JPS6190735A - 圧粉体の製造法並びにその製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は超微粒子を原料とする圧粉体の製造法並びに製
造装置に関する。

（従来の技術） 従来、構造月ｔｉ＋として所定の強さ、硬さ、靭性、耐
久性などの特性が要求される場合、従来の溶ＶＨＡ５よ
び焼結などの造塊法により金属の単体又は合金を主体と
しこれと異種の金属や金属酸化物などの化合物との複合
材料の１体加工製品がつくられている。

（発明が解決しようとする問題点） 所定の特性を有する製品を得るには、金属と異種の金属
や化合物との均一な組織（組成）をもつ造塊製品を製造
することが必要であるが、従来の加工法では、か）る要
求を満たすものが得られない。即ち、上記の造塊工程に
おいて、金属粒子と化合物粒子とを混合した後加熱によ
る溶融状態若しくは原子間の移動拡散の極めて活発な高
温の焼結状態を経過するため、相互に粒子が融合し粒子
の生長がおこり、混合時の粒子の所期の分散状態が容易
に崩れて極めて不均一な組織となると共に最終的に特性
上農も望ましい所定の組織を保持することは困難である
。

更に具体例で述べれば、分散強化型合金複合材わ１の！
８！造は、金属マトリックス中に例えば金属酸化物の微
細粒子を分散させる必要があるが、その全屈材料の融点
の少なくとも６０％以上の高温で数十分以上に亘り加熱
処理を受けるため、凝固又は冷却後の特性の予想はむず
かしい。溶解法では、溶融状態に保持する間の重力偏析
の影響は無視できない。又焼結法では、その焼結成形体
とする前の混合での複合成分の均一な混合が得がたく而
も約５００℃以上の高温による粒子の生長がおこり、結
局均一な配合組織の造塊製品が得られない。

（問題点を解決するための手段） 本発明は、か）る従来法の欠点を除き、所定の均一な混
合状態が得られると共にそのままの状態で所定の均一な
組織をもつ造塊製品圧粉体を製造する方法を提供するも
ので、少なくとも２種の超微粒子をキャリヤガス中で混
合し、次でその混合気を被着面に吹き付け、そのスプレ
ー圧でこれら超微粉の集積固塊から成る圧粉体−つ　　
　　− を形成することを特徴とする。

更に本発明は、その所定の均一な組織状態で而も高密度
の各種特性の優れた圧粉体の製造法を提供するもので、
少なくとも２種の超微粒子をキャリアガス中で混合し、
次でその混合気を被着に吹き付け、そのスプレー圧でこ
れら超微粉の集積固塊から成る圧粉体を形成し、次で圧
粉体をそのまま又は密包した状態で、加熱することなく
又は比較的低温の加熱下で、加圧することを特徴どする
。

更に本発明は、上記の各ｔｉ造法の発明に関）重し、こ
れを実施するに適した製造装置を提供するもので、以下
の説明で明らかに１−る。

（実施例） 次に本発明の実施例を添附図面につき説明する。

図面で（１）は、少なくとも２種の超微粒子を混合する
混合室を示す、該混合室（１）はその１側で原ｔ１搬送
管（２）を介し超微粒子生成室（３）に接続し、その他
側で原料搬送管（４）を介し、前記原料とは異種の原料
の超微粒子生成室（５）に接続されて居り、その上部開
口部（６）には混合気搬送管（７）が接続されている。

該各生成室（３）　（５）には夫々不活性ガスなど任意
のガスのキャリヤガス導入管（８）　（９）が接続され
て居り、その室（３）、（５）の各下部には加熱装置（
１０ａｎを備え、これら各加熱装置（ＩＱ＋　ａＴ）に
より室（３）、（５）内に用意した互に異種の単体、合
金、金属酸化物等の化合物、合成樹脂などの蒸発原材Ｆ
＝１．Ａ及びＢを夫々加熱しその超微粒子を蒸発生成せ
しめるようにする。ａｚ　（１３１は夫々の室（３）　
（５）の上面壁に設けた夫々搬送管（２＞　（４）に連
通ずる開口部を示す。該混合室（１）から導出した前記
混合気搬送管（７＞の先端部は、隣接の圧粉体形成室Ｃ
ＩＩＩ内に導入されその先端には下向きのスプレー用ノ
ズル０９を有する。該ノズルｌ′１５）は、その基部で
保持腕（１６ａ）を介しノズル偏心回転系装置ａＯに接
続して居りこれににり偏心回転を可能として下記詳述す
るように、ノズル口径より著しく径の大きい混合超微粒
子の圧粉体を形成し得るようにした。該ノズルａ９の下
方にはこれに対向して適宜穴ぎさの円形などのイ」着板
（１７１を設置し、該４４着板（１７）はその下面に上
端を連結した昇降杆ａ８１により昇降自在に支持せしめ
られる。該昇降杆ａｅは室帥の下壁面を貫通しその下面
に設けた昇降駆動装置（ｌ！ｔ）により駆動される。該
付着板（１カの上下動する通路の外周には、中空筒状の
ガイド壁■を設け、第２図に明示したように、圧粉体形
成に当り、付着板（Ｉ７１は、当初該筒状ガイド壁■の
上端に存ぜしめ、次で圧粉体の形成過程で鎖線示のよう
に漸次下動しその上面に所定長さの柱状圧粉体が形成さ
れるようにした。

