果、
検出された測定面間距離をそれぞれＬｉ（Ａ、Ｂ）、Ｌ
ｉ（Ａ、Ｃ）、Ｌｉ（Ｂ、Ｃ）とし、両被測定物間に仮
想された仮想線から各被測定物Ａ、Ｂ、Ｃの測定面まで
の距離をそれぞれａｉ、ｂｉ、ｃｉ（但し、ｉ＝１〜
ｎ）とすると、前述の如く、 ａｉ＋ｂｉ＝Ｌｉ（Ａ、Ｂ） ａｉ＋ｃｉ＝Ｌｉ（Ａ、Ｃ） …（３） ｂｉ＋ｃｉ＝Ｌｉ（Ｂ、Ｃ） なる３元連立一次方程式（３）が成立する。そして、こ
の連立一次方程式を解くと、各未知数ａｉ、ｂｉ、ｃｉ
に対して（４）式の解が得られることが理解される。 ａｉ＝１／２｛Ｌｉ（Ａ、Ｂ） ＋Ｌｉ（Ａ、Ｃ）−Ｌｉ（Ｂ、Ｃ）｝ ｂｉ＝１／２｛Ｌｉ（Ａ、Ｂ） −Ｌｉ（Ａ、Ｃ）＋Ｌｉ（Ｂ、Ｃ）｝ ｃｉ＝１／２｛−Ｌｉ（Ａ、Ｂ） ＋Ｌｉ（Ａ、Ｃ）＋Ｌｉ（Ｂ、Ｃ）｝…（４） 従つて、ＣＰＵ２８は、前記テーブル７の往動に際し、
所定のピツチ毎にＡ／Ｄコンバータ３７の出力をインタ
ーフエイス回路４０を介して取り込み、ＲＡＭである測
定データ記憶部４１に記憶する。そして、上記３組全て
の被測定物対の測定が終了した後、そのＲＡＭ４１に記
憶された測定面間距離Ｌｉ（Ａ、Ｂ）、Ｌｉ（Ａ、
Ｃ）、Ｌｉ（Ｂ、Ｃ）を測定点毎に抽出し、前記仮想線
から被測定物Ａ、Ｂ、Ｃまでの距離ａｉ、ｂｉ、ｃ
ｉを、ＲＯＭである測定プログラム記憶部４２に記憶さ
れている（４）式により求め、更に、得られた距離
ａｉ、ｂｉ、ｃｉのそれぞれについて、その最大値（ａ
ｉ max、ｂｉ max、ｃｉ max）と最小値（ａｉ min、ｂ
ｉ min、ｃｉ min）との差（ａｉ max−ａｉ min、ｂｉ
max−ｂｉ min、ｃｉ max−ｃｉ min）を演算して各被
測定物Ａ、Ｂ、Ｃの真直度を求める。そうして、各被測
定物に対する真直度が求められると、ＣＲＴ４３には、
その真直度と前記距離とが測定結果として表示される。
又、その結果がプリンタ４４にプリントアウトされる。 なお、各被測定物対の測定に際し、前述の（３）式が成
立するためには、第１図に示すように、各測定点（ｉ＝
１〜ｎ）に対し、各被測定物の１回目の測定における前
記距離（ａｉ１、ｂｉ１、ｃｉ１）と２回目の測定にお
ける前記距離（ａｉ２、ｂｉ２、ｃｉ２）とが同等の値
でなければならない（ａｉ＝ａｉ１＝ａｉ２、ｂｉ＝ｂ
ｉ１＝ｂｉ２、ｃｉ＝ｃｉ１＝ｃｉ２）。そのため、本
実施例では、前述の測定作業に先立つて、最初に測定対
象となる被測定物対（第１図では被測定物ＡとＢ）のそ
れぞれ被測定物について、対応する一方の検出器の測定
始点での出力値（a11、 b11）と測定終点での出力値
（ａｎ１、ｂｎ１）とを等しく（a11＝an1、 bn1）する
ために、前記押ねじ１９により調整し、電気マイクロメ
ータ３２の零設定を行い、それと共に、各被測定物対の
測定の際には、順次、一方の被測定物を共有しつつ、他
方の被測定物を交換して測定して、極力交換に伴う誤差
の発生を防止し、更に、１回目の測定と２回目の測定と
で異なるライザーブロツク１３に載置される被測定物
（Ｂ）については、上下面を反転して載置し、始点を合
せるようにする。そうして、前述（３）式を満足させ得
るテーブル７の測定始点位置と終点位置とを結ぶ直線と
平行な、即ちａ１＝ｂ１＝ｃ１＝ａｎ＝ｂｎ＝ｃｎとな
る仮想線を得る。 次に、上述の装置を用いて行う真直度測定方法を、第６
図のＣＰＵ２８の動作を示すフローチャートを参照しな
がら詳述する。 まず、３つの被測定物Ａ、Ｂ、Ｃのうち、対をなす被測
定物Ａ、Ｂをライザーブロツク１３上に載置する。そし
て、一対の電気マイクロメータ３２のうち、一方のみを
増幅器３４に接続し、テーブル７を往復動させつつ、測
定始点と終点との検出値が一致（ a11＝ an1）するよ
う、調整機構の押ねじ１９により調整する。次に、他方
の検出器３３のみを増幅器３４に接続し、同様にして測
定始点と終点との検出値を一致（ b11＝ bn1）させる。 このようにして、測定準備が完了したら、キーボード４
５のスタートキーを操作して、両被測定物間の測定面間
距離を測定する。ここに、スタートキーを操作すると、
ＣＰＵ２８は第６図に示すように、テーブル７を低速で
往動させつつ、所定ピツチ毎に測定面間距離Ｌｉ（Ａ、
Ｂ）をＲＡＭ４１に記憶する（ステツプ１〜４）。そし
て、測定終点位置に到達したテーブル７を停止させ（ス
テツプ５〜６）、所定時間後、高速で復動させて測定始
点位置で待機させる（ステツプ７〜１０）。 そして、被測定物Ａ及びＢに対する測定が完了したら、
