JPS62140036A - 放射温度計 - Google Patents
放射温度計Info
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- JPS62140036A JPS62140036A JP28154985A JP28154985A JPS62140036A JP S62140036 A JPS62140036 A JP S62140036A JP 28154985 A JP28154985 A JP 28154985A JP 28154985 A JP28154985 A JP 28154985A JP S62140036 A JPS62140036 A JP S62140036A
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- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims description 12
- 238000005375 photometry Methods 0.000 claims description 9
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 abstract 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/60—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using determination of colour temperature
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、被測定物の放射率を自動補IE L、非接触
で被測定物の温度を正確に測定でさるようにした放射温
度計に関するものである。
で被測定物の温度を正確に測定でさるようにした放射温
度計に関するものである。
(従来の技術)
従来、非接触で・被測定物の温度を測定する温度計とし
ては、特開昭54−58073〜4号に開示されている
ような2色温度計がある。この従来例にあっては、異な
る2波長についての放射輝度比が被測定物の温度に対応
するという原理によって、温度を求めている。すなわち
、測定波長を入口λ2、放射率をε(λ、、T)、ε(
λ2.T)として、各波長についての放射輝度をL(λ
、、T)、L(λ2゜T)とすると、指示温度R(T)
は、 となり、放射率比ε(λ、、T)/ε(λ2.T)と、
放射111i1i度比L(A、、T)/L(λ2.T)
とが求まれば、被測定物の温度が決まる。一般に、2波
長測定によって被測定物の温度を算出する際には、放射
輝度比を測定しているが、この際、放射率比を1に近1
[′J、したり、あるいは、放射率比が温度によって変
化しないという仮定をして一定の値に適宜補正している
。しかしながら、放射率は温度によっても変化し、それ
ゆえ放射率比も変化するので、正確な補正が出来なかっ
た。
ては、特開昭54−58073〜4号に開示されている
ような2色温度計がある。この従来例にあっては、異な
る2波長についての放射輝度比が被測定物の温度に対応
するという原理によって、温度を求めている。すなわち
、測定波長を入口λ2、放射率をε(λ、、T)、ε(
λ2.T)として、各波長についての放射輝度をL(λ
、、T)、L(λ2゜T)とすると、指示温度R(T)
は、 となり、放射率比ε(λ、、T)/ε(λ2.T)と、
放射111i1i度比L(A、、T)/L(λ2.T)
とが求まれば、被測定物の温度が決まる。一般に、2波
長測定によって被測定物の温度を算出する際には、放射
輝度比を測定しているが、この際、放射率比を1に近1
[′J、したり、あるいは、放射率比が温度によって変
化しないという仮定をして一定の値に適宜補正している
。しかしながら、放射率は温度によっても変化し、それ
ゆえ放射率比も変化するので、正確な補正が出来なかっ
た。
一方、特開昭57−149927号に記載された「温度
分布測定方法」においては、基準黒体を用いて物体の反
射率rを測定しているが、基準黒体を作るのか非常に困
難であり、また、装置が大掛かりになるという欠点があ
り、さらに、正確な反射率を求めているのではないため
、放射率(1−r)も不正確になり、真温度は求められ
ない。
分布測定方法」においては、基準黒体を用いて物体の反
射率rを測定しているが、基準黒体を作るのか非常に困
難であり、また、装置が大掛かりになるという欠点があ
り、さらに、正確な反射率を求めているのではないため
、放射率(1−r)も不正確になり、真温度は求められ
ない。
(発明が解決しようとする問題点)
放射温度計における最大の問題点は、放射率の補正が要
ることである。すなわち、放射率は物体の材質のみなら
ず、その物体の表面状態や温度、波長等によって変化し
、この放射率の補正を厳密に行光ないために真温度を容
易に測定できないのが現状である。実際、上記各従来例
に見られるように、放射率を近似したり、複雑で大掛か
りな装置となったりしているために、放射温度計で真温
度を休出することは容易ではなかった。
ることである。すなわち、放射率は物体の材質のみなら
ず、その物体の表面状態や温度、波長等によって変化し
、この放射率の補正を厳密に行光ないために真温度を容
易に測定できないのが現状である。実際、上記各従来例
に見られるように、放射率を近似したり、複雑で大掛か
りな装置となったりしているために、放射温度計で真温
度を休出することは容易ではなかった。
本発明はこのような問題点を解決するためになされたち