通常、ノズルＧ９の下端ど付着板ａｂとの間隔は、付着
板面に強力なスプレーノズル（Ｉ９のスプレー圧がかか
るように極めて小間隔に、通常０．５〜２ｍｍ程度の範
囲に保ち、その後付着板ａ力上面に問合超微粉が付着堆
積して行くとぎも常にその堆積面との間を上記と同じ小
間隔に保持するように、イ」着板ａ７１を可動して行く
ようにする。付名板（１７１の上面の径は例えば３ｍｍ
どし、ノズルの先端の口径はｏ、６ｍｍｚその偏心は１
ｍｍ程度とする。又付着板（Ａ”ｂｆｊｌ降杆ｌ′１８
１及びその外周の筒状ガイド壁■は、液体チッソ、水、
加熱ヒータなどにより適宜−６０℃〜１５０℃程度まで
の温度に適宜設定保持する温度調節機構（図示しない）
を設けるようにしてもよい。

尚、圧粉体形成室帥は、その１側に於いて接続管Ｑによ
り真空ポンプ（図示しない）に接続せしめ、その他側に
おいてアルゴンなどの不活性ガス導入管のに接続し、そ
の室ａΦ内を作動時適当な真空度に保持し、又、必要に
応じ不活性ガスを導入するようにするのが一般的である
が、超微粒子の種類によっては、通常の大気圧の室帥の
状態でも使用される。

上記の装置の作動し圧粉体の製造例を説明する。

１側の超微粒子生成室（３）内に例えば金ｆｉＡを用意
し所定の温度で加熱しその上記を生成せしめると共にキ
ャリヤガス導入管（８）よりその上記金属に対し不活性
のガスを導入しその上記を混合室（１）内に１側から導
入すると同時に、他側の超微粒子生成室（５）内に例え
ば金属酸化物Ｂを用意し所定の温度で加熱しその上記を
生成せしめると共にキャリヤガス導入管（９）よりその
上記に対し反応しないガスを導入しその上記を混合室（
１）内に他側から導入して該混合室（１）内でこれらキ
ャリヤガスにより所定の割合のこれら２種の超微粒子ａ
、ｂを均一に混合する。この２種の超微粒子の配合比は
、生成室（２）　（５）の加熱条件、キャリヤガスの導
入管（８）、（９）からの流入量を適当に調節すること
ににり適宜設定される。該混合室（１）内でキャリヤガ
スににり両種超微粒子ａ、ｂは容易に流動攪拌されて浮
遊状態で混合するので、両者の配合比がどの部分でも等
しい良好な混合気が得られる。このＪ：うにして得られ
た混合気、は、搬送管（７）を介し該混合気何時（７）
内に生じる搬送圧力により圧送され搬送管（Ｄ先端のノ
ズルａＳＪより強力なスプレー圧でその前方の例えば１
ｍｍの間隔を存した付着板ａ７１上面に吹付けられて、
その均一に混合した超微粒子ａ、ｂの混合粉体は該板ａ
力面に圧着し漸次堆積して行く。

この間ノズル（Ｉ５）は偏心回転しているので、何着板
ａ７）全面に均一な厚さのその堆積層が得られる。

このスプレーに当り、予め、該圧粉体形成室ａ＠内は、
真空ポンプで排気し、又はその排気能力と不活性ガス導
入量とのバランスを適当に制御して、例えば１１〜−ル
に保持する。

而して、そのスプレーの進行に伴い漸次付着板（１７１
をノズルａ９と堆積層面との間に１ｍｍの間隔を存せし
めながら下動させてその混合超微粉体の吹付は圧Ｗ　Ｊ
（を積をつづけ、該筒状ガイド壁■内に第１図示のにう
な円柱状の１つの固塊がら成る本発明の圧粉体Ｃを得る
。該圧粉体Ｃは、超微粒子をスプレーによる強力な圧力
で漸次堆積したものであるので、加熱しないでも超微粒
子相互が協力に結着した容易に破壊しない強固な集固塊
から成る圧粉体Ｃとして生成される。

又超微粒子の混合粉体Ｃであるために、焼結圧粉体を望
むならば、比較的低温の例えば好ましくは１００℃以下
の、粒子の表面拡散のみ可能な温度で加熱するときは、
その混合超微粒子粉体はその所定の均一な配合組織状態
のままの焼結圧粉体が得られる。

」−記の製造法に代え、予め超微粒子を作成しておぎ、
これを混合室に導入するＪ：うにしてもよい。その製造
装置は、前記製造装置の超微粒子生成室（３）、（５）
の又は両方に代えて第３図示のように、例えばその１方
を、予め作成した超微粒子を収納した容器の０１つを使
用し、その排出口を搬送管（４）を介して前記混合室（
１）に接続し、その導入口に外部のキャリヤガス供給装
置［相］の導入管（２４ａ）を接続し、該容器の内にキ
ャリヤガス源（２４ｂ）より適当な圧力流量としてキャ
リヤガスを導入しその内部の超微粒子すを混合室〈１）
への搬送するようにしてもにい。

このようにして製造した圧粉体Ｃは、２種の超微粒子が
混合室（１）内でどの個所でも同じ割合で混合された配
合比と同じの予定通りの組織をもって得られるので、予
め、水沫によりその特性などを予定した圧粉体を製造す
ることができる。尚、Ａ（１、静なとの貴金属を高純度
ガス雰囲気中で超微粒子に生成し、且つそのガスで搬送
しスプレーし圧粉体を形成するときは、０°Ｃでも超微
粒子同志の焼結が極めて徐々ではあるが）Ｗ行する。焼
結を望まないとき９は、Ｏ′Ｃ以下に、水蒸気の蒸気圧
の影響を考慮して、−６０℃までの温度に付着板（Ｉ力
及び筒状ガイド壁■を冷媒により冷却保持するようにし
て圧、粉体を製造することができる。

上記により得られた圧粉体は、比較的ポーラスなものに
得られるが、所望によりその後室（Ｉの外に取り出し適
宜の手段で加圧し、圧縮による高密度の圧粉体とするこ
とができる。この場合、超微粒子の種類によっては、室
（ＩΦ外に取り出すと酸化、燃焼などを生ずるおそれが
あるものについては、予め室帥内で適宜の材Ｉｔで、前
記の圧粉体を被包密封する必要がある。第４図及び第５
図は、上記の目的のための被包密封手段を備えた圧粉体
形成帥を示し、その該ノズル（１９基部ａＤを保持する
腕（１６ａ）は、図示のように水平方向に回動自在とし
、不使用時は、付着板０カ上の所定位置Ｊ：り外側方に
ｆｆ２Ｊし得るにうにし、更に該室帥内には、柱状圧粉
体Ｃを収容密封し得ると足る大きさの八１、Ｃｕ、など
の柔軟且つ強靭な金属や熱可塑性合成樹脂製の被覆管■
を保持する支持腕■を水平方向に回動自在に設り、更に
、その被覆管■の上端部及び下端部を挾圧しその上下開
口端を密封する対向する１対の押杆Ｉ２′ｂ＠を前進後
退動するように設ける。■のは、これら押杆■■を駆動
する空圧シリンダー室を示す。その他の設備は第１図の
圧粉体形成室のそれと変りない。次に上記密封被包装置
の作動につき説明する。

前記の通り形成した柱状圧粉体Ｃを被覆するに当り、先
づ該ノズル保持腕（１６ａ）により、該ノズル■を該付
着板０上方の位置より外方へ図示のように退去させた後
、該被覆管支持腕■を回動じて、該付着板ａ７１上の柱
状圧粉体Ｃの中心線上に、図示のように位置させる。こ
の状態で、該圧粉体Ｃを該昇降杆（１８１を上動して該
被覆管（ト）内に挿入する。この状態で、該被覆管■の
上端−１２一 部をその両側に対向する１対の押杆■○を前進させて挾
圧しその上端部を圧扁して開口端を密封する。この場合
、その圧扁」二端部により圧粉体Ｃが保持される。次で
その押杆■■をやや後退させた後、該昇降杆ａ８１を更
に上動させ被覆管（ハ）の下端部を１対の押杆■■と対
向する位置に移動させた後、該昇降杆ａ８１を下動ざぜ
被覆管■下端から退去させ、次で押杆ツノにより被覆管
■の下端部を挟圧圧扁して開口端を密封する。

被覆管のが合成樹脂の場合は、公知のヒー１へシール手
段（図示しない）を追加して設け′て、これによりその
上端部及び下端部の圧扁部をヒートシールする。かくし
て、圧粉体Ｃの被包密封が完了した後、形成室帥内の真
空を解除し、その被包密封圧粉体Ｃを外部に取り出す。

第６図はその被包密封圧粉体Ｃの１例であり、（２５ａ
）（２５ａ）は金属製被覆管■の両端の圧扁密封部を示
す。次で、この被包密封圧粉体Ｃに、冷間静水圧プレス
（ＣＩＰ）、音間静水プレス圧（ＷＴＰ）、冷間又は音
間圧延等の適宜の加工を行ない、圧粉体Ｃを圧縮してポ
ーラスのない緻密な高密度圧粉体にする（第７図）。こ
の場合、圧粉体Ｃを構成する所定の均一な混合組織を崩
すことなく高密度の圧粉体（バルク材）を得るためには
、温度をかけるときは、２００℃以下好ましくは１５０
℃以下で加熱する。このＪ：うにして−口高密度圧粉体
としたものは大気中で比較的安定となる。次で被包体■
を切削などにより開口して、高密度圧粉体Ｃを取り出し
、必要であれば、更に、これに所望の圧延、加熱加圧な
どの適宜の加工手段を行なう。尚、高密度圧粉体でも大
気に曝されないで加熱加圧等の加工を行なうには、前述
の形成室帥と今様の雰囲気を保持したグローブボックス
内に移し、そのボックス内で被包体より取り出し、加圧
、加熱、加圧加熱などの適宜の加工処理を行なうように
する。

超微粒子の１としては、金属単体、合金、八１２０３、
Ｓｉｏ２などの酸化物、ＴｉＣ、ＳｉＣなどの炭化物、
ＴｉＮなどの窒化物等の各種化合物、塩ビ、ナイロンな
どの合成樹脂など各種の無代及び有機化合物から一選択
し、その２種又はそれ以上の材料を適宜に組み合せて、
所定の配合割合でキャリヤガスにより混合し、各種の複
合材料の圧粉体を形成することができる。上記の実施例
では、２種の超微粒子を混合室（１）内に導入混合する
場合を示したが、例えば３種の超微粒子を混合する場合
は、前記第１図又は第３図示の装置に、更にもう１つの
超微粒子生成室や混合室を混合室（１）に接続した装置
により３種の超微粒子が均一に混合した圧粉体が得られ
る。

次に更に具体的な実施例、即ち超微粒子旧マトリックス
中に１〜３重量％の超微粒子アルミナを均一に分散した
強化ニッケル圧粉体を得るための実施例を説明する。

前記の装置を使用し、その超微粒子生成室Ａ内にＮｉ金
属を加熱熔融蒸発させると共に導入したＡｒのキャリヤ
ガスにより混合室（１）内にキャリヤガス流ｆｆｋ　０
．４５１　／　ｍｎ　、　Ｉｆ！Ｑ送旧超微粒子の流ｆ
ｉ１２．６ｍｇ／ｎｔ＋である搬送量の条件で流入させ
る１方第４図示の容器の内に予め市販のα−アルミナ高
純度超微粒子（平均粒径０．６μｍ比表面積２０麓／ｇ
）の所要母を収容したものにキャリヤガス供給装置のか
ら静ガスを送り込み、該容器■内でアルミナ超微粒子を
攪拌浮遊させ均一に担持するキャリヤガスとしてＡｒガ
ス流量０．１１　／ｒｑ、搬送７／Ｌ／ミナ超微粒子０
．２５　ｍ９／　ｍｎである搬送量の条件で、混合室（
１）内に流入させる。

かくして、該混合室（１）内で両角微粒子をかがる所定
割合で均一に分散混合した混合気がつくられる。この混
合気を、搬送管（７）を介して第５図示の圧粉体形成室
帥内に導入したノズルａ９より例えばその１ｍｍ間隔を
存して対面させた３ｍｍ径の付着板００面に吹き付ける
。尚、上記Ｎｉ超微粒子の生成は、＾ｒ雰囲気下でＡｌ
２Ｏ３コートバスケット状タングステンヒーターで加熱
（加熱型カフ５０ｗ）で８０ｍｇ／ｒｒＦｌの割合で１
超微粒子が蒸発生成せしめるようにした。該圧粉体形成
室帥内は予め真空ポンプによる排気とＡｒガスの導入と
を行ないへｒガス雰囲気下の０．０７１〜−ルの真空−
１６一 度に保持して置く。ノズル（＋５＋の内径は０．６＃と
じ該ノズル偏心回転系装置（１６＋によりノズルａＤは
１ｍｍの偏心で１分間に５回転の速度で回転せしめ乍ら
、前記の混合超微粒子の吹付りが行なわれるようにした
。１方何着板ａ７１を０．３７ｓ／ｍｒｌの速度で下降
するようにし、常にノズルとその付着板ａ７１に付着し
た混合超微粒子の堆積層上面との間に１ｍｍ程度の間隔
を存して吹付けが行なわれて円柱状の圧粉体Ｃが生成す
るようにした。

か）るスプレー操作により直径３±ｏ、１ｍｍ、長さ４
２ｍｍ円柱状圧粉体Ｃが得られた。その圧粉体Ｃは、重
量１．４８　ｇ、密度比５６％を有し且つＮｉ超微粒子
とアルミナ超微粒子とが全体に亘りどの部分をとっても
所定の割合で均一に混合された而も強固に結着し容易に
形崩れしない固塊の圧粉体であることが確認された。こ
の密度比の値は、常温で而も何等プレスを行なわない成
形体としては、非常に高い値であり、その後の取扱いに
対し安定であり支障がない。

このように製造した本発明圧粉体を、次に該圧粉体を収
容する外径３，８履、内径３．３ｍｍ、長さ９０ｍｍの
焼鈍ずみの高純度銅被覆管Ｑ４）中に収納するべく、保
持腕（１６ａ）を回動じ該ノズル皿を側方に退去させ、
該被覆管■をその支持腕■を回動じて該ノズルａＤのあ
った位置、即ち圧粉体Ｃの直上にレフ１−シ、この状態
で、昇降杆ａ８１を上動させて圧粉体Ｃを該被覆管■内
に第５図示のように挿入し、押杆の■によりその管■の
上端を約７０に９の力を加えて挾圧し扁平に且つ気密に
５ｍｍの幅の密封端（２５ａ）とし、次で、昇降杆ａｂ
を上動して同様に管■の下端を押杆Ｉ２７１Ｉ２７）に
より同様に押しつぶして密封端（２５ｂ）として内部に
圧粉体Ｃを被包気密状態に保つ。かくして、この密包圧
粉体を大気中に取り出し、静水圧プレスで圧力１０００
１（！？　／　ｃｒＡ　、保持時間１０分間のプレスを
施し高密度の圧粉体を得た。又全体を１００℃に加熱し
た状態で１　ｏｏｏＫｇ／　ＣＭ　Ｓ保持時間１０分間
の加熱加圧プレスを施し高密度圧粉体どしてもよい。

次に、密封被包管■を破り、高密度圧粉体を取り出した
。その直径は２．６±Ｏ，ｉｍ、長さ３６ｍｍに圧縮さ
れた高密度圧粉体として得られ、ひの密度比は８７％に
向上していた。

この密度比の値は、従来の実用に供せられている粒径数
十〜数百μｍの１微粒子を出発原料としこれを２０００
〜３０００Ｋｇ／　ｃＡの高圧、８００〜１０００℃の
高熱で加熱加圧して製造する従来法の旧焼結品の種と同
じであり、水沫が従来法に比し著しく低圧低温であるに
も拘らず高密度製品が得られることが認められた。而も
、本発明の低温加熱のため、加圧前の圧粉体の均一な組
織をそのまま保持していた。この高密度の分散強化ニッ
ケル圧粉体の特性は下記の表に示す通りであった。

顕微鏡観察では、Ｎｉ超微粒子は粗大化しておらず、微
細な旧粒子マトリックス中に＾１２０３が均一に分散し
ていることが確認された。

上記の表から明らかなように、その引張り強さ、耐力は
、展伸材Ｎ１よりも優れている。

この発明の高密度圧粉体を材料どし加工するため、再び
銅被覆管で密包し、大気中で１００℃に加熱した状態で
圧延した。次に、被覆材を３０％硝酸中に浸漬し溶失さ
せて圧粉体を得た。その厚さは１．４ｍｍ、幅３．３＃
、長さ３６＃で密度比は９８．８％であった。

従来の焼結法で、この密度比のＮｉ製品を得るには、約
１０００°Ｃで加熱加圧する必要がある。

又、上記の本発明の低温加熱圧延処理した高密度のへ１
２ｏ３分散Ｎｉ圧粉体は、引張り強さ、耐力で展伸材旧
の特性を約３０％向上し、伸びは同レベルに達していた
・　　　　　　　　　　　１このように本発明によると
きは、超微粒子の複数種を夫々キャリヤガスにより混合
した後その混合気を付着面にスプレー法により吹付けた
ので、複数種の超微粒子が全体に亘り均一に混ざった固
塊圧粉体が得られ、更には、かかる超微粒子から成る圧
粉体を加熱することなく、或いは低湿の加熱下で加圧す
ることにより、その均一な混合組織状態のままでの高密
度、高強度の圧粉体が経済的に製造し得られ、又被覆密
包した状態でプレス、圧延などを行なうときは、酸化さ
れないで所定の複合圧粉体を得ることができる等の効果
を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施の１例の製造装置の線図、第２図
はその１部の拡大武断側面図、第３図はその１部の変形
例の武断側面図、第４図は圧粉体の被包手段を備えた圧
粉体形成室の武断側面図、第５図は第４図のｖ−ｖ線描
断面図、第６図は内部に圧粉体を密封した被覆管の１部
を截除した斜面図、第７図は高密度圧粉体の斜面図を示
す。 （１）・・・混合室 （３）　（５）・・・超微粒子生成室 （７）・・・混合気搬送管 （８）　（９）・・・キャリヤガス搬送管ａＯ０・・・
加熱源 Ａ、Ｂ・・・蒸発原材料　　ａ、ｂ・・・超微粒子Ｃ・
・・圧粉体、高密度圧粉体 帥・・・圧粉体形成室　　（Ｉ訃・・ノズルａｅ・・・
偏心回転系　　（１６ａ）・・・保持腕（＋７１・・・
付着板　　　　　（ｌａ・・・胃降杆（１！ｌ）・・・
屏降駆動装置　　■・・・筒状ガイド壁■・・・真空ポ
ンプ接続管 ■・・・不活性ガス導入管 ■・・・容器 ＱΦ・・・キャリヤガス供給装置 （２４ａ）・・・キャリヤガス導入管 （２４ｂ）・・・キャリヤガス源 ■・・・被覆管、被包体 （ト）・・・被覆管支持 ＠の・・・押杆（ピンチ機械）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、少なくとも２種の超微粒子をキャリヤガス中で混合
   し、次でその混合気を被着面に吹き付け、そのスプレー
   圧でこれら超微粉の集積固塊から成る圧粉体を形成する
   ことを特徴とする圧粉体の製造法。 ２、少なくとも２種の超微粒子をキャリアガス中で混合
   し、次でその混合気を被着に吹き付け、そのスプレー圧
   でこれら超微粉の集積固塊から成る圧粉体を形成し、次
   で圧粉体をそのまま又は密包した状態で、加熱すること
   なく又は比較的低温の加熱下で、加圧することを特徴と
   する圧粉体の製造法。 ３、少なくとも２種の超微粒子をキャリアガス中で混合
   する混合室と、該混合室に混合気搬送管を介して接続す
   る圧粉体形成室と該圧粉体形成室内に設けた前記搬送管
   の先端の偏心回転可能で且つ昇降自在のスプレー用ノズ
   ルと該ノズルに対面して昇降自在の被着面と該被着面の
   周側面を囲繞する筒状ガイドとから成る圧粉体製造装置
   。 ４、少なくとも２種の超微粒子をキャリヤガス中で混合
   する混合室と、該混合室に混合気搬送管を介して接続す
   る圧粉体形成室と、該圧粉体形成室内に設けた前記搬送
   管の先端の偏心回転可能且つ昇降自在のスプレー用ノズ
   ルと該ノズルに対面して昇降自在の被着面と該被着面の
   周側面を囲繞する筒状ガイドと、該圧粉体を収納するた
   めの被覆管を保持する保持腕と、該被覆管の両端を挾圧
   密閉せしめるピンチ機構と、該圧粉体形成室に接続する
   不活性ガス導入管と真空排気装置とから成る圧粉体製造
   装置。