JPS62117572U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62117572U JPS62117572U JP521786U JP521786U JPS62117572U JP S62117572 U JPS62117572 U JP S62117572U JP 521786 U JP521786 U JP 521786U JP 521786 U JP521786 U JP 521786U JP S62117572 U JPS62117572 U JP S62117572U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistor
- bridge
- potential difference
- voltage
- difference occurring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例を示すブロツク図、
第2図および第3図は本実施例におけるセンサチ
ツプの具体例を示す斜視図、第4図は本実施例に
おけるスイツチング回路を示すブロツク図、第5
図は本実施例の動作を示す波形図である。 1…ヒータエレメント、2…周囲温度センサエ
レメント、3…架橋部、4…シリコン基台、10
…センサチツプ、11…ホイートストンブリツジ
回路、12…スイツチング回路、13…オシレー
タ、14…比較器、15…出力端子、16…電圧
入力端子。
第2図および第3図は本実施例におけるセンサチ
ツプの具体例を示す斜視図、第4図は本実施例に
おけるスイツチング回路を示すブロツク図、第5
図は本実施例の動作を示す波形図である。 1…ヒータエレメント、2…周囲温度センサエ
レメント、3…架橋部、4…シリコン基台、10
…センサチツプ、11…ホイートストンブリツジ
回路、12…スイツチング回路、13…オシレー
タ、14…比較器、15…出力端子、16…電圧
入力端子。
Claims (1)
- 基板上に薄膜状プレートによる架橋部が形成さ
れこの架橋部上にヒータエレメントである第1の
抵抗体が形成され非架橋部上に周囲温度センサエ
レメントである第2の抵抗体が形成されたセンサ
チツプと、第1の抵抗体および第2の抵抗体がそ
れぞれ互いに隣接する一辺を構成すると共に電源
に対して並列に接続されているブリツジ回路と、
ブリツジ回路への電圧印加を一定時間毎に開始す
ると共に電圧印加開始後第1の抵抗体に生じてい
る電位差と第2の抵抗体に生じている電位差が所
定の関係になつたときに前記電圧印加を停止する
スイツチング回路とを具備する流速計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986005217U JPH0521018Y2 (ja) | 1986-01-20 | 1986-01-20 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986005217U JPH0521018Y2 (ja) | 1986-01-20 | 1986-01-20 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62117572U true JPS62117572U (ja) | 1987-07-25 |
JPH0521018Y2 JPH0521018Y2 (ja) | 1993-05-31 |
Family
ID=30786595
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1986005217U Expired - Lifetime JPH0521018Y2 (ja) | 1986-01-20 | 1986-01-20 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0521018Y2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60225028A (ja) * | 1984-04-24 | 1985-11-09 | Nippon Soken Inc | 流体流量測定装置 |
-
1986
- 1986-01-20 JP JP1986005217U patent/JPH0521018Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60225028A (ja) * | 1984-04-24 | 1985-11-09 | Nippon Soken Inc | 流体流量測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0521018Y2 (ja) | 1993-05-31 |