JPS62119447A - 螢光x線分析装置 - Google Patents
螢光x線分析装置Info
- Publication number
- JPS62119447A JPS62119447A JP60260761A JP26076185A JPS62119447A JP S62119447 A JPS62119447 A JP S62119447A JP 60260761 A JP60260761 A JP 60260761A JP 26076185 A JP26076185 A JP 26076185A JP S62119447 A JPS62119447 A JP S62119447A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- cap
- holder
- measurement
- analyzer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ、産業上の利用分野
本発明は、蛍光X線分析装置に関し、特に蛍光X線分析
装置における試料供給装置に関する。
装置における試料供給装置に関する。
口、従来の技術
蛍光X線分析装置で試料を分析する場合、試料を試料ホ
ルダー内部にセットして、その上に試料キャップをのせ
てから分析しているが、その際、その試料キャップの裏
(試料との接触面)に、試料が付着し、これが次の試料
の分析結果に悪影響を及ぼすことがあり、また測定の都
度、試料キャップを交換することは、多数の試料キャッ
プを必要とすると共に、試料キャップの厚みのバラツキ
は、X線源と試料間の距離を変化させ、分析精度に悪影
響を及ぼす為に、試料キャップの厚さは均一になるよう
に、厳しい品質管理が要求される等多くの問題点があっ
た。
ルダー内部にセットして、その上に試料キャップをのせ
てから分析しているが、その際、その試料キャップの裏
(試料との接触面)に、試料が付着し、これが次の試料
の分析結果に悪影響を及ぼすことがあり、また測定の都
度、試料キャップを交換することは、多数の試料キャッ
プを必要とすると共に、試料キャップの厚みのバラツキ
は、X線源と試料間の距離を変化させ、分析精度に悪影
響を及ぼす為に、試料キャップの厚さは均一になるよう
に、厳しい品質管理が要求される等多くの問題点があっ
た。
ハ0発明が解決しようとする問題点
本発明は、従来の蛍光X線分析装置において、同一試料
キャップを使った際の試料付着による測定ノイズの発生
、多数の試料キャップの使用により生じるX線源と試料
との間隔のバラツキ等が測定精度に及ぼす悪影響等の問
題点を排除することを目的とする。
キャップを使った際の試料付着による測定ノイズの発生
、多数の試料キャップの使用により生じるX線源と試料
との間隔のバラツキ等が測定精度に及ぼす悪影響等の問
題点を排除することを目的とする。
二1問題点解決のための手段
同種の試料測定においては、同一の試料キャップを使用
するようにするために、蛍光X線分析装置の試料供給装
置内に数個の試料キャップを用意して置き、試料の種類
を制御装置に記憶させ、その記憶に基づいて、その試料
に対応させたキャップを選択して試料に被着し、キャッ
プを被着した試料を測定位置にセットして測定するよう
にしたことを特徴とする蛍光X線分析装置。
するようにするために、蛍光X線分析装置の試料供給装
置内に数個の試料キャップを用意して置き、試料の種類
を制御装置に記憶させ、その記憶に基づいて、その試料
に対応させたキャップを選択して試料に被着し、キャッ
プを被着した試料を測定位置にセットして測定するよう
にしたことを特徴とする蛍光X線分析装置。
ホ2作用
本発明によれば、同種の試料には、その試料に対応させ
たキャップを選択して、試料を測定するようにしたので
、試料キャップの試料付着による測定ノイズの発生、多
数の試料キャップの使用により生じるX線源と試料との
間隔のバラツキ等が測定精度に及ぼす悪影響等が排除さ
れた。
たキャップを選択して、試料を測定するようにしたので
、試料キャップの試料付着による測定ノイズの発生、多
数の試料キャップの使用により生じるX線源と試料との
間隔のバラツキ等が測定精度に及ぼす悪影響等が排除さ
れた。
へ、実施例
第1図は本発明の一実施例の斜視図である。Aは試料受
取台で測定する試料Bをセットする台、C,、C2,C
,、・・・・は試料キャップで種類毎に区別して所定位
置にセットされている。Fは入力装置で試料キャップc
、、c2.c3+・・・・の種別及び試料Bの種別等を
入力する装置、Eは試料着脱装置のロボットで入力装置
Fで入力したデータを記憶して、その記憶されたデータ
によって、試料B、試料キャップc、、c2.c3+・
・・・をアームIを動かして、試料ホルダーDにセット
する装置、Dは試料ホルダーで第2図に示すように、内
部にバネD1によって上方に弾撥させられて上下に摺動
