JPS6192020A - エッチングモニタ用圧電振動子 - Google Patents
エッチングモニタ用圧電振動子Info
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- JPS6192020A JPS6192020A JP21304284A JP21304284A JPS6192020A JP S6192020 A JPS6192020 A JP S6192020A JP 21304284 A JP21304284 A JP 21304284A JP 21304284 A JP21304284 A JP 21304284A JP S6192020 A JPS6192020 A JP S6192020A
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- etching
- piezoelectric vibrator
- piezoelectric
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 13
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- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H3/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、エツチングモニタ装置を有する圧電振動子に
係り、特に、水晶の片面をエツチングする場合にその反
対側に一対のｆｆｉ極を配置し、水平電界励振を行ない
得るようにしたエツチングモニタ装置を有する圧電振動
子に関する。
係り、特に、水晶の片面をエツチングする場合にその反
対側に一対のｆｆｉ極を配置し、水平電界励振を行ない
得るようにしたエツチングモニタ装置を有する圧電振動
子に関する。
（従来技術）
通常、圧電振動子をドライエツチングする場合には、第
７図に示されるように、エツチング台ｌの上に圧電振動
子２、を配置して、この圧電振動子２の上面を１例えば
、ＣＨ４ガスによってドライエツチングするようにして
いる。
７図に示されるように、エツチング台ｌの上に圧電振動
子２、を配置して、この圧電振動子２の上面を１例えば
、ＣＨ４ガスによってドライエツチングするようにして
いる。
そして、エツチング量はエツチング時間によったり、オ
ペレータの感によりエツチングされた圧電振動子をころ
あいをみはからってピックアップし、そのピックアップ
された圧電振動子をメータ等により測定してエツチング
量の監視を行なっていた。
ペレータの感によりエツチングされた圧電振動子をころ
あいをみはからってピックアップし、そのピックアップ
された圧電振動子をメータ等により測定してエツチング
量の監視を行なっていた。
（従来技術の問題点）
前記したエツチング量の監視方法は１面倒であり、省人
化、省力化上問題があるばかりでなく、圧電振動子の品
質及び信頼性の向上という点からも問題であった・ （発明の目的） 本発明は、上記の問題点を解決するために、圧電振動子
をドライエツチングする場合にエツチングの進行状況を
監視して迅速、かつ的確にエツチング状況を把握し得る
エツチングモニタ装置を有する圧電振動子を提供するこ
とを目的とする。
化、省力化上問題があるばかりでなく、圧電振動子の品
質及び信頼性の向上という点からも問題であった・ （発明の目的） 本発明は、上記の問題点を解決するために、圧電振動子
をドライエツチングする場合にエツチングの進行状況を
監視して迅速、かつ的確にエツチング状況を把握し得る
エツチングモニタ装置を有する圧電振動子を提供するこ
とを目的とする。
（発明の概要）
本発明は、圧電振動板の片面に対になった分割電極を設
け、該分′ｒＡ電極に交番電流を供給して水平電界励振
を行なわせて、圧電振動板のエツチング状態をモニタで
きるようにすることを特徴とするものである。
け、該分′ｒＡ電極に交番電流を供給して水平電界励振
を行なわせて、圧電振動板のエツチング状態をモニタで
きるようにすることを特徴とするものである。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を図面を参照しながら詳細に説
明する。
明する。
第１図は本発明に係るエツチングモニタ装置を有する圧
電振動子を説明する図であり、第２図は当該圧電振動子
の断面図である６図において、２は圧電平板、３はモニ
タ用分割電極、１０は高周波電源である。
電振動子を説明する図であり、第２図は当該圧電振動子
の断面図である６図において、２は圧電平板、３はモニ
タ用分割電極、１０は高周波電源である。
図から明らかなように、圧電結晶平板（以下。
圧゛准平板という）２の片面に一対のモニタ用分極電極
３を配置し、その電極３に高周波電源１０から交番電流
を流し、一対の電極３．３間に水平電界（第４図参照）
をかけて水晶片２を励振させる、即ち、圧電結晶の電気
軸に対し斜め方向に切断した圧電平板２を設け、その圧
電平板２の片面に励振のための分割電極３を設けて、交
番電界をかけると平面の境界条件を満足する共振点付近
で共振現象がみられる。勿論、この共振は電気軸に沿っ
た電界成分によって圧電平板が強制励振されるために生
起するものであるために、−・般にその圧電平板２の両
面対向電極構造の場合の共振と比べると共振レベルは弱
い、従って、−般の発振法によらず、第３図に示される
ように、伝送法と称されるループの発振回路網を設け、
そのループ間に当該圧電振動子を間挿させて用いるよう
にするのが望ましい、この時、当該圧電振動子の両端子
間の位相がほぼ０になるように位相調整増幅器８によっ
て調整され、かつ振幅が発振に十分なように増幅される
。
３を配置し、その電極３に高周波電源１０から交番電流
を流し、一対の電極３．３間に水平電界（第４図参照）
をかけて水晶片２を励振させる、即ち、圧電結晶の電気
軸に対し斜め方向に切断した圧電平板２を設け、その圧
