JPS62132005A - 空気圧シリンダ装置 - Google Patents
空気圧シリンダ装置Info
- Publication number
- JPS62132005A JPS62132005A JP27039785A JP27039785A JPS62132005A JP S62132005 A JPS62132005 A JP S62132005A JP 27039785 A JP27039785 A JP 27039785A JP 27039785 A JP27039785 A JP 27039785A JP S62132005 A JPS62132005 A JP S62132005A
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- Japan
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- pair
- movable bodies
- pistons
- cylinder device
- cylinder
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この考案は、1対の作業腕を接近及び開離動作させるよ
うにした、空気圧シリンダ装置に関する。
うにした、空気圧シリンダ装置に関する。
従えば、半導体ウェーハの処理工程では、多数枚の半導
体ウェーハを収納容器に収納し、搬送や処理をする○こ
の収納容器を挾付は移動をするのに空気圧シリンダ装置
が用いられる。
体ウェーハを収納容器に収納し、搬送や処理をする○こ
の収納容器を挾付は移動をするのに空気圧シリンダ装置
が用いられる。
このような空気圧シリンダ装置により収納容器を挾付け
た状態を、第2図に示す。図において、1は半導体ウェ
ーハで、収納容器2に多数枚が間隔をあけ立て姿勢で収
納さ−れている。3は空気圧シリンダ装置で、平行に出
された1対の作動腕4が接近するように作動され、収納
容器2を挾付は支持し、移動されるようにする。5はシ
リンダ装置3を昇降させる昇降装置である。
た状態を、第2図に示す。図において、1は半導体ウェ
ーハで、収納容器2に多数枚が間隔をあけ立て姿勢で収
納さ−れている。3は空気圧シリンダ装置で、平行に出
された1対の作動腕4が接近するように作動され、収納
容器2を挾付は支持し、移動されるようにする。5はシ
リンダ装置3を昇降させる昇降装置である。
第3図は従来のこの種の空気圧シリンダ装置を示す一部
断面にした平面図である。図において、7は枠体、8は
この枠体に反対方向に取付けられた1対の空気圧シリン
ダで、それぞれピストン棒9が出されている。10は枠
体7の両側に固着された1対宛の案内軸、11はこれら
1対の案内軸10にまたがりスライド軸受12を介し矢
印A方向の移動自在に支持きれた可動体で、ピストン棒
9に結合きれている。これらの可動体11から作動腕4
が出されている。
断面にした平面図である。図において、7は枠体、8は
この枠体に反対方向に取付けられた1対の空気圧シリン
ダで、それぞれピストン棒9が出されている。10は枠
体7の両側に固着された1対宛の案内軸、11はこれら
1対の案内軸10にまたがりスライド軸受12を介し矢
印A方向の移動自在に支持きれた可動体で、ピストン棒
9に結合きれている。これらの可動体11から作動腕4
が出されている。
上記従来装置において、昇降装置5によりシリンダ装置
3が下降きれ、間隔全仏けた位置にしである1対の作動
腕4が収納容器20両側に至ると、双方のシリンダ8を
作動しピストン棒9を引入れ、1対の作動腕4を接近さ
せ収納容器2を挾付け、移動されるようにする。
3が下降きれ、間隔全仏けた位置にしである1対の作動
腕4が収納容器20両側に至ると、双方のシリンダ8を
作動しピストン棒9を引入れ、1対の作動腕4を接近さ
せ収納容器2を挾付け、移動されるようにする。
上記のような従来の空気圧シリンダ装置では、2組の別
個の空気圧シリンダ8を要し、また、これらの空気圧シ
リンダの両端外に、それぞれ枠体7に固定された案内軸
1oにスライド軸受を介し可動体全支持しており、寸法
が大きくなり重量が増大し、構成部品も多く高価になる
という問題点があった。
個の空気圧シリンダ8を要し、また、これらの空気圧シ
リンダの両端外に、それぞれ枠体7に固定された案内軸
1oにスライド軸受を介し可動体全支持しており、寸法
が大きくなり重量が増大し、構成部品も多く高価になる
という問題点があった。
この哨明は、このような問題点を解決するためになされ
たもので、外形が小さく軽量になジ、1対の作動腕によ
り挾付けや物品の移動などの作動ができる空気圧シリン
ダ装置を得ることを目的としている。
たもので、外形が小さく軽量になジ、1対の作動腕によ
り挾付けや物品の移動などの作動ができる空気圧シリン
ダ装置を得ることを目的としている。
この発明にかかる空気圧シリンダ装置は、一体のシリン
ダ体内に1対のピストンを背面を対向させ組込み、それ
ぞれピストン棒を反対方向に出して作動体に結合し、ピ
ストン棒を間にした両方に平行に配置され、スライド軸
受を介し上記シリンダ体に移動自在に支持された1対の
案内軸を作動体に固定しており、各可動体には作動腕が
