JPS62102101A - タツチセンサ− - Google Patents

タツチセンサ−

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Publication number
JPS62102101A
JPS62102101A JP24243185A JP24243185A JPS62102101A JP S62102101 A JPS62102101 A JP S62102101A JP 24243185 A JP24243185 A JP 24243185A JP 24243185 A JP24243185 A JP 24243185A JP S62102101 A JPS62102101 A JP S62102101A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
contact
measured
center
substance
center hole
Prior art date
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Pending
Application number
JP24243185A
Other languages
English (en)
Inventor
Eiichi Kitajima
北島 栄一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nippon Kogaku KK
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Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Kogaku KK filed Critical Nippon Kogaku KK
Priority to JP24243185A priority Critical patent/JPS62102101A/ja
Publication of JPS62102101A publication Critical patent/JPS62102101A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の技術分野) 来光、明はタッチセンサーに関するものである。
(発明の背景) 測定基盤上に載置された被測定物の大きさ及び形状を測
定する3次元測定機あるいは工作機械の刃物台と被加工
物との位置を測定する装置が周知であり、これらの測定
装置においては被測定物に対して任意の方向に移動可能
な移動台にタッチセンサーが装着される。該タッチセン
サーは被測定物との接触により電気的信号を出力し、測
定機の正確な測定作用を行なわせている。この種のタッ
チセンサーは接触子が測定物と接触したときに接触検出
作用を行なうので例えば水平方向の測定を行なう場合被
測定物に対し前記接触子は2方向の測定で検知しなけれ
ばならないことは周知である。
この場合測定機より測定される値は被測定物の真価では
なく、前記接触子の径だけ増減された値になる。このた
め前記接触子の径を考慮すべくハード的又はソフト的方
法で補正をしなければならない欠点があった。
(発明の目的) 本発明はこれらの欠点を解決すべくあらゆる方向で補正
不用のタッチセンサーを提供することを目的とする。
(発明の概要) 本発明は、固定ハウジング(2,2a、2b)と、被測
定物に当接して変位する接触子(6,39)とを有する
タッチセンサーにおいて、前記接触子を一端に有すると
共に、検知子(8,38)をも有する検知棒(6a、9
.34.34a、34b)の一部を回転自在に保持する
保持部材(3,3’ 、33.35)を設けると共に、
通常は前記検知棒の中心軸を前記ハウジングの中心軸に
7敗させて保持せしめる弾性部材(12,40)を設け
、前記接触子が被測定物に当接し、前記接触子の当接部
が前記ハウジングの中心軸に一致するまで変位すると前
記検知子に当接し、検知信号を発生する検知信号発生部
材4.5.30を設けたことを特徴とするタッチセンサ
ーである。
(実 施 例) 第1図は本発明の第1実施例であって固定ハウジング2
に絶縁体10を介して取付用シャンク1が固定されてい
る。又、固定ハウジング2内には可動体3の位置決めを
するための球座5がほぼ等間隔に3ケ所に設置されてい
る。前記3ケ所の球座5に接触し基準面を構成するため
の接触棒4を3ケ所具えた可動体3が前記固定ハウジン
グ2に組込まれ、更に前記可動体3は固定ハウジング2
の外部に突出すると共にハウジング2の中心軸を中心に
中心ホール3aが形成され、測定対象を検知するために
球形の接触子6、伝達棒6a、球形の検知子8、球形の
摺動子9を中心ホール3aから突出せしめて摺動子9は