可能な下底D2を有し、試料ホルダーDは、試料導入装
置(不図示)によって、第1図に示される位置から蛍光
X線分析装置の光学系の中心に挿入セットされる。Hは
試料キャップ洗浄台で、試料キャップc1.c2.c3
+・・・・に付着した試料を、エアー等で洗浄する。
取台で測定する試料Bをセットする台、C,、C2,C
,、・・・・は試料キャップで種類毎に区別して所定位
置にセットされている。Fは入力装置で試料キャップc
、、c2.c3+・・・・の種別及び試料Bの種別等を
入力する装置、Eは試料着脱装置のロボットで入力装置
Fで入力したデータを記憶して、その記憶されたデータ
によって、試料B、試料キャップc、、c2.c3+・
・・・をアームIを動かして、試料ホルダーDにセット
する装置、Dは試料ホルダーで第2図に示すように、内
部にバネD1によって上方に弾撥させられて上下に摺動
可能な下底D2を有し、試料ホルダーDは、試料導入装
置(不図示)によって、第1図に示される位置から蛍光
X線分析装置の光学系の中心に挿入セットされる。Hは
試料キャップ洗浄台で、試料キャップc1.c2.c3
+・・・・に付着した試料を、エアー等で洗浄する。
測定を開始する前に、試料の順位番号と試料の種類とを
入力装置Fにより入力して試料着脱装置Eに記憶させて
おく、試料Bは上記した順位に従い、一つの試料の分析
が終わると次の試料が不図示の移送手段により試料受取
台A上に運ばれて来る。試料Bが試料受取台Aにセット
される、試料着脱装置EはアームIを駆動して、その試
料を試料ホルダーD上に運び、試料ホルダーDに挿入す
る。その後、試料着脱装置Eはその試料の順番から入力
データにより試料Bの種類を読出し、その試料に対応さ
せた試料キャップをc、、c2.c3+・・−・の中か
ら選択して、アーム■を駆動させて、そのキャップを試
料ホルダーDに被着させ、この試料ホルダーDを不図示
の試料導入装置に挿入する。試料導入装置は、試料ホル
ダーDを蛍光X線分析装置の光学系の中心にセットする
。蛍光X線分光分析装置内では試料ホルダーDをX線分
光器の所定位置にセットする時に同ホルダーを押上げる
と、キャップが上方から当り部材によって圧接固定され
ることにより、X線源と試料間の距離が一定になり、試
料のセットアツプが終了する。
入力装置Fにより入力して試料着脱装置Eに記憶させて
おく、試料Bは上記した順位に従い、一つの試料の分析
が終わると次の試料が不図示の移送手段により試料受取
台A上に運ばれて来る。試料Bが試料受取台Aにセット
される、試料着脱装置EはアームIを駆動して、その試
料を試料ホルダーD上に運び、試料ホルダーDに挿入す
る。その後、試料着脱装置Eはその試料の順番から入力
データにより試料Bの種類を読出し、その試料に対応さ
せた試料キャップをc、、c2.c3+・・−・の中か
ら選択して、アーム■を駆動させて、そのキャップを試
料ホルダーDに被着させ、この試料ホルダーDを不図示
の試料導入装置に挿入する。試料導入装置は、試料ホル
ダーDを蛍光X線分析装置の光学系の中心にセットする
。蛍光X線分光分析装置内では試料ホルダーDをX線分
光器の所定位置にセットする時に同ホルダーを押上げる
と、キャップが上方から当り部材によって圧接固定され
ることにより、X線源と試料間の距離が一定になり、試
料のセットアツプが終了する。
つまり試料表面の高さ位置は上部当り部材の寸法とキャ
ップCI等の厚さによって規制されるようになっている
。測定が終わると試料ホルダー〇は試料導入装置を介し
てX線分析装置から引き出され、第1図の試料ボルダ−
Dの位置にセットされる。ここで試料着脱装置Eは試料
キャップを外し、洗浄台Hの位置に運ぶ。そうすると試
料キャップ洗浄台Hの下部が開口してエアー等で試料キ
ャップの下面が洗浄される。洗浄後洗浄台Hの下部が閉
口し、試料キャップは元の位置に試料着脱装置Eのアー
ムIによって戻される。測定ずみの試料Bも試料着脱装
置EのアームIによって排除され、−試料の測定を終了
する。
ップCI等の厚さによって規制されるようになっている
。測定が終わると試料ホルダー〇は試料導入装置を介し
てX線分析装置から引き出され、第1図の試料ボルダ−
Dの位置にセットされる。ここで試料着脱装置Eは試料
キャップを外し、洗浄台Hの位置に運ぶ。そうすると試
料キャップ洗浄台Hの下部が開口してエアー等で試料キ
ャップの下面が洗浄される。洗浄後洗浄台Hの下部が閉
口し、試料キャップは元の位置に試料着脱装置Eのアー
ムIによって戻される。測定ずみの試料Bも試料着脱装
置EのアームIによって排除され、−試料の測定を終了
する。
ト、効果
本発明によれば、試料キャップの裏(試料との接触面)
に付着した試料が次の試料の分析結果に悪影響を及ぼす
ことがなくなり、また多数の試料キャップを必要としな
くなったので、格別な品質管理をしなくてもX線源と試
