JPS62141616A - 巻線型薄膜磁気ヘツド - Google Patents
巻線型薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS62141616A JPS62141616A JP28395685A JP28395685A JPS62141616A JP S62141616 A JPS62141616 A JP S62141616A JP 28395685 A JP28395685 A JP 28395685A JP 28395685 A JP28395685 A JP 28395685A JP S62141616 A JPS62141616 A JP S62141616A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alloy
- thin film
- magnetic core
- magnetic
- magnetic head
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は高密度記録に優れた薄膜磁気ヘッドの製造方法
に関ずろ。特に本発明はＰｃ−ΔＪｌ−Ｓｉ合金薄膜を
用いて浸れた磁気コア特性を汀する薄膜磁気ヘッドの製
造方法に関する。
に関ずろ。特に本発明はＰｃ−ΔＪｌ−Ｓｉ合金薄膜を
用いて浸れた磁気コア特性を汀する薄膜磁気ヘッドの製
造方法に関する。
（従来技術）
電磁誘導型の巻線型薄膜磁気ヘッドにおいて、高密度記
録を達成するためにヘットの狭トラツク化と決ギャップ
化等が行なわれている。また、同時に記録媒体の高抗磁
力化に伴い磁気コア材として飽和磁化Ｍｓの大きなもの
が要求されるようになってきている。従って、飽和磁化
の大きなＮｉＦｅ５Ｆｅ−Ａｆｌ−Ｓｉ、またはｃｏ系
アモルフコア等の金属軟磁性薄膜が磁気コアとして用い
られるようになってきた。これらの金属軟磁性薄膜のう
りで、特に、Ｆｅ−Ａｊｉｊ−Ｓｉ合金は熱的に最ら安
定でガラス溶岩か可能であり、固有抵抗が高く高周波特
性に優れ、しかも、耐１ｆ粍性ら良好なことから高密度
記録用の薄膜磁気ヘットの磁気コア材としてａ望視され
ている。
録を達成するためにヘットの狭トラツク化と決ギャップ
化等が行なわれている。また、同時に記録媒体の高抗磁
力化に伴い磁気コア材として飽和磁化Ｍｓの大きなもの
が要求されるようになってきている。従って、飽和磁化
の大きなＮｉＦｅ５Ｆｅ−Ａｆｌ−Ｓｉ、またはｃｏ系
アモルフコア等の金属軟磁性薄膜が磁気コアとして用い
られるようになってきた。これらの金属軟磁性薄膜のう
りで、特に、Ｆｅ−Ａｊｉｊ−Ｓｉ合金は熱的に最ら安
定でガラス溶岩か可能であり、固有抵抗が高く高周波特
性に優れ、しかも、耐１ｆ粍性ら良好なことから高密度
記録用の薄膜磁気ヘットの磁気コア材としてａ望視され
ている。
第１図に巻線型薄膜磁気ヘッドの一態様の側断面概略図
を示す。同図において（１）は耐摩耗性に浸れた結晶化
ガラス等の堰板、（２）はＰｃ−Ａｌ−Ｓｉ合金の軟磁
性薄膜よりなる下部磁気コア、（３）はＳｉＯｚ、へ乏
、０３等よりなる電気絶縁層、（４）はＣｕ、Ａｊｉｊ
等よりなる信号導体、（５）は（２〕と同じ＜Ｐｃ−Ａ
ｊＬ−Ｓｉ合金の軟磁性薄膜よりなる断面台形状の」二
部磁気コア、（６）は磁気ギャップである。このような
構造の巻線型薄膜磁気ヘッドでは信号導体（４）および
層間絶縁層（３）のためにフロント磁気ギャップ部およ
び後部の上下磁気コア接続部では磁気コアは傾斜を有す
る部分上に形成されることになる。一般にこのような傾
斜部に軟磁性薄膜を形成した場合には、基板に堆積する
粒子が斜めに入り、を乙たらし、結果として軟磁性特性
が劣化する。従って、磁気ヘッドの磁気回路を形成する
