JPS62132005A - 空気圧シリンダ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、１対の作業腕を接近及び開離動作させるよ
うにした、空気圧シリンダ装置に関する。

〔従来の技術〕

従えば、半導体ウェーハの処理工程では、多数枚の半導
体ウェーハを収納容器に収納し、搬送や処理をする○こ
の収納容器を挾付は移動をするのに空気圧シリンダ装置
が用いられる。

このような空気圧シリンダ装置により収納容器を挾付け
た状態を、第２図に示す。図において、１は半導体ウェ
ーハで、収納容器２に多数枚が間隔をあけ立て姿勢で収
納さ−れている。３は空気圧シリンダ装置で、平行に出
された１対の作動腕４が接近するように作動され、収納
容器２を挾付は支持し、移動されるようにする。５はシ
リンダ装置３を昇降させる昇降装置である。

第３図は従来のこの種の空気圧シリンダ装置を示す一部
断面にした平面図である。図において、７は枠体、８は
この枠体に反対方向に取付けられた１対の空気圧シリン
ダで、それぞれピストン棒９が出されている。１０は枠
体７の両側に固着された１対宛の案内軸、１１はこれら
１対の案内軸１０にまたがりスライド軸受１２を介し矢
印Ａ方向の移動自在に支持きれた可動体で、ピストン棒
９に結合きれている。これらの可動体１１から作動腕４
が出されている。

上記従来装置において、昇降装置５によりシリンダ装置
３が下降きれ、間隔全仏けた位置にしである１対の作動
腕４が収納容器２０両側に至ると、双方のシリンダ８を
作動しピストン棒９を引入れ、１対の作動腕４を接近さ
せ収納容器２を挾付け、移動されるようにする。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の空気圧シリンダ装置では、２組の別
個の空気圧シリンダ８を要し、また、これらの空気圧シ
リンダの両端外に、それぞれ枠体７に固定された案内軸
１ｏにスライド軸受を介し可動体全支持しており、寸法
が大きくなり重量が増大し、構成部品も多く高価になる
という問題点があった。

この哨明は、このような問題点を解決するためになされ
たもので、外形が小さく軽量になジ、１対の作動腕によ
り挾付けや物品の移動などの作動ができる空気圧シリン
ダ装置を得ることを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明にかかる空気圧シリンダ装置は、一体のシリン
ダ体内に１対のピストンを背面を対向させ組込み、それ
ぞれピストン棒を反対方向に出して作動体に結合し、ピ
ストン棒を間にした両方に平行に配置され、スライド軸
受を介し上記シリンダ体に移動自在に支持された１対の
案内軸を作動体に固定しており、各可動体には作動腕が
出され、双方の作動腕が接近及び開離動作するようにし
たものである。

〔作用〕

この発明においては、１対のピストンを接近及び開離動
作することにより、双方の作動腕が物品を挾付けたり、
移動させたりし、又は各作動腕により２個の物体を開閉
させたりする。

〔実施例〕

第１図はこの発明による空気圧シリンダ装置の一実施例
を示す一部断面にした平面図である。２１はシリンダ体
で、中心部に軸方向にシリンダ穴２１ａが設けられ、シ
リンダ穴２１ａの中央に連通ずる第１の給排気穴２１ｂ
と、シリンダ穴２１ａの一方側と、かつ、分岐した連通
穴２１ａ　ｋ介し他方側とに連通ずる第２の給排気穴２
１ｃとが設けられている。これらの給排気穴２１ｂ　、
　２１ｃは、−力の穴から圧縮空気が圧入されるときは
、他力の穴から排気され、他方の穴から圧縮空気が圧入
されるときは、一方の穴から排気されるように、外部に
配設された制御弁（図示は略す）により切替えられる。

２２は背面を対向させシリンダ穴２１ａに組込まれた両
側１対のピストンで、それぞれ反対方向にピストン棒２
３が出きれ、両側１対の可動体２４ヲ結合している。２
５は○リングである。２６はピストン棒２３を挾み両方
に平行に配置され可動体２４に固着された１対の案内軸
、２７はシリンダ体２１に装着され、各案内軸２６ヲ移
動自在に支持する両側１対宛のスライド軸受、２８は各
可動体２４から出され双方が平行する１対の作動腕であ
る。こうして、一体のシリンダ枠２１に１対のピストン
２２ヲ組込むことにより、２組の空気圧シリンダによる
ものと同等の作用をする。

上記一実施例の装置において、第１の給排気穴２１ｂか
ら圧縮空気を圧入し、第２の給排気穴２１ｃから排気す
ることにより、双方のピストン２２ヲ開離する方向に移
動させ双方の作動腕２８の間隔を広げる。昇降装置５（
第２図参照）によシ空気シリンダを下降し、双方の作動
腕２８ヲ収納容器２の両側位置にする。そこで、第２の
給排気穴２１ｃから圧縮空気を圧入し、第１の給排気穴
２１ｂから排気することにより、双方のピストン２２ヲ
接近する方向に移動させ、双方の作動腕２８により収納
容器２を挾付は支持し、移動できるようにする。

なお、上記実施例では１対の作動腕２８により収納容器
２を挾付は支持するようにしたが、作動腕を両側１対の
扉に連結する購造にし、ＪｌｌＩ’に開閉するなど、両
側の物体を移動する手段など利用できるものである。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、シリンダ休内に１対
のピストンを背面合わせにして組込み、接近及び開離動
作するようにし、双方のピストン棒を作動腕が出された
可動体にそれぞれ結合し、各作動体にはピストン棒を間
にし両方に平行にした１対の案内軸を固着し、これらの
案内軸全スライド軸受を介しシリンダブロックに支持し
たので、外形が小さくでき軽量になり、構成部品が少な
くなり安価にすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの宅間による空気圧シリンダ装置の一実施例
を示す一部断面にした平面図、第２図は空気圧シリンダ
装置によシ収納容器を挾付けた状態を示す斜視図、第３
図は従来の空気圧シリンダ装置を示す一部断面にした平
面図である。 ２１・・・シリンダ体、２１ａ・・・シリンダ穴、２２
・・・ピストン、２３・・・ピストン棒、２４・・・可
動体、２６・・・案内軸、２ツ・・・スライド軸受、２
日・・・作動腕なお、図中同一符号は同−又は相当部分
を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 中心部に軸方向にシリンダ穴が形成されたシリンダ体、
   このシリンダ穴に背面合わせにして組込まれており、相
   互が接近及び開離動作するようにされ、それぞれ外方に
   ピストン棒が出された両側１対のピストン、これらのピ
   ストン棒にそれぞれ結合された両側１対の可動体、上記
   各ピストン棒を間にした両方に平行に配置され上記各可
   動体にそれぞれ固着され、スライド軸受を介し上記シリ
   ンダ体に軸方向の移動自在に支持された両側１対宛の案
   内軸、上記各可動体からそれぞれ出され、物体を挾付け
   又は移動させる両側１対の作動腕を備えた空気圧シリン
   ダ装置。