のであり、その目的とするところj土、簡単な構成で、
且つ、正確に被測定物の温度を測定できる放射温度計を
提供するにある。
のであり、その目的とするところj土、簡単な構成で、
且つ、正確に被測定物の温度を測定できる放射温度計を
提供するにある。
(問題、−リ:を解決するための手¥2)本発明に係る
放射温度計にあっては、上述のような問題点を解決する
ために、異なる2波長の参照光を被測定物に向けて照射
する照光手段と、前記2波長の参照元に対する被測定物
からの反射光を測光する反射光測光手段と、各波長につ
いての参照元に対する反射光の測光値から前記2波長に
ついての被測定物の反射率の比を求める反射率比演算手
段と、前記2波長における被測定物からの放射輝度を測
光する放射輝度測光手段と、放射輝度測光手段の測光出
力と、反射率比演算手段の演算出力とから物体の真温度
を演算する温度演算手段とを備えるものである。
放射温度計にあっては、上述のような問題点を解決する
ために、異なる2波長の参照光を被測定物に向けて照射
する照光手段と、前記2波長の参照元に対する被測定物
からの反射光を測光する反射光測光手段と、各波長につ
いての参照元に対する反射光の測光値から前記2波長に
ついての被測定物の反射率の比を求める反射率比演算手
段と、前記2波長における被測定物からの放射輝度を測
光する放射輝度測光手段と、放射輝度測光手段の測光出
力と、反射率比演算手段の演算出力とから物体の真温度
を演算する温度演算手段とを備えるものである。
(作用)
前記構成において、照光手段は、反射率を測定するため
に、異なる2波長の参照光を被測定物に向けて照射する
。反射光測光手段は、2波長の参照元に対する被測定物
からの反射光を測光する。
に、異なる2波長の参照光を被測定物に向けて照射する
。反射光測光手段は、2波長の参照元に対する被測定物
からの反射光を測光する。
各波長についての参照元の強度と、この参照元に対する
反射光の強度から、反射率比を求めることができる。反
射率比演算手段は、この反射率比の演算を行う。求めら
れた反射率比によって、各温度での放射率の変化ら自動
的に補正することができるので、温度演算手段において
は、物体の真の温度を測定することができる。
反射光の強度から、反射率比を求めることができる。反
射率比演算手段は、この反射率比の演算を行う。求めら
れた反射率比によって、各温度での放射率の変化ら自動
的に補正することができるので、温度演算手段において
は、物体の真の温度を測定することができる。
(実施例)
以下、本発明の好ましい実施例を図面と共に説明する。
第1図は本発明の一実施例に係る放射温度計の慨略構成
図である。本実施例においては、照光手段は、異なる2
つの波長λ1.λ2を含む参照光を発生する光源(L)
と、光源(L)からの参照元を断続させるチョッパ(c
p)とを含み、被測定物(1’ G )に断続光を照射
する。チョッパ(CP )は、透光部と遮光部とを有す
る回転体を回転させることにより実現されている。(L
S )は、被測定物(TG)からの光を集光するレン
ズであり、集光された光はハーフミラ−(HM)により
、2分岐される。
図である。本実施例においては、照光手段は、異なる2
つの波長λ1.λ2を含む参照光を発生する光源(L)
と、光源(L)からの参照元を断続させるチョッパ(c
p)とを含み、被測定物(1’ G )に断続光を照射
する。チョッパ(CP )は、透光部と遮光部とを有す
る回転体を回転させることにより実現されている。(L
S )は、被測定物(TG)からの光を集光するレン
ズであり、集光された光はハーフミラ−(HM)により
、2分岐される。
ハーフミラ−()(M )を透過した光は、波長λ1の
光を透過する光学フィルター(F、)を介して、光検出
器(S、)にて受光される。ノs−7ミラー(HM)に
て反射された光は、波長λ2の光を透過する光学フィル
ター(F2)を介して、光検出器(S2)にて受光され
る。光検出器(S 、)、(S :)の出力のうち、直
流成分はDCアンプ(1)、(2)にてそれぞれ増幅さ
れ、波長λ1.λ2についての放射輝度に対応する出力
り、、D2が得られる。このDCアンプ(1)、(2)
ト、mt記’Jf−Tフィルy (FIL(F2)、
及ヒ、光検出器(S、)、(S=)により、上述の放射
輝度測光手段が構成されている。
光を透過する光学フィルター(F、)を介して、光検出
器(S、)にて受光される。ノs−7ミラー(HM)に
て反射された光は、波長λ2の光を透過する光学フィル
ター(F2)を介して、光検出器(S2)にて受光され
る。光検出器(S 、)、(S :)の出力のうち、直
流成分はDCアンプ(1)、(2)にてそれぞれ増幅さ
れ、波長λ1.λ2についての放射輝度に対応する出力
り、、D2が得られる。このDCアンプ(1)、(2)
ト、mt記’Jf−Tフィルy (FIL(F2)、
及ヒ、光検出器(S、)、(S=)により、上述の放射
輝度測光手段が構成されている。
光検出器(S、)、(S、)の出力のうち、交流成分に
ついてはACアンプ(1’)、(2’)にてそれぞれ増
幅され、波長λ1.λ2についての反射光の強度に月応
する出力A、、A2が得られる。このACアンプ(+
’)、(2’)と、前記光学フィルター(Fl)。
ついてはACアンプ(1’)、(2’)にてそれぞれ増
幅され、波長λ1.λ2についての反射光の強度に月応
する出力A、、A2が得られる。このACアンプ(+
’)、(2’)と、前記光学フィルター(Fl)。
(F、)、及び、光検出器(S 、)、(S 2)によ
り、L述の反射光測光手段が構成されている。
り、L述の反射光測光手段が構成されている。
ところで、反射率比を測定するためには、波1そλ1.
