JPS6195736U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6195736U JPS6195736U JP18136684U JP18136684U JPS6195736U JP S6195736 U JPS6195736 U JP S6195736U JP 18136684 U JP18136684 U JP 18136684U JP 18136684 U JP18136684 U JP 18136684U JP S6195736 U JPS6195736 U JP S6195736U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- holding
- suction section
- holding device
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
図はいづれも本考案の一実施例を示し、第１図
は一部を断面した側面図、第２図は保持片を開い
たときにウエハの上面が接したときの説明図、第
３図は保持片下方の拡大説明図である。 １１……支持体、１２……ウエハ、１５……保
持片、２１……真空吸引部。
は一部を断面した側面図、第２図は保持片を開い
たときにウエハの上面が接したときの説明図、第
３図は保持片下方の拡大説明図である。 １１……支持体、１２……ウエハ、１５……保
持片、２１……真空吸引部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 保持手段により半導体基板を保持し、これを
支持体に対して搬出入するための前記半導体基板
の保持装置において、前記半導体基板の表面に近
接して吸引する真空吸引部と、前記半導体基板の
外周部に対向し前記真空吸引部にて吸引されてい
る前記半導体基板を真空吸引部に接触する前の位
置で受止めるように配置された複数の保持片とを
並設したことを特徴とする半導体基板の保持装置
。 ２ 保持片が開閉可能に設けられ受止めた半導体
基板の外周部を把持し得るように形成されている
ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項
記載の半導体基板の保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18136684U JPH0312751Y2 (ja) | 1984-11-29 | 1984-11-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18136684U JPH0312751Y2 (ja) | 1984-11-29 | 1984-11-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6195736U true JPS6195736U (ja) | 1986-06-20 |
| JPH0312751Y2 JPH0312751Y2 (ja) | 1991-03-26 |
Family
ID=30738916
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18136684U Expired JPH0312751Y2 (ja) | 1984-11-29 | 1984-11-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0312751Y2 (ja) |
-
1984
- 1984-11-29 JP JP18136684U patent/JPH0312751Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0312751Y2 (ja) | 1991-03-26 |