JPS62124863U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62124863U JPS62124863U JP1025786U JP1025786U JPS62124863U JP S62124863 U JPS62124863 U JP S62124863U JP 1025786 U JP1025786 U JP 1025786U JP 1025786 U JP1025786 U JP 1025786U JP S62124863 U JPS62124863 U JP S62124863U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gate
- buried
- lattice
- parts
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Thyristors (AREA)
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
Description
第１図ａは本考案の静電誘導型トランジスタの
ゲート部の平面図、第１図ｂ，ｃ，ｄ，は各々第
１図ａのＡ―Ａ′線、Ｂ―Ｂ′線、Ｃ―Ｃ′線に
よる縦断面をソース層をも含めて示した図、第１
図ｅは第１図ａのＤ―Ｄ′線による縦断面をソー
ス層をも含めて示した図、第２図は、従来の静電
誘導型トランジスタのゲート部の平面図を示す。 ４……ゲート電極、５……ドレインＮ−層、６
……ソース層、８，８′，９，９′……給電点、
１２……埋め込みゲート部。
ゲート部の平面図、第１図ｂ，ｃ，ｄ，は各々第
１図ａのＡ―Ａ′線、Ｂ―Ｂ′線、Ｃ―Ｃ′線に
よる縦断面をソース層をも含めて示した図、第１
図ｅは第１図ａのＤ―Ｄ′線による縦断面をソー
ス層をも含めて示した図、第２図は、従来の静電
誘導型トランジスタのゲート部の平面図を示す。 ４……ゲート電極、５……ドレインＮ−層、６
……ソース層、８，８′，９，９′……給電点、
１２……埋め込みゲート部。
Claims (1)
- 埋め込みゲート層の両端にそれぞれ、金属膜に
よる給電部を形成した埋め込みゲート型の静電誘
導型トランジスタにおいて、前記埋め込みゲート
層を、縦縞状ゲートと横縞状ゲートとによる複数
の格子状ゲート部から成るように形成し、しかも
これら複数の格子状ゲート部はチヤネル幅一定の
ままで前記２つの給電部間の中間部に近いものほ
どゲート幅が広くなるように形成したことを特徴
とする静電誘導型トランジスタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986010257U JP2517173Y2 (ja) | 1986-01-29 | 1986-01-29 | 静電誘導型トランジスタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986010257U JP2517173Y2 (ja) | 1986-01-29 | 1986-01-29 | 静電誘導型トランジスタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62124863U true JPS62124863U (ja) | 1987-08-08 |
| JP2517173Y2 JP2517173Y2 (ja) | 1996-11-13 |
Family
ID=30796384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986010257U Expired - Lifetime JP2517173Y2 (ja) | 1986-01-29 | 1986-01-29 | 静電誘導型トランジスタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2517173Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62197868U (ja) * | 1986-06-09 | 1987-12-16 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4996878U (ja) * | 1972-12-15 | 1974-08-21 | ||
| JPS5028279A (ja) * | 1973-07-11 | 1975-03-22 |
-
1986
- 1986-01-29 JP JP1986010257U patent/JP2517173Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4996878U (ja) * | 1972-12-15 | 1974-08-21 | ||
| JPS5028279A (ja) * | 1973-07-11 | 1975-03-22 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62197868U (ja) * | 1986-06-09 | 1987-12-16 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2517173Y2 (ja) | 1996-11-13 |