KR870700242A - 레이저를 이용한 측정시스템 및 사용방법 - Google Patents
레이저를 이용한 측정시스템 및 사용방법Info
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 시스템의 개략도이다.
Claims (22)
- 레이저 빔을 제공하는 단계; 측정될 물체를 움직이는 단계; 움직이는 물체로 빔을 차단하는 단계; 광검출기 위에 측정될 물체에 접근한 면을 영상화함으로서 빔이 차단되는 것을 검출하는 단계; 물체가 빔을 차단하는동안 물체에 의해 움직여진 거리를 측정하는 단계; 그리고 물체에 의해 움직여진 거리로부터 물체의 운동방향에서 물체의 크기를 계산하는 단계들로 구성되는 것을 특징으로 하는 측정방법.
- 제1항에 있어서, 빔이 전달되는 방향을 가로지르는 방향으로 빔을 통해 선형운반기 위의 물체를 움직이므로서 빔이 차단되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제2항에 있어서, 검출된 빛의 밀도에 비례하는 전압신호를 내는 광검출기로 빔을 감시하는 단계; 전압신호가 한계전압을 교차할 때를 결정하는 단계; 그리고 전압 시그널이 한계전압 보다 적어질 때 거리가 측정되므로, 물체에 의해 움직여진 거리를 측정하기 위한 수단을 제어하는 단계들로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제3항에 있어서, 공지된 크기의 물체로 빔을 차단함으로서 한계 전압을 조사하고, 그리고 측정된 거리는 물체의 적당한 크기를 산출하므로, 한계전압을 설정하는 단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제2항에 있어서, 국부발진기 빔으로 선형운반기로 부터 반사된 빔을 결합시켜 방해 패턴을 일으켜서 간섭계로 방해 패턴에서 변화를 측정함으로서 물체에 의해 움직인 거리를 측정하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제2항에 있어서, 페이즈 록 루우프 회로로 물체의 운동을 제어하는 단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제5항에 있어서, 광검출기로 부터 시그널을 빔이 물체에 의해 차단되는 시기를 결정하기 위한 한계 회로에 넘겨주는 단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 레이저 빔을 제공하는 단계; 빔을 차단하기 위해 선형운반기로 빔을 통해 물체를 움직이는 단계; 빔이 차단될 때를 결정하기 위해 빔을 감시하는 단계; 국부발진기 빔으로 선형운반기로부터 반사된 빔을 결합시켜 방해 패턴을 일으키는 단계; 간섭계로 방해 패턴에서 변화를 측정해서 빔이 차단될 동안 물체가 움직였던 거리를 결정하는 단계; 그리고 물체에 의해 움직여진 거리로 부터 물체의 방향에서 물체의 크기를 계산하는 단계들로 구성되는 것을 특징으로 하는 측정방법.
- 제8항에 있어서, 높은 분해도 및 회절을 제한하는 영상화시스템으로 물체에 접근한 면을 영상화함으로서 빔을 감시하는 단계가 영향을 받는 것을 특징으로 하른 방법.
- 제9항에 있어서, 면이 물체가 운동하는 면의 앞 약 0.002인치에 있는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제9항에 있어서, 면이 수직 슬릿을 포함하는 면위에 영상되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제8항에 있어서, 감시단계가 수직슬롯으로 레이저 빔을 견본화하는 것으로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제8항에 있어서, 감시단계가 수직슬롯을 포함하는 제2면 위에 빔의 단면을 포함하는 면을 영상화하는 것으로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 레이저 빔; 빔을 감시하기 위한 수단; 빔을 차단하기 위하여 빔을 통해 물체를 움직이기 위한 수단; 물체가 빔을 차단할 동안 물체에 의해 움직여진 거리를 결정하기 위한 수단; 그리고 움직여진 거리로부터 운동의 방향에서 물체의 크기를 계산하기 위한 수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 물체를 측정하기 위한 장치.
- 제14항에 있어서, 감시수단이 영상화된 면을 검출하기 위한 수직슬롯 및 광검출기 위에서 움직이는 수단에 접근한 면을 영상화하기 위한 높은 분해도 및 회절을 제한하는 영상화 시스템으로 구성되는 것을 특징으로 하는 측정장치.
- 제15항에 있어서, 거리결정수단이 국부발진기 빔으로 움직이는 수단으로 부터 반사된 제2빔을 결합시켜 방해패턴을 일으키기 위한 수단과 방해 패턴에서 변화를 측정하기 위한 간섭계수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 측정장치.
- 제16항에 있어서, 간섭계 수단을 제어하는 광검출기에 의해 만들어진 시그널을 사용하기 위한 수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 측정장치.
- 물체를 움직이는 수단과 같은 운동을 제어하기 위한 주파수를 증배하는 페이즈 록 루우프회로로 구성되는 것을 특징으로 하는 측정장치.
- 레이저빔의 상태가 e-2밀도분포를 가지고, 상기 빔이 수직방향에서 물체위치의 수직불확실보다 더 큰 것을 특징으로 하는 측정장치.
- 슬릿이 5마이크로미터 폭인 것을 특징으로 하는 측정장치.
- 제1레이저 빔; 빔으로 정확하게 배열된 슬릿 및 제1광검출기; 물체를 차단하기 위해 빔을 통해 물체를 움직이기 위한 선형운반기; 물체가 빔을 차단할 때 대표적인 시그널을 만들기 위한 광검출기와 결합된 한계회로; 제2레이저빔; 제2레이저빔을 분할하고, 상기 빔의 반을 선형운반기로 반사하고 상기 빔의 나머지 반을 제2광검출기로 전달하기 위한 빔분할수단; 제2레이저빔이 방해패턴을 성성하도록 재결합하는 제2광검출기로 제2빔을 반사하기 위한 운반기 위에 있는 수단; 선형 운반기에 의해 움직여진 거리를 계산하기 위해 제2광검출기로 부터 나오는 시그널과 한계회로 시그널을 결합시키기 위한 수단; 그리고 제1레이저 빔이 차단될 동안 물체에 의해 움직여진 거리에 의거한 물체의 운동의 방향에서 물체의 크기를 계산하기 위한 수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 물체를 측정하기 위한 장치.
- 선형 운반기의 운동을 제어하기 위한 페이즈 록 루우프 회로로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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