被測定物Ｂを被測定物Ｃと交換し、Ａ及びＢの対の場合
と同様にして、被測定物対Ａ及びＣに対する測定を行
い、測定面間距離Ｌｉ（Ａ、Ｃ）をＲＡＭ４１に記憶す
る。 次に、被測定物Ａを被測定物Ｂと交換するが、このと
き、被測定物Ｂの測定点を前回の測定と一致させるた
め、被測定物Ｂを上下面反転してライザーブロツク１３
上に載置する。そうして、前述と同様にスタートキーを
操作して被測定物対Ｂ及びＣに対する測定を行い、測定
面間距離Ｌｉ（Ｂ、Ｃ）を記憶する。 以上の如くして３組の被測定物対に対する測定が完了し
たら、ＣＰＵ２８は、それを判断し（ステツプ１１）、
（４）式に基づいて、仮想線から各被測定物までの距離
ａｉ、ｂｉ、ｃｉを、各測定点について求めて記憶し
（ステツプ１２）、更に得られた距離ａｉ、ｂｉ、ｃｉ
からそれぞれ基直度を求めて記憶し（ステップ１３）、
上記それぞれの測定・演算結果をＣＲＴ４３、プリンタ
４４に出力し（ステツプ１４）、測定が完了する。 以上、本発明について実施例に基づいて具体的に説明し
たが、本発明は前記実施例に限られるものでない。 例えば、本発明の真直度測定装置は、前記実施例の如く
検出部が電気マイクロメータで構成されている装置に限
らず、検出部が静電容量形検出器、干渉計、リニヤゲー
ジ、ダイヤルゲージ、テコ式インジケータ等で構成され
ている装置であつてもよい。 又、本発明方法に適用可能な装置としては、上記装置以
外に測定面間距離を正確に測定することができる検出手
段を備えたものを任意に適用できる。なお、適用可能な
装置としては、測定面間距離を実測した後の演算を行う
演算処理部が連結されているものに限らない。 又、被測定物としては、高精度真直面を有するものであ
れば特に制限はなく、具体的には真直基準ゲージ（直定
規）、空気ベアリングのガイド、座標測定機のレール、
測定機のガイド等を挙げることができ、その形状も測定
面が平坦なものに限らず、丸棒、円筒スコヤ等のように
局面形状であつてもよい。 又、測定に際しては、被測定物の１つ又は２つのダミー
として用い、２つ又は１つの被測定物についての真直度
を測定することもできる。
以上説明した通り、本発明によれば、真直基準を用いる
ことなく被測定物の真直度を測定可能であり、しかも、
パスライン変動等の測定装置の運動の再現性の影響を受
けることなく、高精度で真直度を測定することが可能に
なるという優れた作用効果を有する。
ことなく被測定物の真直度を測定可能であり、しかも、
パスライン変動等の測定装置の運動の再現性の影響を受
けることなく、高精度で真直度を測定することが可能に
なるという優れた作用効果を有する。
第１図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、本発明の原理を説明
するための略示平面図、 第２図は、本発明に係る実施例の真直度測定装置の全体
を示す概略斜視図、 第３図は、上記装置の測定部を示す平面図、 第４図は、上記測定部の左側面図、 第５図は、上記装置の全体構成の概略を示すブロツク
図、 第６図は、本発明方法の実施例を示すフローチヤート、 第７図は、従来の真直度測定装置の一例を示す概略斜視
図、 第８図は、従来の真直度測定方法の他の例の原理を説明
するための略示平面図である。 Ａ、Ｂ、Ｃ……被測定物、 １……測定手段、 ２……処理手段、 ３……測定部、 ４……検出部、 ５……駆動制御部、 ６……ベース、 ７……テーブル、 １０……モータ、 １２……送りねじ軸、 １３……ライザーブロツク（載置部）、 ２５……ロータリーエンコーダ、 ２８……ＣＰＵ、 ３２……電気マイクロメータ（検出器）、 ４１……ＲＡＭ（測定データ記憶部）、 ４２……ＲＯＭ（測定プログラム記憶部）、 ４３……ＣＲＴ、 ４４……プリンタ。
するための略示平面図、 第２図は、本発明に係る実施例の真直度測定装置の全体
を示す概略斜視図、 第３図は、上記装置の測定部を示す平面図、 第４図は、上記測定部の左側面図、 第５図は、上記装置の全体構成の概略を示すブロツク
図、 第６図は、本発明方法の実施例を示すフローチヤート、 第７図は、従来の真直度測定装置の一例を示す概略斜視
図、 第８図は、従来の真直度測定方法の他の例の原理を説明