λ、についての参照元の強度が必要なので、光検出器(
S :、)、(S 、)が設けられている。光検出器(
S 1)、(S 4)は、波長λ5.λ2に対応する光
のみを透過する光学フィルター(F、)、(F2)を介
して尤′FA(L)に向けられている。光源(L)は様
々な波長の光を含むものであるが、光検出器(S、)は
そのうち波長λ1の成分の強度を検出し、また、光検出
器(S、)は波長λ2の成分の強度を検出する。
λ、についての参照元の強度が必要なので、光検出器(
S :、)、(S 、)が設けられている。光検出器(
S 1)、(S 4)は、波長λ5.λ2に対応する光
のみを透過する光学フィルター(F、)、(F2)を介
して尤′FA(L)に向けられている。光源(L)は様
々な波長の光を含むものであるが、光検出器(S、)は
そのうち波長λ1の成分の強度を検出し、また、光検出
器(S、)は波長λ2の成分の強度を検出する。
光検出器(S 、)、(S 、)の検出出力は、光源補
正用のDCアンプ(3>、(4)にてそれぞれ増幅され
、波長λ、及び波長λ2についての参照光の強度に対応
する出力B、、B2が得られる。ACアンプ(1’)。
正用のDCアンプ(3>、(4)にてそれぞれ増幅され
、波長λ、及び波長λ2についての参照光の強度に対応
する出力B、、B2が得られる。ACアンプ(1’)。
(2゛)の出力A、、A2と、DCアンプ(3)、(4
)の出力13.、B2とは、反射率比演算手段(RC)
に入力されて、反射率A1/B1とA 、/ B 2と
の比率、すなわち、反射率比(A 、/ B 、)/
(A 2/ B 2)が演算される。
)の出力13.、B2とは、反射率比演算手段(RC)
に入力されて、反射率A1/B1とA 、/ B 2と
の比率、すなわち、反射率比(A 、/ B 、)/
(A 2/ B 2)が演算される。
反射率比演算手段(RC)の演算出力(A、/B、)/
(A2/B2)は、DCアンプ(1)、(2ンがら得ら
れた放射輝度に対応する出力1) 、 、 D 2と共
に、温度演算手段(TC)に入力されて、真温度Tを演
算される。以下、これらのデータから真温度Tを演勢で
さる理由について説明する。
(A2/B2)は、DCアンプ(1)、(2ンがら得ら
れた放射輝度に対応する出力1) 、 、 D 2と共
に、温度演算手段(TC)に入力されて、真温度Tを演
算される。以下、これらのデータから真温度Tを演勢で
さる理由について説明する。
被測定物(TG)のエネルギーをE(λItTン、IE
(A2.T)、放射率ヲε(λ1.′r)、ε(λ2.
T)、波長λ1.λ2における反射率をR(λ、、T)
、R(λ、。
(A2.T)、放射率ヲε(λ1.′r)、ε(λ2.
