JPH04274706A - 厚さ測定装置 - Google Patents

厚さ測定装置

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JPH04274706A
JPH04274706A JP3350588A JP35058891A JPH04274706A JP H04274706 A JPH04274706 A JP H04274706A JP 3350588 A JP3350588 A JP 3350588A JP 35058891 A JP35058891 A JP 35058891A JP H04274706 A JPH04274706 A JP H04274706A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measuring
measuring head
laser light
light source
thickness
Prior art date
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Pending
Application number
JP3350588A
Other languages
English (en)
Inventor
Werner Kraemer
ヴエルネル・クレーメル
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IHO Holding GmbH and Co KG
Original Assignee
FAG Kugelfischer Georg Schaefer KGaA
Kugelfischer Georg Schaefer and Co
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Filing date
Publication date
Application filed by FAG Kugelfischer Georg Schaefer KGaA, Kugelfischer Georg Schaefer and Co filed Critical FAG Kugelfischer Georg Schaefer KGaA
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0691—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of objects while moving

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，連続的に又は断続的に
製造される帯状測定材料，例えば種々の材料から成る箔
，の厚さを測定するための厚さ測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】様々な測定方法及び測定装置が公知であ
る。伝統的に，要求される測定精度を出しかつ厳しい運
転条件のもとで長期間使用で動作する，電離ビームによ
る吸収測定方法が用いられる。しかしこれらの装置の問
題性は，高まつた環境意識をビーム源に対する不安と同
様にあまり考慮に入れない放射線源を使用することにあ
る。
【０００３】従つて赤外線，容量式，誘導式及びレーザ
三角測定方法が開発されており，これらの方法にはすべ
て，使用方法に応じて，ここでは詳細に取り上げられな
い，特有の利点及び欠点がある。
【０００４】これらすべての測定方法及び測定装置は，
横方向移動する測定頭部により動作し，この測定頭部は
測定材料の運搬方向に対して直角に案内レール上を移動
せしめられる。測定精度は，測定方法に基因する解像力
の他に，測定頭部案内レールの安定性にも左右される。 １５０ｃｍ以下の測定材料幅が測定される限り，厚さ測
定装置の測定頭部は，安定したＣ字状測定湾曲片に取り
付けられ得る。しかし１５０ｃｍ以上の測定材料幅が生
じたらすぐ方形状の枠が設けられなければならず，この
枠は，構造様式に基因して，Ｃ字状測定湾曲片の強度を
持つことができない。
【０００５】測定材料幅が１５０ｃｍ以上のこれらの厚
さ測定装置では，測定頭部の横方向移動中に測定頭部案
内レールのたわみが生じ，これらのたわみは誤差として
測定結果に入り込む。
【０００６】これらのたわみを補償するために渦電流検
出器を測定頭部の中に配置することは既に公知であり，
この渦電流検出器は基準ローラの表面を無接触で測定し
，この測定頭部の他方の測定装置は測定材料の表面を測
定する。これらの両方の値の差から測定材料の厚さが求
められる。
【０００７】この厚さ測定装置は基準ローラを必要とし
，従つて自由に案内されなければならない測定材料には
使用できない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は，冒頭
に挙げたような厚さ測定装置を改良して，測定材料が自
由に案内される際に測定頭部案内レールのたわみが測定
頭部の横方向移動中に検出可能であるようにすることで
ある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この課題は本発明によれ
ば，レーザ光源が，そのビームが測定頭部の垂直移動偏
差の検出のために，レーザ光源に関係なく配置された検
出器に当たるように配置されていることによつて解決さ
れる。
【００１０】
【実施例】本発明の実施例が図面に概略的に示されてい
る。
【００１１】１で示された厚さ測定装置は枠２を含んで
おり，この枠の中に，帯状測定材料，例えば種々の材料
から成る箔，が通される。枠２には，測定材料の上及び
下にそれぞれ配置された測定頭部３及び４が案内レール
５及び６にそれぞれ水平移動可能に配置されている。両
方の測定頭部３及び４は，三角測定のために必要なレー
ザ光源３ａ及び４ａと検出器３ｂ及び４ｂとを持つてい
る。
【００１２】測定頭部３及び４の，校正及び設定された
系間隔はＡで示され，測定材料の厚さはｄで示されてい
る。
【００１３】測定頭部３及び４の横方向同期移動は直線
駆動装置３ｃ及び４ｃにより行われる。案内レール５及
び６のたわみは測定頭部４についてはｘ１で示され，測
定頭部３についてはｘ２で示されている。それぞれの公
知の三角測定から生ずる測定頭部３，４と測定材料との
間隔は，測定頭部４についてはａ１で示され，測定頭部
３についてはａ２で示されている。
【００１４】厚さ測定装置１の動作のやり方及びそれぞ
れの構成を図面により以下に説明する。
【００１５】図１において，測定頭部３の中に別のレー
ザ光源７が取り付けられており，このレーザ光源のビー
ム８は，粋２に配置された転向鏡９を介して，測定頭部
４の中に取り付けられた検出器１０に当たり，それによ
り両方の測定頭部３及び４の垂直移動偏差を検出しかつ
信号として公知の電子評価装置へ伝送する。三角測定か
らの信号と共に，測定材料の厚さｄは，式ｄ＝Ａ−〔（
ａ１＋ａ２）±（ｘ１＋ｘ２）〕により計算される。
【００１６】図２による厚さ測定装置は各測定頭部３及
び４の中に付加的なレーザ光源７を持つており，このレ
ーザ光源のビーム８はそれぞれ転向鏡９を介して，枠２
に取り付けられた検出器１０に当たるので，これらの信
号は三角測定の信号と共に測定材料の厚さｄを電子評価
装置において次の式により求める。 ｄ＝Ａ〔（ａ１±ｘ１）＋（ａ２±ｘ２）〕
【００１７
】図３によれば，厚さ測定装置１の枠２に別のレーザ光
源７が取り付けられており，これらのレーザ光源のビー
ム８は，測定頭部３及び４の中にそれぞれ配置されたビ
ーム分割器１１を介して，零点調整のために必要な，レ
ーザ光源７に対向して，枠２に取り付けられたフオトダ
イオード１２と，測定頭部３及び４にそれぞれ取り付け
られた検出器１０とに当たる。
【００１８】この装置において，測定材料の厚さｄは，
図２による厚さ測定装置の場合のように，即ちｄ＝Ａ−
〔（ａ１±ｘ１）＋（ａ２±ｘ２）〕により求められる
。
【００１９】これらの厚さ測定装置の測定精度は５ない
し１０ミクロンである。
【図面の簡単な説明】
【図１】測定頭部の垂直移動偏差を検出するために測定
頭部の中に別のレーザ光源が配置されている厚さ測定装
置の構成図である。
【図２】各測定頭部の中に別のレーザ光源が設けられて
いる，図１による厚さ測定装置の構成図である。
【図３】測定頭部に付属する別のレーザ光源が厚さ測定
装置の枠に設けられている，図１による厚さ測定装置の
構成図である。
【符号の説明】
３，４　　測定頭部 ５，６　　案内レール ７　　　　　　レーザ光源 ８　　　　　　ビーム １０　　　　検出器