電平板２の片面に励振のための分割電極３を設けて、交
番電界をかけると平面の境界条件を満足する共振点付近
で共振現象がみられる。勿論、この共振は電気軸に沿っ
た電界成分によって圧電平板が強制励振されるために生
起するものであるために、−・般にその圧電平板２の両
面対向電極構造の場合の共振と比べると共振レベルは弱
い、従って、−般の発振法によらず、第３図に示される
ように、伝送法と称されるループの発振回路網を設け、
そのループ間に当該圧電振動子を間挿させて用いるよう
にするのが望ましい、この時、当該圧電振動子の両端子
間の位相がほぼ０になるように位相調整増幅器８によっ
て調整され、かつ振幅が発振に十分なように増幅される
。
次に、当該圧電振動子を水晶振動子とした場合について
説明する。
説明する。
水晶片の場合は、ＡＴカットはＹ軸から約３５０傾けた
結晶板を用いる。一般に、結晶板の厚みに反比例した固
有周波数、つまり共振周波数を示すが、第４図のように
、この場合にも、片面に付設された薄い分割電極３を含
めて厚みｔに反比例した共振周波数を有する。即ち。
結晶板を用いる。一般に、結晶板の厚みに反比例した固
有周波数、つまり共振周波数を示すが、第４図のように
、この場合にも、片面に付設された薄い分割電極３を含
めて厚みｔに反比例した共振周波数を有する。即ち。
ｆ＝に／ｌ ・・・（１）が成
立する。ここでＫは厚み周波数定数である。
立する。ここでＫは厚み周波数定数である。
そこで１分割電極３が付設された面と反対側の面が、例
えば、真空中でドライエツチングまたはりアクティブイ
オンエツチングと称されるエツチング（蝕刻）を受ける
と、これによって厚みが減じた分Δｔたけ周波数が高く
なる。つまり１周波数Δｆだけ周波数が高くなる。即ち
。
えば、真空中でドライエツチングまたはりアクティブイ
オンエツチングと称されるエツチング（蝕刻）を受ける
と、これによって厚みが減じた分Δｔたけ周波数が高く
なる。つまり１周波数Δｆだけ周波数が高くなる。即ち
。
Δｆ＝−に’ｆ”・Δｔ ・・・（２）
として示されることになり、この式（２）よりΔｆをモ
ニタすることにより、Δ【、即ちエツチング量を知るこ
とができる。
として示されることになり、この式（２）よりΔｆをモ
ニタすることにより、Δ【、即ちエツチング量を知るこ
とができる。
ところで、第５図に示されるように、圧電振動子の構造
として、圧電平板２の分割電極３が付設された側と反対
側にエツチングすべき物質と同じ物質膜４を付着し、こ
の物質膜４をエツチングするようにすると好適である。
として、圧電平板２の分割電極３が付設された側と反対
側にエツチングすべき物質と同じ物質膜４を付着し、こ
の物質膜４をエツチングするようにすると好適である。
この場合はエツチングガスの選択特性による被エツチン
グ物のエツチング特性を同一にできる。即ち、質量付加
効果の逆の効果によってそのエツチング量を正確に知る
ことができる。
グ物のエツチング特性を同一にできる。即ち、質量付加
効果の逆の効果によってそのエツチング量を正確に知る
ことができる。
前記したように、圧電平板２の片面にのみ配設された分
割電極３の電気軸成分電界による励振のため極めて弱い
レベルでしか共振が観測できないので、この欠点を補う
ため第６図に示されるように１分割電極を交互に複数組
設けた多電極型のものとすることができる。
割電極３の電気軸成分電界による励振のため極めて弱い
レベルでしか共振が観測できないので、この欠点を補う
ため第６図に示されるように１分割電極を交互に複数組
設けた多電極型のものとすることができる。
尚、当該圧電振動子の振動モードは圧電結晶板の両面を
境界条件とするものであれば、例えば。
境界条件とするものであれば、例えば。
辷り、面すべり、縦、屈曲など自由に用いることができ
る。また、圧電振動子は結晶板だけでなく適当な斜方向
分極を施すことによりセラミックなども使用することが
できる。更に、ＡＴカットは温度特性の点で有利である
。また、半導体などの５ｉ０２エツチングに別な物質を
付着せず、そのまま利用することができる。
る。また、圧電振動子は結晶板だけでなく適当な斜方向
分極を施すことによりセラミックなども使用することが
できる。更に、ＡＴカットは温度特性の点で有利である
。また、半導体などの５ｉ０２エツチングに別な物質を
付着せず、そのまま利用することができる。
（発明の効果）
本発明によれば、圧電振動板の片面に対になった分割電
極を設け、該分割電極に交番電流を供給して水平電界励
振を行なわせて、圧電振動板のエツチング状態をモニタ
できるようにしたので、従来１面倒であったエツチング
に係る作業の効率化を図ることができる。従って、本発
明は、省人化、省力化を推進すると共に圧電振動子の品
質及び信頼性の向上を達成し得るという効果を奏するこ
とができる。
極を設け、該分割電極に交番電流を供給して水平電界励
振を行なわせて、圧電振動板のエツチング状態をモニタ
できるようにしたので、従来１面倒であったエツチング
に係る作業の効率化を図ることができる。従って、本発
明は、省人化、省力化を推進すると共に圧電振動子の品
質及び信頼性の向上を達成し得るという効果を奏するこ
とができる。
第１図は本発明に係る圧電振動子の説明図、第２図は当
該圧電振動子の断面図、第３図は当該圧電振動子の共振
レベルをアップさせるための説明図、第４図は当該圧電
振動子の励振を説明するための圧電振動子の断面図、第
５図及び第６図は他の実施例を示す圧電振動子の断面図
、１ｌＦＳ７図は従来の圧電振動子のエツチングを説明
する説明図である。 ２・・・圧電結晶平板、３・・・分割電極、４・・・被
エツチング物質と同一な物￥！１１１５１．８・・・位
相調整増幅器１０・・・高周波電源。 特許出願人 日本電波工業株式会社 代 理 人 弁理士 辻 實第５
図 第６図 第７図
該圧電振動子の断面図、第３図は当該圧電振動子の共振
レベルをアップさせるための説明図、第４図は当該圧電
振動子の励振を説明するための圧電振動子の断面図、第
５図及び第６図は他の実施例を示す圧電振動子の断面図