料間の距離等が一定になり、分析精度に悪影響を及ぼす
ことがなくなり、分析精度の向上が計れた。
に付着した試料が次の試料の分析結果に悪影響を及ぼす
ことがなくなり、また多数の試料キャップを必要としな
くなったので、格別な品質管理をしなくてもX線源と試
料間の距離等が一定になり、分析精度に悪影響を及ぼす
ことがなくなり、分析精度の向上が計れた。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本考案の一実施例の斜視図である。
第2図は、試料ホルダーの縦断側面図である。
Claims (1)
- 蛍光X線分析装置の試料供給装置内に複数種の試料に対
応させて数個の試料キャップを用意し、試料の種類を制
御装置に記憶させ、その記憶に基づいて試料対応の試料
キャップを選択して試料に被着する手段と、キャップを
被着された試料を測定位置にセットする手段を設けたこ
とを特徴とする蛍光X線分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60260761A JPH0795011B2 (ja) | 1985-11-19 | 1985-11-19 | 螢光x線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60260761A JPH0795011B2 (ja) | 1985-11-19 | 1985-11-19 | 螢光x線分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62119447A true JPS62119447A (ja) | 1987-05-30 |
JPH0795011B2 JPH0795011B2 (ja) | 1995-10-11 |
Family
ID=17352361
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60260761A Expired - Fee Related JPH0795011B2 (ja) | 1985-11-19 | 1985-11-19 | 螢光x線分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0795011B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5349479U (ja) * | 1976-09-30 | 1978-04-26 | ||
JPS5437519A (en) * | 1977-08-30 | 1979-03-20 | Nec Corp | Diversity device |
JPS5539041A (en) * | 1978-09-14 | 1980-03-18 | Toshiba Corp | Dissolving system for sample to be analyzed |
JPS56157663U (ja) * | 1980-04-24 | 1981-11-25 | ||
JPS59113750U (ja) * | 1983-01-20 | 1984-08-01 | 三洋電機株式会社 | 螢光x線分析用試料ホルダ− |
JPS60169572U (ja) * | 1984-04-18 | 1985-11-11 | 株式会社日立製作所 | サンプルカツプ |
-
1985
- 1985-11-19 JP JP60260761A patent/JPH0795011B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5349479U (ja) * | 1976-09-30 | 1978-04-26 | ||
JPS5437519A (en) * | 1977-08-30 | 1979-03-20 | Nec Corp | Diversity device |
JPS5539041A (en) * | 1978-09-14 | 1980-03-18 | Toshiba Corp | Dissolving system for sample to be analyzed |
JPS56157663U (ja) * | 1980-04-24 | 1981-11-25 | ||
JPS59113750U (ja) * | 1983-01-20 | 1984-08-01 | 三洋電機株式会社 | 螢光x線分析用試料ホルダ− |
JPS60169572U (ja) * | 1984-04-18 | 1985-11-11 | 株式会社日立製作所 | サンプルカツプ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0795011B2 (ja) | 1995-10-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |