JPS619604A - 誘電体多層膜フイルタ - Google Patents
誘電体多層膜フイルタInfo
- Publication number
- JPS619604A JPS619604A JP12969784A JP12969784A JPS619604A JP S619604 A JPS619604 A JP S619604A JP 12969784 A JP12969784 A JP 12969784A JP 12969784 A JP12969784 A JP 12969784A JP S619604 A JPS619604 A JP S619604A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refractive index
- cavity layer
- dielectric thin
- dielectric
- titanium dioxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は波長多重伝送を可能にる、光フアイバ分波器や
、多色光のスペクトル分析に用いる分光器などに使用さ
れる、波長選択性に優れた誘電体多層膜フィルタに関る
、もので、二酸化チタンやフッ化マグネシウムなどの屈
折率の異なる誘電体薄膜を交互に繰り返し積−し、その
中間に、上記屈折率のあいだの値を採る屈折率の誘電体
薄膜を介在してキャビティ層（共振層）を形成し、或い
はこの積層ユニットを複数積み重ねたものである。
、多色光のスペクトル分析に用いる分光器などに使用さ
れる、波長選択性に優れた誘電体多層膜フィルタに関る
、もので、二酸化チタンやフッ化マグネシウムなどの屈
折率の異なる誘電体薄膜を交互に繰り返し積−し、その
中間に、上記屈折率のあいだの値を採る屈折率の誘電体
薄膜を介在してキャビティ層（共振層）を形成し、或い
はこの積層ユニットを複数積み重ねたものである。
屈折率の異なる二つの誘電体を透過波長の２程度の光学
膜厚（ＮＡ折率×厚さ）にして平行度よく交互に積み重
ね、その中間の共振層（・キャビティ層）として上配交
互層の誘電体を採用し、光学膜厚が透過波長の半分の整
数倍の薄膜にしたものや、これらの積層ユニットを複数
積み重ねたものがバンドパスフィルタとして採用されて
いる。これらの透過波長帯域は、交互層の二つの誘電体
の屈折率、交互層の層数、キャビティ層を形成る、膜厚
の整数倍率に依存る、もので次のような欠点がある。
膜厚（ＮＡ折率×厚さ）にして平行度よく交互に積み重
ね、その中間の共振層（・キャビティ層）として上配交
互層の誘電体を採用し、光学膜厚が透過波長の半分の整
数倍の薄膜にしたものや、これらの積層ユニットを複数
積み重ねたものがバンドパスフィルタとして採用されて
いる。これらの透過波長帯域は、交互層の二つの誘電体
の屈折率、交互層の層数、キャビティ層を形成る、膜厚
の整数倍率に依存る、もので次のような欠点がある。
（イ）、入射光線に対して傾けて使用る、ときに、入射
光線の偏波成分、つ捷り、Ｓ波とＰ波に対る、透過波長
値にずれを生じ、透過波長帯域特性の劣化と透過光の減
少を伴なう。
光線の偏波成分、つ捷り、Ｓ波とＰ波に対る、透過波長
値にずれを生じ、透過波長帯域特性の劣化と透過光の減
少を伴なう。
（ロ）６波長多重伝送の光フアイバ分波器になどに要求
される透過波長帯域の多様性に充分答えることはできな
い。
される透過波長帯域の多様性に充分答えることはできな
い。
本発明は、キャビティ層に、交互に績み重ねる誘電体薄
膜の屈折率のあいだの屈折率を有る、誘電体を採用る、
ことで、透過波長帯域の幅を僅かづつ変化させたバンド
パスフィルタを提供し、併せて、入射角度の変化に対し
て減衰やひずみの少ない通過帯域特性を発揮る、バンド
パスフィルタをも提供る、もので、以下図面や表に基づ
いて詳しく説明る、み 表（１）に示すように３００°Ｃに加熱したガラス基板
（Ｇ）上に、屈折率が２．２５の二酸化チタンを光学膜
厚（ｎＸｄ）が２１７．５層ｍの薄膜として真空蒸着し
、その上に屈折率が１６８のフッ化マグネシウムを同じ
光学膜厚の薄膜として同じように真空蒸着る、。透過光
の波長の書が光学膜厚になり、透過しようとる、波長が
異なれば光学膜厚はそれに応じて異なる。二酸化チタン
とフッ化マグネシウムからなる誘電体薄膜を交互に繰り
返し１１重積層し、生膜順序が中間の１２査目であるキ
ャビティ層の時は、屈折率が２２５と１６８のあいたで
あるフッ化セリウム（屈折率は１５８）を光学膜厚が４
３５層ｍの薄膜として蒸着る、。キャビティ層の光学膜
厚は、透過波長の才の整数倍である。このキャビティ層
に二酸化チタンとフン化マグネシウムを同じように交互
に繰り返し積層して合計２６層の誘電体薄膜を形成る、
。中間のキャビティ層に対して上下の繰り返し層は対称
関係にある。
膜の屈折率のあいだの屈折率を有る、誘電体を採用る、
ことで、透過波長帯域の幅を僅かづつ変化させたバンド
パスフィルタを提供し、併せて、入射角度の変化に対し
て減衰やひずみの少ない通過帯域特性を発揮る、バンド
パスフィルタをも提供る、もので、以下図面や表に基づ
いて詳しく説明る、み 表（１）に示すように３００°Ｃに加熱したガラス基板
（Ｇ）上に、屈折率が２．２５の二酸化チタンを光学膜
厚（ｎＸｄ）が２１７．５層ｍの薄膜として真空蒸着し
、その上に屈折率が１６８のフッ化マグネシウムを同じ
光学膜厚の薄膜として同じように真空蒸着る、。透過光
の波長の書が光学膜厚になり、透過しようとる、波長が
異なれば光学膜厚はそれに応じて異なる。二酸化チタン
とフッ化マグネシウムからなる誘電体薄膜を交互に繰り
返し１１重積層し、生膜順序が中間の１２査目であるキ
ャビティ層の時は、屈折率が２２５と１６８のあいたで
あるフッ化セリウム（屈折率は１５８）を光学膜厚が４
３５層ｍの薄膜として蒸着る、。キャビティ層の光学膜
厚は、透過波長の才の整数倍である。このキャビティ層
に二酸化チタンとフン化マグネシウムを同じように交互
に繰り返し積層して合計２６層の誘電体薄膜を形成る、
。中間のキャビティ層に対して上下の繰り返し層は対称
関係にある。
表（１）
］ 生膜順序 物 質 屈折率（ｒ］）光学膜厚
（ｎＸｄ） ：。
（ｎＸｄ） ：。
１ 二酸化チタン ２．２５ ２１７．５層
ｍ生膜順序 物 質 屈折率（ｎ）光学膜
厚（ｎＸｄ）２ 連化マグネシウム １．３８
２１７．５層ｍ６ 二酸化チタン
／／４ 連化マグネンウム
１１５ 二酸化チタン
〃６ 連化マグネノウム
〃７ 二酸化チタン
／／８ 連化マグネシウム
／／９ 二酸化チタン
ｌ／１０ 連化マグネシウム
７１１１ 二酸化チタン ２２５
〃ふ１２ 沸化セリウム １５８
４ろ５ ｎｍ１５ 二酸化チタン ２．２
５ ２１７．５層ｍ１４ 連化マグネシウム
１６８ 〃１５ 二酸化チタン
ｌ／１６ 連化マグネシウム
〃１７ 二酸化チタン
ｌ／１８ 連化マグネシウ
ム 〃１９ 二酸化チタン
ｌ／２０ 連化マグネシウ
ム 、 １１２１ 二酸化チタン
〃２２ ｓ化マクネシウ
ム ２３ 二酸化チタン 〃こ
の誘電体多層膜フィルタを第１図のように入射光線に対
して逐−傾むけて分光器で測定した結果が第２図であり
、入射角度（ｅ）が０°；１５．２７°、２１．７５・
、２６．８５・、５１２５°、 ３５．２５′：、３８
．９７％ ４２．５３−そして４５９５°と変化した時
の尖頭スペクトル曲線が右側より順番に並んでいる。透
過帯域特性の劣化や透過光の減少のない優れた分光特注
を有る、ことが解かる。キャビティ層に交互積層と同じ
屈折率の誘電体を採用した従来のフィルタは、入射角度
が大きくなるにつれて透過率は低下し尖端が２分される
が、本発明のキャビティ層に交互積層の屈折率のあいた
の屈折率を有る、誘電体の共振作用により減衰やひずみ
のない安定した透過光スペクトルが得られる。
ｍ生膜順序 物 質 屈折率（ｎ）光学膜
厚（ｎＸｄ）２ 連化マグネシウム １．３８
２１７．５層ｍ６ 二酸化チタン
／／４ 連化マグネンウム
１１５ 二酸化チタン
〃６ 連化マグネノウム
〃７ 二酸化チタン
／／８ 連化マグネシウム
／／９ 二酸化チタン
ｌ／１０ 連化マグネシウム
７１１１ 二酸化チタン ２２５
〃ふ１２ 沸化セリウム １５８
４ろ５ ｎｍ１５ 二酸化チタン ２．２
５ ２１７．５層ｍ１４ 連化マグネシウム
１６８ 〃１５ 二酸化チタン
ｌ／１６ 連化マグネシウム
〃１７ 二酸化チタン
ｌ／１８ 連化マグネシウ
ム 〃１９ 二酸化チタン
ｌ／２０ 連化マグネシウ
ム 、 １１２１ 二酸化チタン
〃２２ ｓ化マクネシウ
ム ２３ 二酸化チタン 〃こ
の誘電体多層膜フィルタを第１図のように入射光線に対
して逐−傾むけて分光器で測定した結果が第２図であり
、入射角度（ｅ）が０°；１５．２７°、２１．７５・
、２６．８５・、５１２５°、 ３５．２５′：、３８
．９７％ ４２．５３−そして４５９５°と変化した時
の尖頭スペクトル曲線が右側より順番に並んでいる。透
過帯域特性の劣化や透過光の減少のない優れた分光特注
を有る、ことが解かる。キャビティ層に交互積層と同じ
屈折率の誘電体を採用した従来のフィルタは、入射角度
が大きくなるにつれて透過率は低下し尖端が２分される
が、本発明のキャビティ層に交互積層の屈折率のあいた
の屈折率を有る、誘電体の共振作用により減衰やひずみ
のない安定した透過光スペクトルが得られる。
次に透過光帯域の幅を僅がっつ変化させる実施例につい
て説明る、。まず、表（２）の誘電体多層膜フィルタは
周知のもので、又互層に二酸化チタンとフッ化マグネシ
ウムを採用し、この光学膜厚を２Ｃ１５ｎｍにし、中間
のキャビティ層に光学膜厚が４１０層ｍのフッ化マグネ
シウムを採用した７層の積層ユニットを三つ積み１ねた
もので・生膜ｊ−序の８査と１６査のフッ化マクィ、シ
ウムは仲介層である。このフィルタの透過波長帯域曲線
を分光器で測定る、と第３図のスペクトル（Ａ）かえら
れる。
て説明る、。まず、表（２）の誘電体多層膜フィルタは
周知のもので、又互層に二酸化チタンとフッ化マグネシ
ウムを採用し、この光学膜厚を２Ｃ１５ｎｍにし、中間
のキャビティ層に光学膜厚が４１０層ｍのフッ化マグネ
シウムを採用した７層の積層ユニットを三つ積み１ねた
もので・生膜ｊ−序の８査と１６査のフッ化マクィ、シ
ウムは仲介層である。このフィルタの透過波長帯域曲線
を分光器で測定る、と第３図のスペクトル（Ａ）かえら
れる。
表（２）
生膜順序 物 質 屈折率（ｎ） 光
学膜厚（ｎｄ）１Ｔ、０２’ ２．２５
２０５ｎｍ２ ＭｇＦ２
１３８ ２０５ｎｍ３ Ｔｉ
○２１１ ■ ＭｇＦ２ ４ ｉ
０ｎｍ５ Ｔｉ ０２
２０５ｎｍ６
Ｍｇ Ｆ２
ｔｔ７ Ｔｉ ０２
／／８ ’
Ｍｇ Ｆ２
ｌ１９ Ｔｉ ○２
〃１ ０
Ｍｇ Ｆ２
ｎｌ １ Ｔｉ ０２
ｔｔＯＭｇ Ｆ２
４１０ｎｍ１３ Ｔｉ ○
２ ２０５ｎｍ１ ４
Ｍｇ Ｆ２
ｕｌ ５ Ｔｉ ０
２ ／／１
６ Ｍｇ Ｆ２
ｕｌ ７ Ｔｉ
０２ ／／１
８ Ｍｇ Ｆ２
ｌ１１ ９ Ｔｉ ０２
ｔｔＱ
Ｍｇ Ｆ２ ４１０ ｎｍ２１
Ｔ１０２ ２０
５ｎｍ生膜順序 物 質 屈折率（ｎ）
光学膜厚（ｎｄ）２２ １ｔ％ Ｆ２２
０５ｎｍ２６ ＴｌＯ２〃 このスペクトル（Ａ）の帯域幅から３ｎｍ程度の単位で
帯域幅を広ける（狭める）など変化させるフィルタは従
来ないが、本発明はこれを可能にすべくキャビティ層に
交互層の屈折率のあいだの屈折率を有る、誘電体を採用
したもので、具体的には屈折率が１６のアルミナ、屈折
率が１９の一酸化ケイ素、屈折率が２１の二酸化ジルコ
ンを採用して分光器で測定した。
学膜厚（ｎｄ）１Ｔ、０２’ ２．２５
２０５ｎｍ２ ＭｇＦ２
１３８ ２０５ｎｍ３ Ｔｉ
○２１１ ■ ＭｇＦ２ ４ ｉ
０ｎｍ５ Ｔｉ ０２
２０５ｎｍ６
Ｍｇ Ｆ２
ｔｔ７ Ｔｉ ０２
／／８ ’
Ｍｇ Ｆ２
ｌ１９ Ｔｉ ○２
〃１ ０
Ｍｇ Ｆ２
ｎｌ １ Ｔｉ ０２
ｔｔＯＭｇ Ｆ２
４１０ｎｍ１３ Ｔｉ ○
２ ２０５ｎｍ１ ４
Ｍｇ Ｆ２
ｕｌ ５ Ｔｉ ０
２ ／／１
６ Ｍｇ Ｆ２
ｕｌ ７ Ｔｉ
０２ ／／１
８ Ｍｇ Ｆ２
ｌ１１ ９ Ｔｉ ０２
ｔｔＱ
Ｍｇ Ｆ２ ４１０ ｎｍ２１
Ｔ１０２ ２０
５ｎｍ生膜順序 物 質 屈折率（ｎ）
光学膜厚（ｎｄ）２２ １ｔ％ Ｆ２２
０５ｎｍ２６ ＴｌＯ２〃 このスペクトル（Ａ）の帯域幅から３ｎｍ程度の単位で
帯域幅を広ける（狭める）など変化させるフィルタは従
来ないが、本発明はこれを可能にすべくキャビティ層に
交互層の屈折率のあいだの屈折率を有る、誘電体を採用
したもので、具体的には屈折率が１６のアルミナ、屈折
率が１９の一酸化ケイ素、屈折率が２１の二酸化ジルコ
ンを採用して分光器で測定した。
表（３）の実施例（キャビティ層にアルミナ）真空蒸着
により加熱したガラス基板（Ｇ）上に、才す光学膜厚が
２０５旧の二酸化チタン、同じ光学膜厚のフッ化マグネ
シウム、その上に二酸化チタンと平行朋良く積層し、そ
の上にキャビティ層として屈折率が１６のアルミナを光
学膜厚を４１０ｎｍにして積層る、。キャビティ層の光
学膜厚は透過波長の半分の整数倍である。
により加熱したガラス基板（Ｇ）上に、才す光学膜厚が
２０５旧の二酸化チタン、同じ光学膜厚のフッ化マグネ
シウム、その上に二酸化チタンと平行朋良く積層し、そ
の上にキャビティ層として屈折率が１６のアルミナを光
学膜厚を４１０ｎｍにして積層る、。キャビティ層の光
学膜厚は透過波長の半分の整数倍である。
因みに交互に積層る、二酸化チタンとフッ化マグネシウ
ムの光学膜厚は、透過波長のにである。この生膜順序が
４査目のキャビティ層の上に二酸化チタン、フッ化マグ
ネシウムそして二酸化チタンと同じように交互に繰９返
し積層ユニットを形成る、。キャビティ層の両側に三層
を夫々積層して単一の積層ユニットを形成る、。この積
層ユニットを三つ重ねて誘電体多層膜フィルタを構成る
、。生膜順序が８査目と１６番目のフン化マグネシウム
は仲介層である。このフィルタの透過光スペクトルは第
３図のスペクトル（Ｂ）であり、透過光帯域の幅は２〜
３ｎｍ程変化している。中間の屈折率を採用したキャビ
ティ層の共振作用による。
ムの光学膜厚は、透過波長のにである。この生膜順序が
４査目のキャビティ層の上に二酸化チタン、フッ化マグ
ネシウムそして二酸化チタンと同じように交互に繰９返
し積層ユニットを形成る、。キャビティ層の両側に三層
を夫々積層して単一の積層ユニットを形成る、。この積
層ユニットを三つ重ねて誘電体多層膜フィルタを構成る
、。生膜順序が８査目と１６番目のフン化マグネシウム
は仲介層である。このフィルタの透過光スペクトルは第
３図のスペクトル（Ｂ）であり、透過光帯域の幅は２〜
３ｎｍ程変化している。中間の屈折率を採用したキャビ
ティ層の共振作用による。
表（３）
生膜順序 物 質 屈折率（ｎ） 光
学膜厚（ｎｄ）１ 、 Ｔ４ ０２
２．２５ ２０５ｎｍ２ＭｇＦ２１．
３８ ７／ ３ ’ｒｉ０２
／／■ Ａ Ｑ、Ｏｌｓ ’
Ｌ６ ４ ’ｌ Ｏｎｔｂ５ 、
Ｔ４０２ ２０５ｎｍ
６ ＭｇＦ２
／／７ ＴｌＯ２ｔｔ ８ ＭｇＦ２ “’
ＴｉＱ！’
ｔｔｌｏ ’ ＭｇＦ２
、 ／／１１ ＴｌＯ２ｔｔ 生膜順序 物 質 屈折率（ｎ）
光学膜厚（ｎｄ）ＯＡＱ＝０３ １．６
４１０ ｎｍ１３ ＴｌＯ２２０５ｎｍ １４ Ｍｇ応
ｌ／１５ ＴｌＯ２／／ ’ ６ Ｍｇ Ｆ２
ｔｔｌ ７ ’Ｔ４ Ｑ２
／／１８ Ｍｇ
Ｆ２ ／／１９
Ｔ１Ｑ２ ／１
０ＡＪ？、 ０． １．６ ４１０ ｎｍ２
１ Ｔ、０２
ｔｔ２２ ＭｇＦ２
ｔｔ２３ ＴｌＯ２７７ 表（４）の実施例（キャビティ層に一酸化ケイ素）生膜
順序が４．１２．２００番目キャビティ層に屈折率が１
９の一酸化ケイ素を採用したもので、交互に積層る、二
酸化チタンやフッ化マグネシウムの積層順序、光学膜厚
などは表（３）の実施例と同じである。この誘電体多層
フィルタの透過波長帯域は第３図のスペクトル（Ｃ）で
あり、前記スペクトル（Ｂ）より２〜５ｎｍ程度変化し
ていヘスベクトル（Ｃ）の僅かなシフト（広狭っはキャ
ビティ層の屈折率を二酸化チタンとフッ化マグネシウム
のあいだに採ったことによる共振作用による。
学膜厚（ｎｄ）１ 、 Ｔ４ ０２
２．２５ ２０５ｎｍ２ＭｇＦ２１．
３８ ７／ ３ ’ｒｉ０２
／／■ Ａ Ｑ、Ｏｌｓ ’
Ｌ６ ４ ’ｌ Ｏｎｔｂ５ 、
Ｔ４０２ ２０５ｎｍ
６ ＭｇＦ２
／／７ ＴｌＯ２ｔｔ ８ ＭｇＦ２ “’
ＴｉＱ！’
ｔｔｌｏ ’ ＭｇＦ２
、 ／／１１ ＴｌＯ２ｔｔ 生膜順序 物 質 屈折率（ｎ）
光学膜厚（ｎｄ）ＯＡＱ＝０３ １．６
４１０ ｎｍ１３ ＴｌＯ２２０５ｎｍ １４ Ｍｇ応
ｌ／１５ ＴｌＯ２／／ ’ ６ Ｍｇ Ｆ２
ｔｔｌ ７ ’Ｔ４ Ｑ２
／／１８ Ｍｇ
Ｆ２ ／／１９
Ｔ１Ｑ２ ／１
０ＡＪ？、 ０． １．６ ４１０ ｎｍ２
１ Ｔ、０２
ｔｔ２２ ＭｇＦ２
ｔｔ２３ ＴｌＯ２７７ 表（４）の実施例（キャビティ層に一酸化ケイ素）生膜
順序が４．１２．２００番目キャビティ層に屈折率が１
９の一酸化ケイ素を採用したもので、交互に積層る、二
酸化チタンやフッ化マグネシウムの積層順序、光学膜厚
などは表（３）の実施例と同じである。この誘電体多層
フィルタの透過波長帯域は第３図のスペクトル（Ｃ）で
あり、前記スペクトル（Ｂ）より２〜５ｎｍ程度変化し
ていヘスベクトル（Ｃ）の僅かなシフト（広狭っはキャ
ビティ層の屈折率を二酸化チタンとフッ化マグネシウム
のあいだに採ったことによる共振作用による。
表（４）
生膜順序 物 質 屈折率（ｎ） 光学膜
厚（耐）Ｉ ＴｌＯ２２，２５’ ２０
５ｎｍ２ Ｍ Ｆ １
．３８ ２０５ｎｍ３ ＴｌＯ２
ｕ ■ Ｓ、ｏ ｉ、９ ４１０
ｎｍ５Ｔｉ ０２ ２０５ｎｍ６
ＭｇＦ２１１ ７ Ｔｉ ０２１１ ８ＭｇＦ２１１ ９ Ｔｉ ｏ、。
厚（耐）Ｉ ＴｌＯ２２，２５’ ２０
５ｎｍ２ Ｍ Ｆ １
．３８ ２０５ｎｍ３ ＴｌＯ２
ｕ ■ Ｓ、ｏ ｉ、９ ４１０
ｎｍ５Ｔｉ ０２ ２０５ｎｍ６
ＭｇＦ２１１ ７ Ｔｉ ０２１１ ８ＭｇＦ２１１ ９ Ｔｉ ｏ、。
１０ Ｍｇ Ｆ２
／／１ １ Ｔｉ ｏ２
“０３ｉＯ１，９４１ｏｎｍ ” Ｔｉ ０２ ２０５
ｎｍ１４ ＭｇＦ２
“１ ５ ＴｌＯ２ｔｔ ｌ６ 、ＭｇＦ２ ｔ
ｔｌ・７ Ｔ１０゜
ｔｔｌ８ ＭｇＦ２
、ｔｔｌ ９ ＴｌＯ２／／ Ｑ Ｓ１０ １．９ ４１０ｎｍ２
１ Ｆ４０２ ２０５
ｎｍ２２ Ｍｇ Ｆ２
ｕ２３ Ｆ４ ０２
ｔｔ夕（５）の実施例（キャビテ
ィ層に二酸化ジルコン）生膜順序が４．１’２．２０番
目のキャビティ層に屈折率が２１ の二酸化ジルコン
を採用したもので、交互に積層る、二酸化チタンやフッ
化マグネシウムの積層順序、光学膜厚などは表（３）の
実施例と同じである。この誘電体多層フィルタの透過波
長帯域は第３図のスペクトル（Ｄ）でスペクトル（Ｂ）
、（Ｃ）と同じように僅かに変化してい乙。
／／１ １ Ｔｉ ｏ２
“０３ｉＯ１，９４１ｏｎｍ ” Ｔｉ ０２ ２０５
ｎｍ１４ ＭｇＦ２
“１ ５ ＴｌＯ２ｔｔ ｌ６ 、ＭｇＦ２ ｔ
ｔｌ・７ Ｔ１０゜
ｔｔｌ８ ＭｇＦ２
、ｔｔｌ ９ ＴｌＯ２／／ Ｑ Ｓ１０ １．９ ４１０ｎｍ２
１ Ｆ４０２ ２０５
ｎｍ２２ Ｍｇ Ｆ２
ｕ２３ Ｆ４ ０２
ｔｔ夕（５）の実施例（キャビテ
ィ層に二酸化ジルコン）生膜順序が４．１’２．２０番
目のキャビティ層に屈折率が２１ の二酸化ジルコン
を採用したもので、交互に積層る、二酸化チタンやフッ
化マグネシウムの積層順序、光学膜厚などは表（３）の
実施例と同じである。この誘電体多層フィルタの透過波
長帯域は第３図のスペクトル（Ｄ）でスペクトル（Ｂ）
、（Ｃ）と同じように僅かに変化してい乙。
表（５）
生膜順序 物 質 屈折率（ｎ）
光学膜厚（ｎｄ）Ｉ Ｔｉ ０．
２．２５ ２０５ｎｍ２ Ｍｓ Ｆ
、 １３８ ２０５ｎｍ３
Ｔｉｅ、 ／／（ｊ）
Ｚ）０ ２．
２．１ ４１
０ｎｍ５ Ｔ１−０．
２０５ｎｍ６ Ｍ＞Ｆ、
“７ ＴｉｅＬ
／／８’
Ｍ＞Ｆ−“ ９ Ｔに入
〃１０ ＭｙＦ、
ｔｔｌｌ Ｔｏｏ、
／１０Ｚ、 ０．
２．１ ４１０ｎｍ生膜順序 物 質
屈折率（Ｆ１）光学膜厚（ｎｄ）１３ Ｆ
４０２ ２０５ｎｍ１４ １
幅Ｆ２ ／／１５Ｔ、０２
〃１６ ｋ％ Ｆ２
／／１７ ＴｌＯ２
ｔｔ ’１８ ′ＭｇＦ２
ｔｔ１９ ＴｌＯ２〃 Ｏ２ｒｏ２２１４１ｏｎｍ ２１ ＴｌＯ２２０５ｎｍ 透過波長帯域の異なる誘電体多層フィルタは、交互に積
み重ねる層やキャビティ層の光学膜厚を異にすれば得ら
れるので、表（２）〜（５）のフィルタの透過波長帯域
（スペクトル（Ａ）〜蹴）のように僅かに変化した帯域
特性を有る、フィルタを多数形成できることになる。光
フアイバ分波器は波長多ｌ伝送への適用が期待されてお
り、多様化した透過波長帯域のフィルタが必要である。
光学膜厚（ｎｄ）Ｉ Ｔｉ ０．
２．２５ ２０５ｎｍ２ Ｍｓ Ｆ
、 １３８ ２０５ｎｍ３
Ｔｉｅ、 ／／（ｊ）
Ｚ）０ ２．
２．１ ４１
０ｎｍ５ Ｔ１−０．
２０５ｎｍ６ Ｍ＞Ｆ、
“７ ＴｉｅＬ
／／８’
Ｍ＞Ｆ−“ ９ Ｔに入
〃１０ ＭｙＦ、
ｔｔｌｌ Ｔｏｏ、
／１０Ｚ、 ０．
２．１ ４１０ｎｍ生膜順序 物 質
屈折率（Ｆ１）光学膜厚（ｎｄ）１３ Ｆ
４０２ ２０５ｎｍ１４ １
幅Ｆ２ ／／１５Ｔ、０２
〃１６ ｋ％ Ｆ２
／／１７ ＴｌＯ２
ｔｔ ’１８ ′ＭｇＦ２
ｔｔ１９ ＴｌＯ２〃 Ｏ２ｒｏ２２１４１ｏｎｍ ２１ ＴｌＯ２２０５ｎｍ 透過波長帯域の異なる誘電体多層フィルタは、交互に積
み重ねる層やキャビティ層の光学膜厚を異にすれば得ら
れるので、表（２）〜（５）のフィルタの透過波長帯域
（スペクトル（Ａ）〜蹴）のように僅かに変化した帯域
特性を有る、フィルタを多数形成できることになる。光
フアイバ分波器は波長多ｌ伝送への適用が期待されてお
り、多様化した透過波長帯域のフィルタが必要である。
２〜３ｎｍ単位で異なった透過波長帯域の本発明のフィ
ルタは正にこの要望に答えるものである。
ルタは正にこの要望に答えるものである。
以上、表（１）、（３）、（４）、（５）の実施例につ
いて説明したが、キャビティ層として、フッ化セリウム
、アルミナ＝Ｖ化ジルコンに限定されるものでなく、交
互に積み重ねる誘電体の屈折率の上限と下限（上限と下
限は含まず）のあいだにある屈折率を有る、誘電体であ
れは良い。これによりキャビティ層の共振作用が有効に
発揮され、透過波長帯域の多様化と、入射角度の変化に
影響されない分光特性を呈る、。
いて説明したが、キャビティ層として、フッ化セリウム
、アルミナ＝Ｖ化ジルコンに限定されるものでなく、交
互に積み重ねる誘電体の屈折率の上限と下限（上限と下
限は含まず）のあいだにある屈折率を有る、誘電体であ
れは良い。これによりキャビティ層の共振作用が有効に
発揮され、透過波長帯域の多様化と、入射角度の変化に
影響されない分光特性を呈る、。
要る、に本発明は、屈折率の異なる誘電体薄膜を交互に
繰り返し積層し、その中間に介在る、キャビティ層を、
この誘電体薄膜の屈折率のあいだの値を採る屈折率の誘
電体薄膜で形成したため、透過波長帯域の異なる多数の
フィルタを提供でき、波長数の極めて多い光フアイバ分
波器を可能にる、。また、入射角度を変化させても、ひ
ずみや減衰の少ない透過波長帯域特性を発揮る、ために
、分光器の性能を向上させることができる。
繰り返し積層し、その中間に介在る、キャビティ層を、
この誘電体薄膜の屈折率のあいだの値を採る屈折率の誘
電体薄膜で形成したため、透過波長帯域の異なる多数の
フィルタを提供でき、波長数の極めて多い光フアイバ分
波器を可能にる、。また、入射角度を変化させても、ひ
ずみや減衰の少ない透過波長帯域特性を発揮る、ために
、分光器の性能を向上させることができる。
図面は本発明実施の一例を示すもので、第１図は誘電体
多層膜フィルタに透過光を入射した時の屈折説明図、第
２図は透過光の入射角度を順次変化させた時のスペクト
ル図、第３図は積層ユニットを複数重ねたフィルタの透
過波長帯域特性を示すスペクトル図である。
多層膜フィルタに透過光を入射した時の屈折説明図、第
２図は透過光の入射角度を順次変化させた時のスペクト
ル図、第３図は積層ユニットを複数重ねたフィルタの透
過波長帯域特性を示すスペクトル図である。
Claims (5)
- （１）、屈折率の異なる誘電体薄膜を交互に繰り返し積
層し、その中間に介在するキャビテイ層を、この誘電体
薄膜の屈折率のあいだの値を採る屈折率の誘電体薄膜で
形成してなる、誘電体多層膜フィルタ。 - （２）、交互に積層する誘電体薄膜として、二酸化チタ
ン、フッ化マグネシウムそして二酸化ケイ素の群から二
つを採用し、透過波長の半分の整数倍の光学厚さを有す
るキャビテイ層として、アルミナ、フッ化セリウム、一
酸化ケイ素、そして二酸化ジルコンの群から一つを採用
する、特許請求の範囲第１項記載の誘電体多層膜フィル
タ。 - （３）、屈折率の異なる誘電体薄膜を交互に繰り返し積
層し、その中間に介在するキャビテイ層を、この誘電体
薄膜の屈折率のあいだの値を採る屈折率の誘電体薄膜で
形成し、この積層ユニットを複数積み重ねてなる、誘電
体多層膜フィルタ。 - （４）、交互に積層する誘電体薄膜として、二酸化チタ
ンとフッ化マグネシウムを採用し、キャビテイ層として
、アルミナ、フッ化セリウム、一酸化ケイ素そして二酸
化ジルコンの群から一つを採用する、特許請求の範囲第
３項記載の誘電体多層膜フィルタ。 - （５）、積層ユニットと積層ユニットとのあいだに、フ
ッ化マグネシウムの誘電体薄膜を介入する、特許請求の
範囲第４項記載の誘電体多層膜フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12969784A JPS619604A (ja) | 1984-06-23 | 1984-06-23 | 誘電体多層膜フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12969784A JPS619604A (ja) | 1984-06-23 | 1984-06-23 | 誘電体多層膜フイルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS619604A true JPS619604A (ja) | 1986-01-17 |
| JPH0469882B2 JPH0469882B2 (ja) | 1992-11-09 |
Family
ID=15015957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12969784A Granted JPS619604A (ja) | 1984-06-23 | 1984-06-23 | 誘電体多層膜フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS619604A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0380205A (ja) * | 1989-08-24 | 1991-04-05 | Toshiba Glass Co Ltd | 多層光干渉膜 |
| WO2001004669A1 (de) * | 1999-07-12 | 2001-01-18 | Schott Glas | Interferenzoptisches schmalbandfilter |
| JP2015099295A (ja) * | 2013-11-20 | 2015-05-28 | 株式会社豊田中央研究所 | 光学フィルタ、およびその製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5831307A (ja) * | 1981-08-20 | 1983-02-24 | Tokyo Optical Co Ltd | 干渉フイルタ− |
-
1984
- 1984-06-23 JP JP12969784A patent/JPS619604A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5831307A (ja) * | 1981-08-20 | 1983-02-24 | Tokyo Optical Co Ltd | 干渉フイルタ− |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0380205A (ja) * | 1989-08-24 | 1991-04-05 | Toshiba Glass Co Ltd | 多層光干渉膜 |
| WO2001004669A1 (de) * | 1999-07-12 | 2001-01-18 | Schott Glas | Interferenzoptisches schmalbandfilter |
| JP2015099295A (ja) * | 2013-11-20 | 2015-05-28 | 株式会社豊田中央研究所 | 光学フィルタ、およびその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0469882B2 (ja) | 1992-11-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US12032182B2 (en) | Diffractive grating | |
| US7006292B2 (en) | Multi-cavity optical filter | |
| US5926317A (en) | Multilayer thin film dielectric bandpass filter | |
| JP4401880B2 (ja) | 多重バンドパスフィルタ | |
| US6310729B1 (en) | Dichroic mirror | |
| EP0902305A1 (en) | Multilayer thin film bandpass filter | |
| TW565711B (en) | Indium-tin oxide thin film filter for dense wavelength division multiplexing | |
| JP2008020563A (ja) | 誘電体多層膜フィルタ | |
| JP2000329933A (ja) | 多層膜フィルター | |
| JP2005221586A (ja) | 所定の波長光学特性を有する誘電体多層膜フィルタ、その設計方法、その設計プログラム、およびその誘電体多層膜フィルタを用いた光アド・ドロップシステム | |
| TW584742B (en) | Multilayer film optical filter, method of producing the same, and optical component using the same | |
| JPS619604A (ja) | 誘電体多層膜フイルタ | |
| JPS6222034A (ja) | 干渉フィルタ分光装置 | |
| JP3584257B2 (ja) | 偏光ビームスプリッタ | |
| JP2003121637A (ja) | ファブリペローフィルタ | |
| JP2004177658A (ja) | 誘電体多層膜バンドパスフィルタ | |
| JPH1078510A (ja) | フィルタ | |
| JP2009031406A (ja) | 非偏光ビームスプリッター及びそれを利用した光学計測機器 | |
| JP2001215325A (ja) | 狭帯域光フィルタおよびその製造方法 | |
| US10145999B2 (en) | Polarizing beamsplitter that passes s-polarization and reflects p-polarization | |
| CN214474072U (zh) | 一种超宽带的偏振分光片 | |
| CN219225125U (zh) | 一种低角度效应荧光带通滤光片组合结构 | |
| JPH0738041B2 (ja) | 無偏光ビ−ムスプリツタ− | |
| JPH0784105A (ja) | 反射膜 | |
| JPH027042B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |