JPS6184604A - 不等間隔格子溝回折格子の製造方法 - Google Patents
不等間隔格子溝回折格子の製造方法Info
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- JPS6184604A JPS6184604A JP59206278A JP20627884A JPS6184604A JP S6184604 A JPS6184604 A JP S6184604A JP 59206278 A JP59206278 A JP 59206278A JP 20627884 A JP20627884 A JP 20627884A JP S6184604 A JPS6184604 A JP S6184604A
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- G02B5/18—Diffraction gratings
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- G02B5/1852—Manufacturing methods using mechanical means, e.g. ruling with diamond tool, moulding
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B43L13/00—Drawing instruments, or writing or drawing appliances or accessories not otherwise provided for
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
この発明は不等間隔格子溝を有する回折格子を機械的に
製造する方法、とくに格子溝の間隔を連続的かつ大幅に
変化させた回折格子を製造する方法に関するものである
。
製造する方法、とくに格子溝の間隔を連続的かつ大幅に
変化させた回折格子を製造する方法に関するものである
。
回折格子は発明されて以来すでに２００年近い歴史をも
ち、その間に性能は飛路的に向上したが、格子溝配列と
いう点では、平面回折格子、凹面回折格子にかかわらず
１等間隔の格子溝配列が長年踏襲されてきた。
ち、その間に性能は飛路的に向上したが、格子溝配列と
いう点では、平面回折格子、凹面回折格子にかかわらず
１等間隔の格子溝配列が長年踏襲されてきた。
ところが近年、等間隔の格子溝配列に代えて不等間隔の
格子溝配列を行なうことが提案されている。すなわち、
凹面回折格子の格子溝配列を不等間隔にすることにより
、スペクトル像の収差を除去あるいは低減した。いわゆ
る収差補・正形の凹面回折格子が数多く提案され、また
光の収束機能が全くなかった平面回折格子や、円筒軸を
含む面内では光の収束機能がなかった円筒面回折格子の
格子溝配列を不等間隔にすることにより、光の分散機能
とともに収束機能をも有する平面回折格子や円筒面回折
格子が提案されてきた。
格子溝配列を行なうことが提案されている。すなわち、
凹面回折格子の格子溝配列を不等間隔にすることにより
、スペクトル像の収差を除去あるいは低減した。いわゆ
る収差補・正形の凹面回折格子が数多く提案され、また
光の収束機能が全くなかった平面回折格子や、円筒軸を
含む面内では光の収束機能がなかった円筒面回折格子の
格子溝配列を不等間隔にすることにより、光の分散機能
とともに収束機能をも有する平面回折格子や円筒面回折
格子が提案されてきた。
そして、従来収差補正形の凹面回折格子を製造する方法
としては、ホログラフイク技術を応用した方法と、機械
的な方法とがある。しかし、収束機能を有する平面回折
格子１円筒面回折格子を製造する場合には、収差補正形
の凹面回折格子の製造方法を応用することができない。
としては、ホログラフイク技術を応用した方法と、機械
的な方法とがある。しかし、収束機能を有する平面回折
格子１円筒面回折格子を製造する場合には、収差補正形
の凹面回折格子の製造方法を応用することができない。
すなわち、ホログラフイク技術を応用した方法は、記録
用レーザ光による干渉縞の明暗を感光乳剤または感光性
樹脂の凹凸に変換したのち、真空蒸着法等により表面に
金属薄膜を形成するものであるが、この方法におしく゛
ては、記録用レーザ光源位置と光源波長の制約があるた
め、平面回折格子や円筒面回折格子に所望の収束機能を
もたせることは困難である。とくに、この種の回折格子
は通常軟Ｘ線から真空紫外波長領域で使用されるが、こ
の波長領域では上記制約が厳しく、ホログラフィク技術
を応用してこのような回折格子を製造することは事実上
不可能であるといってよい。
用レーザ光による干渉縞の明暗を感光乳剤または感光性
樹脂の凹凸に変換したのち、真空蒸着法等により表面に
金属薄膜を形成するものであるが、この方法におしく゛
ては、記録用レーザ光源位置と光源波長の制約があるた
め、平面回折格子や円筒面回折格子に所望の収束機能を
もたせることは困難である。とくに、この種の回折格子
は通常軟Ｘ線から真空紫外波長領域で使用されるが、こ
の波長領域では上記制約が厳しく、ホログラフィク技術
を応用してこのような回折格子を製造することは事実上
不可能であるといってよい。
また、第２図は収差補正形の凹面回折格子を機械的に製
造する方法（特公昭５７−３３５６２号）を実施するた
めの装置を示す図である。図において。
造する方法（特公昭５７−３３５６２号）を実施するた
めの装置を示す図である。図において。
１１は主電動機、１２はベルト、１３はベルト１２によ
り主電動機１１の回転が伝えられるウオーム減速機、１
４はウオーム減速機１３から回転が伝えられる刃物往復
周期リンク装置、１５はリンク装置１４によって往復運
動される刃物移動台で、刃物移動台１５には格子溝刻線
用刃物が取付けられている。１６はウオーム減速機１３
から回転が伝えられる変速歯車、２３は変速歯車１６か
ら回転が伝えられる差動歯車、１７は差動歯車２３から
回転が伝えられる送りネジ、１８は送りネジ１７の回転
角に応じて移動する格子基板移動台、１９は移動台１８
上に取付けられた格子基板、２４は刃物移動台１５が１
往復するごとに開閉するスイッチ、２０はコンピュータ
、２１はスイッチ２４の開閉ごとにコンピュータ２０の
指示に従って所定数のパルスを発生するパルス発生器、
２２はパルス発生器２１から発生するパルス数に応じた
回転角だけ回転するパルスモータで、パルスモータ２２
の回転は差動歯車２３に伝えられる。
り主電動機１１の回転が伝えられるウオーム減速機、１
４はウオーム減速機１３から回転が伝えられる刃物往復
周期リンク装置、１５はリンク装置１４によって往復運
動される刃物移動台で、刃物移動台１５には格子溝刻線
用刃物が取付けられている。１６はウオーム減速機１３
から回転が伝えられる変速歯車、２３は変速歯車１６か
ら回転が伝えられる差動歯車、１７は差動歯車２３から
回転が伝えられる送りネジ、１８は送りネジ１７の回転
角に応じて移動する格子基板移動台、１９は移動台１８
上に取付けられた格子基板、２４は刃物移動台１５が１
往復するごとに開閉するスイッチ、２０はコンピュータ
、２１はスイッチ２４の開閉ごとにコンピュータ２０の
指示に従って所定数のパルスを発生するパルス発生器、
２２はパルス発生器２１から発生するパルス数に応じた
回転角だけ回転するパルスモータで、パルスモータ２２
の回転は差動歯車２３に伝えられる。
この装置においては、主電動機１１の回転がベルト１２
．ウオーム減速機１３を介してリンク装置１４に伝えら
れ、リンク装置１４により刃物移動台１５が往復運動さ
れる。そして、ウオーム減速機１３の回転が変速歯車１
６．差動歯車２３を介して送りネジ１７に伝えられると
ともに、スイッチ２４が１刻線終了ごとに閉となり、パ
ルスモータ２２が所定の回転角だけ回転し、この回転が
差動歯車２３を介して送りネジ】７に伝えられる。した
がって、刃物が格子基板１９に刻線している間は、格子
基板移動台１８．格子基板１９が変速歯車１６で設定さ
れた回転速度に応じた速度で移動し、刃物が刻線終了後
に次の刻線を開始するまでの間に、格子基板移動台１８
．格子基板１９は変速歯車１６で設定された回転速度に
応じた送りＭ（基本送り量）にパルス発生器２１から発
生するパルス数に応じた送り量（補正送り量）を増減し
た量だけ移動する。このため、コンピュータ２０により
パルス発生器２１から発生するパルス数を制御すること
により、所望の不等間隔の格子溝を刻線することができ
る。
．ウオーム減速機１３を介してリンク装置１４に伝えら
れ、リンク装置１４により刃物移動台１５が往復運動さ
れる。そして、ウオーム減速機１３の回転が変速歯車１
６．差動歯車２３を介して送りネジ１７に伝えられると
ともに、スイッチ２４が１刻線終了ごとに閉となり、パ
ルスモータ２２が所定の回転角だけ回転し、この回転が
差動歯車２３を介して送りネジ】７に伝えられる。した
がって、刃物が格子基板１９に刻線している間は、格子
基板移動台１８．格子基板１９が変速歯車１６で設定さ
れた回転速度に応じた速度で移動し、刃物が刻線終了後
に次の刻線を開始するまでの間に、格子基板移動台１８
