JPS62102146A - 試料表面の検査法 - Google Patents
試料表面の検査法Info
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- JPS62102146A JPS62102146A JP61252137A JP25213786A JPS62102146A JP S62102146 A JPS62102146 A JP S62102146A JP 61252137 A JP61252137 A JP 61252137A JP 25213786 A JP25213786 A JP 25213786A JP S62102146 A JPS62102146 A JP S62102146A
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- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/44—Detecting, measuring or recording for evaluating the integumentary system, e.g. skin, hair or nails
- A61B5/441—Skin evaluation, e.g. for skin disorder diagnosis
- A61B5/442—Evaluating skin mechanical properties, e.g. elasticity, hardness, texture, wrinkle assessment
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/0059—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons using light, e.g. diagnosis by transillumination, diascopy, fluorescence
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/08—Optical projection comparators
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- Measurement Of The Respiration, Hearing Ability, Form, And Blood Characteristics Of Living Organisms (AREA)
- Measuring And Recording Apparatus For Diagnosis (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、試料の六回を検査する方法とこの方法を実施
する装置とに関する。
する装置とに関する。
皮膚に加わる製品の作用たとえばしわを減らす製品の作
用を研究する必要の多い化粧品の分野でとくに重要な皮
膚の状態の検査に、本発、方法をとくに使用することが
できる。
用を研究する必要の多い化粧品の分野でとくに重要な皮
膚の状態の検査に、本発、方法をとくに使用することが
できる。
皮膚の状態の検査にたわみ性のフィルムを形成し調べよ
うとする区域の陰画像を与える製品によって、関連する
皮膚区域上で型（ｉｍｐｒｅｓｓｉｏｎ ）を取ること
が一般に行なわれていることはよく知られている。若干
の場合に逆の型（ｃｏｕｎｚｅｒｉｍｐｒｅｓｓｉｏｎ
） は、第１の型上物に成形され調べようとする区
域の陽画像を復元する一層硬い合成材料によって形成す
ることができる。この型又は逆の型は、観測装置上で展
開される試料を形成する。この観測装置には、試料の中
央面に対し斜めの軸線を持つ光源を設けである。すなわ
ち試料の各浮上りの光源とは反対の側に、調べようとす
る区域の浮上りを明らかに見えるように示す射影（ｃａ
ｓｔｓｈａｄｏｗ ）を生じさせようとする。このよう
な方法では、射影区域で何も識別することができなくて
試料の浮上りの全部又は一部がこの種の試料では明らか
にならないということによって障害を伴う。さらに浮上
りが照明軸線にほぼ平行な中央線を持つ場合には、この
浮上りは、射影を生じないで従って試料の照明された区
域に満足の得られる状態では浮上りは現われない。第１
の光源と同じであるが異なる方向に向いた第２の光源に
より試料を照明することを考えてもその結果はもはや満
足が得られない。その理由は、射影区域に前もって何が
あったか識別することができるとしても、これに反して
浮上りの効果が著しく減り又は全くなくなり、これ等の
浮上りの高さの計測ができなくなるからである。
うとする区域の陰画像を与える製品によって、関連する
皮膚区域上で型（ｉｍｐｒｅｓｓｉｏｎ ）を取ること
が一般に行なわれていることはよく知られている。若干
の場合に逆の型（ｃｏｕｎｚｅｒｉｍｐｒｅｓｓｉｏｎ
） は、第１の型上物に成形され調べようとする区
域の陽画像を復元する一層硬い合成材料によって形成す
ることができる。この型又は逆の型は、観測装置上で展
開される試料を形成する。この観測装置には、試料の中
央面に対し斜めの軸線を持つ光源を設けである。すなわ
ち試料の各浮上りの光源とは反対の側に、調べようとす
る区域の浮上りを明らかに見えるように示す射影（ｃａ
ｓｔｓｈａｄｏｗ ）を生じさせようとする。このよう
な方法では、射影区域で何も識別することができなくて
試料の浮上りの全部又は一部がこの種の試料では明らか
にならないということによって障害を伴う。さらに浮上
りが照明軸線にほぼ平行な中央線を持つ場合には、この
浮上りは、射影を生じないで従って試料の照明された区
域に満足の得られる状態では浮上りは現われない。第１
の光源と同じであるが異なる方向に向いた第２の光源に
より試料を照明することを考えてもその結果はもはや満
足が得られない。その理由は、射影区域に前もって何が
あったか識別することができるとしても、これに反して
浮上りの効果が著しく減り又は全くなくなり、これ等の
浮上りの高さの計測ができなくなるからである。
前記したような照明された試料の観測はたとえば双眼顕
微鏡により又は像検光子により目視で行なうことができ
る。像検光子は観測の分野では、全部が無の基準で影区
域及び照明区域（照明限界に対して）を限定する。各影
区域に対し影面を測定する。照明軸線にほぼ直交する（
「遮断する」と称する）影面の長さを測定する。この値
から、影区域がほぼ長方形であると仮定してこの影区域
の平均幅を推定する。そして試料の中央面に対する照明
軸線の傾斜を知り、これから対応する浮上りの高さを推
定する。試料が皮膚の陰画像であれば、試料の浮上りの
高さはしわの深さに対応する。
微鏡により又は像検光子により目視で行なうことができ
る。像検光子は観測の分野では、全部が無の基準で影区
域及び照明区域（照明限界に対して）を限定する。各影
区域に対し影面を測定する。照明軸線にほぼ直交する（
「遮断する」と称する）影面の長さを測定する。この値
から、影区域がほぼ長方形であると仮定してこの影区域
の平均幅を推定する。そして試料の中央面に対する照明
軸線の傾斜を知り、これから対応する浮上りの高さを推
定する。試料が皮膚の陰画像であれば、試料の浮上りの
高さはしわの深さに対応する。
本発明の目的は、前記した観測法の障害を軽減し、とく
に浮上りの型を失わないで試料の全表面にわたり浮上り
の観測ができるようにしようとするにある。すなわち本
発明方法によって射影区域の浮上りを観測し、これ等の
浮上りの高さ及び長さに関連する測定を行なうことがで
きる。本発明方法を化粧品に適用する際には、使用試料
は、生体の皮膚区域、又は型又は逆の型を取ることによ
り公知の方法で得られるこのような皮膚区域の像である
。大きい又は小さいしわを測定するには、一般に調べる
皮膚区域の陰画像を形成する型を観測するのがよい。
に浮上りの型を失わないで試料の全表面にわたり浮上り
の観測ができるようにしようとするにある。すなわち本
発明方法によって射影区域の浮上りを観測し、これ等の
浮上りの高さ及び長さに関連する測定を行なうことがで
きる。本発明方法を化粧品に適用する際には、使用試料
は、生体の皮膚区域、又は型又は逆の型を取ることによ
り公知の方法で得られるこのような皮膚区域の像である
。大きい又は小さいしわを測定するには、一般に調べる
皮膚区域の陰画像を形成する型を観測するのがよい。
本発明では試料を、互いに異なる色の光を放出する少く
とも２個の光源で照明する。これ等の光源は、試料の中
央面に対して斜めの別個の照明軸線を持つ。このように
して各光源は、浮上り効果を与える影区域を提供する。
とも２個の光源で照明する。これ等の光源は、試料の中
央面に対して斜めの別個の照明軸線を持つ。このように
して各光源は、浮上り効果を与える影区域を提供する。
しかし光源の一方に関連する各影区域は他方の光源又は
その他の各光源により斜めに照明され、従ってこの影区
域の浮上りは目に見えるままになりとくに色検光子によ
り解析することができる。すなわち本発明方法により、
浮上りの型を破壊しないで試料の全照明範囲を十分に見
ることができる。又本発明方法により所望によって全照
明区域にわたる浮上りに関して計測を行なうことができ
る。しかし従来は一般に白色光の単一の光源の使用によ
り照明区域にわたり１回の観測だけしかできなかった。
その他の各光源により斜めに照明され、従ってこの影区
域の浮上りは目に見えるままになりとくに色検光子によ
り解析することができる。すなわち本発明方法により、
浮上りの型を破壊しないで試料の全照明範囲を十分に見
ることができる。又本発明方法により所望によって全照
明区域にわたる浮上りに関して計測を行なうことができ
る。しかし従来は一般に白色光の単一の光源の使用によ
り照明区域にわたり１回の観測だけしかできなかった。
その理由は、影区域には試料に対して照明軸線の位置を
変更することにより始めて到達でき、従って若干の逐次
の観測を必要としたからである。
変更することにより始めて到達でき、従って若干の逐次
の観測を必要としたからである。
従って本発明の目的は、試料の弐面を互いに異なる波長
を持つ光を放出する少くとも２個の光源により照明する
、試料異面の検査法において、２個の光源が互いに異な
る照明軸線を持つようにすることを特徴とする検査法に
ある。
を持つ光を放出する少くとも２個の光源により照明する
、試料異面の検査法において、２個の光源が互いに異な
る照明軸線を持つようにすることを特徴とする検査法に
ある。
本発明の第１の実施例では中心波長のまわりに分布した
狭い波長帯域を持つ各光源を使う。互いに異なる光源の
中央波長は互いに異なる。これ等の光源は着色スクリー
ンを挿入すること、により白色光源から作ることができ
る。第２の実施例ではたとえば低電カレーず−を利用す
ることにより単色光源を使う。
狭い波長帯域を持つ各光源を使う。互いに異なる光源の
中央波長は互いに異なる。これ等の光源は着色スクリー
ンを挿入すること、により白色光源から作ることができ
る。第２の実施例ではたとえば低電カレーず−を利用す
ることにより単色光源を使う。
各原色すなわち赤色、緑色又は青色に対応する放出波長
を持つ光源を使うのが有利である。しかし又原色の補色
すなわち黄色（青の補色）、マゼンタ色（緑の補色）又
はシアン色（赤の補色）に対応する放出波長を持つ光源
を使ってもよい。
を持つ光源を使うのが有利である。しかし又原色の補色
すなわち黄色（青の補色）、マゼンタ色（緑の補色）又
はシアン色（赤の補色）に対応する放出波長を持つ光源
を使ってもよい。
試料を照明するには２個又は６個の光源を使う。
とくに６個の光源はそれぞれ赤、緑及び青の光ビームを
生ずる。しかし又２個の光源を使ってもよい。その一方
は原色の光を放出するが、他方は前記の光の補色に対応
する光を生ずる。試料の良好な照明が確実にできるよう
に、各照明軸線が試料に対し相対的に角度方向に離れる
ように配置する。
生ずる。しかし又２個の光源を使ってもよい。その一方
は原色の光を放出するが、他方は前記の光の補色に対応
する光を生ずる。試料の良好な照明が確実にできるよう
に、各照明軸線が試料に対し相対的に角度方向に離れる
ように配置する。
とくに試料は互いに隣接する２個の光源の照明軸線が６
０ないし１８０°の角度を挾むように配置する。
０ないし１８０°の角度を挾むように配置する。
本発明による方法で得られる結果をさらに明らかにする
ために、試料の中心における法線に対し対称に配置した
緑色光源及び赤色光源を使う場合について以下に述べる
。このような場合に緑色光は緑色光源の側の浮上り全部
の面を照明し、これ等の浮上りの反対側の面は影内に残
す。又赤色光は、緑色光の影内にあった区域を照明する
。２種類の光により照明された区域は、黄色として現わ
柄入−矛の押出は、この角が赤及び緑の組合せから生ず
るからである。皮膚試料のしわに型で対応する長い線の
浮上りを考えると、従って上縁部が黄色として現われ、
この浮上りの２つの側部は一方は緑色として他方は赤色
として現われる。従ってこの試料は一般に一つの観測段
で観測できることが分る。この結果はなお、たとえば前
記の２つの光源の対称面内に照明軸線を持つ前記した装
置に青色光源を加えればさらに向上する。この場合実際
上、赤色及び青色の照明軸線の平面にほぼ平行な向きを
持つ全部の浮上りは、青色光に対応する射影により強い
照明な受ける。このようにして得られる像は色検光子に
より解析することができる。この色検光子は、像の各点
でこの点−により受ける赤色、緑色及び青色の量を定め
る。これにより試料の完全な状態を推定できる。この状
態は多源により放出する波長の帯域が狭いほどそれだけ
で確になるのは明らかである。従って単色光を使うこと
により極めてよい成績が得られる。
ために、試料の中心における法線に対し対称に配置した
緑色光源及び赤色光源を使う場合について以下に述べる
。このような場合に緑色光は緑色光源の側の浮上り全部
の面を照明し、これ等の浮上りの反対側の面は影内に残
す。又赤色光は、緑色光の影内にあった区域を照明する
。２種類の光により照明された区域は、黄色として現わ
柄入−矛の押出は、この角が赤及び緑の組合せから生ず
るからである。皮膚試料のしわに型で対応する長い線の
浮上りを考えると、従って上縁部が黄色として現われ、
この浮上りの２つの側部は一方は緑色として他方は赤色
として現われる。従ってこの試料は一般に一つの観測段
で観測できることが分る。この結果はなお、たとえば前
記の２つの光源の対称面内に照明軸線を持つ前記した装
置に青色光源を加えればさらに向上する。この場合実際
上、赤色及び青色の照明軸線の平面にほぼ平行な向きを
持つ全部の浮上りは、青色光に対応する射影により強い
照明な受ける。このようにして得られる像は色検光子に
より解析することができる。この色検光子は、像の各点
でこの点−により受ける赤色、緑色及び青色の量を定め
る。これにより試料の完全な状態を推定できる。この状
態は多源により放出する波長の帯域が狭いほどそれだけ
で確になるのは明らかである。従って単色光を使うこと
により極めてよい成績が得られる。
本発明の目的は又、前記した方法を実施することのでき
る装置にある。本装置は、第１に試料受け板及びこの試
料受は板に対して鋭角の入射角を形成する互いに異なる
照明軸線を持つ互いに異なる波長を持ち、前記試料受は
板を照明する少くとも２個の光源と、第２にこの試料受
は板により支えられた試料用の観測システムとを備える
ことを特徴とする。
る装置にある。本装置は、第１に試料受け板及びこの試
料受は板に対して鋭角の入射角を形成する互いに異なる
照明軸線を持つ互いに異なる波長を持ち、前記試料受は
板を照明する少くとも２個の光源と、第２にこの試料受
は板により支えられた試料用の観測システムとを備える
ことを特徴とする。
好適とする実施例では観測システムは、写真装置又は色
検光子又はビデオシステム又は目視鑑定用光学系と協働
している。受は板は各光源に対して枢動することができ
、とくにこの試料内に含まれる浮上りに従って各光源に
対し試料の最良の角度を選定できるようにしである。
検光子又はビデオシステム又は目視鑑定用光学系と協働
している。受は板は各光源に対して枢動することができ
、とくにこの試料内に含まれる浮上りに従って各光源に
対し試料の最良の角度を選定できるようにしである。
以下本発明による検査法の実施例を添付図面について詳
細に説明する。
細に説明する。
図示のように本発明検査法を実施する装置は、支持テー
ブルの各脚２に支えた台板１により構成しである。台板
１は、゛試料受は板３を中心に備えた円形板である。試
料受は板３も円形で、その上に観測しようとする試料４
を位置させる。試料４は皮膚の１区域上で取った型であ
る。この型は検査しようとする皮膚区域の陰画像を形成
する。台板１には、それぞれ色フィルタを設けた白熱電
球により構成した６個の光源５ａ、５ｂ、５ｃを取付け
である。光源５’ａ 、 ５ ｂ 、 ５ ｃはそれぞ
れ赤色、緑色及び青色の光を放出する。試料受は板３は
台板１に対して回転し試料４を６個の光源５ａ。
ブルの各脚２に支えた台板１により構成しである。台板
１は、゛試料受は板３を中心に備えた円形板である。試
料受は板３も円形で、その上に観測しようとする試料４
を位置させる。試料４は皮膚の１区域上で取った型であ
る。この型は検査しようとする皮膚区域の陰画像を形成
する。台板１には、それぞれ色フィルタを設けた白熱電
球により構成した６個の光源５ａ、５ｂ、５ｃを取付け
である。光源５’ａ 、 ５ ｂ 、 ５ ｃはそれぞ
れ赤色、緑色及び青色の光を放出する。試料受は板３は
台板１に対して回転し試料４を６個の光源５ａ。
５ｂ、５ｃに対して最も有利な向きに定めることができ
る。これ等の６個の光源は台板１の側に固定され、そし
て放出ビームは上下方向である。これ等のビームは円形
オリフィスＴを経て台板１を通過する。各オリフィス７
に対向してそれぞれ鏡６ａ、６ｂ＋６Ｃを設けである。
る。これ等の６個の光源は台板１の側に固定され、そし
て放出ビームは上下方向である。これ等のビームは円形
オリフィスＴを経て台板１を通過する。各オリフィス７
に対向してそれぞれ鏡６ａ、６ｂ＋６Ｃを設けである。
これ等の鏡はそれぞれスタンド３ａ 、８ｂ 、８ｃに
より、支えである。これ等の各鏡の傾斜角は調節するこ
とができる。これ等の６個の鏡の傾斜は、各光源により
放出されるビームが試料４に集中するように調節する。
より、支えである。これ等の各鏡の傾斜角は調節するこ
とができる。これ等の６個の鏡の傾斜は、各光源により
放出されるビームが試料４に集中するように調節する。
各スタンド１３ａ、３ｂ、８ｃの位置は、試料４に入射
する６条のビームの軸線が試料の中心における法線を軸
線として持つ同一の円すい形に沿い角度方向に等距離に
配分されるようにしである。
する６条のビームの軸線が試料の中心における法線を軸
線として持つ同一の円すい形に沿い角度方向に等距離に
配分されるようにしである。
試料４に対向して観測システム９たとえば光学系を配置
しである。観測システム９は色検光子１０に協働して、
試料４の各点でこの点に受ける赤色、緑色及び青色の光
の量を計測することができるようにする。６個の光源５
ａ、５ｂ、５ｃから出る３茶の円柱形ビームの試料４へ
の入射角はたとえば６０°であり、すなわちビーム軸線
は試料４の中央面と５０°の角度を挾む。
しである。観測システム９は色検光子１０に協働して、
試料４の各点でこの点に受ける赤色、緑色及び青色の光
の量を計測することができるようにする。６個の光源５
ａ、５ｂ、５ｃから出る３茶の円柱形ビームの試料４へ
の入射角はたとえば６０°であり、すなわちビーム軸線
は試料４の中央面と５０°の角度を挾む。
このような装置の使用により、試料４の全部の浮上りを
それぞれの向きに関係なく１回の観測で標定し、そして
色検光子１０によってこれ等の浮上りの高さ及び長さを
計測することができる。
それぞれの向きに関係なく１回の観測で標定し、そして
色検光子１０によってこれ等の浮上りの高さ及び長さを
計測することができる。
色検光子１０の代りに光学装置を使い目視の観測だけを
行なう場合には、試料の着色像が現われこの着色は各区
域に沿って変化し、中央面の上方に突出する部分の向き
に関係なく観測者に検査区域の浮上りの完全な表示を与
える。
行なう場合には、試料の着色像が現われこの着色は各区
域に沿って変化し、中央面の上方に突出する部分の向き
に関係なく観測者に検査区域の浮上りの完全な表示を与
える。
本発明方法とその対応する装置との使用は、化粧品の分
野で皮膚にとくに皮膚の区域の大小のし駄ＩＦ乃！、′
ｔｇ手加旧制只＾酩旦ルΦ六Ｐへし斗１し多にとくに有
用である。
野で皮膚にとくに皮膚の区域の大小のし駄ＩＦ乃！、′
ｔｇ手加旧制只＾酩旦ルΦ六Ｐへし斗１し多にとくに有
用である。
以上本発明をその実施例について詳細に説明したが本発
明はなおその精神を逸脱しないで種々の変化変型を行な
うことができるのはもちろんである。
明はなおその精神を逸脱しないで種々の変化変型を行な
うことができるのはもちろんである。
第１図は本発明検査法を実施する装置の平面図、第２図
は第１図の■−■線に沿う断面図である。
は第１図の■−■線に沿う断面図である。
Claims (14)
- （１）試料の表面を互いに異なる波長を持つ光を放出す
る少くとも３個の光源により照明する試料表面の検査法
において、試料の表面をこの試料の観測される区域の中
央面に対して斜めの方向に沿つて照明し、浮上りを目立
たせる射影区域が生じるようにし、２個の光源が互いに
異なる照明軸線を持つようにすることを特徴とする試料
表面の検査法。 - （２）中央波長のまわりに分布した狭い波長帯域を持つ
光源を使い、互いに異なる光源の中央波長が互いに異な
るようにすることを特徴とする特許請求の範囲第（１）
項記載の試料表面の検査法。 - （３）単色光源を使うことを特徴とする特許請求の範囲
第（１）項記載の試料表面の検査法。 - （４）赤、緑及び青の原色に対応する放出波長を持つ光
源を使うことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項な
いし第（３）項のいずれかに記載の試料表面の検査法。 - （５）原色の補色に対応する放出波長を持つ光源を使う
ことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項ないし第（
３）項のいずれかに記載の試料表面の検査法。 - （６）２個又は３個の光源を使うことを特徴とする特許
請求の範囲第（４）項又は第（５）項のいずれかに記載
の試料表面の検査法。 - （７）一方は原色の光を放出するが、他方は前記原色の
補色に対応する光を放出する２個の光源を使うことを特
徴とする特許請求の範囲第（１）項ないし第（３）項の
いずれかに記載の試料表面の検査法。 - （８）互いに隣接する２個の光源の照明軸線を、これ等
の軸線が６０ないし１８０°の角度をなすように配置す
ることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項ないし第
（７）項のいずれかに記載の試料表面の検査法。 - （９）照明される試料の像を得て、この像に色検光子を
作用させ前記試料の浮上りを測定するようにすることを
特徴とする特許請求の範囲第（１）項ないし第（８）項
のいずれかに記載の試料表面の検査法。 - （１０）生体の皮膚区域を照明される試料として使うこ
とを特徴とする特許請求の範囲第（１）項ないし第（９
）項のいずれかに記載の試料表面の検査法。 - （１１）照明される試料として生体の皮膚区域から得ら
れるくぼみ型を使うことを特徴とする特許請求の範囲第
（１）項ないし第（９）項のいずれかに記載の試料表面
の検査法。 - （１２）第１に試料受け板（３）及びこの試料受け板に
対して鋭角の入射角を形成する互いに異なる照明軸線を
持つ互いに異なる波長を持ち、前記試料受け板を照明す
る少くとも２個の光源（５ａ）、（５ｂ）、（５ｃ）と
、第２にこの試料受け板（３）により支えられた試料（
４）用の観測システム（９）とを備えることを特徴とす
る特許請求の範囲第（１）項ないし第（１１）項のいず
れかに記載の試料表面の検査法を実施することのできる
試料表面の検査装置。 - （１３）前記観測システム（９）に、写真装置又は色検
光子（１０）又はビデオシステム又はなおふたたび可視
検査用光学装置を協働させたことを特徴とする特許請求
の範囲第（１２）項記載の試料表面の検査装置。 - （１４）前記試料受け板を、前記光源（５ａ）、（５ｂ
）、（５ｃ）に対して枢動することができるようにした
ことを特徴とする特許請求の範囲第（１２）項又は第（
１３）項のいずれかに記載の試料表面の検査装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8515859 | 1985-10-25 | ||
| FR8515859A FR2589242B1 (fr) | 1985-10-25 | 1985-10-25 | Procede pour examiner la surface d'un echantillon et appareil pour sa mise en oeuvre |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62102146A true JPS62102146A (ja) | 1987-05-12 |
Family
ID=9324193
Family Applications (1)
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