JPS62115312A - 螢光ｘ線オンライン厚み測定装置 - Google Patents
螢光ｘ線オンライン厚み測定装置Info
- Publication number
- JPS62115312A JPS62115312A JP25455185A JP25455185A JPS62115312A JP S62115312 A JPS62115312 A JP S62115312A JP 25455185 A JP25455185 A JP 25455185A JP 25455185 A JP25455185 A JP 25455185A JP S62115312 A JPS62115312 A JP S62115312A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- fluorescent
- line
- scanning
- online
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、生産工程に組み込まれ、メッキ鋼板上の付着
量あるいは、磁気シート上の磁性膜塗布量を螢光Ｘ線分
析法により、連続的に、且つ迅速・非破壊的に測定する
螢光Ｘ線厚み測定装置に関する。
量あるいは、磁気シート上の磁性膜塗布量を螢光Ｘ線分
析法により、連続的に、且つ迅速・非破壊的に測定する
螢光Ｘ線厚み測定装置に関する。
オンラインの被膜の膜厚を螢光Ｘ線にて測定する方法に
おいて、螢光Ｘ線検出装置をオンラインのラインスピー
ドに同期させてライン方向に走査させると同時にライン
巾方向にも走査することにより、膜厚の巾方向の情報を
得ようとするものである。
おいて、螢光Ｘ線検出装置をオンラインのラインスピー
ドに同期させてライン方向に走査させると同時にライン
巾方向にも走査することにより、膜厚の巾方向の情報を
得ようとするものである。
従来、生産工程におけるメッキ鋼板上の付着量あるいは
磁気シート上の磁性膜の塗布量は、螢光Ｘａ分析法が採
用されているが、第３図に示すように、オンラインシー
ト１上に固定式走査架台２を配置きせるだけのため、螢
光Ｘ線検出器２をラインの巾方向に走査しても第４図及
び第５図に示す測定軌跡４となった。第４図は、通常の
スキャンモードであシ、オンラインシートのラインスピ
ードが速くなればなるほど、その厚み情報はライン方向
の情報に近くなる。又、第５図は、メッキ鋼板によく用
いられる方式で、ＪＩ８ Ｈ（１４０１「溶融亜鉛め
っき試験方法」に記された三点法に準拠させた方式であ
るが、この場合でもシート巾方向の情報が欠けている。
磁気シート上の磁性膜の塗布量は、螢光Ｘａ分析法が採
用されているが、第３図に示すように、オンラインシー
ト１上に固定式走査架台２を配置きせるだけのため、螢
光Ｘ線検出器２をラインの巾方向に走査しても第４図及
び第５図に示す測定軌跡４となった。第４図は、通常の
スキャンモードであシ、オンラインシートのラインスピ
ードが速くなればなるほど、その厚み情報はライン方向
の情報に近くなる。又、第５図は、メッキ鋼板によく用
いられる方式で、ＪＩ８ Ｈ（１４０１「溶融亜鉛め
っき試験方法」に記された三点法に準拠させた方式であ
るが、この場合でもシート巾方向の情報が欠けている。
本発明は、前述の問題点を解決し、オンラインシート上
の膜厚を、巾方向ならびにライン方向の情報という、よ
シ密なデータを提供することを目的とする。
の膜厚を、巾方向ならびにライン方向の情報という、よ
シ密なデータを提供することを目的とする。
本発明は前述の問題点を解決するため、生産工程におい
て、オンラインシート上に、オンラインのラインスピー
ドと同期させてライン方向を走査しさらに、一定速度で
ラインシート巾の方向に走査するようにした第１螢＋Ｘ
線検出器によシ、被膜の膜厚情報を得る。これによシ、
従来のライン方向の膜厚データしか得られなかったが、
ライン巾方向のデータが追刀口され、生産工程に対して
よシ密なデータの提供を可能とするものである。
て、オンラインシート上に、オンラインのラインスピー
ドと同期させてライン方向を走査しさらに、一定速度で
ラインシート巾の方向に走査するようにした第１螢＋Ｘ
線検出器によシ、被膜の膜厚情報を得る。これによシ、
従来のライン方向の膜厚データしか得られなかったが、
ライン巾方向のデータが追刀口され、生産工程に対して
よシ密なデータの提供を可能とするものである。
さらに、オンラインのライン方向には固定し、ライン巾
方向のみ走査可能な第２螢元Ｘ線検出器を設けることに
よシ、主にオンラインのライン方向の膜厚データを再に
正確に得られるようにしたものである。
方向のみ走査可能な第２螢元Ｘ線検出器を設けることに
よシ、主にオンラインのライン方向の膜厚データを再に
正確に得られるようにしたものである。
第１図は本発明の一実施例を示す。第１螢光Ｘ線検出装
置を設置した移動式走査架台５は、オンラインシートの
ラインスピードに同期させ、シート両側に配置したレー
ル６上を自走式にてオンラインシートのライン方向に走
査できるものとする。
置を設置した移動式走査架台５は、オンラインシートの
ラインスピードに同期させ、シート両側に配置したレー
ル６上を自走式にてオンラインシートのライン方向に走
査できるものとする。
又、移動式走査架台５自身の走査に加えて搭載された第
１螢元Ｘ線検出装［７も、走査架台５の走査に同期させ
、ラインの巾方向に走査する。上記の様に構成された第
１螢元Ｘ＋ｗ検出器７は、走行中のオンラインシート１
に対して、シート方向に一定距離間同期して移動し、か
つシート１の巾方向にも走査しているために、測定軌跡
は第２図のＡ及びＡ′になる。つまｐｈ部分でシート１
の巾方向の膜厚測定データを完全に得ることが出来るの
である。
１螢元Ｘ線検出装［７も、走査架台５の走査に同期させ
、ラインの巾方向に走査する。上記の様に構成された第
１螢元Ｘ＋ｗ検出器７は、走行中のオンラインシート１
に対して、シート方向に一定距離間同期して移動し、か
つシート１の巾方向にも走査しているために、測定軌跡
は第２図のＡ及びＡ′になる。つまｐｈ部分でシート１
の巾方向の膜厚測定データを完全に得ることが出来るの
である。
さらに、第１図において、固定架台８に第２螢元Ｘ線検
出器９を設置する。第２螢元Ｘ線検出器９は、固定架台
８上をシート１の巾方向に走査することが可能であシこ
の場合には、第２図のように従来例と同一の測定軌跡Ｂ
が得られ、第２螢元Ｘ線検出器９を固定した場合は、−
直線の測定′軌跡Ｃが得られる。
出器９を設置する。第２螢元Ｘ線検出器９は、固定架台
８上をシート１の巾方向に走査することが可能であシこ
の場合には、第２図のように従来例と同一の測定軌跡Ｂ
が得られ、第２螢元Ｘ線検出器９を固定した場合は、−
直線の測定′軌跡Ｃが得られる。
第２図は、本発明によシ得られる測定軌跡の一例である
。第１螢光Ｘ線検出器をラインスピードと同期させかつ
、巾方向にも走査するためＡ線の巾方向の測定軌跡が得
られる為、よシ充実した生産管理が可能となシ、また、
更に固定又は、シートの巾方向のみに走査する第２螢元
Ｘａ検出器があるため、従来以上のシート方向の厚み情
報が得られる。
。第１螢光Ｘ線検出器をラインスピードと同期させかつ
、巾方向にも走査するためＡ線の巾方向の測定軌跡が得
られる為、よシ充実した生産管理が可能となシ、また、
更に固定又は、シートの巾方向のみに走査する第２螢元
Ｘａ検出器があるため、従来以上のシート方向の厚み情
報が得られる。
この様に、オンラインシートに対する横方向及び縦方向
の厚み情報を提供することができることから、シート全
体の厚みプロファイルを精度よく推定でき、更に、それ
によって、よシ精度の良い生産管理を可能とする効果を
本発明は有する。
の厚み情報を提供することができることから、シート全
体の厚みプロファイルを精度よく推定でき、更に、それ
によって、よシ精度の良い生産管理を可能とする効果を
本発明は有する。
第１図は本発明の一実施例の概念図であシ、第２図は本
発明により得られる測定軌跡図である。 第３図は従来の方式を示す概念図であり、第４図、第５
図は従来の方式による測定軌跡図である。 １：オンラインシート ２：螢光Ｘ線検出装置 ６：走置架台 ４：測定軌跡 ５：移動式走査架台 ６：レール ７：第１螢−＋Ｘ線検出器 ８：固定式走査架台 ９：第２螢光Ｘ線検出器 出願人 セイコー電子工業株式会社 木発明の′に絶倒の和髪念・図 第１図 ライン秀句 木尾明の測〉（軌跡図 第２図 ライン方ｊ司 イ足来の１痣し）赴図 第３図 ライン方向 １足来の測定軌跡図 第４図 ライン方向 従来のＩ’ｌ定中先跡図 第５図
発明により得られる測定軌跡図である。 第３図は従来の方式を示す概念図であり、第４図、第５
図は従来の方式による測定軌跡図である。 １：オンラインシート ２：螢光Ｘ線検出装置 ６：走置架台 ４：測定軌跡 ５：移動式走査架台 ６：レール ７：第１螢−＋Ｘ線検出器 ８：固定式走査架台 ９：第２螢光Ｘ線検出器 出願人 セイコー電子工業株式会社 木発明の′に絶倒の和髪念・図 第１図 ライン秀句 木尾明の測〉（軌跡図 第２図 ライン方ｊ司 イ足来の１痣し）赴図 第３図 ライン方向 １足来の測定軌跡図 第４図 ライン方向 従来のＩ’ｌ定中先跡図 第５図
Claims (2)
- （１）オンラインシート上の膜厚を螢光Ｘ線厚み測定す
る装置において、 オンラインシート上に、オンラインシートの走行スピー
ドと同期して、ライン方向に一定距離間往復運動し、か
つオンラインシート巾方向にも往復運動する第１螢光Ｘ
線検出器を備えたことを特徴とする螢光Ｘ線厚み測定装
置。 - （２）オンラインシート上の膜厚を螢光Ｘ線厚み測定す
る装置において、 オンラインシート上に、オンラインシートの走行スピー
ドと同期して、ライン方向に一定距離間往復運動し、か
つオンラインシート巾方向にも往復運動する第１螢光Ｘ
線検出器と オンラインシート上に、オンラインシート巾方向のみに
往復運動する第２螢光Ｘ線検出器を備えたことを特徴と
する螢光Ｘ線厚み測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25455185A JPS62115312A (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 | 螢光ｘ線オンライン厚み測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25455185A JPS62115312A (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 | 螢光ｘ線オンライン厚み測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62115312A true JPS62115312A (ja) | 1987-05-27 |
Family
ID=17266609
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25455185A Pending JPS62115312A (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 | 螢光ｘ線オンライン厚み測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62115312A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006208013A (ja) * | 2005-01-25 | 2006-08-10 | Jfe Steel Kk | 金属帯の表面処理皮膜付着量の測定装置及び測定方法 |
| JP2013015539A (ja) * | 2007-01-01 | 2013-01-24 | Jordan Valley Semiconductors Ltd | 検査方法及び検査装置 |
| WO2014034565A1 (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-06 | シャープ株式会社 | 膜厚測定装置 |
| WO2014038403A1 (ja) * | 2012-09-07 | 2014-03-13 | シャープ株式会社 | 膜厚測定装置 |
| KR20160115698A (ko) | 2015-03-27 | 2016-10-06 | 도요지도키 가부시키가이샤 | 2연속 자루를 사용한 배깅포장방법 및 장치 |
-
1985
- 1985-11-13 JP JP25455185A patent/JPS62115312A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006208013A (ja) * | 2005-01-25 | 2006-08-10 | Jfe Steel Kk | 金属帯の表面処理皮膜付着量の測定装置及び測定方法 |
| JP2013015539A (ja) * | 2007-01-01 | 2013-01-24 | Jordan Valley Semiconductors Ltd | 検査方法及び検査装置 |
| WO2014034565A1 (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-06 | シャープ株式会社 | 膜厚測定装置 |
| JP2014048182A (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Sharp Corp | 膜厚測定装置 |
| WO2014038403A1 (ja) * | 2012-09-07 | 2014-03-13 | シャープ株式会社 | 膜厚測定装置 |
| JP2014052312A (ja) * | 2012-09-07 | 2014-03-20 | Sharp Corp | 膜厚測定装置 |
| CN104412061A (zh) * | 2012-09-07 | 2015-03-11 | 夏普株式会社 | 膜厚测定装置 |
| KR20160115698A (ko) | 2015-03-27 | 2016-10-06 | 도요지도키 가부시키가이샤 | 2연속 자루를 사용한 배깅포장방법 및 장치 |
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