磁気コアの一部の磁気抵抗が増加し、磁気へｙ Ｆの効
率か低下するという問題が生じる。
を示す。同図において（１）は耐摩耗性に浸れた結晶化
ガラス等の堰板、（２）はＰｃ−Ａｌ−Ｓｉ合金の軟磁
性薄膜よりなる下部磁気コア、（３）はＳｉＯｚ、へ乏
、０３等よりなる電気絶縁層、（４）はＣｕ、Ａｊｉｊ
等よりなる信号導体、（５）は（２〕と同じ＜Ｐｃ−Ａ
ｊＬ−Ｓｉ合金の軟磁性薄膜よりなる断面台形状の」二
部磁気コア、（６）は磁気ギャップである。このような
構造の巻線型薄膜磁気ヘッドでは信号導体（４）および
層間絶縁層（３）のためにフロント磁気ギャップ部およ
び後部の上下磁気コア接続部では磁気コアは傾斜を有す
る部分上に形成されることになる。一般にこのような傾
斜部に軟磁性薄膜を形成した場合には、基板に堆積する
粒子が斜めに入り、を乙たらし、結果として軟磁性特性
が劣化する。従って、磁気ヘッドの磁気回路を形成する
磁気コアの一部の磁気抵抗が増加し、磁気へｙ Ｆの効
率か低下するという問題が生じる。
（発明の目的）
本発明は」二部磁気コアの材質と、傾斜部の角度を制限
ずろことにより、磁気コアの軟磁性特性の劣化を防止し
、浸れた性能の巻線型薄膜磁気ヘッドを提供する。
ずろことにより、磁気コアの軟磁性特性の劣化を防止し
、浸れた性能の巻線型薄膜磁気ヘッドを提供する。
（発明の構成）
即ち、本発明は上部磁気コアと平坦な下部磁気コアとの
間に形成された断面台形状の空間に、導電体（材料より
なるコイルを挟設してなる巻線型薄膜磁気ヘッドにおい
て、両磁気コアがＰｅ−Ａｊｉｊ−Ｓｉ合金、Ｆｅ−Ａ
、Ｊ−３ｉ−Ｃｒ合金またはＦｅ−Ａ、Ｊ−Ｓｉ−Ｔｉ
合金で形成され、かつ、上部磁気コアの傾斜部の傾斜角
が４０°以下である巻線型薄膜磁気ヘッドを提供する。
間に形成された断面台形状の空間に、導電体（材料より
なるコイルを挟設してなる巻線型薄膜磁気ヘッドにおい
て、両磁気コアがＰｅ−Ａｊｉｊ−Ｓｉ合金、Ｆｅ−Ａ
、Ｊ−３ｉ−Ｃｒ合金またはＦｅ−Ａ、Ｊ−Ｓｉ−Ｔｉ
合金で形成され、かつ、上部磁気コアの傾斜部の傾斜角
が４０°以下である巻線型薄膜磁気ヘッドを提供する。
本発明の磁気コア（２，５）は上・下ともＦＣ−Ａ＋４
−Ｓｉ合金、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ−Ｃｒ合金、Ｆｅ−Ａｊ
ｌ−Ｓｉ−Ｔｉ合金が用いられる。これらの合金は前述
のように、固有抵抗が高く高周波特性に優れ、しから耐
摩耗性も良好であり、巻線型薄膜磁気ヘッドの磁気コア
材料に好適である。磁気コア（２，５）は通常蒸着ある
いはスパッタリング等の常套の方法により、基板（１）
あるいは電気絶縁層（４）上に形成される。尚、電気絶
縁層（６）も通常蒸着あるいはスパッタリング等により
形成される。
−Ｓｉ合金、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ−Ｃｒ合金、Ｆｅ−Ａｊ
ｌ−Ｓｉ−Ｔｉ合金が用いられる。これらの合金は前述
のように、固有抵抗が高く高周波特性に優れ、しから耐
摩耗性も良好であり、巻線型薄膜磁気ヘッドの磁気コア
材料に好適である。磁気コア（２，５）は通常蒸着ある
いはスパッタリング等の常套の方法により、基板（１）
あるいは電気絶縁層（４）上に形成される。尚、電気絶
縁層（６）も通常蒸着あるいはスパッタリング等により
形成される。
本発明によれば、上部磁気コア（５）の傾斜部分の傾斜
ｆｒｌは４０゛以下に、好ましくは２０”〜３５°に形
成される。電気絶縁層（４）の傾斜角も同様４０°以下
に形成され、その上に磁気コアが蒸着あるいはスパッタ
リングにより形成されることになる。傾斜角が４０”を
越えると、抗磁力Ｈｃは急激に増加し、磁気特性が劣化
する。
ｆｒｌは４０゛以下に、好ましくは２０”〜３５°に形
