JPH0221734U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0221734U JPH0221734U JP10052488U JP10052488U JPH0221734U JP H0221734 U JPH0221734 U JP H0221734U JP 10052488 U JP10052488 U JP 10052488U JP 10052488 U JP10052488 U JP 10052488U JP H0221734 U JPH0221734 U JP H0221734U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- negative pressure
- top surface
- hole opened
- view
- rotary table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Description
第１図は第２図と第３図は本考案に係る回転テ
ーブルの第１の実施例を示す一部断面を含む平面
図と正面図と斜視図、第４図と第５図と第６図は
本考案に係る回転テーブルの第２の実施例を示す
一部断面を含む平面図と正面図と斜視図、第７図
と第８図と第９図は本考案に係る回転テーブルの
第３の実施例を示す一部断面を含む平面図と正面
図と斜視図、第１０図と第１１図は従来の回転テ
ーブルの一具体例を示す部分断面正面図と平面図
である。 ２……半導体ウエーハ、５，１３，１９……回
転テーブル、７，１５，２１……吸引孔、８，１
６，２２……負圧孔。
ーブルの第１の実施例を示す一部断面を含む平面
図と正面図と斜視図、第４図と第５図と第６図は
本考案に係る回転テーブルの第２の実施例を示す
一部断面を含む平面図と正面図と斜視図、第７図
と第８図と第９図は本考案に係る回転テーブルの
第３の実施例を示す一部断面を含む平面図と正面
図と斜視図、第１０図と第１１図は従来の回転テ
ーブルの一具体例を示す部分断面正面図と平面図
である。 ２……半導体ウエーハ、５，１３，１９……回
転テーブル、７，１５，２１……吸引孔、８，１
６，２２……負圧孔。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 上面に半導体ウエーハを負圧吸着して保持し回
転する回転テーブルにおいて、 テーブル上面に開口した吸引孔を、テーブル周
縁部に開口した負圧孔に連通したことを特徴とす
る回転テーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10052488U JPH0221734U (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10052488U JPH0221734U (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0221734U true JPH0221734U (ja) | 1990-02-14 |
Family
ID=31328678
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10052488U Pending JPH0221734U (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0221734U (ja) |
-
1988
- 1988-07-27 JP JP10052488U patent/JPH0221734U/ja active Pending