JPH0261571A - 非接触式磁気センサー - Google Patents
非接触式磁気センサーInfo
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- JPH0261571A JPH0261571A JP21332988A JP21332988A JPH0261571A JP H0261571 A JPH0261571 A JP H0261571A JP 21332988 A JP21332988 A JP 21332988A JP 21332988 A JP21332988 A JP 21332988A JP H0261571 A JPH0261571 A JP H0261571A
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- Japan
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- magnetic
- sensor
- section
- circular cross
- magnetic core
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- Pending
Links
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Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は測定対象物体に例えば永久磁石のような磁界発
生素子を固定し、ｆｌｔｌ＋定対象物体の位置変動や回
転数を検出する耐熱性の優れた小形杖の磁気センサーに
関するものである。
生素子を固定し、ｆｌｔｌ＋定対象物体の位置変動や回
転数を検出する耐熱性の優れた小形杖の磁気センサーに
関するものである。
（従来の技術および発明が解決しようとする課題）
近４１、［−作機械や自動用などのいわゆるメカトロニ
クス分野や電ｒ電気１〕学分野など多くの分子ｆにわた
って信頼性の高い小形吠の位置決めセンサーや回転セン
サーが求められている。
クス分野や電ｒ電気１〕学分野など多くの分子ｆにわた
って信頼性の高い小形吠の位置決めセンサーや回転セン
サーが求められている。
従来、非接触式センサーとして磁気を応用する方式はい
くつか提案されている。
くつか提案されている。
特開昭６１ ２４５００２ ’ｊ公報にはアモルファス
強磁性体ワイヤーを磁心とす°る変位センサーが開示さ
れている。
強磁性体ワイヤーを磁心とす°る変位センサーが開示さ
れている。
しかしながら、アモルファスワイヤを磁心に用いた変位
センサーは高感度であるが、高感度ゆえに測定対象物以
外からの磁界も検出し、また磁心材料がアモルファスで
あるため、特に高温において磁気特性が劣化する問題が
あった。
センサーは高感度であるが、高感度ゆえに測定対象物以
外からの磁界も検出し、また磁心材料がアモルファスで
あるため、特に高温において磁気特性が劣化する問題が
あった。
（課題を解決するための手段）
本発明者等は、かかる問題点を解決するために鋭Ｍ検討
の結果、結晶質のＦｅを主体とする軟磁気性質を有する
円形断面の金属繊維を磁心とし、その金属繊維に被覆銅
線を巻回すれば、実用感度を有し、かつ高温迄出力信シ
が安定して得られることを見出し本発明に到達した。
の結果、結晶質のＦｅを主体とする軟磁気性質を有する
円形断面の金属繊維を磁心とし、その金属繊維に被覆銅
線を巻回すれば、実用感度を有し、かつ高温迄出力信シ
が安定して得られることを見出し本発明に到達した。
すなわち、本発明は磁心材料として従来材料にない性能
と形咀を有する結晶質の金属繊維を使用する点に特徴を
有するものである。
と形咀を有する結晶質の金属繊維を使用する点に特徴を
有するものである。
従来の磁心材料は直径または代表径が５００ ｕ以上の
パーマロイ、スーパーマロイ、ケイ素１１板などの結晶
質強磁性体や、アモルファスワイヤやアモルファスリボ
ンなどの非晶質強磁性体が使用されており、さらに直径
１５０ｐＡ以下の断面が円形の金属繊維としてはアモル
ファスワイヤのみである。
パーマロイ、スーパーマロイ、ケイ素１１板などの結晶
質強磁性体や、アモルファスワイヤやアモルファスリボ
ンなどの非晶質強磁性体が使用されており、さらに直径
１５０ｐＡ以下の断面が円形の金属繊維としてはアモル
ファスワイヤのみである。
−・方、本発明の磁気センサーの磁心は結晶質材料であ
るため、アモルファスとは根本的に異なる。
るため、アモルファスとは根本的に異なる。
本発明における磁心材料としては、直径１５０戸以ドの
円形断面の結晶質杖態のＦｅ主体軟磁性合金からなる金
属繊維があげられる。直径は好ましくは１００戸以下で
ある。Ｆｅ主体軟磁性合金としてはＦｅ−８ｔ系合金、
Ｆｅ−ＡＱ系合金、［ｉ’ｅ−８ｉＡ ｕ系合金があげ
られ、液体急冷法により繊維に作製することが好ましい
。
円形断面の結晶質杖態のＦｅ主体軟磁性合金からなる金
属繊維があげられる。直径は好ましくは１００戸以下で
ある。Ｆｅ主体軟磁性合金としてはＦｅ−８ｔ系合金、
Ｆｅ−ＡＱ系合金、［ｉ’ｅ−８ｉＡ ｕ系合金があげ
られ、液体急冷法により繊維に作製することが好ましい
。
これらの合金には微電の（数％以上の）不純物が含まれ
ていてもよい。Ｆｅ主体とは重機％でＦｅが７０％以］
ユ、好ましくは８０％以上、さらに好ましくは９０％以
１−のちのである。
ていてもよい。Ｆｅ主体とは重機％でＦｅが７０％以］
ユ、好ましくは８０％以上、さらに好ましくは９０％以
１−のちのである。
なお、円形断面繊維の円形とは、円断面の最長軸直径１
） ｌ１ａｘと最短軸直径１）＋ｓｉｎの比１） ＋＊
ｉｎ ／ Ｉ）ＩＩｌａｘが０．７以−１二であること
を意味する。
） ｌ１ａｘと最短軸直径１）＋ｓｉｎの比１） ＋＊
ｉｎ ／ Ｉ）ＩＩｌａｘが０．７以−１二であること
を意味する。
このＤ ｓｉｎ ／ Ｄ ｍａｘ比は好ましくは０．７
５以上、さらに好ましくは０．８０以」；のものである
。円形断面であることにより、繊維を磁心として繊維に
直接被覆銅線を巻回することが可能となり磁界検出部の
極めて小形状の経済性の優れた磁気センサーとすること
ができる。
５以上、さらに好ましくは０．８０以」；のものである
。円形断面であることにより、繊維を磁心として繊維に
直接被覆銅線を巻回することが可能となり磁界検出部の
極めて小形状の経済性の優れた磁気センサーとすること
ができる。
薄帯（リボン材）を使用する場合、巻線部の絶縁被覆の
損傷が生じ、薄帯に直接巻線を施こすことは不可能であ
る。
損傷が生じ、薄帯に直接巻線を施こすことは不可能であ
る。
また、磁歪が零の繊維を用いると、巻線時あるいは衝撃
などの応力によっても磁気特性が変化しないので極めて
取扱いの容易なセンサーとなる。
などの応力によっても磁気特性が変化しないので極めて
取扱いの容易なセンサーとなる。
（実施例）
第１図は本発明の一実施幅様を示すセンサーの構成図で
ある。
ある。
Ｆは磁心の金属繊維、Ｃは被覆銅線、Ｔは端子を示す。
実施例の磁気センサーは、直径７０−１長さ２２■の１
本の結晶質のＦｅ−８１合金金属繊維を磁心とし、それ
を直径８０μｍの被覆銅線を１１００回巻回したもので
ある。このときの［） １ｎ／Ｄ ｍａｘは０．９３で
あった。
本の結晶質のＦｅ−８１合金金属繊維を磁心とし、それ
を直径８０μｍの被覆銅線を１１００回巻回したもので
ある。このときの［） １ｎ／Ｄ ｍａｘは０．９３で
あった。
第２図に本発明の磁気センサーを使用して測定した励磁
界と発生パルス電圧および発生パルス幅との関係を示す
。このときの周波数は５Ｈｚである。
界と発生パルス電圧および発生パルス幅との関係を示す
。このときの周波数は５Ｈｚである。
第１表は、従来材料を比較例としたセンサーの最高使用
温度を示す。
温度を示す。
第１表
（発明の効果）
本発明の磁気センサーは第１表に示すように従来の磁心
を使用したセンサーに較べて温度特性が非常に優れてお
り、従来使用が困難であった高温雰囲気下でのセンシン
グが可能である。
を使用したセンサーに較べて温度特性が非常に優れてお
り、従来使用が困難であった高温雰囲気下でのセンシン
グが可能である。
第１図は本発明の１例である、磁芯に巻線を施したセン
サーに素子部を示す図であり、第２図は、本発明の磁気
センサーを用いたときのパルス電圧とパルス幅の励磁界
との関係を示す図である。
サーに素子部を示す図であり、第２図は、本発明の磁気
センサーを用いたときのパルス電圧とパルス幅の励磁界
との関係を示す図である。
Claims (1)
- （１）磁芯に巻線を施した素子を少なくとも有する非接
触式の磁気センサーにおいて、磁芯が軟磁気特性を有し
、円形断面の結晶質Ｆｅ主体の金属繊維状物であること
を特徴とする非接触式磁気センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21332988A JPH0261571A (ja) | 1988-08-26 | 1988-08-26 | 非接触式磁気センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21332988A JPH0261571A (ja) | 1988-08-26 | 1988-08-26 | 非接触式磁気センサー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0261571A true JPH0261571A (ja) | 1990-03-01 |
Family
ID=16637355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21332988A Pending JPH0261571A (ja) | 1988-08-26 | 1988-08-26 | 非接触式磁気センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0261571A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07217761A (ja) * | 1994-01-31 | 1995-08-15 | Kawaden:Kk | 電動バルブ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5111474A (ja) * | 1974-07-18 | 1976-01-29 | Sumitomo Spec Metals | Jikikenchiki |
| JPS62141616A (ja) * | 1985-12-16 | 1987-06-25 | Sharp Corp | 巻線型薄膜磁気ヘツド |
-
1988
- 1988-08-26 JP JP21332988A patent/JPH0261571A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5111474A (ja) * | 1974-07-18 | 1976-01-29 | Sumitomo Spec Metals | Jikikenchiki |
| JPS62141616A (ja) * | 1985-12-16 | 1987-06-25 | Sharp Corp | 巻線型薄膜磁気ヘツド |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07217761A (ja) * | 1994-01-31 | 1995-08-15 | Kawaden:Kk | 電動バルブ |
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