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　測定材料の上及び下にそれぞれ配置さ
    れた測定頭部を持ち，各測定頭部が，測定材料へ向けら
    れたレーザ光源及び三角測定用の検出器を備えている厚
    さ測定装置において，両方の測定頭部（３及び４）がそ
    れぞれの案内レール（５及び６）に水平移動可能に配置
    されており，別のレーザ光源（７）が，そのビーム（８
    ）が測定頭部（３，４）の垂直移動偏差を検出するため
    に検出器（１０）に当たるように配置されていることを
    特徴とする厚さ測定装置。
  2. 【請求項２】　　測定頭部（３又は４）の少なくとも一
    方が別のレーザ光源（７）を持つており，このレーザ光
    源が，そのビーム（８）が測定頭部（３，４）の垂直移
    動偏差を検出するために転向鏡（９）を介して他方の測
    定頭部（４又は３）にある検出器（１０）に当たるよう
    に配置されていることを特徴とする，請求項１に記載の
    厚さ測定装置。
  3. 【請求項３】　　両方の測定頭部（３及び４）が別のレ
    ーザ光源（７）を持つており，これらのレーザ光源のそ
    れぞれのビーム（８）が測定頭部（３，４）の垂直移動
    偏差を検出するために，厚さ測定装置（１）の枠（２）
    に取り付けられた検出器（１０）に当たることを特徴と
    する，請求項１に記載の厚さ測定装置。
  4. 【請求項４】　　測定頭部（３）及び測定頭部（４）に
    付属するレーザ光源（７）がそれぞれ厚さ測定装置（１
    ）の枠（２）に取り付けられており，このレーザ光源の
    それぞれのビーム（８）が測定頭部（３，４）の垂直移
    動偏差を検出するためにビーム分割器（１１）を介して
    ，測定頭部（３，４）の中に配置された検出器（１０）
    と，零点調整のために枠（２）に取り付けられたフオト
    ダイオード（１２）とに当たることを特徴とする，請求
    項１に記載の厚さ測定装置。
JP3350588A 1990-11-19 1991-11-08 厚さ測定装置 Pending JPH04274706A (ja)

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DE90122068.1 1990-11-19
EP90122068A EP0486713B1 (de) 1990-11-19 1990-11-19 Dickenmessgerät

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ID=8204731

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JP3350588A Pending JPH04274706A (ja) 1990-11-19 1991-11-08 厚さ測定装置

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EP (1) EP0486713B1 (ja)
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DE (1) DE59006447D1 (ja)

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