T)、波長λ1.λ2における反射率をR(λ、、T)
、R(λ、。
T)とし、被測定物(TG)が波長λ1.λ2で不透明
であるとして、 ε(λ、、T)+R(λ、、T)=1 ・・・■
ε(λ2.T)+R(λ2.T)=1 ・・・■
が成立する。
であるとして、 ε(λ、、T)+R(λ、、T)=1 ・・・■
ε(λ2.T)+R(λ2.T)=1 ・・・■
が成立する。
反射率比をL 12とすると、■、■式より、被測定物
(TG)がら放射されるエネルギーは、それぞれDI、
D2に対応するとして、D、=ε(λ1.T)・E(λ
8.T) ・・・■D2=ε(λ2.T)・E(λ
2.T) ・・・■式■、■、■より となり、E(λ、T)はブランクの式より、・・・■ ・・・■ ここで、 c 、 = 2 x he2= 3.7415X 10
’W c+o−2μmc2= ch/ k = 1.4
388X 10’ μ” Kただし、 c= 2.9979X ]、O”m/ s1+= 6,
6256X 10−” J −5k= 1.3805X
10−” J / deg弐〇、■、■より、被測定
物体の温度Tは次式から求められる。
(TG)がら放射されるエネルギーは、それぞれDI、
D2に対応するとして、D、=ε(λ1.T)・E(λ
8.T) ・・・■D2=ε(λ2.T)・E(λ
2.T) ・・・■式■、■、■より となり、E(λ、T)はブランクの式より、・・・■ ・・・■ ここで、 c 、 = 2 x he2= 3.7415X 10
’W c+o−2μmc2= ch/ k = 1.4
388X 10’ μ” Kただし、 c= 2.9979X ]、O”m/ s1+= 6,
6256X 10−” J −5k= 1.3805X
10−” J / deg弐〇、■、■より、被測定
物体の温度Tは次式から求められる。
この式は、反射率比演算手段(RC)の@算出方(A
1/ B 、)/ (A 2/ B :)ト、DC7ン
プ(IL(2)から得られた放射輝度に対応する出カD
、、D2以外は、温度T(変数)と定数(!1lc21
λ1.λ2とを含むのみであるから、温度演算手段(T
C)により」二式を解けば、温度Tを求めることができ
るものである。
1/ B 、)/ (A 2/ B :)ト、DC7ン
プ(IL(2)から得られた放射輝度に対応する出カD
、、D2以外は、温度T(変数)と定数(!1lc21
λ1.λ2とを含むのみであるから、温度演算手段(T
C)により」二式を解けば、温度Tを求めることができ
るものである。
なお、本発明にあっては、放射率を波長、温度の関数と
して捕らえており、各波長・温度における放射率も算出
することができる。すなわち、各波長・温度における放
射率ε(λ、、T)、ε(λ2.T)は、それぞれ式■
、■及び弐〇、■から算出することができる。
して捕らえており、各波長・温度における放射率も算出
することができる。すなわち、各波長・温度における放
射率ε(λ、、T)、ε(λ2.T)は、それぞれ式■
、■及び弐〇、■から算出することができる。
に記実施例は種々の変形が可能であり、たとえば、照光
手段として、チョッパ(CI” )トを源(L、 )と
を組み合わせる代わりに、2波長λ1.A2を含む参照
光を所定の周期で発光するス)ロボを使っても構わない
。また、ハーフミラ−(1−I M )の代わりに、第
3図図示のようにバンドルファイバー(13F)を用い
て、尼を2つに分岐するような構成を用いても構わない
。
手段として、チョッパ(CI” )トを源(L、 )と
を組み合わせる代わりに、2波長λ1.A2を含む参照
光を所定の周期で発光するス)ロボを使っても構わない
。また、ハーフミラ−(1−I M )の代わりに、第
3図図示のようにバンドルファイバー(13F)を用い
て、尼を2つに分岐するような構成を用いても構わない
。
第2図は本発明の池の実施例の要部構成図である。本寅
施例は、前の実施例におけるハー7ミラ−(IIM)と
光学フィルター(F、)、(F:)との組み合わせに代
えて、2つの窓を有する円板(D S )を回転させ、
各々の窓に、光学フィルター(F、)、(1=、)を装
着しである。この構成においては、1個の光検出器(S
)によって、前の実施例における光検出器(S、)と(
S2)とを兼ねることができる。すなわち、光学フィル
ター(F、)が光検出器(S)の前に存在するときには
、光検出器(S)は上述の光検出器(St)として作用
し、光学フィルター(F2)が光検出器(S)の前に存
在するときには、光検出器(S)は上述の光検出器(S
2)として作用するものである。
施例は、前の実施例におけるハー7ミラ−(IIM)と
光学フィルター(F、)、(F:)との組み合わせに代
えて、2つの窓を有する円板(D S )を回転させ、
各々の窓に、光学フィルター(F、)、(1=、)を装
着しである。この構成においては、1個の光検出器(S
)によって、前の実施例における光検出器(S、)と(
S2)とを兼ねることができる。すなわち、光学フィル
ター(F、)が光検出器(S)の前に存在するときには
、光検出器(S)は上述の光検出器(St)として作用
し、光学フィルター(F2)が光検出器(S)の前に存
在するときには、光検出器(S)は上述の光検出器(S
2)として作用するものである。
(発明の効果)
上述のように、本発明にあっては、照光手段と反射光測
光手段と反射率比演算手段とにより2波長についての反
射率比を求めることができ、この反射率比によって、各
温度での放射率の変化も自動的に補正することができる
ので、簡単な構造でありながら、正確に物体の温度を測
定することができるという効果がある。
光手段と反射率比演算手段とにより2波長についての反
射率比を求めることができ、この反射率比によって、各
温度での放射率の変化も自動的に補正することができる
ので、簡単な構造でありながら、正確に物体の温度を測
定することができるという効果がある。
4、し1而の簡1′へな説明
第1図は本発明の一実施例に係る放射温度計の概略構成
図、第2図は本発明の他の実施例に係る放射温度計の叉
部構成図、第3図は本発明のさらに他の実施例に係る放
射温度計の要部構成図である。
図、第2図は本発明の他の実施例に係る放射温度計の叉
部構成図、第3図は本発明のさらに他の実施例に係る放
射温度計の要部構成図である。
(L)は光源、<CP)はチシッパ、(TG)は被測定
物、(F、)、(F2)は光学フィルター、(S、)、
(S2)は光検出器、(1)、(2>はDCアンプ、(
1’)。
物、(F、)、(F2)は光学フィルター、(S、)、
(S2)は光検出器、(1)、(2>はDCアンプ、(
1’)。
(2゛)はACアンプ、(RC)は反射率比演算手段、
(TC)は温度演算手段である。
(TC)は温度演算手段である。
Claims (1)
- (1)異なる2波長の参照光を被測定物に向けて照射す
る照光手段と、前記2波長の参照光に対する被測定物か
らの反射光を測光する反射光測光手段と、各波長につい
ての参照光に対する反射光の測光値から前記2波長につ
いての被測定物の反射率の比を求める反射率比演算手段
と、前記2波長における被測定物からの放射輝度を測光
する放射輝度測光手段と、放射輝度測光手段の測光出力
と、反射率比演算手段の演算出力とから物体の真温度を
演算する温度演算手段とを備えた放射温度計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28154985A JPS62140036A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | 放射温度計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28154985A JPS62140036A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | 放射温度計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62140036A true JPS62140036A (ja) | 1987-06-23 |
Family
ID=17640727
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28154985A Pending JPS62140036A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | 放射温度計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62140036A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007263583A (ja) * | 2006-03-27 | 2007-10-11 | Osaka Gas Co Ltd | 被測定物の温度検出装置、温度検出方法及び温度検出装置を備えた加熱調理器 |
WO2008102596A1 (ja) * | 2007-02-20 | 2008-08-28 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | 半導体表面温度測定方法及びその装置 |
JP2008235858A (ja) * | 2007-02-20 | 2008-10-02 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 半導体表面温度測定方法及びその装置 |
JP2015137967A (ja) * | 2014-01-23 | 2015-07-30 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 非接触温度測定方法および測定装置 |
JP2017026432A (ja) * | 2015-07-21 | 2017-02-02 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 非接触温度測定方法および測定装置 |
JP2017026362A (ja) * | 2015-07-17 | 2017-02-02 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 非接触温度測定方法および測定システム |
-
1985
- 1985-12-13 JP JP28154985A patent/JPS62140036A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007263583A (ja) * | 2006-03-27 | 2007-10-11 | Osaka Gas Co Ltd | 被測定物の温度検出装置、温度検出方法及び温度検出装置を備えた加熱調理器 |
WO2008102596A1 (ja) * | 2007-02-20 | 2008-08-28 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | 半導体表面温度測定方法及びその装置 |
JP2008235858A (ja) * | 2007-02-20 | 2008-10-02 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 半導体表面温度測定方法及びその装置 |
JP2015137967A (ja) * | 2014-01-23 | 2015-07-30 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 非接触温度測定方法および測定装置 |
JP2017026362A (ja) * | 2015-07-17 | 2017-02-02 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 非接触温度測定方法および測定システム |
JP2017026432A (ja) * | 2015-07-21 | 2017-02-02 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 非接触温度測定方法および測定装置 |
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