可動体3の円錐受けと可動体3に締付けられる締付ナツ
ト3°の円錐受けとの間に挟まれ、回転摺動自在に保持
されている。この可動体3の接触棒4と前記固定ハウジ
ング2内の球座5と接触させるため固定ハウジング2と
可動体3に一体の締付ナツト3° との間の押圧バネ7
で可動体3を下方に付勢している。前記可動体3が傾動
又は上動することにより、前記接触棒4と前記球座5が
離れると電気的にそれを検出する信号が得られるように
両者4.5の間に電流を供給する回路が設けられている
。前記可動体部3に組込まれている前記接触子6は伝達
棒6aにより検知子8、摺動子9と直線に接続されてい
て、前記検知子8と前記可動体3の中心ホール3aとは
精密なガタ量を持ち、前記中心ホール3aは本体の中心
軸と精密に同心である。又前記接触子6は等間隔に配置
した3つのバランスバネ12にてほぼ本体の中心軸と合
致している。バランスバネ12の外側には防じんカバー
11が設けられている。これらによって、本体の中心軸
で被測定物を検知する機能を構成している。
更に詳細に動作説明すると、第2図の原理図より前記摺
動子9の回転中心から前記接触子6の中心までの距離ρ
の1/3の距離の所に前記検知子8が位置している。被
測定物13に前記接触子6が触れ接触子の半径7動いた
所で前記4;子8が前記中心ホール3aの内周に触れ、
前記可動体3を傾動させる。この時前記検知子8と中心
ホール3aのガタ量は半径Tの1/3である。
このような構造であるから、被測定物13の検知は接触
子6がその半径Tだけ移動したときに得られる検知信号
により知ることができるので常に本体の中心軸でとらえ
られ、測定値に接触子の形状による補正を施さなくてす
むという利点がある。
第3図は本発明の第2実施例であって、固定ハウジング
は上ケース2aと絶縁体15を挟んで固定される下ケー
ス2bとによって形成され、上ケース2aに絶縁体10
を介して取付シャンク1が固定されている。上ケース2
aの内部にはハウジングの中心軸に対して対称でかつ下
方に開いたすりばち状の受けが形成され、この受けに検
知部材30の一端(図では上方)外周部が嵌合し、上ケ
ース2aと検知部材30との間の引張ばね31によって
上記嵌合が安定に行なわれている。検知部材30の内部
は空洞になっており、その下面にはハウジングの中心軸
を中心とした孔(中心ホール)30aが形成され、上記
下面の内側にばばね320によって中心軸方向への可動
片32が押圧されている。下カバー2bの下端にはハウ
ジングの中心軸を中心とした円形貫通孔が形成さ゛れる
と共に、その周囲が内部に広がるすりばち状の受けが形
成されている。この受けには前記円形貫通孔より小さな
径でかつハウジング2a、2bの中心軸を中心とする円
形貫通孔を形成された可動体33が、下端外周を下ケー
ス2bの受けに嵌合して設けられている。この可動体3
3は、ハウジング2a、2bとの間に設けた案内部材に
よって中心軸に平行移動自在に案内されている。案内部
材はハウジング2a、2bの内周に円周方向にほぼ等間
隔に3ケ所、中心軸方向へ形成した溝と、この溝に嵌入
するボール33aとによって形成されている。可動体3
3の貫通孔の上端縁は上側に開いたすりばち状になって
おり、そこには中心球34が載置されている。押え部材
35は可動体33と共に中心球34を回転自在に鼻持す
るもので、円形貫通孔を有し、下面が下側に広がったす
りばち状に形成されかつ又可動体33の内側面に螺合す
るよう形成されている。可動体33は下カバー2bの内
側に中心軸方向へ向って張り出した張出部材36と押え
部材35との間のばね部材37によって、中心球34を
介して下ケース2bの受けに安定的に押し付けられてい
る。
中心球34の上下には等しい長さの連結棒34a、34
bが突出しており、その突出量は上方の連結棒34aの
上端に固定した球形の検知子38が検知部材30の中心
ホール30a内に挿入される程度である。下方の連結棒
34−は円形貫通孔を通って下ケース2bの外部に突出
し、その下端には球形の接触子39が固設されている。
連結棒34a、34bが中心軸上にあるように、連結棒
34aと下ケース2bとの間にはバランスばね40が円
周方向にほぼ等間隔で配設されている。
中心ホール30aはハウジングの中心軸に対して対称で
あり、検知子38はハウジングの中心軸に中心のある球
であるから、中心ホール30aの内周との間隔はラジア
ル方向全周に亘って等しくなっている。中心球34が回
転し、検知子38が検知部材30に接触すると接触信号
が生じるように、検知子38と検知部材30との間には
電気回路が接続されている。また、中心球34がハウジ
ングの中心軸に沿って上方へ移動し、検知子38が可動
片32を所定量押し上げると押上信号が生じるように可
動片32と検知部材30との間に電気回路が形成されて
いる。
なお、下ケース2bの下端には連結棒34門との間にゴ
ム製等の防じんカバー11が設けられている。
次に上記第2実施例の動作を詳細に説明すると、第4=
図の原理図より、回転中心になる中心球34を対象に伝
達棒34a、34bを介して接触子39と検知子38が
ある。接触子39と検知子38の径は精密に同じで中心
球34の中心より接触子39と検知子38の中心までは
それぞれ同じ距離(この場合42+=#z)の位置に配
しである。又、検知部材30の中心ホール30aはハウ
ジングの中心軸と精密に同÷でその径は検知子38の直
径の2倍であり、通常は中心ホール30aと検知子38
とは接触はしていない。今被測定吻13を移動じ、接触
子39に接触していくと接触子39は傾動される。そし
て被測定物13の端面が本体の中心軸までくると、中心
球34を回転中心としているので接触子39とは逆方向
に検知子38も同じ量傾動され中心ホール30aの壁に
接触し、これを検知子38と検知部材30との間の電気
信号として検知するものである。(ここで距離β1と1
2の関係は1対1の他に2対1や3対1等でも可能であ
る。) 第5図は上動検知部の拡大図であり可動片32は押圧バ
ネ320にて付勢され位置決めされている。検知子38
が上動して間隔aの遊びをもって可動片32に接触し電
気信号として検知する。検知子38がオーバートラベル
しても押圧バネ320.37にて可動片324&及び検
知子3日が元の位置に戻り、間隔aを保持している。
このような構造であるから被測定物の水平方向の検知は
常に本体の中心軸でとらえることができ測定値に補正を
施こすことなく測定できる利点がある。
又、上方向の検知も測定できる。
(発明の効果) 以上のように本発明によれば被測定物を直続することが
でき補正による計算間違いや面倒な作業が無くなり、測
定時間が短縮できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のタッチセンサーの第1実施例の断面図
、第2図は第1実施例の動作を説明するために要部を示
した図、第3図は本発明のタッチセンサーの第2実施例
の断面図、第4図、第5図は第2実施例の動作を説明す
るために要部を示した図、である。 〔主要部分の符号の説明〕 2−一−−固定ハウジング、2a−−−一上ケース、2
b−−〜−下ケース、 3.33−−−一可動体、’ 
     =’      4−−−一接触棒、5−−
−一球座、    6.39−−−一接触゛子、8.3
B−−−一検知子、  30−−−一検知部材、35−
−−一押え部材。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 固定ハウジングと、被測定物に当接して変位する接触子
    とを有するタッチセンサーにおいて、前記接触子を一端
    に有すると共に、検知子をも有する検知棒の一部を揺動
    自在に保持する保持部材を設けると共に、通常は前記検
    知棒の中心軸を前記ハウジングの中心軸に一致させて保
    持せしめる弾性部材を設け、前記接触子が被測定物に当
    接し、前記接触子の当接部が前記ハウジングの中心軸に
    一致するまで変位すると前記検知子に当接し、検知信号
    を発生する検知信号発生部材を設けたことを特徴とする
    タッチセンサー。
JP24243185A 1985-10-29 1985-10-29 タツチセンサ− Pending JPS62102101A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24243185A JPS62102101A (ja) 1985-10-29 1985-10-29 タツチセンサ−

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JP24243185A JPS62102101A (ja) 1985-10-29 1985-10-29 タツチセンサ−

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JPS62102101A true JPS62102101A (ja) 1987-05-12

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ID=17088994

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JP24243185A Pending JPS62102101A (ja) 1985-10-29 1985-10-29 タツチセンサ−

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