、１ｌＦＳ７図は従来の圧電振動子のエツチングを説明
する説明図である。 ２・・・圧電結晶平板、３・・・分割電極、４・・・被
エツチング物質と同一な物￥！１１１５１．８・・・位
相調整増幅器１０・・・高周波電源。 特許出願人 日本電波工業株式会社 代 理 人 弁理士 辻 實第５
図 第６図 第７図
Claims (3)
- （１）圧電振動板の片面に対になった分割電極を設け、
該分割電極に交番電流を供給して水平電界励振を行なわ
せ、圧電振動板のエッチング状態をモニタできるように
したことを特徴とするエッチングモニタ装置を有する圧
電振動子。 - （２）前記圧電振動板は水晶からなることを特徴とする
特許請求の範囲第（１）項記載のエッチングモニタ装置
を有する圧電振動子。 - （３）前記対になった分割電極は複数組を有する多電極
型であることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項又
は第（２）項記載のエッチングモニタ装置を有する圧電
振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59213042A JPH0622309B2 (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 | エッチングモニタ用圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59213042A JPH0622309B2 (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 | エッチングモニタ用圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6192020A true JPS6192020A (ja) | 1986-05-10 |
| JPH0622309B2 JPH0622309B2 (ja) | 1994-03-23 |
Family
ID=16632551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59213042A Expired - Lifetime JPH0622309B2 (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 | エッチングモニタ用圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0622309B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06140861A (ja) * | 1992-10-26 | 1994-05-20 | Katsuo Kanamaru | 圧電フィルタの周波数調整方法 |
| US7072798B2 (en) | 2003-02-07 | 2006-07-04 | Tokyo Electron Limited | Semiconductor fabricating apparatus |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5319780A (en) * | 1976-08-06 | 1978-02-23 | Nec Corp | Parallel field exciting piezoelectric vibrator |
| JPS5736018U (ja) * | 1980-08-11 | 1982-02-25 | ||
| JPS57174912A (en) * | 1981-04-21 | 1982-10-27 | Seiko Epson Corp | Size managing device for quartz oscillator |
| JPS57188120A (en) * | 1981-05-15 | 1982-11-19 | Seiko Epson Corp | Size managing device for quartz oscillator |
-
1984
- 1984-10-11 JP JP59213042A patent/JPH0622309B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5319780A (en) * | 1976-08-06 | 1978-02-23 | Nec Corp | Parallel field exciting piezoelectric vibrator |
| JPS5736018U (ja) * | 1980-08-11 | 1982-02-25 | ||
| JPS57174912A (en) * | 1981-04-21 | 1982-10-27 | Seiko Epson Corp | Size managing device for quartz oscillator |
| JPS57188120A (en) * | 1981-05-15 | 1982-11-19 | Seiko Epson Corp | Size managing device for quartz oscillator |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06140861A (ja) * | 1992-10-26 | 1994-05-20 | Katsuo Kanamaru | 圧電フィルタの周波数調整方法 |
| US7072798B2 (en) | 2003-02-07 | 2006-07-04 | Tokyo Electron Limited | Semiconductor fabricating apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0622309B2 (ja) | 1994-03-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |