JPS62136616A - 顕微鏡対物補正レンズ - Google Patents
顕微鏡対物補正レンズInfo
- Publication number
- JPS62136616A JPS62136616A JP60278210A JP27821085A JPS62136616A JP S62136616 A JPS62136616 A JP S62136616A JP 60278210 A JP60278210 A JP 60278210A JP 27821085 A JP27821085 A JP 27821085A JP S62136616 A JPS62136616 A JP S62136616A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microscope objective
- lens
- cover glass
- spherical aberration
- objective lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/0025—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration
- G02B27/0068—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration having means for controlling the degree of correction, e.g. using phase modulators, movable elements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は顕微鏡ズ・］物レしズに関するものであり、特
に金属顕微鏡を、工業分野においてカバーガラスを有す
る物体に適用するだめの補正レンズに関するものである
。
に金属顕微鏡を、工業分野においてカバーガラスを有す
る物体に適用するだめの補正レンズに関するものである
。
従来の技術
近年ビデオカメラ用撮像デバイスは撮像管から固体撮像
素子に替わりつつある。カラー固体撮像素子の製造にお
いては、ガラス基板下面に形成した色分解フィルターを
固体撮像素子上に接合する工程がある。この工程におい
ては、フィルターと固体撮像素子を精密に位１４合わせ
するために金属顕微鏡が使用されている。
素子に替わりつつある。カラー固体撮像素子の製造にお
いては、ガラス基板下面に形成した色分解フィルターを
固体撮像素子上に接合する工程がある。この工程におい
ては、フィルターと固体撮像素子を精密に位１４合わせ
するために金属顕微鏡が使用されている。
以下図面を参照しながら、上述した従来の金属顕微鏡対
物レンズの一例について説明する。
物レンズの一例について説明する。
第３図〜第６図は特開昭５９−１７４８１２号公報に示
されたような従来の長作動距離金属顕微鏡対物レンズの
構成と収差を示すものである。第３図において、１は物
体であり、２は顕微鏡対物レンズ、３は結像レンズであ
る。第４図は同レンズの収差図であり、球面収差、非点
収差、歪曲収差は良好な値を示している。
されたような従来の長作動距離金属顕微鏡対物レンズの
構成と収差を示すものである。第３図において、１は物
体であり、２は顕微鏡対物レンズ、３は結像レンズであ
る。第４図は同レンズの収差図であり、球面収差、非点
収差、歪曲収差は良好な値を示している。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、このような顕微鏡対物レンズを、第５図
に示す如く物体４の上に厚す０．６Ｂ、屈折率１．４６
のカバーガラス６を有する固体撮像素子用色フィルター
のような被観察物に使用した場合には、第６図の収差図
に示す如く、非点収差は約２倍となり、歪曲収差はほぼ
同じに留まるのに対し、球面収差が約７５倍も大きくな
り、全体として解隙度とコノトラストが低下し、色の再
現性も低下するという問題点があった。もちろん、この
ようなカバーガラスを有する被観察物に対しては、専用
対物レンズを設計製作すれば良いのであるが、専用対物
レンズの設計製作は多大の費用と期間と高度の技術を要
するという問題点があった。
に示す如く物体４の上に厚す０．６Ｂ、屈折率１．４６
のカバーガラス６を有する固体撮像素子用色フィルター
のような被観察物に使用した場合には、第６図の収差図
に示す如く、非点収差は約２倍となり、歪曲収差はほぼ
同じに留まるのに対し、球面収差が約７５倍も大きくな
り、全体として解隙度とコノトラストが低下し、色の再
現性も低下するという問題点があった。もちろん、この
ようなカバーガラスを有する被観察物に対しては、専用
対物レンズを設計製作すれば良いのであるが、専用対物
レンズの設計製作は多大の費用と期間と高度の技術を要
するという問題点があった。
本発明は上記問題点に鑑み、既製の金属顕微鏡対物レン
ズの前面に取付けて、カバーガラスによって生ずる球面
収差を実用上差しつかえない程度に補正する顕微鏡対物
補正レンズを提供するものである。
ズの前面に取付けて、カバーガラスによって生ずる球面
収差を実用上差しつかえない程度に補正する顕微鏡対物
補正レンズを提供するものである。
問題点を解決するだめの手段
上記問題点を解決するために本発明の顕微鏡対物補正し
／ズば、対物レンズの前面に取付ける、被観察物体側に
凹面を向けた１群のメニスカスレンズによって、カバー
ガラスにより生ずる球面収差を補正するものであり、次
の条件（ａ）及び（ｂ）を満足するようにしたものであ
る。
／ズば、対物レンズの前面に取付ける、被観察物体側に
凹面を向けた１群のメニスカスレンズによって、カバー
ガラスにより生ずる球面収差を補正するものであり、次
の条件（ａ）及び（ｂ）を満足するようにしたものであ
る。
５７ｎｔ
（ａ） −１０，６８Ｘ０．７８ Ｘｆ（ｒ ＜
−１０，ＯＸｏ、７８’°５７ｎｔＸｆ （ｂ） Ｉｆｃｌ＞４５Ｏｆ 但し、ｎは物体のカバーガラスの屈折率、ｔは物体のカ
バーガラスの厚さ、ｆは顕微鏡対物レンズの焦点距離、
ｒ４は顕微鏡対物補正レンズの第１面の曲率半径、ｆｏ
は顕微鏡対物補正レンズの焦点距離である。
−１０，ＯＸｏ、７８’°５７ｎｔＸｆ （ｂ） Ｉｆｃｌ＞４５Ｏｆ 但し、ｎは物体のカバーガラスの屈折率、ｔは物体のカ
バーガラスの厚さ、ｆは顕微鏡対物レンズの焦点距離、
ｒ４は顕微鏡対物補正レンズの第１面の曲率半径、ｆｏ
は顕微鏡対物補正レンズの焦点距離である。
作 用
本発明は上記した構成によって、顕微鏡対物補正レンズ
の無い場合、カバーガラスを有する被観察物体から出た
光軸から離れだ光線がカバーガラスによって、光線束が
小さくなり、第６図の球面収差曲線に示す如く、球面収
差がカバーガラスのないときに比べ著しく正の方向へ倒
れていくのに対し、補正レンズを用いてカバーガラスで
縮小された光線束を元の大きさと同じ程度に戻すことに
よって、正の方向に倒れていた球面収差を負の方向に補
正するものである。そのために本発明の顕微鏡対物補正
レンズは前記の２つの条件（ａ） 、 （ｂ）を満足す
るようにしである。
の無い場合、カバーガラスを有する被観察物体から出た
光軸から離れだ光線がカバーガラスによって、光線束が
小さくなり、第６図の球面収差曲線に示す如く、球面収
差がカバーガラスのないときに比べ著しく正の方向へ倒
れていくのに対し、補正レンズを用いてカバーガラスで
縮小された光線束を元の大きさと同じ程度に戻すことに
よって、正の方向に倒れていた球面収差を負の方向に補
正するものである。そのために本発明の顕微鏡対物補正
レンズは前記の２つの条件（ａ） 、 （ｂ）を満足す
るようにしである。
条件（ａ）において、ｒ４が上限の値を超えると球面収
差が補正不足となり、それをカバーするために補正レン
ズと対物レンズの間隔を広げなければならず、作動距離
が小さくなり過ぎてしまい、ｒ４が下限の値以下になる
と球面収差が過小になり、それをカバーするために補正
レンズと対物レンズの間隔を小さくしなければならなく
なり、レンズ同志がぶつかってしまうことになる。
差が補正不足となり、それをカバーするために補正レン
ズと対物レンズの間隔を広げなければならず、作動距離
が小さくなり過ぎてしまい、ｒ４が下限の値以下になる
と球面収差が過小になり、それをカバーするために補正
レンズと対物レンズの間隔を小さくしなければならなく
なり、レンズ同志がぶつかってしまうことになる。
条件（ｂ）は、球面収差補正過剰の限界において、ｆｃ
の絶対値が４６０ｆ以下になると、全系の焦点距離が大
幅に変化してしまい、倍率が著しく変化する。
の絶対値が４６０ｆ以下になると、全系の焦点距離が大
幅に変化してしまい、倍率が著しく変化する。
いて図面を参照しながら説明する。
第１図において、１１は被観察物体、１２はカバーガラ
ス、１３は本発明の顕微鏡対物補正レンズ、１４は前記
従来例において説明した顕微鏡対物レンズ、１６は結像
レンズであり、像面ｒ３゜（図示せず）に結像する。
ス、１３は本発明の顕微鏡対物補正レンズ、１４は前記
従来例において説明した顕微鏡対物レンズ、１６は結像
レンズであり、像面ｒ３゜（図示せず）に結像する。
次に実施例の詳細数値について記す。
補正後の全光学系の有効焦点距離４．ａ８ｍ、Ｆナンバ
ー４７．９３．作動距離９．１１ｍ、顕微鏡対物レンズ
の有効焦点距離５．ＯＯｇ、Ｆナンバー４０．８９．作
動距離１２ 、７Ｑｕ。
ー４７．９３．作動距離９．１１ｍ、顕微鏡対物レンズ
の有効焦点距離５．ＯＯｇ、Ｆナンバー４０．８９．作
動距離１２ 、７Ｑｕ。
その他の詳細数値は下表に示す通りである。
」二記の実施例による収差曲線を第２図に示す。
第６図に示した従来例に対し、球面収差は釣元に減少し
、非点収差、歪曲収差は同等である。第４図に示した顕
微鏡対物レンズの単体の性能に対しても、球面収差と非
点収差が約２倍になるだけであり、歪曲収差については
同等である。なお顕微鏡対物補正レンズの顕微鏡対物レ
ンズ前面への取付けについては、顕微鏡対物レンズ鏡筒
の外周に金具で着脱自在に取付ける。金属表面を観察す
る時は、顕微鏡対物補正レンズを外して使用する。
、非点収差、歪曲収差は同等である。第４図に示した顕
微鏡対物レンズの単体の性能に対しても、球面収差と非
点収差が約２倍になるだけであり、歪曲収差については
同等である。なお顕微鏡対物補正レンズの顕微鏡対物レ
ンズ前面への取付けについては、顕微鏡対物レンズ鏡筒
の外周に金具で着脱自在に取付ける。金属表面を観察す
る時は、顕微鏡対物補正レンズを外して使用する。
また対物補正レンズは顕微鏡対物レンズの前面に取付け
る形式なのでＮ、Ａ、と作動距離の似た他の対物レンズ
に対しても使用することができる。
る形式なのでＮ、Ａ、と作動距離の似た他の対物レンズ
に対しても使用することができる。
発明の効果
以上のように本発明は、顕微鏡対物レンズの前面に１群
のレンズを取付けることにより、カバーガラスを有する
被観察物体の観察時の球面収差を実用上差しつかえない
程度に減少させて、解像度とコントラスト、色再現性を
向上させ、専用対物レンズ全体を設計製作するよりも安
価で芥易に製作することができ、まだ着脱自在の金具で
顕微鏡対物レンズに取付けることにより、通常の金属顕
微鏡としても使用できるという効果を有する。
のレンズを取付けることにより、カバーガラスを有する
被観察物体の観察時の球面収差を実用上差しつかえない
程度に減少させて、解像度とコントラスト、色再現性を
向上させ、専用対物レンズ全体を設計製作するよりも安
価で芥易に製作することができ、まだ着脱自在の金具で
顕微鏡対物レンズに取付けることにより、通常の金属顕
微鏡としても使用できるという効果を有する。
第１図は本発明の実施例の全光学系の断面図、第２図は
同実施例の収差曲線図、第３図は従来の顕微鏡対物レン
ズを金属表面の観察に用いる場合の光学系断面図、第４
図は同収差曲線図、第６図は従来の顕微鏡対物レンズを
カバーガラスを有する物体の観察に用いる場合の光学系
断面図、第６図は同収差曲線図である。 １１・・・・・・被観察物体、１２・・・・カバーガラ
ス、１３・・・・・・顕微鏡対物補正し／ズ、１４・・
・・顕微鏡対物レンズ、１５・・・・・・結像レンズ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名イτ
−曽旺蜜ｌす１← ＋２−−−クハ゛−乃−ラス ＋ｙ−−−ｔｔ１４−七、７グ 第２図 （１町 −１’ｌ＋
（５１１第３図 第 ４ 図
同実施例の収差曲線図、第３図は従来の顕微鏡対物レン
ズを金属表面の観察に用いる場合の光学系断面図、第４
図は同収差曲線図、第６図は従来の顕微鏡対物レンズを
カバーガラスを有する物体の観察に用いる場合の光学系
断面図、第６図は同収差曲線図である。 １１・・・・・・被観察物体、１２・・・・カバーガラ
ス、１３・・・・・・顕微鏡対物補正し／ズ、１４・・
・・顕微鏡対物レンズ、１５・・・・・・結像レンズ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名イτ
−曽旺蜜ｌす１← ＋２−−−クハ゛−乃−ラス ＋ｙ−−−ｔｔ１４−七、７グ 第２図 （１町 −１’ｌ＋
（５１１第３図 第 ４ 図
Claims (1)
- （１）顕微鏡対物レンズの前面に取付ける、被観察物体
側に凹面を向けたメニスカス形状の１群構成レンズであ
って、次の条件（ａ）及び条件（ｂ）を満足する顕微鏡
対物補正レンズ。 （ａ）−１０．６８×０．７８＾１＾．＾３＾７＾ｎ＾
ｔ×ｆ＜ｒ＿４＜−１０．０×０．７８＾１＾．＾３＾
７＾ｎ×ｆ （ｂ）｜ｆ＿ｃ｜＞４５０ｆ 但し ｎは物体のカバーガラスの屈折率、ｔは物体のカ
バーガラスの厚さ、ｆは顕微鏡対物レンズの焦点距離、
ｒ＿４は顕微鏡対物補正レンズの第１面の曲率半径、ｆ
＿ｃは顕微鏡対物補正レンズの焦点距離。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60278210A JPS62136616A (ja) | 1985-12-11 | 1985-12-11 | 顕微鏡対物補正レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60278210A JPS62136616A (ja) | 1985-12-11 | 1985-12-11 | 顕微鏡対物補正レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62136616A true JPS62136616A (ja) | 1987-06-19 |
| JPH0575089B2 JPH0575089B2 (ja) | 1993-10-19 |
Family
ID=17594129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60278210A Granted JPS62136616A (ja) | 1985-12-11 | 1985-12-11 | 顕微鏡対物補正レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62136616A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05196873A (ja) * | 1992-01-21 | 1993-08-06 | Mitsutoyo Corp | 顕微鏡対物レンズ |
| JP2011081110A (ja) * | 2009-10-06 | 2011-04-21 | Canon Inc | 撮像装置 |
-
1985
- 1985-12-11 JP JP60278210A patent/JPS62136616A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05196873A (ja) * | 1992-01-21 | 1993-08-06 | Mitsutoyo Corp | 顕微鏡対物レンズ |
| JP2011081110A (ja) * | 2009-10-06 | 2011-04-21 | Canon Inc | 撮像装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0575089B2 (ja) | 1993-10-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3547103B2 (ja) | 広角結像レンズ | |
| JP3559623B2 (ja) | 結像レンズ | |
| JP3397439B2 (ja) | 結像レンズ | |
| JPH0996759A (ja) | レトロフォーカス型レンズ | |
| JPH0754373B2 (ja) | 内視鏡用対物レンズ | |
| JPH0694996A (ja) | 正屈折力の固定群を有する広角ズームレンズ | |
| JP4233062B2 (ja) | 結像レンズ | |
| JPH07119888B2 (ja) | 再結像光学系 | |
| JPH1039207A (ja) | 結像レンズ | |
| JPH09222559A (ja) | 撮影レンズ | |
| JP3725276B2 (ja) | 結像レンズ | |
| US4770508A (en) | Conversion lens releasably attached behind master lens | |
| JPH05150157A (ja) | 広角レンズ | |
| JPS63118114A (ja) | コンパクトな広角対物レンズ | |
| JP3295027B2 (ja) | レトロフォーカス型大口径比広角レンズ | |
| JP4007468B2 (ja) | バックフォーカスの長い広角レンズ | |
| JPH1184234A (ja) | 撮影レンズ | |
| JPH0420162B2 (ja) | ||
| JPH06308383A (ja) | 水中カメラ用中望遠レンズ | |
| JP3540349B2 (ja) | バックフォーカスの長い広角レンズ | |
| JPS62136616A (ja) | 顕微鏡対物補正レンズ | |
| JP2002287019A (ja) | 倍率色収差可変光学系 | |
| JPH05288985A (ja) | 内視鏡用対物レンズ | |
| JP3049508B2 (ja) | 内視鏡対物レンズ | |
| JPH0540232A (ja) | 広視野接眼レンズ |