出され、双方の作動腕が接近及び開離動作するようにし
たものである。
ダ体内に1対のピストンを背面を対向させ組込み、それ
ぞれピストン棒を反対方向に出して作動体に結合し、ピ
ストン棒を間にした両方に平行に配置され、スライド軸
受を介し上記シリンダ体に移動自在に支持された1対の
案内軸を作動体に固定しており、各可動体には作動腕が
出され、双方の作動腕が接近及び開離動作するようにし
たものである。
この発明においては、1対のピストンを接近及び開離動
作することにより、双方の作動腕が物品を挾付けたり、
移動させたりし、又は各作動腕により2個の物体を開閉
させたりする。
作することにより、双方の作動腕が物品を挾付けたり、
移動させたりし、又は各作動腕により2個の物体を開閉
させたりする。
第1図はこの発明による空気圧シリンダ装置の一実施例
を示す一部断面にした平面図である。21はシリンダ体
で、中心部に軸方向にシリンダ穴21aが設けられ、シ
リンダ穴21aの中央に連通ずる第1の給排気穴21b
と、シリンダ穴21aの一方側と、かつ、分岐した連通
穴21a k介し他方側とに連通ずる第2の給排気穴2
1cとが設けられている。これらの給排気穴21b 、
21cは、−力の穴から圧縮空気が圧入されるときは
、他力の穴から排気され、他方の穴から圧縮空気が圧入
されるときは、一方の穴から排気されるように、外部に
配設された制御弁(図示は略す)により切替えられる。
を示す一部断面にした平面図である。21はシリンダ体
で、中心部に軸方向にシリンダ穴21aが設けられ、シ
リンダ穴21aの中央に連通ずる第1の給排気穴21b
と、シリンダ穴21aの一方側と、かつ、分岐した連通
穴21a k介し他方側とに連通ずる第2の給排気穴2
1cとが設けられている。これらの給排気穴21b 、
21cは、−力の穴から圧縮空気が圧入されるときは
、他力の穴から排気され、他方の穴から圧縮空気が圧入
されるときは、一方の穴から排気されるように、外部に
配設された制御弁(図示は略す)により切替えられる。
22は背面を対向させシリンダ穴21aに組込まれた両
側1対のピストンで、それぞれ反対方向にピストン棒2
3が出きれ、両側1対の可動体24ヲ結合している。2
5は○リングである。26はピストン棒23を挾み両方
に平行に配置され可動体24に固着された1対の案内軸
、27はシリンダ体21に装着され、各案内軸26ヲ移
動自在に支持する両側1対宛のスライド軸受、28は各
可動体24から出され双方が平行する1対の作動腕であ
る。こうして、一体のシリンダ枠21に1対のピストン
22ヲ組込むことにより、2組の空気圧シリンダによる
ものと同等の作用をする。
側1対のピストンで、それぞれ反対方向にピストン棒2
3が出きれ、両側1対の可動体24ヲ結合している。2
5は○リングである。26はピストン棒23を挾み両方
に平行に配置され可動体24に固着された1対の案内軸
、27はシリンダ体21に装着され、各案内軸26ヲ移
動自在に支持する両側1対宛のスライド軸受、28は各
可動体24から出され双方が平行する1対の作動腕であ
る。こうして、一体のシリンダ枠21に1対のピストン
22ヲ組込むことにより、2組の空気圧シリンダによる
ものと同等の作用をする。
上記一実施例の装置において、第1の給排気穴21bか
ら圧縮空気を圧入し、第2の給排気穴21cから排気す
ることにより、双方のピストン22ヲ開離する方向に移
動させ双方の作動腕28の間隔を広げる。昇降装置5(
第2図参照)によシ空気シリンダを下降し、双方の作動
腕28ヲ収納容器2の両側位置にする。そこで、第2の
給排気穴21cから圧縮空気を圧入し、第1の給排気穴
21bから排気することにより、双方のピストン22ヲ
接近する方向に移動させ、双方の作動腕28により収納
容器2を挾付は支持し、移動できるようにする。
ら圧縮空気を圧入し、第2の給排気穴21cから排気す
ることにより、双方のピストン22ヲ開離する方向に移
動させ双方の作動腕28の間隔を広げる。昇降装置5(
第2図参照)によシ空気シリンダを下降し、双方の作動
腕28ヲ収納容器2の両側位置にする。そこで、第2の
給排気穴21cから圧縮空気を圧入し、第1の給排気穴
21bから排気することにより、双方のピストン22ヲ
接近する方向に移動させ、双方の作動腕28により収納
容器2を挾付は支持し、移動できるようにする。
なお、上記実施例では1対の作動腕28により収納容器
2を挾付は支持するようにしたが、作動腕を両側1対の
扉に連結する購造にし、JllI’に開閉するなど、両
側の物体を移動する手段など利用できるものである。
2を挾付は支持するようにしたが、作動腕を両側1対の
扉に連結する購造にし、JllI’に開閉するなど、両
側の物体を移動する手段など利用できるものである。
以上のように、この発明によれば、シリンダ休内に1対
のピストンを背面合わせにして組込み、接近及び開離動
作するようにし、双方のピストン棒を作動腕が出された
可動体にそれぞれ結合し、各作動体にはピストン棒を間
にし両方に平行にした1対の案内軸を固着し、これらの
案内軸全スライド軸受を介しシリンダブロックに支持し
たので、外形が小さくでき軽量になり、構成部品が少な
くなり安価にすることができる。
のピストンを背面合わせにして組込み、接近及び開離動
作するようにし、双方のピストン棒を作動腕が出された
可動体にそれぞれ結合し、各作動体にはピストン棒を間
にし両方に平行にした1対の案内軸を固着し、これらの
案内軸全スライド軸受を介しシリンダブロックに支持し
たので、外形が小さくでき軽量になり、構成部品が少な
くなり安価にすることができる。
第1図はこの宅間による空気圧シリンダ装置の一実施例
を示す一部断面にした平面図、第2図は空気圧シリンダ
装置によシ収納容器を挾付けた状態を示す斜視図、第3
図は従来の空気圧シリンダ装置を示す一部断面にした平
面図である。 21・・・シリンダ体、21a・・・シリンダ穴、22
・・・ピストン、23・・・ピストン棒、24・・・可
動体、26・・・案内軸、2ツ・・・スライド軸受、2
日・・・作動腕なお、図中同一符号は同−又は相当部分
を示す。
を示す一部断面にした平面図、第2図は空気圧シリンダ
装置によシ収納容器を挾付けた状態を示す斜視図、第3
図は従来の空気圧シリンダ装置を示す一部断面にした平
面図である。 21・・・シリンダ体、21a・・・シリンダ穴、22
・・・ピストン、23・・・ピストン棒、24・・・可
動体、26・・・案内軸、2ツ・・・スライド軸受、2
日・・・作動腕なお、図中同一符号は同−又は相当部分
を示す。
Claims (1)
- 中心部に軸方向にシリンダ穴が形成されたシリンダ体、
このシリンダ穴に背面合わせにして組込まれており、相
互が接近及び開離動作するようにされ、それぞれ外方に
ピストン棒が出された両側1対のピストン、これらのピ
ストン棒にそれぞれ結合された両側1対の可動体、上記
各ピストン棒を間にした両方に平行に配置され上記各可
動体にそれぞれ固着され、スライド軸受を介し上記シリ
ンダ体に軸方向の移動自在に支持された両側1対宛の案
内軸、上記各可動体からそれぞれ出され、物体を挾付け
又は移動させる両側1対の作動腕を備えた空気圧シリン
ダ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27039785A JPS62132005A (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | 空気圧シリンダ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27039785A JPS62132005A (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | 空気圧シリンダ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62132005A true JPS62132005A (ja) | 1987-06-15 |
Family
ID=17485689
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27039785A Pending JPS62132005A (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | 空気圧シリンダ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62132005A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ITBS20100177A1 (it) * | 2010-11-05 | 2012-05-06 | Gimatic Spa | Pinza di presa pneumatica parallela |
EP2848376A1 (de) * | 2013-09-03 | 2015-03-18 | Schunk GmbH & Co. KG Spann- und Greiftechnik | Greifeinrichtung |
-
1985
- 1985-11-29 JP JP27039785A patent/JPS62132005A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8585113B2 (en) | 2010-05-11 | 2013-11-19 | Gimatic S.P.A. | Parallel pneumatic gripper |
ITBS20100177A1 (it) * | 2010-11-05 | 2012-05-06 | Gimatic Spa | Pinza di presa pneumatica parallela |
DE102011117407A1 (de) | 2010-11-05 | 2012-05-10 | Gimatic S.P.A. | Parallelpneumatikgreifer |
EP2848376A1 (de) * | 2013-09-03 | 2015-03-18 | Schunk GmbH & Co. KG Spann- und Greiftechnik | Greifeinrichtung |
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