JPS62117572U - - Google Patents

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JPS62117572U
JPS62117572U JP521786U JP521786U JPS62117572U JP S62117572 U JPS62117572 U JP S62117572U JP 521786 U JP521786 U JP 521786U JP 521786 U JP521786 U JP 521786U JP S62117572 U JPS62117572 U JP S62117572U
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bridge
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voltage
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例を示すブロツク図、
第2図および第3図は本実施例におけるセンサチ
ツプの具体例を示す斜視図、第4図は本実施例に
おけるスイツチング回路を示すブロツク図、第5
図は本実施例の動作を示す波形図である。 1…ヒータエレメント、2…周囲温度センサエ
レメント、3…架橋部、4…シリコン基台、10
…センサチツプ、11…ホイートストンブリツジ
回路、12…スイツチング回路、13…オシレー
タ、14…比較器、15…出力端子、16…電圧
入力端子。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 基板上に薄膜状プレートによる架橋部が形成さ
    れこの架橋部上にヒータエレメントである第1の
    抵抗体が形成され非架橋部上に周囲温度センサエ
    レメントである第2の抵抗体が形成されたセンサ
    チツプと、第1の抵抗体および第2の抵抗体がそ
    れぞれ互いに隣接する一辺を構成すると共に電源
    に対して並列に接続されているブリツジ回路と、
    ブリツジ回路への電圧印加を一定時間毎に開始す
    ると共に電圧印加開始後第1の抵抗体に生じてい
    る電位差と第2の抵抗体に生じている電位差が所
    定の関係になつたときに前記電圧印加を停止する
    スイツチング回路とを具備する流速計。
JP1986005217U 1986-01-20 1986-01-20 Expired - Lifetime JPH0521018Y2 (ja)

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JP1986005217U JPH0521018Y2 (ja) 1986-01-20 1986-01-20

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JPS62117572U true JPS62117572U (ja) 1987-07-25
JPH0521018Y2 JPH0521018Y2 (ja) 1993-05-31

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60225028A (ja) * 1984-04-24 1985-11-09 Nippon Soken Inc 流体流量測定装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60225028A (ja) * 1984-04-24 1985-11-09 Nippon Soken Inc 流体流量測定装置

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JPH0521018Y2 (ja) 1993-05-31

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