JPS6190869A

JPS6190869A - 研磨装置

Info

Publication number: JPS6190869A
Application number: JP59209765A
Authority: JP
Inventors: Narikazu Suzuki; 鈴木　成和
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1984-10-08
Filing date: 1984-10-08
Publication date: 1986-05-09

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕本発明は１例えば半導体ウェーハなどの両面を同時に研
磨するための研磨装置に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

一般に１両面研磨装置は一対の上定盤と下定盤とをそな
えていて、相互に接離自在で、かつそれぞれ回転し、対
向した面には研磨布が貼付けられている。そしてこの間
に被加工物を介在させて両面を研磨布で研磨するように
構成されている。このような研磨装置で、加工すると、
被加工物の研磨くずなどが研磨布上に堆積する。特にシ
リコンクエーハをコロイダルシリカ系の研磨剤で両面研
磨する場合、研磨布として不織布タイプのものを用いる
と、不織布の繊維間を研磨剤と研磨ぐずが埋めてしまい
、この状態が進行すると、研磨布の表面は、研磨剤と研
磨ぐずが固まって、目すまりを起し、光沢をおびるに至
る場合もある。このような研磨布によって両面研磨をす
ると１例えば半導体ウェーハなどの場合には形状精度は
大きく低下してしまう。

そこで、研磨布は、しばしばこれを張替える必要がある
。上定盤に研磨布を張付けるときには。

上定盤を研磨装置から取外し、天地を反対にして別の平
坦な場所に置き、定盤面に接着剤を塗布してから研磨布
をその上に乗せて、研磨布と接着剤の間に空気の入った
隙間などが生じないように張付け、しごいていた。しか
しこの方法では、上定盤を研磨装置から取り外すという
作業があシ、定盤の重量が軽い場合はよいが、最近のよ
うに定盤が大型化して来ると、その重量だけでも１００
ｋｌｉ’以上になり、上定盤を取シ外す作業に大きな労
力を要し、しかも危険をともなう不都合があった。また
上定盤を取外さずに、そ６ままの状態で研磨布を張シ付
けようとすると、上定盤装置の研磨布張付は面は下方を
向いているので、非常に不自然姿勢で研磨布を張シ付け
％またその後研磨布をしごか々ければならない。

〔発明の目的〕

本発明は、上記事情を参酌してなされたもので。

研磨布の交換が容易な研磨装置を提供することを目的と
する。

〔発明の概要〕

一対の定盤に研磨布が貼着された保持板を着脱自在に装
着し、遊星運動するキャリヤプレートに保持されたウェ
ーハと上記研磨布により挟着して。

両面研磨するようにしたものである。

〔発明の実施例〕

以下１本発明の一実施例を図面を参照して詳述する。

図は、この実施例の研磨装置を示している。との研磨装
置においては１円柱状の太陽歯車（１）と。

この太陽歯車（１）を同軸に囲繞し図示せぬ回転枢動機
構によシ回転自在に設けられた円環状の内歯車（２）と
の間に、これら両者に遊星歯車として歯合して遊星運動
する複数の円板状キャリヤプレート（３）・・・が太陽
歯車（１）のまわりに等配して設けられている。これら
キャリヤプレート（３）・・・には、ウェーハ（４）・
・・を遊挿して保持する円孔をなす保持部（５）・・・
が。

例えば４個、等配して設けられている。そして。

キャリヤプレート（３）・・・の上下には、鋳鉄製で円
柱状をなす上定盤（６）と下定盤（力とが配設されてい
る。

これら上、下定盤（６）、（７）の中央部には貫通孔（
８）、（９）が同軸に穿設されている。これら上、下定
盤（６）、（７）の対向面とは反対側の背面には、主軸
（１０）、α力が同軸に連結されている。これら主軸（
ｌ■、０υは１図示せぬ回転駆動源に接続され、上、下
定盤（Ｇ）　、　（７）を回転駆揃するようになってい
る。そして、下定盤（力の主軸ａυには、太陽歯車（１
）が同軸に嵌着され。

下定盤（７）と一体重に回転するようになっている。

また、上定盤（６）の主軸ＯＱは、昇降自在に設けられ
ている。しかして、上、下定盤（６）　、　（７）の対
向面には、同心円をなす複数条の環状溝ａ鴇・・コ及び
複数条の放射状溝（１３）・・・が刻設されている。と
れら環状溝（１２・・・及び放射状溝（１３・・・は、
上、下定盤（６）、（力及び主軸（ＩＧ、（１１）に設
けられた吸引孔Ｕ、（ｔＳを介して。

図示せぬ真空源に接続されている。そして、この真空源
を作動するととくより、上、下定盤（６）　、　（７璽
の対向面には、厚さ５〜１Ｑｘｉ＋でアルミニウム製の
円板状の保持板０６１．（ｌηが着脱自在に真空吸着さ
れている。これら保持板（１１（１７）の真空吸着され
ている面と反対側には、不織布か゛らなる研磨布（ｔＳ
）、Ｈが貼着されている。

しかして、上記構成の研磨装置において、ウェーハ（４
）・・・を両面研磨加工する場合、ウェーハ（４）・・
・をキャリヤプレート（３）・・・の保持部ｒ５）・・
・に遊挿させた後、上定盤（６）を下降させ、ウェーハ
（４）・・・を研磨布Ｕ、（ＬＳによシ挟着する。しか
して、主軸ａＯ＋、（ＬＤを回転させると、キャリヤプ
レート（３）・・・は、太陽歯車（１）の回転にともな
って自転しながら公転し。

ウェーハ（４）・・・は１両生面が同時に研磨加工され
る。

かくして、長期間にわたる研磨加工の結果、研磨布α〜
、α９が、目づ一！シ、損傷等により使用不能となった
ときには、真空源の作動を停止し、保持板αＧｕｔηを
上、下定盤（６）　、　（７）より離脱させ、新しい研
磨布α樽、α優が貼着されている別の保持板αｅ、αカ
を上、下定盤（６）　、　（力に真空吸着させる。

かくして、この実施例の研磨装置によれば、研磨布α印
、←９の交換を、迅速、確実かつ簡便に行うことができ
、加工能率の向上に寄与する。ことに。

研磨布（ＵＳ、α１の貼着作業を研磨加工から独立して
行える点が、能率向上の主因となっている。

なお、上記実施例においては、研磨布α槌、σ１が貼着
された保持板（Ｌｅ、α力を真空吸着により上、下定盤
（６）、（７）に装着するようにしているが、連結治具
を用いて保持板（１６）、α力を着脱自在に装着するよ
うにしてもよい。さらに、保持板αＱ、ｔ（ηを真空吸
着する場合、吸着溝を刻設するのでなく、吸引孔を複数
個吸着面に開口させるようにしてもよい。

さらに９両面研磨力式としては１図示のものに制約され
ることなく、たとえば、太陽歯車（１）を主軸（１１）
からは独立した回転駆動源に接続してもよい。

また、上定盤（６）については、下定盤（７）側に同軸
設置され先端に歯車が形成された回転駆動軸に上定盤（
６）を螺挿させることによ）上定盤（６）を回転駆動さ
せるようにしてもよい。

〔発明の効果〕

本発明の研磨装置は、研磨布の交換を、迅速。

確実かつ簡便に行うことができ、加工能率の向上に寄与
する。ことに、研磨布の貼着作業を研磨加工から独立し
て行える点が、加工能率向上の主因となる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例の縦断正面図である。（１）：太陽歯車、　　　　（２）　：内歯車１、（３
）：キャリャプレート（搬送板へ。（４）：ウェーハ（被加工物）。（５）：保持部、　　　　　（６）　：上定盤。（７）：下定盤、　　　　＜１ｅ、αη：保持板。Ｑ８．（１１：研磨布。代理人　弁理士　　則　近　憲　佑（ほか１名）

Claims

【特許請求の範囲】

軸線のまわりに回転駆動される太陽歯車と、この太陽歯
車を同軸に囲繞して設けられた円環状の内歯車と、上記
太陽歯車と上記内歯車とに歯合し上記太陽歯車の回転に
従って自転しながら公転し且つ板状の被加工物を保持す
る貫通孔が穿設された搬送板と、上記搬送板の両主面側
に配設された一対の定盤と、上記被加工物に接触して研
磨する研磨布が固着され上記定盤に着脱自在に装着され
る保持板とを具備することを特徴とする研魔装置。