．格子基板１９は変速歯車１６で設定された回転速度に
応じた送りＭ（基本送り量）にパルス発生器２１から発
生するパルス数に応じた送り量（補正送り量）を増減し
た量だけ移動する。このため、コンピュータ２０により
パルス発生器２１から発生するパルス数を制御すること
により、所望の不等間隔の格子溝を刻線することができ
る。
ところで、補正送り量は単位パルス当りの格子基板１９
の送り量とパルス数との積である。そして、パルスモー
タ２２を格子基板１９の不等間隔送り用の駆動源とした
ときには、厳密には格子溝間隔が不連続的に変化するが
、実用上連続的に変化していると見なせるように、単位
パルス当りの格子基板１９の送り量を通常０．２人と小
さくしている。また。
の送り量とパルス数との積である。そして、パルスモー
タ２２を格子基板１９の不等間隔送り用の駆動源とした
ときには、厳密には格子溝間隔が不連続的に変化するが
、実用上連続的に変化していると見なせるように、単位
パルス当りの格子基板１９の送り量を通常０．２人と小
さくしている。また。
パルスモータ単独では、最大駆動周波数が１０に七程度
のものも実現されているが、このような高速でパルスモ
ータ２２を回転したときには、パルスモータ２２の起動
、停止時に、差動歯車２３以降の回転伝達系の回転速度
が急変し、格子基板１９に正しい送りを与えることが極
めて困難となるから、格子基板１９に正しい送りを与え
るためには、パルスモータ２２の最大駆動周波数を５０
０Ｈｚ程度に制限する必要がある。さらに、パルスモー
タ２２の回転可能時間は刃物往復周期の半分以下であり
、刃物往復周期は通常６秒程度であるから、パルスモー
タ２２回転可能時間は最大３秒程度である。以上のこと
から、補正送り量の最大値は０，２ Ｘ １０−’ Ｘ
５００ Ｘ ３＝０．０３−となる。
のものも実現されているが、このような高速でパルスモ
ータ２２を回転したときには、パルスモータ２２の起動
、停止時に、差動歯車２３以降の回転伝達系の回転速度
が急変し、格子基板１９に正しい送りを与えることが極
めて困難となるから、格子基板１９に正しい送りを与え
るためには、パルスモータ２２の最大駆動周波数を５０
０Ｈｚ程度に制限する必要がある。さらに、パルスモー
タ２２の回転可能時間は刃物往復周期の半分以下であり
、刃物往復周期は通常６秒程度であるから、パルスモー
タ２２回転可能時間は最大３秒程度である。以上のこと
から、補正送り量の最大値は０，２ Ｘ １０−’ Ｘ
５００ Ｘ ３＝０．０３−となる。
ここで、不等間隔の格子溝配列を有する凹面回折格子に
おいては、収差補正を目的としているから、各格子溝間
隔と格子溝の平均間隔との差すなわち間隔変化量は一般
に極めて小さく、その最大値が０．０３Ｉｔｒｎより大
きくなることは稀であり１通常の収差補正形の凹面回折
格子は上に述べた従来法で十分製造可能である。しかし
ながら、不等間隔の格子溝配列を有する平面回折格子や
円筒面回折格子においては、本来備わっていない光の収
束機能を得ることを目的としたものであり、後に示す例
からも明らかなように、格子溝の間隔変化量は必然的に
大きくなり、その最大値は０．０３．ｍを大幅に超えて
しまう。したがって、単に格子基板を凹面から平面ある
いは円筒面に置き替えて従来法を適用しただけでは、所
望の平面回折格子、円筒面回折格子を製造することは事
実上不可能である。
おいては、収差補正を目的としているから、各格子溝間
隔と格子溝の平均間隔との差すなわち間隔変化量は一般
に極めて小さく、その最大値が０．０３Ｉｔｒｎより大
きくなることは稀であり１通常の収差補正形の凹面回折
格子は上に述べた従来法で十分製造可能である。しかし
ながら、不等間隔の格子溝配列を有する平面回折格子や
円筒面回折格子においては、本来備わっていない光の収
束機能を得ることを目的としたものであり、後に示す例
からも明らかなように、格子溝の間隔変化量は必然的に
大きくなり、その最大値は０．０３．ｍを大幅に超えて
しまう。したがって、単に格子基板を凹面から平面ある
いは円筒面に置き替えて従来法を適用しただけでは、所
望の平面回折格子、円筒面回折格子を製造することは事
実上不可能である。
また、凹面回折格子においても、格子溝の間隔変化量の
最大値が０．０３−を超えるようなときには、従来法で
の刻線が困難であることはいうまでもなｕｌ。
最大値が０．０３−を超えるようなときには、従来法で
の刻線が困難であることはいうまでもなｕｌ。
このように、ホログラフイク技術を応用した方法であれ
、機械的な方法であれ、従来法で光の収束機能を備えた
平面回折格子１円筒面回折格子のように格子溝の間隔を
大幅に変化させた不等間隔の格子溝配列を有する回折格
子を製造することは不可能である。
、機械的な方法であれ、従来法で光の収束機能を備えた
平面回折格子１円筒面回折格子のように格子溝の間隔を
大幅に変化させた不等間隔の格子溝配列を有する回折格
子を製造することは不可能である。
この発明は上述の問題点を解決するためになされたもの
で、格子溝の間隔を大幅に変化させることができる不等
間隔格子溝回折格子の製造方法を提供することを目的と
する。
で、格子溝の間隔を大幅に変化させることができる不等
間隔格子溝回折格子の製造方法を提供することを目的と
する。
この目的を達成するため、この発明においては。
格子基板、格子溝刻線用刃物のどちらか一方を基本送り
量に補正送り量を加減した量だけ送りながら、上記格子
基板、上記格子溝刻線用刃物のうちの他方を往復運動さ
せることにより、上記格子基板に不等間隔の格子溝を刻
線して１回折格子を製造する方法において、上記格子溝
の間隔の最大値と最小値との差が所定値以下となるよう
に刻線領域を複数の小領域に分割し、上記基本送り量を
各上記小領域の格子溝のほぼ平均間隔とする。
量に補正送り量を加減した量だけ送りながら、上記格子
基板、上記格子溝刻線用刃物のうちの他方を往復運動さ
せることにより、上記格子基板に不等間隔の格子溝を刻
線して１回折格子を製造する方法において、上記格子溝
の間隔の最大値と最小値との差が所定値以下となるよう
に刻線領域を複数の小領域に分割し、上記基本送り量を
各上記小領域の格子溝のほぼ平均間隔とする。
第１図はこの発明の原理説明図で、横軸は格子溝番号ｎ
を示し、縦軸は格子溝間隔σ。を示し。
を示し、縦軸は格子溝間隔σ。を示し。
図の曲線のように格子溝間隔σ１が最小σｍｉｎから最
大σ、８まで変化する回折格子を刻線する場合について
考える。
大σ、８まで変化する回折格子を刻線する場合について
考える。
この場合、各小領域内での格子溝間隔σ。の最大値と最
小値との差がたとえば０．０６−以下となるように、刻
線領域を格子溝番号ｎ方向に分割し、各小領域を図示の
ように１，２．・・・・・・２ｍとし、各小領域内での
格子溝の平均間隔をσ１１．σ、。
小値との差がたとえば０．０６−以下となるように、刻
線領域を格子溝番号ｎ方向に分割し、各小領域を図示の
ように１，２．・・・・・・２ｍとし、各小領域内での
格子溝の平均間隔をσ１１．σ、。
・・・・・・、σ、とすると、格子溝の間隔楼化料Δσ
１は、１の領域ではσ、−σａ１，２の領域ではσ。−
σ、、・・・・・・、同様にｍの領域ではσ、−σ、と
なる。このとき、１Δσｎ１の最大値は０．０３ａｍ以
下となる。したがって、基本送り量を平均間隔σａ１と
して１の小領域を刻線すれば、補正送り量を０．０３７
ａｎ以下とすることができ、同様に基本送り量を平均間
隔σ２□、・・・・・・、σ、として２．・・・・・・
。
１は、１の領域ではσ、−σａ１，２の領域ではσ。−
σ、、・・・・・・、同様にｍの領域ではσ、−σ、と
なる。このとき、１Δσｎ１の最大値は０．０３ａｍ以
下となる。したがって、基本送り量を平均間隔σａ１と
して１の小領域を刻線すれば、補正送り量を０．０３７
ａｎ以下とすることができ、同様に基本送り量を平均間
隔σ２□、・・・・・・、σ、として２．・・・・・・
。
ｍの小領域を刻線すれば、補正送り量をそれぞれ０．０
３７ｎｎ以下とすることができる。このため、格子溝の
間隔が大幅に変化するときすなわちσｍａｘ−σ１ｎの
値が大きいときにも、補正送り量を大きくせずに格子溝
を刻線することが可能である。
３７ｎｎ以下とすることができる。このため、格子溝の
間隔が大幅に変化するときすなわちσｍａｘ−σ１ｎの
値が大きいときにも、補正送り量を大きくせずに格子溝
を刻線することが可能である。
第３図はこの発明に係る不等間隔格子溝回折格子の製造
方法を実施するための装置を示す図であり、この装置に
おいては、変速歯車１６と差動歯車２３との間に変速歯
車２５が設けられている。このため、変速歯車２５の変
速比を変えることによって、変速歯車１６で設定されて
回折格子全体の格子溝の平均間隔に相当する送り量を、
回折格子の゛刻線開始前あるいは開始後の任意の時点で
任意の値に変更することが可能である。
方法を実施するための装置を示す図であり、この装置に
おいては、変速歯車１６と差動歯車２３との間に変速歯
車２５が設けられている。このため、変速歯車２５の変
速比を変えることによって、変速歯車１６で設定されて
回折格子全体の格子溝の平均間隔に相当する送り量を、
回折格子の゛刻線開始前あるいは開始後の任意の時点で
任意の値に変更することが可能である。
つぎに、本発明者らが先に発明したシンクロトロン放射
光用のモノクロメータ（特願昭５８−２１７７２６号）
に用いる平面回折格子を、第３図に示す装置を使用して
製造する方法について説明する。
光用のモノクロメータ（特願昭５８−２１７７２６号）
に用いる平面回折格子を、第３図に示す装置を使用して
製造する方法について説明する。
第４図は上記平面回折格子の格子溝位置Ｗと格子溝間隔
σ。どの関係を示すグラフである。この平面回折格子に
おいては、格子溝間隔σ。がσ１．ｎ＃０．３２ｇ＋か
らσ□ｘ＃０．５１までほぼ直線状に変化しており、σ
□８−σ、１ｒｌ＝０．１９−であるので、刻線領域を
第４図に示すように、１（−１００ａｍ≦ｗく一３３ｍ
）、２（−３３ｍ≦Ｗ≦３３ｍ）、３（３３ｍ＜ｗ≦１
００ｍｍ）の３つの小領域に分割する。そして、まず変
速歯車１６の変速比を、変速歯車２５の変速比が１のと
きに基本送り量が回折格子全体の格子溝の平均間隔に近
い０．４１−となるように設定する。つぎに、変速歯車
２５の変速比を基本送り量が１の小領域の平均間隔σ、
１＝０．３５Ｉ１ｍとなるように設定し。
σ。どの関係を示すグラフである。この平面回折格子に
おいては、格子溝間隔σ。がσ１．ｎ＃０．３２ｇ＋か
らσ□ｘ＃０．５１までほぼ直線状に変化しており、σ
□８−σ、１ｒｌ＝０．１９−であるので、刻線領域を
第４図に示すように、１（−１００ａｍ≦ｗく一３３ｍ
）、２（−３３ｍ≦Ｗ≦３３ｍ）、３（３３ｍ＜ｗ≦１
００ｍｍ）の３つの小領域に分割する。そして、まず変
速歯車１６の変速比を、変速歯車２５の変速比が１のと
きに基本送り量が回折格子全体の格子溝の平均間隔に近
い０．４１−となるように設定する。つぎに、変速歯車
２５の変速比を基本送り量が１の小領域の平均間隔σ、
１＝０．３５Ｉ１ｍとなるように設定し。
パルス発生器２１から発生するパルス数を補正送り量が
格子溝の間隔変化量Δσ□＝σ。−σ４、に等しくなる
ように制御して、１の小領域を刻線する。
格子溝の間隔変化量Δσ□＝σ。−σ４、に等しくなる
ように制御して、１の小領域を刻線する。
１の小領域の刻線が終了したとき、変速歯車２５の変速
比を１にし、すなわち基本送り量が２の小領域の平均間
隔σ。＝０．４１−となるように設定し、パルス発生器
２１から発生するパルス数を補正送り量が間隔変化量Δ
σ、＝σ１−σ２□に等しくなるように制御して、２の
小領域を刻線する。さらに、２の小領域の刻線が終了し
たとき、変速歯車２５の変速比を基本送り量が３の小領
域の平均間隔σ８゜＝０．４７左となるように設定し、
パルス発生器２１から発生するパルス数を補正送り量が
間隔変化量Δσ１＝σ。−σ。に等しくなるように制御
して、３の小領域を刻線する０以上の方法により、格子
溝間隔σ１が最小σ、、ｎ＝０．３２−から最大σ、、
Ｘ＝０．５１まで連続的に変化した所望の不等間隔の格
子溝配列を有する平面回折格子を製造することができ、
新規なシンクロトロン放射光用のモノクロメータを実現
できる。
比を１にし、すなわち基本送り量が２の小領域の平均間
隔σ。＝０．４１−となるように設定し、パルス発生器
２１から発生するパルス数を補正送り量が間隔変化量Δ
σ、＝σ１−σ２□に等しくなるように制御して、２の
小領域を刻線する。さらに、２の小領域の刻線が終了し
たとき、変速歯車２５の変速比を基本送り量が３の小領
域の平均間隔σ８゜＝０．４７左となるように設定し、
パルス発生器２１から発生するパルス数を補正送り量が
間隔変化量Δσ１＝σ。−σ。に等しくなるように制御
して、３の小領域を刻線する０以上の方法により、格子
溝間隔σ１が最小σ、、ｎ＝０．３２−から最大σ、、
Ｘ＝０．５１まで連続的に変化した所望の不等間隔の格
子溝配列を有する平面回折格子を製造することができ、
新規なシンクロトロン放射光用のモノクロメータを実現
できる。
なお、上述実施例においては、回折格子全体の格子溝の
平均間隔に相当する送り量を定める変速歯車１６と、基
本送り量を各小領域の平均間隔と等しくなるように定め
る変速歯車２５とを直列に組合わせたが、変速歯車１６
．２５を一体化し、その変速比を各小領域ごとに変化さ
せた場合にも、同様な効果が得られることはもちろんで
ある。また、上述実施例においては、格子基板１９を送
りながら。
平均間隔に相当する送り量を定める変速歯車１６と、基
本送り量を各小領域の平均間隔と等しくなるように定め
る変速歯車２５とを直列に組合わせたが、変速歯車１６
．２５を一体化し、その変速比を各小領域ごとに変化さ
せた場合にも、同様な効果が得られることはもちろんで
ある。また、上述実施例においては、格子基板１９を送
りながら。
格子溝刻線用刃物を往復運動させる場合について説明し
たが、格子溝刻線用刃物を送りながら、格子基板１９を
往復運動させる場合にもこの発明の方法を適用できるこ
とは当然である。
たが、格子溝刻線用刃物を送りながら、格子基板１９を
往復運動させる場合にもこの発明の方法を適用できるこ
とは当然である。
以上説明したように１．−の発明に係る不等間隔格子溝
回折格子の製造方法においては、光の分散機能とともに
収束機能をも有する平面回折格子。
回折格子の製造方法においては、光の分散機能とともに
収束機能をも有する平面回折格子。
円筒面回折格子のように、格子溝間隔が大幅に変化する
不等間隔格子溝回折格子を製造することが可能となる。
不等間隔格子溝回折格子を製造することが可能となる。
このように、この発明の効果は顕著である。
第１図はこの発明の原理説明図、第２図は従来の不等間
隔格子溝回折格子の製造方法を実施するための装置を示
す図、第３図はこの発明に係る不等間隔格子溝回折格子
の製造方法を実施するための装置を示す図、第４図はこ
の発明の方法により製造すべき不等間隔格子溝を有する
平面回折格子の格子溝位置と格子溝間隔との関係を示す
グラフである。 １５・・・刃物移動台 １６・・・変速歯車１７
・・・送りネジ １８・・・格子基板移動台１
９・・・格子基板 ２ｏ・・・コンピュータ２
１・・・パルス発生器 ２２・・・パルスモータ２
３・・・差動歯車 ２４・・・スイッチ２５・
・・変速歯車
隔格子溝回折格子の製造方法を実施するための装置を示
す図、第３図はこの発明に係る不等間隔格子溝回折格子
の製造方法を実施するための装置を示す図、第４図はこ
の発明の方法により製造すべき不等間隔格子溝を有する
平面回折格子の格子溝位置と格子溝間隔との関係を示す
グラフである。 １５・・・刃物移動台 １６・・・変速歯車１７
・・・送りネジ １８・・・格子基板移動台１
９・・・格子基板 ２ｏ・・・コンピュータ２
１・・・パルス発生器 ２２・・・パルスモータ２
３・・・差動歯車 ２４・・・スイッチ２５・
・・変速歯車
Claims (1)
- 格子基板、格子溝刻線用刃物のどちらか一方を基本送り
量に補正送り量を加減した量だけ送りながら、上記格子
基板、上記格子溝刻線用刃物のうちの他方を往復運動さ
せることにより、上記格子基板に不等間隔の格子溝を刻
線して、回折格子を製造する方法において、上記格子溝
の間隔の最大値と最小値との差が所定値以下となるよう
に刻線領域を複数の小領域に分割し、上記基本送り量を
各上記小領域の格子溝のほぼ平均間隔としたことを特徴
とする不等間隔格子溝回折格子の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59206278A JPS6184604A (ja) | 1984-10-03 | 1984-10-03 | 不等間隔格子溝回折格子の製造方法 |
| US06/783,363 US4690506A (en) | 1984-10-03 | 1985-10-03 | Method of producing varied line-space diffraction gratings |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59206278A JPS6184604A (ja) | 1984-10-03 | 1984-10-03 | 不等間隔格子溝回折格子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6184604A true JPS6184604A (ja) | 1986-04-30 |
Family
ID=16520667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59206278A Pending JPS6184604A (ja) | 1984-10-03 | 1984-10-03 | 不等間隔格子溝回折格子の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4690506A (ja) |
| JP (1) | JPS6184604A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004053992A (ja) * | 2002-07-22 | 2004-02-19 | Hitachi Cable Ltd | 回折格子、波長合分波器及びこれらを用いた波長多重信号光伝送モジュール |
| JP2022132297A (ja) * | 2018-08-29 | 2022-09-08 | 株式会社日立ハイテク | 凹面回折格子及びその製造方法 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5156943A (en) * | 1987-10-25 | 1992-10-20 | Whitney Theodore R | High resolution imagery systems and methods |
| US5108187A (en) * | 1990-03-30 | 1992-04-28 | The Perkin Elmer Corporation | Section grating generator |
| DE4016362A1 (de) * | 1990-05-21 | 1991-11-28 | Siemens Ag | Optisches gitter, insbesondere zur dreidimensionalen vermessung von objekten |
| US5058281A (en) * | 1990-08-23 | 1991-10-22 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics & Space Administration | Control system for ruling blazed, aberration corrected diffraction gratings |
| US5589983A (en) * | 1993-12-29 | 1996-12-31 | Eastman Kodak Company | Method of manufacturing a diffractive surface profile |
| US5701005A (en) * | 1995-06-19 | 1997-12-23 | Eastman Kodak Company | Color separating diffractive optical array and image sensor |
| US20130335825A1 (en) * | 2012-06-13 | 2013-12-19 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Method of Manufacture of X-Ray Diffraction Gratings |
| DE102014109735B3 (de) * | 2014-07-11 | 2015-11-12 | Helmholtz-Zentrum Berlin Für Materialien Und Energie Gmbh | Vorrichtung zur Herstellung optischer Gitter |
| CN113267889B (zh) * | 2021-06-08 | 2024-05-24 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种二次相位离轴菲涅尔波带片设计方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4012843A (en) * | 1973-04-25 | 1977-03-22 | Hitachi, Ltd. | Concave diffraction grating and a manufacturing method thereof |
-
1984
- 1984-10-03 JP JP59206278A patent/JPS6184604A/ja active Pending
-
1985
- 1985-10-03 US US06/783,363 patent/US4690506A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004053992A (ja) * | 2002-07-22 | 2004-02-19 | Hitachi Cable Ltd | 回折格子、波長合分波器及びこれらを用いた波長多重信号光伝送モジュール |
| JP2022132297A (ja) * | 2018-08-29 | 2022-09-08 | 株式会社日立ハイテク | 凹面回折格子及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4690506A (en) | 1987-09-01 |
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