JPS62118206A - パタ−ン寸法測定機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、フォトマスク、又はウェハー上に形成された
パターンの寸法測定機に関する。

〔従来の技術〕

従来、フォトマスク、又はウェハー上に形成されたＡ？
ターンの寸法測定方法として、パターンを光学顕微鏡で
光学的に拡大し、拡大像を電気信号に変換し、電気信号
の・ぐターンプロファイルから寸法値を得る方法が提案
されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述した従来の寸法測定方法では光学顕微鏡のレンズの
歪、光の回折等の影響で高倍率の拡大像を得るのが困難
であシ、微小パターンの寸法測定を正確に行なえないと
いう欠点を有している。

本発明は前記問題点を解消するもので、微小ノソターン
の寸法測定を正確に行うことができるパターンの寸法測
定機を提供するものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は被測定ノリーンを測定方向と同一方向に振動さ
せるバイブレータ−と、該被測定パターンにレーザービ
ームを照射する発光部と、被測定パターンからの反射光
又は透過光を検出する受光部と、受光部の出力信号から
被測定・母ターンの寸法値を得る信号処理部とを含むこ
とを特徴とするパターン寸法測定機である。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図により説明する。

第１図において、本実施例はパイブレーク４を備えた振
動ステージ１の真下に対物レンズ５及びレーザー光源（
発光部）６を設置し、レーザー光源６から照射されるレ
ーザビーム１００光路の一部にハーフミラ−７を設ける
。さらにハーフミラ−７で受けた反射光１１を検出する
受光器１１および受光器１１からの出力信号によジノ母
ターンの寸法値を得る信号処理部９を備えたものである
。

実施例において、レーザー光源６から出力されたレーデ
ビーム１０はハーフミラ−７、対物レンズ５を通シ、振
動ステージ１上に固定された被検物２上のパターン３に
照射される。ここで、被検物２はフォトマスク又はウェ
ハーである。振動ステージ１はバイブレータ−４に第２
図に示す信号を印加することにより、パターン３の測定
方向に振動することになシ・母ターン３からの反射光１
１は対物レンズ５を通り、ハーフミラ−７によシバター
ン３の走査信号とな訳受光器８に入力する。さらに受光
器８の出力信号１２によ多信号処理部９からノリーン３
の寸法値が表示される。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明はレーザー光を固定して被検
パターンを測定方向に動かし走査信号を得ることによシ
レーザービームが光学系の同一経路を通ることによシレ
ンズの歪の影響がなくコントランドの良い信号が得られ
る。又、被検ノやターンの拡大倍率もパイブレーク−へ
の印加信号の周波数、電圧で決定されるので、容易に高
倍率を得ることができる。したがって微細なパターンで
も高精度に測定できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す概略図、第２図は第１
図のバイブレータ−への印加信号を示す図である。 １・・・振動ステージ、２・・・被検物、３・・・・ぐ
ターン、４・・・バイブレータ−１５・・・対物レンズ
、６・・・レーザー光源、７・・・ハーフミラ−１８・
・・受光器、９・・・信号処理部、１０・・・レーザー
ビーム、１１・・・反射光、１２・・・出力信号。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）被測定パターンを測定方向と同一方向に振動させ
   るバイブレーターと、該被測定パターンにレーザービー
   ムを照射する発光器と、被測定パターンからの反射光又
   は透過光を検出する受光部と、受光部の出力信号から被
   測定パターンの寸法値を得る信号処理部とを含むことを
   特徴とするパターン寸法測定機。