JPH0818229B2

JPH0818229B2 - 接触検出装置

Info

Publication number: JPH0818229B2
Application number: JP63264585A
Authority: JP
Inventors: 祐輔小菅
Original assignee: 株式会社新潟鐵工所
Priority date: 1988-10-20
Filing date: 1988-10-20
Publication date: 1996-02-28
Anticipated expiration: 2011-02-28
Also published as: JPH02109661A

Description

【発明の詳細な説明】「産業上の利用分野」本発明は、工作機械の自動芯出し，自動計測及び自動
工具長測定等に使用する接触検出装置に関する。

「従来の技術」従来、工作機械の自動計測等に用いられる接触検出装
置としては、第４図〜第６図に示すような三点支持方式
のものが知られている。以下、この装置について説明す
ると、第４図において、接触子１には、その根元より伸
びる三つの支持棒２が設けられている。各支持棒２の先
端には、それぞれ電導性を有する可動円柱体３が設けら
れ、これはバネ等により付勢され、第５図に示すよう
に、それぞれ二つの電導性を有する固定円柱体４に押し
付けられている。そして、合計六つの固定円柱体４は第
６図に示すように電気的に接続され、出力端子T₁,T₂が
設けられている。

接触子１の先端に被測定物が接触していない時には、
三つの可動円柱体３は、第５図に示すように、それぞれ
二つの固定円柱体４に接している。このため、隣合う二
つの固定円柱体４は、それぞれ可動円柱体３を介して電
気的に接続された状態にあり、第６図に示す回路は全体
として閉じ、出力端子T₁,T₂間には電気的な導通があ
る。

今、接触子１の先端に被測定物が接触すると、接触子
１が変位し、いずれか一つ以上の箇所で可動円柱体３が
固定円柱体４から離れると出力端子T₁,T₂間には導通が
なくなる。そして、接触子１の先端から被測定物が離れ
ると、可動円柱体３は元の位置に戻り、再び出力端子
T₁,T₂間は導通がある状態に戻る。

以上のように、接触子１の先端に被測定物が接触する
と、T₁,T₂間の導通がなくなるので、これにより、被測
定物と接触子との接触を検知することができる。

ところが、以上述べた三点支持方式の接触検出装置
は、下記に示すような改善すべき問題点を有していた。

（１）前述のような接触検出装置では、接触子が所定
の値だけ変位してはじめて被測定物の接触子への接触が
検知されるので、被測定物が接触子に接触してこの接触
が検知されるまでの間に、被測定物は僅かな距離移動す
る（以下、この距離を“作動距離”と呼ぶ）。そして、
被測定物が接触子に接触子の軸線に直交する方向から接
近する場合、前述の作動距離は、被測定物が接触子に接
近する方向により異なる。これは、要部の構成が、変位
していない時の接触子１の軸線に対して軸対称になって
おらず、接触子１の変位量と可動円柱体3,3,3の変位量
との関係が、接触子１が変位する方向により異なるため
である。具体的には、接触子の軸芯を基準とする角度を
パラメータとして、前述の作動距離を表すと、第７図に
示すようになる。このため、あらかじめ前述の作動距離
を測定し、その値に基づいて測定値の補正を行なう必要
があった。ところが、この補正が面倒なうえ、どの方向
から接触したか分からない場合には、完全に補正するこ
とは難しく、測定精度を低下させていた。

（２）可動円柱体３と固定円柱体４との接合部は、電
気的な接点と接触子１の変位の支点とを兼用しており、
電気的なストレスと機械的なストレスが一箇所に集中す
るため、故障が多く、また寿命が短かった。

そこで、上記三点支持方式の接触検出装置の問題点を
解決したものとして、第８図に示すような装置が提案さ
れた。以下、これを説明する。

５は筐体である。この筐体５には、断面円形の内側面
6aと該内側面6aに直角な内端面6bと該内端面6bを形成す
る壁に設けられた開口部6cとを有するガイド６が設けら
れている。このガイド６の開口部6cの付近には、全体が
棒状で一端に球状部7aを有する接触子７に該接触子７の
軸線に直交して張出すように円板状の張出部８を設けて
なる接触体９が、張出部８がガイド６内に、接触子の球
状部7a側がガイド６の開口部6cより外部に突出するよう
に配置されている。また、筐体５には、接触子７の球状
部7aと反対側に位置して、その中心軸がガイド６の内側
面6aの中心軸に一致するようにして、丸棒状の移動体10
が、リニヤベアリング11により軸方向に移動自在に取り
付けられている。この移動体10と接触体９の間には球体
12が介装されている。さらに、筐体５には、移動体10を
接触体９の方向に押すことにより球体12を介して接触体
９の張出部８の端面をガイド６の内端面6bに押し付ける
ように、バネ13が取り付けられている。またさらに、筐
体５には、図示していないが、移動体10の移動を検出し
て信号を発するスイッチが設けられている。