成される。電気絶縁層（４）の傾斜角も同様４０°以下
に形成され、その上に磁気コアが蒸着あるいはスパッタ
リングにより形成されることになる。傾斜角が４０”を
越えると、抗磁力Ｈｃは急激に増加し、磁気特性が劣化
する。
本発明はいかなるタイプの巻線型薄膜磁気ヘラ！・にら
応用てきる。代表的な巻線型薄膜磁気ヘットは第２図に
示すように、スパイラル形薄膜磁気ｌ＼ソト（第２図（
ａ））、ジクザグ型薄膜磁気ヘッド（第２図（ｂ））、
および多層ヘリカル形薄膜磁気ヘッド（第２図（Ｃ））
が挙げられる。
応用てきる。代表的な巻線型薄膜磁気ヘットは第２図に
示すように、スパイラル形薄膜磁気ｌ＼ソト（第２図（
ａ））、ジクザグ型薄膜磁気ヘッド（第２図（ｂ））、
および多層ヘリカル形薄膜磁気ヘッド（第２図（Ｃ））
が挙げられる。
本発明を実施例により更に詳細に説明ずろ。
（実施例）
カラス括仮（１）七に直流３極スパツタ法でＦｃ−７＼
！−Ｓｉ合金の下部磁気コア（２）を作成した。
！−Ｓｉ合金の下部磁気コア（２）を作成した。
このコア（２）」二にＳｉ０２電気絶縁層（３）および
Ｃｕ導体コイル（１）を作成しｆ為この絶縁層（３）」
二に直流３極スパツタ法により］二部磁気コア（５）（
Ｆｅ−ＡｊｆニーＳｉ合金）を作成した。スパッタ条件
は、アルゴン圧０ 、６ Ｐ ａｓツタ−ット電圧７０
０■、ターゲット電流０．６Ａ、基板温度（水冷）であ
った。
Ｃｕ導体コイル（１）を作成しｆ為この絶縁層（３）」
二に直流３極スパツタ法により］二部磁気コア（５）（
Ｆｅ−ＡｊｆニーＳｉ合金）を作成した。スパッタ条件
は、アルゴン圧０ 、６ Ｐ ａｓツタ−ット電圧７０
０■、ターゲット電流０．６Ａ、基板温度（水冷）であ
った。
第３図は直流３極スパツタ法で形成したＦｅ−ＡｊＬ−
Ｓｉ合金膜の抗磁力（Ｈｃ）と基板の傾斜角度との関係
を示す図である。また、Ｆｅ−Ａ４−Ｓｉ合金膜はスパ
ッタ時の基板温度が低い場合、優れた軟磁性特性を得る
には、スパゾタ後熱処理する必要があるため、第３図で
は上述のヘッドを更に真空中で６００℃、３時間熱処理
した後の磁気特性（抗磁力）を示している。第３図より
明らかなように、基板の傾斜角度が３０°まては平坦な
基板上とほとんど同じ磁気特性を示すが、３０°を越え
ろと抗磁力（＋−ＩＣ）は次第に増加し、４０°以上で
急激に増加し、磁気特性が劣化することがわかる。
Ｓｉ合金膜の抗磁力（Ｈｃ）と基板の傾斜角度との関係
を示す図である。また、Ｆｅ−Ａ４−Ｓｉ合金膜はスパ
ッタ時の基板温度が低い場合、優れた軟磁性特性を得る
には、スパゾタ後熱処理する必要があるため、第３図で
は上述のヘッドを更に真空中で６００℃、３時間熱処理
した後の磁気特性（抗磁力）を示している。第３図より
明らかなように、基板の傾斜角度が３０°まては平坦な
基板上とほとんど同じ磁気特性を示すが、３０°を越え
ろと抗磁力（＋−ＩＣ）は次第に増加し、４０°以上で
急激に増加し、磁気特性が劣化することがわかる。
従って、第１図のような構造の一５Ｖ膜磁気ヘッドにお
いて傾斜部の傾斜角を４０°以下にすることにより、傾
斜部上においてら磁気コアの軟磁性特性は劣化すること
なく、憂れた薄膜磁気ヘッドを得ることかできる。
いて傾斜部の傾斜角を４０°以下にすることにより、傾
斜部上においてら磁気コアの軟磁性特性は劣化すること
なく、憂れた薄膜磁気ヘッドを得ることかできる。
（発明の効果）
以上詳述した如く本発明によれば、磁気コアの形成され
る下地の傾斜角を一定値以下とすることにより、磁気コ
アとなるＦｅ−Ａｊｉｊ−Ｓｉ合金膜の本来の優れた軟
磁性特性を引き出すことができ、従って、効率の良い優
れた薄膜磁気ヘッドを得ることができる。
る下地の傾斜角を一定値以下とすることにより、磁気コ
アとなるＦｅ−Ａｊｉｊ−Ｓｉ合金膜の本来の優れた軟
磁性特性を引き出すことができ、従って、効率の良い優
れた薄膜磁気ヘッドを得ることができる。
第１図は薄膜磁気ヘッドの構造例を示す。第２図は巻線
型薄膜磁気ヘッドの代表例の平面図である。第３図は本
発明のＦｅ−Ａ１−Ｓｉ合金膜の抗磁力Ｈｃと基板の傾
斜角度との関係を示す図である。 図中の番号は以下の
通りである。 （１）・・・支持基数、 （２）・・・下部磁気コ
ア、（３）・・絶縁層、 （４）・・・信号導
体、（５）・・上部磁気コア、 （６）・・磁気ギャ
ップ。 第１図 第２図
型薄膜磁気ヘッドの代表例の平面図である。第３図は本
発明のＦｅ−Ａ１−Ｓｉ合金膜の抗磁力Ｈｃと基板の傾
斜角度との関係を示す図である。 図中の番号は以下の
通りである。 （１）・・・支持基数、 （２）・・・下部磁気コ
ア、（３）・・絶縁層、 （４）・・・信号導
体、（５）・・上部磁気コア、 （６）・・磁気ギャ
ップ。 第１図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、上部磁気コアと平坦な下部磁気コアとの間に形成さ
れた断面台形上の空間に、導電体材料よりなるコイルを
挟設してなる巻線型薄膜磁気ヘッドにおいて、両磁気コ
アがＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ−Ｃｒ合
金またはＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ−Ｔｉ合金で形成され、かつ
、上部磁気コアの傾斜部の傾斜角が４０°以下である巻
線型薄膜磁気ヘッド。 ２、上部磁気コアおよび下部磁気コアと、コイルとの間
の空間が絶縁体から成る第１項記載の巻線型薄膜磁気ヘ
ッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28395685A JPS62141616A (ja) | 1985-12-16 | 1985-12-16 | 巻線型薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28395685A JPS62141616A (ja) | 1985-12-16 | 1985-12-16 | 巻線型薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62141616A true JPS62141616A (ja) | 1987-06-25 |
Family
ID=17672400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28395685A Pending JPS62141616A (ja) | 1985-12-16 | 1985-12-16 | 巻線型薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62141616A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0261571A (ja) * | 1988-08-26 | 1990-03-01 | Toyobo Co Ltd | 非接触式磁気センサー |
-
1985
- 1985-12-16 JP JP28395685A patent/JPS62141616A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0261571A (ja) * | 1988-08-26 | 1990-03-01 | Toyobo Co Ltd | 非接触式磁気センサー |
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