JPS62103360A - 蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 本発明は蒸着欠陥の少ない蒸着装置に併り、特に使いや
すい欠陥低減を計った蒸着装置に関する。

〔従来の技術と問題点〕

従来欠陥低減装置としては、第３図のようなものがちっ
た。蒸着源１と基板２との間に欠陥低減用のメソシー３
を介在させ、蒸着源からの欠陥となる大きな粒子を除去
するものである。しかし、このメツシュは毎回使い捨て
にしていた、そのため操作がはんざつで時間がかかり、
消費するメツシュの量も多かった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明の目的は、メツシュを移動させることにより、メ
ツシュのクリーニングを行い、使いやすい欠陥を低減し
た蒸着装置を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段及び作用〕本発明は、通
常のメツシュ付き蒸着機構に加え内部に加熱ヒータを有
する付着物除去装置により、メツシュに付着した蒸発物
を取りのぞくことにより、メツシュを何度も使用でき、
操作性のすぐれた欠陥低減を可能とする蒸着装置とした
ものであス ・ブイフグアーム法などを用いることができる。

〔実施例〕

第１図に本発明の１実施例であるロールメツシュ法を用
いる蒸着装置の装置構成図を示す。

上記装置構成を図示しない真空室内に設置し、下記条件
にて稼動した。

メツシュ３１　：　＃３００　ＳＵＳ製、巾３００ｍｍ
。

移動速度６０龍／ｍｉｎ　　エンド レス 蒸　発　源　１：ＢＮルツボ＋Ｗヒータ、　　Ｔｅ蒸発
（Ｔｍ　：　４５０℃） 基　　板　　２：石英　１．２ｓｌＩＩヒータボックス
５：赤外線ランプよりメッシユを６００℃に加熱し、メ
ツシュに 付着した付着物のＴｏを再蒸 発させ、メツシュのクリーニン グをする。

真　　空　　度：　ｌＸｌ０　’Ｐａ メツシュなしでは１〜１０コ／龍鵞の欠陥が生じ、又、
従来の固定メツシュ法では１枚の基板のみしか蒸着でき
なかったが、本発明のロールメツシュ法を用いる蒸着装
置により、メツシュの交換なしで１０枚の基板に０．１
コ／朋２の欠陥数で蒸着できた。

第２図に本発明の他の実施例であるスイングアーム法を
用いる蒸着装置の装置構成図を示す。

メッシュがスイングアームになった他は第１の実施例と
同じ条件にて蒸着を行った。

メッシユのクリーニングは、１回の蒸着ごとにメツシュ
をヒータボックス５内に入れ、Ｔｅ’ｃ除去することに
より行った。

第り実施例同様１０枚の基板に蒸着ができ、０１コ／龍
ｔの欠陥であった。

〔発明の効果〕

本発明によれば、メツシュの交換なしに蒸着できるので
多数の基板を一度に処理でき、量産化できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明めロールメッシュ法を用いる蒸着装置構
成図、 蚤、 第２図は本発明のスイングアーム法を用いる蝉着装置構
成図、沿ｎ１）７１目、λ２日η激理ａ、系 第３図は従来の固定メツシュ法を用いる装着装置構成図
である。 １：蒸着源、２：基板、３：固定メツシュ、３１：ロー
ルメツシュ、３２：スイングアームメツシュ、５：赤外
線ヒータボックス、６：モータ、７゜８：スイングアー
ム回転支持機構。 −゛ノ゛ン 一′ち、１ 第　１　図 に 第２図 〆２ 第３図 弔　４ υ〜メ 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 蒸発源と蒸着基板との間にメッシュを設けた蒸着装置に
   おいて、メッシュ上に付着した蒸着物を取りさるクリー
   ニング部と、 上記メッシュを上記クリーニング部に間歇的あるいは連
   続的に移動せしめる機構とを有することを特徴とする蒸
   着装置。