するための略示平面図である。 Ａ、Ｂ、Ｃ……被測定物、 １……測定手段、 ２……処理手段、 ３……測定部、 ４……検出部、 ５……駆動制御部、 ６……ベース、 ７……テーブル、 １０……モータ、 １２……送りねじ軸、 １３……ライザーブロツク（載置部）、 ２５……ロータリーエンコーダ、 ２８……ＣＰＵ、 ３２……電気マイクロメータ（検出器）、 ４１……ＲＡＭ（測定データ記憶部）、 ４２……ＲＯＭ（測定プログラム記憶部）、 ４３……ＣＲＴ、 ４４……プリンタ。
Claims (2)
- 【請求項１】３つの被測定物Ａ、Ｂ及びＣで構成され
る、互いに異なる３組の被測定物対（Ａ、Ｂ）、（Ａ、
Ｃ）及び（Ｂ、Ｃ）のそれぞれについて、各被測定物を
測定毎に同一位置で測定面を対向して配置し、複数の測
定点ｉについて測定面間距離Ｌｉ（Ａ、Ｂ）、Ｌ
ｉ（Ａ、Ｃ）及びＬｉ（Ｂ、Ｃ）を測定し、 各測定面間距離が、その測定点における仮想線から各測
定面までの距離の和に等しいとして得られる３元連立一
次方程式 ａｉ＋ｂｉ＝Ｌｉ（Ａ、Ｂ） ａｉ＋ｃｉ＝Ｌｉ（Ａ、Ｃ） ｂｉ＋ｃｉ＝Ｌｉ（Ｂ、Ｃ） （ａｉ、ｂｉ及びｃｉは、それぞれ、測定点ｉにおける
仮想線から被測定物Ａ、Ｂ及びＣの測定面までの距離） を解くことにより、複数の測定点ｉにおける仮想線から
各測定面までの距離ａｉ、ｂｉ及びｃｉを算出し、 各測定面毎に算出した仮想線からの距離に基づいて、被
測定物Ａ、Ｂ及びＣそれぞれの真直度を算出することを
特徴とする真直度測定方法。 - 【請求項２】測定面を対向させて１対の被測定物を位置
決めするためのストツパがそれぞれ設けられた１対の揺
動テーブル、及び該ストツパで位置決めされた被測定物
の測定面に垂直な方向に上記揺動テーブルを移動させ、
各被測定物を同一位置に位置決めするための押ねじを含
む位置決め調整部を有する測定部と、 対向して配置した両被測定物の測定面間距離を実測する
検出器を有する検出部と、 被測定物又は検出器の少なくとも一方を移動させて測定
点を変更する駆動制御部と、 ３つの被測定物Ａ、Ｂ及びＣで構成される３組の被測定
物対（Ａ、Ｂ）、（Ａ、Ｃ）及び（Ｂ、Ｃ）について、
それぞれ複数の測定点ｉで実測した測定面間距離Ｌ
ｉ（Ａ、Ｂ）、Ｌｉ（Ａ、Ｃ）及びＬｉ（Ｂ、Ｃ）を記
憶するメモリと、 各被測定物対について実測される測定面間距離はその測
定点における仮想線から各測定面までの距離の和に等し
いとして得られる３元連立一次方程式 ａｉ＋ｂｉ＝Ｌｉ（Ａ、Ｂ） ａｉ＋ｃｉ＝Ｌｉ（Ａ、Ｃ） ｂｉ＋ｃｉ＝Ｌｉ（Ｂ、Ｃ） （ａｉ、ｂｉ及びｃｉは、それぞれ、測定点ｉにおける
仮想線から被測定物Ａ、Ｂ及びＣの測定面までの距離） に、上記測定面間距離を代入し、所定のプログラムに従
つて仮想線から各測定面までの距離ａｉ、ｂｉ及びｃｉ
を各測定点について算出し、各測定面毎に算出した仮想
線からの距離に基づいて、被測定物Ａ、Ｂ及びＣそれぞ
れの真直度を算出する演算部と、 を備えたことを特徴とする真直度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7471989A JPH0660817B2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | 真直度測定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7471989A JPH0660817B2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | 真直度測定方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02253114A JPH02253114A (ja) | 1990-10-11 |
| JPH0660817B2 true JPH0660817B2 (ja) | 1994-08-10 |
Family
ID=13555310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7471989A Expired - Lifetime JPH0660817B2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | 真直度測定方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0660817B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001235304A (ja) * | 2000-02-21 | 2001-08-31 | Kuroda Precision Ind Ltd | 真直度測定装置の真直運動精度測定方法 |
| EP1742018B1 (en) | 2003-09-09 | 2008-10-29 | Mitutoyo Corporation | Device and Method for Form Measurement |
| JP5589894B2 (ja) * | 2011-02-25 | 2014-09-17 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 形状測定方法 |
| JP6238703B2 (ja) * | 2013-11-29 | 2017-11-29 | 株式会社ミツトヨ | 真直度校正方法及びその装置 |
| JP6481469B2 (ja) * | 2015-03-31 | 2019-03-13 | 新日鐵住金株式会社 | 面間距離測定装置及び方法 |
| CN107726964B (zh) * | 2017-09-28 | 2020-04-10 | 中国航发动力股份有限公司 | 一种航空发动机单悬臂管路管接嘴部的垂直度测量装置 |
-
1989
- 1989-03-27 JP JP7471989A patent/JPH0660817B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02253114A (ja) | 1990-10-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2809295B2 (ja) | 座標測定機及びその測定方法 | |
| CN107255453B (zh) | 一种工业机器人关节减速器偏心轴轴径测量装置及方法 | |
| JPS6128921B2 (ja) | ||
| CN103363923A (zh) | 一种激光视觉测距的非接触式齿轮齿向测量方法 | |
| JPH06213653A (ja) | 表面接触測定プローブを用いたワークピースの測定方法 | |
| CN108153234A (zh) | 机床直线运动运行态的全自由度精度检测装置 | |
| JPH0660817B2 (ja) | 真直度測定方法及び装置 | |
| US5456020A (en) | Method and sensor for the determination of the position of a position-control element relative to a reference body | |
| CN102095366A (zh) | 一种大梯度非球面的轮廓测量方法 | |
| JP2987607B2 (ja) | 三次元座標測定機 | |
| JP3310748B2 (ja) | 平面形状測定装置及びこの装置を用いた平面形状測定方法 | |
| KR100230942B1 (ko) | 측정대상물의 양부를 판별하는 3차원 비교측정장치 | |
| CN207894371U (zh) | 一种精密工件多方位高度计 | |
| CN208383048U (zh) | 冷冲压拉伸件端面平面度检测装置 | |
| JP3366052B2 (ja) | 比較測長装置 | |
| CN110285778A (zh) | 曲面式移动平台的检测装置及工作方法、切割方法 | |
| CN105783815B (zh) | 一种万向角度微调装置 | |
| JPH0587557A (ja) | 三次元測定機 | |
| CN219776591U (zh) | 平行度检测工装 | |
| CN215491623U (zh) | 一种电控轮廓仪角度调整工装 | |
| CN209085512U (zh) | 一种直线模组托板运动直线度检测装置 | |
| CN209727079U (zh) | 一种用于刮板细度计的检定装置 | |
| RU2307319C1 (ru) | Устройство для определения положения плоскости | |
| JP2009226440A (ja) | プレス機検査装置 | |
| JP2007114095A (ja) | 表面性状測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090810 Year of fee payment: 15 |