JPS62107992A - 関節装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、摺動部材のない関節装置に係り、特に半導体
製造装置等の発塵が障害となる場合で物体のハンドリン
グを行うに好適な関節装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、リンク間における関節装置は、例えば特開昭５９
−２０５００４号公報に示されるように、リンク間を、
ころがり軸受、すべり軸受等の軸受で結合しされている
。また一方のリンクを他方のリンクに対して制御させる
手段としては、一般的に、ｔ１！動モータ及び歯車減速
機構が用いられている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来例では、軸受あるいは減速機構内の摺動部分か
ら、塵が発生するため、クリーン度を要求される場所で
の使用には不向きであった。

本発明は発塵の少ない関節装置を提供することを目的と
する。

〔問題点を解決するための手段〕

上記本発明の目的は、２つのリンク間を結合する支持部
を１弾性支持機構とすることにより達成される。

〔作用〕

２つのリンク間を結合する支持部は弾性支持機構で構成
され、発塵を生じる摺動部を具備しないため、関節部か
らの発塵を抑えることかでくきる。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を図面により説明する。

第１図は本発明の装置の一実施例を示すもので、この図
において、１は一方のリンク、２は他方のリンクを示す
。これらのリンク１，２は弾性支持機構を構成する十字
形のばねヒンジ３により結合されている。このばねヒン
ジ３はリンク１，２の関節部を構成する。リンク１，２
間には一方のリンクを他方のリンク２に対して回動させ
るための形状記憶合金のワイヤ１０が絶縁部材１１．１
２を介して連結されている。このワイヤ１０の両端は電
源に持続している。

前述した十字形ばねヒンジ３は例えば、第２図に示した
ような構造を持ち、板ばね４，５．６によりばね支持体
７，８を結合している。ここで。

板ばね４および６は、互いに表面が一平面内にあるよう
配置され、それぞれの一端をばね支持体７に固定、他端
をばね支持体８に固定している。また、板ばね５は板ば
ね４および６の表面とその線面が直交するように配置さ
れており、その一端をばね支持体７に、他端をばね支持
体８に固定している。ばね支持体７は一方のリンクに設
れた軸筒８に、またばね支持体８は他方のリンク１に設
けた軸筒９にそれぞれ固定されている。このように。

支持部に十字形はね構造を用いることにより、軸筒８お
よび軸筒９は互いに摺動することなく一軸まわりで回転
することができる。

次に上述した本発明の装置の一実施例の動作を説明する
。

いま、一方のリンク１に対して他方にリンク２を回動さ
れる場合において、形状記憶合金のワイヤ１０を通電加
熱するの、その温度上昇により。

形４人記憶合金のワイヤ１０が伸縮する。これにより、
他方のリンク２は一方のリンク１に対し十字形のばねヒ
ンジ３のまわりを回転する。そして、形状記憶合金のワ
イヤ１０の通電加熱を制御することにより、リンク１，
２の回転角を制御することができろ。

以上述べたように、本発明の実施例によれば。

無摺動構造の関節装置を構成することができるので、無
発塵の関節装置を提供することができる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、無発塵の関節装置を提供し得るので、
クリーン度が要求される場所でのクホノーン度維持する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の装置の一実施例の斜視図、第２図は第
１図ら示す本発明の装置に用し１られる十字形のばねヒ
ンジを一部にて示す斜視図である。 １．２・・・リンク、３・・・十字形のばねヒンジ、１
０・・・形状記憶合金ワイヤ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、２つのリンク間を、一軸まわりで回転する支持部で
   結合した関節装置において、前記支持部を弾性支持機構
   とし、前記２つの剛体間に、伸縮機構を設けたことを特
   徴とする関節装置。 ２、前記弾性支持部は十字ばねであることを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載の関節装置。 ３、伸縮機構は形状記憶合金であることを特徴とする特
   許請求の範囲第２項記載の関節装置。