ここで、接触体９の張出部８の外周面は円筒状で、そ
の外径は、ガイドの内径よりも小さい値になっており、
張出部８がガイド６の軸に対して直角になっている時
に、張出部８の外周面がガイド６の内側面6aに所定の隙
間をもって対向するようになっている。また、接触体９
の張出部８の形状と球体12に接する面の形状は、接触子
７の軸に対して軸対称になっており、移動体10の球体12
に接する面の形状は、ガイド６の軸に対して軸対称にな
っている。

そして、被測定物が接触子７に接触していない時に
は、前述のバネの付勢により、接触体９の張出部８の端
面は、ガイド６の内端面6bに円環状に接している。

今、接触子７の軸に直角な方向から、被測定物が接近
し、接触子７の球状部7aに接触すると、接触体９は、そ
の張出部８の端面において被測定物が接した側のみを残
して他の部分はガイド６の内端面6bから離れるようにし
て、回動する。これにより、移動体10は、球体12を介し
て、第８図において右側に移動させられる。この移動体
10の移動により、スイッチが信号を発し、被測定物の接
触子７への接触が検知される。

ここで、上記接触検出装置においては、接触子７の変
位量と移動体10の移動量の関係を決める構成要素の形状
は、被測定物が接触していない状態で、全てガイド６の
軸に軸対称になっているため、被測定物が接触子７に対
して直角方向に移動する場合には、接触子７の変位量と
移動体10の移動量の関係は、被測定物が接触子７に接近
する方向が変わっても一定である。このため、前述の作
動距離は被測定物が接触子７に接近する方向により異な
らない。

以上説明した、第８図に示す接触検出装置は、前述の
作動距離が方向により異ならず、電気的接点が機械的な
支点を兼用していないというもので、前述の三点支持方
式の装置の問題点を解決したすぐれたものであった。

「発明が解決しようとする課題」ところが、第８図に示す装置にも、以下に述べるよう
な、さらなる改善を要する問題点が有った。

すなわち、接触体９の張出部８の外周面は円筒状にな
っているため、接触体９を回動させるためには、前述の
ように、張出部８がガイド６の軸に対して直角になって
いる時に、張出部８の外周面とガイド６の内側面6aの間
に所定の隙間（以下、“設定隙間”と呼ぶ。）を設けな
ければならなかった。

そして、この設定隙間が大きいと、測定精度が低下す
るという欠点があった。というのは、接触体９の張出部
８の外周面とガイド６の内側面6aとの間の隙間が大きい
と、接触体９は、張出部８の端面がガイド６の内端面6b
に全体的に接した状態のまま、ガイド６の軸線に直交す
る方向に大きく動くことが可能になる。つまり、接触体
９の動く自由度が増すため、被測定物が接触した際の接
触体９の動きが一定せず、スイッチが信号を発する時の
被測定物の位置が測定の度に異なり、繰り返し精度が悪
くなるのである。

また、前記設定隙間を、接触体９が所定量回動可能な
程度に小さくすると、前記測定精度の低下は抑えられる
が、接触体９の張出部８がガイド６の内側面6aに食いつ
き、誤動作し易いという欠点があった。というのは、接
触体９の張出部８の外周面は円筒状になっているため、
張出部８がガイド６の軸に直角な方向に対して傾くと、
張出部８のガイド６の軸方向から見た外形は楕円状とな
り、張出部８はガイド６の内側面6aに、この楕円の長径
端部で略点接触する。例えば、第８図において矢印で示
す向きから被測定物が接触した場合には、張出部８の外
周はガイド６の内側面6aに、図においてその下端の一点
（符号Ａで示す）で接触する。つまり、接触体９を下方
に押そうとする力に対して、接触体９を支持するのは、
球体12を除き、この一箇所のみとなり、ここでの面圧が
高くなる。このため、接触体９の張出部８がガイド６の
内側面6aに、この箇所で食いつき等を生じ、被測定物が
接触子７から離れても接触体９がもとの位置に戻らず、
誤動作し易いのである。

本発明は上記従来の問題点に鑑みなされたものであっ
て、繰り返し精度が高く、摺動部において食いつき等が
生じ誤動作することが少ない接触検出装置を提供するこ
とを目的としている。

「課題を解決するための手段」本発明の接触検出装置は、断面円形の内側面と該内側
面に直角な平面状の内端面とを有するガイドが設けられ
た筐体と、棒状の接触子に該接触子の軸線に直交して張
出すように円板状の張出部を設けてなり、前記張出部が
前記ガイド内に配置され、前記接触子の一端部が前記筐
体の外部に突出するように配置された接触体と、前記接
触子の他端部側に前記ガイドの軸線方向に移動自在に配
置され、前記接触体の回動変位を受けて前記ガイドの軸
線方向に移動する移動体と、該移動体を前記接触子の方
向に押すことにより前記接触体の張出部の端面を前記ガ
イドの内端面に押し付ける付勢部材と、前記移動体の移
動を検知して信号を発するスイッチとを具備してなり、
被測定物が前記接触体の接触子に接触した時に、接触体
の変位に伴う前記移動体の直線移動を前記スイッチによ
り検出して被測定物と接触体との接触を検知するように
した接触検出装置であって、前記接触体の張出部の径方
向における外周面を前記ガイドの内側面に微少な隙間を
もって対向する球面としたことを特徴としている。

「作用」本発明の接触検出装置において、接触体は、被測定物
が接触子に接触することにより、その張出部の端面にお
いて被測定物が接した側のみを残して他の部分はガイド
の内端面から離れるようにして、回動する。これを受け
て、移動体は接触体と反対方向に移動する。この移動体
の移動により、スイッチが信号を発する。

そして、接触体に設けられた張出部の外周面は、ガイ
ドの内側面に微少な隙間をもって対向する球面となって
いるため、接触体の回動時に、ガイドの内側面に線接触
する。このため、接触体に設けられた張出部の外周面が
ガイドの内側面に接する部分の面圧は従来よりも小さく
なり、この箇所で食いつき等が生じ難い。

また、張出部の外周面とガイドの内側面との隙間は微
少であるため接触体の動きの自由度は少なく、接触体の
動きは一定しているため、繰り返し精度が高い。

さらに、接触体の張出部の端面が押し付けられるガイ
ドの内端面が平面状をなしているため、加工が容易であ
る。

加えて、接触体の張出部は円板状をなしており、回動
時に、その端面がガイドの平面状の内端面に、球面をな
す径方向における外周面が前記内端面に直角な内側面に
案内されるため、該回動時に内端面との接触位置が変化
することになる。

「実施例」以下、本発明の一実施例を第１図〜第３図により説明
する。

第１図において、14は筐体である。この筐体14の内部
にはガイド15が固定されている。このガイド15は、断面
円形の内側面15aと該内側面15aに直角な平面状の内端面
15bと該内端面15bを形成する壁に設けられた開口部15c
とを有し、ボルト16により筐体14に固定されている。こ
のガイド15の開口部15cの中心軸線上には、接触体17が
配設されている。接触体17は、全体が棒状で一端に球状
部18aを有する接触子18に、エアガイド19（その詳細は
後述する）を螺着させてネジ20により固定し、さらに接
触子18の軸線に直交して張出すような円板状の張出部21
aを有するロケータ21を取り付けてネジ22により固定し
てなるものである。この接触体17は、張出部21aがガイ
ド15内に、接触子18の球状部18a側がガイド15の開口部1
5cより外部に突出するように配置されている。

ここで、ロケータ21の張出部21aの径方向における外
周は、接触子18の中心軸線上にその中心Ｘを有し、その
直径ｄがガイド15の内径よりも僅かに小さい球面とされ
ている。このため、張出部21aの外周面Ｂは、ガイド15
の内側面15aに微少な隙間をもって全周にわたり対向し
ている。しかも、この状態は、張出部21aがガイド15の
軸に直角な方向に対して傾いても変わらない。また、ロ
ケータ21の張出部21aの、ガイド15の内端面15b側の端面
には、環状突起21bが、接触子18の軸を中心として円環
状に設けられている。さらに、ロケータ21の、接触子18
の球状部18aと反対側の端部には、接触子18の軸を中心
軸とする円錘状の端面21cを有する玉受部21dが形成され
ている。

また、筐体14には、接触子18の球状部18aと反対側
に、ガイド15の略中心軸線上に位置して、ロッド（移動
体）23が配設されている。ロッド23は、角柱状のロッド
本体部23aと、その一端に設けられ円錘状の端面23bを有
する玉受部23cよりなっている。このロッド23は、玉受
部23cの円錘状端面23bの中心軸がガイド15の軸に一致す
るように、第２図に示すように、ローラガイド24によ
り、軸方向に移動自在に取り付けられている。そして、
このロッド23の玉受部23cとロケータ21の玉受部21dとの
間には球体24aが介装されている。

また、筐体14には、ロッド23を貫通させるようにし
て、支持板25が、ボルト26により固定されている。そし
て、ロッド23のロッド本体部23aのロケータ21と反対側
の端部には、可動板27が固定されている。この支持板25
と可動板27との間には、支持板25に取り付けられたフッ
ク28と可動板27に螺着されたネジフック29との間に引っ
掛けて、引張バネ30が取り付けられている。このバネ30
は、ロッド23をロケータ21の方向に付勢すると共に、球
体24aを介してロケータ21を第１図中左方へ付勢し、ロ
ケータ21の張出部21aに形成された環状突起21bの端面を
ガイド15の内端面15bに押し付けるものである。

ここで、ネジフック29は、そのネジ込み量により引張
バネ30の伸び量を調整した後、ナット31により固定され
ている。

さらに、支持板25には、スイッチホルダー32が固定さ
れている。このスイッチホルダー32には、スイッチ33
が、その接触子33aが可動板27の方向に向くように螺着
され、ナット34により固定されている。そして、可動板
27のスイッチ33の接触子33aに対向する位置には、スイ
ッチドライブネジ35が螺着されている。このスイッチド
ライブネジ35は、前記張出部21aに形成された環状突起2
1bが、ガイド15の内端面15bに押し付けられ、この環状
突起21bが内端面15bに円環状に接するようにロッド23が
位置している時に、その先端がスイッチ33の接触子33a
に接触するように、そのネジ込み量を調整された後、ナ
ット36により固定されている。

また、筐体14内には、非接触式位置検出器37が設けら
れている。非接触式位置検出器37は、測定時間を短縮す
る目的で、被測定物の移動速度を制御するために設けら
れたもので、被測定物の移動速度を、被測定物が本装置
に近づいたときに低速度に制御するために設けられたも
のである。この非接触式位置検出器37は、発光素子と受
光素子を使い光の反射を利用したものである。この非接
触式位置検出器37は、第３図に示すように、筐体14内の
周縁部に四つ環状配置されている。また、筐体14には、
この非接触式位置検出器37の受発光部をそれぞれ覆うよ
うに位置させて、ガラス板38が四つ取り付けられてい
る。

また、この装置には、空気又は油分等を含んだ空気を
外部より導入し、これを適当箇所に分配する流体の流路
が設けられている。この流路は、空気又は油分等を含ん
だ空気を、接触子18又はガラス板38に適時吹き付けて、
これらに付着した切粉，切削油等の異物を除去するため
に設けられたものである。

まず、筐体14の外側面には、空気導入口39が形成され
ている。そして、筐体14内には、空気導入口39に連続す
るようにして、孔40が形成されている。また、筐体14に
は、孔40の端部に位置させて、プレーンエアガイド41が
螺着されている。プレーンエアガイド41は、内部に流通
孔42が、端部に円板状の張出部41aが形成され、この張
出部41aに連続する外周面を円錘状としたものである。
このプレーンエアガイド41は、その流通孔42が前記孔40
に連続するように配置されている。また、筐体14には、
前記プレーンエアガイド41に形成された円錘状の外周面
に僅かな隙間をもって対向する円錐面が形成され、この
円錘面と前記プレーンエアガイド41に形成された円錘状
の外周面とにより、絞り部43が形成されている。さら
に、プレーンエアガイド41の張出部41aと筐体14の間に
は、アークエアガイド44が介装されている。ここで、プ
レーンエアガイド41及びアークエアガイド44は、第３図
に示すように、それぞれガラス板38に隣接する位置に四
つ設けられている。

ガイド15が筐体14にボルト16により固定されている部
分には、ガイド15と筐体14との間に介在させるようにし
て、ラジアルエアガイド45が設けられている。そして、
筐体14には、孔40とラジアルエアガイド45内とに連続し
て、それらを接続するような位置に、孔46が形成されて
いる。ラジアルエアガイド45の内側でロケータ21を取り
巻く部分には、ベローズ47が設けられている。ベローズ
47はゴム等の材料より形成されたもので可撓性を有する
ものである。このベローズ47は、前記接触体17に設けら
れた流通路17aとラジアルエアガイド45内とを接続する
ように、ロケータ21とラジアルエアガイド45との間に取
り付けられている。

前記接触子18に螺着されたエアガイド19は、端部に円
環状の突起部19aを有し、この突起部19aに連続する内周
面を円錘状としたものである。そして、接触子18の外周
には、前記エアガイド19の突起部19aに連続する円錘状
の内周面に、僅かな隙間をもって対向する円錘面が形成
されており、この円錘面と前記エアガイド19の円錐状の
内周面とで絞り部48が形成されている。

また、接触体17がガイド15の開口部15cより突出する
部分には、開口部15cを覆うように、ゴムカバー49が設
けられている。ゴムカバー49は、筐体14内の装置の要部
に、切粉，切削油等の異物が侵入するのを防ぐものであ
る。このゴムカバー49は、ガイド15に、カバー押さえ50
とボルト51により固定されている。

つぎに、上記の構成からなる接触検出装置の動作につ
いて説明する。

今、被測定物が接触子18に接触していない時には、バ
ネ30の付勢により、ロケータ21の張出部21aの端面の環
状突起21bは、ガイド15の内端面15bに円環状に接してい
る。

そして、接触子18の軸線に直角な方向から、被測定物
が接近し、接触子18の球状部18aに接触すると、ロケー
タ21は、その張出部21aの端面の環状突起21bにおいて被
測定物が接した側のみを残して他の部分はガイド15の内
端面15bから離れるようにして、回動する。これによ
り、ロッド23は、球体24aを介して、第１図において右
側に移動させられる。このロッド23の移動により、スイ
ッチドライブネジ35は、スイッチ33の接触子33aから離
れ、スイッチ33が信号を発し、被測定物の接触子18への
接触が検知される。

この時、ロケータ21の張出部21aは、ガイドの軸に直
角な方向に対して傾くが、張出部21aの外周は前述のよ
うな球面となっているため、張出部21aのガイド15の軸
方向から見た外形は、やはり円形のままである。このた
め、被測定物が接触体17を押す力に対して接触体17を支
持するのは、球体24aと、ガイド15の内側面15aにおいて
被測定物が接触したのと反対側の半円周となる。つま
り、ガイド15の内側面15aは前記張出部21aを、線接触で
受けることになる。このため、この装置は従来のものに
比べ、前記張出部21aがガイド15の内側面15aに、この箇
所で食いつき難く、誤動作することが少ない。

また、前記張出部21aの外周面Ｂとガイド15の内側面1
5aとの隙間は微少であるため、接触体17の動きは略回動
のみであり、接触体17の動きは一定しているため、繰り
返し精度が高い。

さらに、接触体17の変位量とロッド23の移動量の関係
を決める構成要素の形状は、被測定物が接触していない
状態で、全てガイド15の軸に軸対称になっている。した
がって、被測定物が接触子18の軸線に対して直交する方
向から接近する場合には、接触体17の変位量とロッド23
の移動量の関係は、被測定物が接触子18に接近する方向
が変わっても一定である。このため、前述の作動距離
（接触が検知されるまでに被測定物が移動する距離）は
被測定物が接触子18に接近する方向により異ならない。

一方、上記の動作において、空気導入口39からは、適
時空気等が送り込まれる。この空気等は孔40によりプレ
ーンエアガイド41の流通孔42に流入するものと、孔46に
より孔40より分岐してラジアルエアガイド45に流入する
ものとの二系統に分かれる。そして、前者の空気等は、
絞り部43より流出して、プレーンエアガイド41の張出部
41aとアークエアガイド44とにより方向を決められて、
ガラス板38に向かう。また、後者の空気等は、ベローズ
47を経由して、接触体17の流通路17aを通り、絞り部48
より流出し、エアガイド19の突起部19aにより方向を決
められて、接触子18の球状部18aに向かう。これによ
り、接触子18の球状部18a又はガラス板38に付着した切
粉，切削油等の異物は、空気等により適時吹き飛ばさ
れ、除去される。したがって、接触子18と被測定物の間
に異物が噛み込んで、測定不良となったり、ガラス板38
に付着した異物が、前記非接触式位置検出器37の受発光
部をさえぎってしまい、前記非接触式位置検出器37が誤
動作を起こしたりすることがない。

なお、本実施例においては、接触子18の先端を球状と
したが、例えばドリル等の切削工具の長さを計る場合に
は、先端がとがっているため、これを接触させる際の位
置ずれやすべりにより、測定誤差が生じる可能性があ
る。このような時には、接触子18の先端を立方体状とし
ても良い。

なおまた、以上の説明においては、本実施例の接触検
出装置は、工作機械等のボデイ等に筐体14を固定して取
り付け、被測定物が工作機械の主軸等に取り付けられて
移動する場合を想定している。しかし、本実施例の接触
検出装置は、工作機械の自動工具交換に用いるシャンク
等を筐体14に固定し、これにより工作機械の主軸等に取
り付けられ、静止した被測定物に対して移動させて用い
られても良い。

「発明の効果」本発明の接触検出装置は、作動時に、ガイドの内側面
は接触体の張出部を、線接触で受ける。このため、従来
に比べ、前記張出部がガイドの内側面に、この箇所で食
いつき難く、誤動作することが少ないという効果があ
る。

また、接触体の張出部とガイドの内側面との隙間は微
少であるため接触体の動きの自由度が少なく、接触体の
動きは一定しているため、繰り返し精度が高い。

さらに、接触体の張出部の端面が押し付けられるガイ
ドの内端面が平面状をなしているため、加工が容易であ
り、よって、コストを低減することができる。

加えて、接触体の張出部は円板状をなしており、回動
時に、その端面がガイドの平面状の内端面に、球面をな
す径方向における外周面が前記内端面に直角な内側面に
案内されるため、該回動時に内端面の張出部との接触位
置が変化することになり、よって、内端面に生じる摩耗
を低減できる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は本発明の実施例を示す図であって、第
１図は接触検出装置の主要部の断面図、第２図は第１図
のII−II断面視図、第３図は第１図のIII矢視図であ
る。第４図〜第８図は、従来の接触検出装置を説明するもの
である。第４図は第一の従来の接触検出装置を示す図、
第５図は第４図のＶ矢視図、第６図は第一の従来の接触
検出装置の電気回路図、第７図は第一の従来の接触検出
装置の特性を示す図である。また、第８図は第二の従来
の接触検出装置を示す図である。 14……筐体、15……ガイド、 15a……内側面、15b……内端面、 17……接触体、18……接触子、 21a……張出部、23……移動体（ロッド）、 30……付勢部材（引張バネ）、33……スイッチ。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】断面円形の内側面と該内側面に直角な平面
状の内端面とを有するガイドが設けられた筐体と、棒状
の接触子に該接触子の軸線に直交して張出すように円板
状の張出部を設けてなり、前記張出部が前記ガイド内に
配置され、前記接触子の一端部が前記筐体の外部に突出
するように配置された接触体と、前記接触子の他端部側
に前記ガイドの軸線方向に移動自在に配置され、前記接
触体の回動変位を受けて前記ガイドの軸線方向に移動す
る移動体と、該移動体を前記接触子の方向に押すことに
より前記接触体の張出部の端面を前記ガイドの内端面に
押し付ける付勢部材と、前記移動体の移動を検知して信
号を発するスイッチとを具備してなり、被測定物が前記
接触体の接触子に接触した時に、接触体の変位に伴う前
記移動体の直線移動を前記スイッチにより検出して被測
定物と接触体との接触を検知するようにした接触検出装
置であって、前記接触体の張出部の径方向における外周
面を前記ガイドの内側面に微少な隙間をもって対向する
球面としたことを特徴とする接触検出装置。