JPS618296A - 閉回路型釣合い重錘を備えたマニピユレ−タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明が属する分野 本発明は、工業用ロボットに関し、特に円筒状の連動系
内で作動する工業用ロボットに関する。

本発明は、更に、円筒状の連動系内径内で作動する、釣
合い重錘系を有するロボットのための釣合い重錘系に関
する。

従来の技術及びその問題点 工業用ロボットは公知であり、多岐にわたる作業の実施
のため多くの形式のロボットが使用されている。多くの
形式のロボットに共通するものは、重力により生じる上
向きの運動を行なう可動要素即ち構成要素（即ち、アー
ムまたはアームの一部）である。重力は、上向きの運動
中その上方運動に対抗しかつ運動の間の要素の如何なる
静止位置においても要素を下方に押下げようとする。あ
る場合には、要素即ちアームに対するこのような下方向
の重力の作用は、ロボットのアームの位置を徐々に変化
させ、これによりロボット・アームの信頼性の高い正確
な位置決めを困難にする。重力の影響を克服するため、
従来技術のロボットは、特にロボットのアームに対する
重力の作用を打消す（５）　　　　　　　　　　　　　
＋−制動作用を持たせるための直流電動サーボモータを
使用している。しかし、ロボットの大きさが増し、ロボ
ット・アームの負荷容量が大きくなるに伴ない、大型の
非常に高価な直流電動サーボモータの使用が必要となる
。このような試みは経費およびエネルギの消費が嵩むも
のである。

ロボット・アームに対する重力の作用の問題を処理する
別の従来技術の試みは、１９８１年９月１５日発行の米
国特許第４，２８９，４４１号に開示されている。この
米国特許は、可動胴部に対して上向きの力を作用させる
ため少なくとも１つ垂直方向の案内ピラーにより案内さ
れる垂直方向に運動可能な胴部上に支持された空圧作動
シリンダを有するロボットについて教示する。同米国特
許によれば、空圧作動シリンダは制御弁およびロボット
とは別個の圧縮空気供給源に対して結合されている。こ
の試みは、ロボットの装備、コストおよび構造の複雑さ
を付加するものである。ロボットのユーザは、圧縮空気
の供給源、配管、フィルタおよび空圧作動シリンダを作
動させる他の装置を提供しなければならない。従って、
必要な配管、結合部、作用弁、フィルタおよび他の装置
に沿ってロボットに至る外部の加圧流体（例えば、圧縮
空気）供給源の支持部を提供する必要を取除く同時に、
ロボット・アームに対し作用する重力の釣合いをとるこ
とが望ましい。

本発明の目的は、作用力を付加するための流体シリンダ
装置と、シリンダに対する閉回路の流体結合部内のアキ
ュムレータとからなる重力釣合い用閉回路系の加圧流体
シリンダ装置の提供にある。

別の目的は、ロボット・アームに対する重力の作用と釣
合いをとるための閉回路系の加圧流体装置を備えた工業
用ロボットの提供にある。

更に別の目的は、閉回路系の加圧流体装置がロボットの
外部の流体供給源に対する接続を必要としないロボット
・アームに対する重力の釣合いをとるための閉回路系の
加圧流体装置を有する工業用ロボットの提供にある。

問題を解決する手段 本発明によれば、上下方向に運動可能な被駆動部材と、
該部材を駆動しかつこれに重力釣合い作用力を与えるピ
ストンを有する加圧流体シリンダと加圧流体シリンダに
対する閉回路結合部内の加圧流体アキュムレータとから
なる重力釣合い用閉回路加圧流体装置とを有する工業用
マニピュレータが提供される。

本発明は、工業用マニピュレータを提供し、特に上下に
運動可能な被駆動部材（例えば、ロボット・アーム）に
対する重力と釣合いをとるため外部の加圧流体供給源を
必要としない自蔵の加圧流体装置を備えた工業用ロボッ
トを提供するものである。本発明によれば、ロボット・
アームに対して重力釣合い作用力を与えるための構造が
比較的簡単であり、コストが比較的安く、便利な独立装
置が提供される。更に、本発明は、本発明による加圧流
体装置がロボットのアームに対して重力釣合い力を与え
、これにより電動サーボモータがロボット・アームを上
方向に駆動することを更に容易にするため、本発明によ
らない場合に必要となるよりも小さなロボット・アーム
の上下駆動用型動サーボモータを使用することを可能に
する。

本発明については、更に、アームの運動の空間内でその
アームの位置が、ロボット・アームがその内部で作動す
る円筒状空間の長手方向軸心と一致するロボット・アー
ムの回転軸心を有する円筒状の座標系が画成される工業
用電動ロボットに関して記述する。このようなロボット
は、一般に、電動サーボモータにより垂直方向に直線経
路内でまた水平方向に直線経路内に運動させられる部材
（例えば、アーム）を有し、またアームの垂直方向の直
線運動経路に対して直角の面内の水平方向の円形経路内
でアームを運動させるためアームを支持する電動サーボ
モータで駆動する回転要素を有する。ロボット・アーム
のこのような運動を組合せて、その内部でアームが作動
する円筒状の空間を画成する。このような形式のロボッ
トは公知であり、本文においては円筒状の連動ロボット
と呼ぶ。

実施例 第１図においては、本発明による円筒状の連動系の工業
用ロボッ１−１０が概略図により示されている。ロボッ
ト１０は、基部１４および頂板１１に対して固定される
ピラー１２によってその上に支持され裏白される垂直方
向に運動可能な部材１５に対し取付けられた水平方向に
運動可能なアーム１３を有する。作用においては、電動
サーボモータであることが望ましく、直流電動サーボモ
ータであることが更に望ましいモータ１６が、部材１５
を上下方向に運動させるためこの部材１５に対し取付け
られたボールねじ１７を駆動する。部材１５が下方に運
動する時、ブラケット２４．２５により部材１５に取付
けられた延長したピストン・ロッド２３が支持部２１に
より基部１４に対して取付けられた加圧流体で充填され
たシリンダ１８内に押戻され、加圧流体をシリンダ１８
からパイプ２０を介して固定具２２により基部１４に対
して取付けられたアキュムレータ１９内に押込む。シリ
ンダ１８内の加圧流体はピストン・ロッド２３に取付け
られた図示しないピストンに対して上向きの作用力を及
ぼし、このピストン・ロンドハ更／ｌｎＸ に作用力をブラケット２４に伝達し、更に部材１５に対
し上向きの重力釣合い作用力を与える。シリンダ１８か
らアキュムレータ１９に対して押込まれた流体は流体の
圧力を増加させ、これにより部材１５に対して加えられ
る上向きの重力釣合い作用力を増加させる。部材１５の
下向き運動の下方限界において、閉回路の加圧流体装置
内の流体圧力（即ち、アキュムレータ１９、シリンダ１
８およびパイプ２０内の流体の圧力）は最大となり、こ
のため部材１５に対して作用する上向きの重力釣合い作
用力が最大となる。モータ１６およびボールねじ１７が
部材１５を上方に駆動する時、ロッド２３によりブラケ
ット２４を介して部材１５に対して及ぼされる重力釣合
い作用力は、部＃１５に対してロッド２３により及ぼさ
れる重力釣合い作用力が存在しない時部材１５を上方へ
運動させるに必要な負荷にくらベモータ１６の負荷を減
少させる。部材１５が上方に運動する時、アキュムレー
タ１９からパイプ２０を経てシリンダ１８に対して加圧
流体が流れ、ロッド２３がシリンダ１８から延長して部
材１５に対して重力釣合い作用力を及ぼす。部材１５の
移動上限においてロッド久はその最大長さとなり、アキ
ュムレータ１９およびシリンダ１８内の加圧流体はその
最低圧力にあり、このため部材１５に対して最も小さな
重力釣合い作用力を及ぼす。アキュムレータ１９および
シリンダ１８は、閉回路系内の流体量が一定の状態を維
持して加圧流体の外部からの供給を必要としないように
パイプ２０により閉回路内に結合されている。シリンダ
１８は、このシリンダの上端部におけるシリンダ壁面に
大気に開口する排気ボート２７が設けられている。部材
１５を支持し案内するためのピラー１２を支持する基部
１４は、図示しない駆動装置（例えば、電動サーボモー
タ）によってプラットフォーム２６上で回転させられる
。

部材１５上に支持されたアーム１３は、図示しない駆動
装置（例えば、電動サーボモータ）により直線状経路内
で水平方向に運動させられる。アキュムレータ１９はこ
れを、一方がパイプ２ｏと連通し他方がパイプ２０から
隔離される２つの室に分割する可撓性を有するダイヤフ
ラムを有する空油圧流体系を使用することが望ましい。

パイプ２０と連通ずる室、パイプ２０およびシリンダ１
８が作動油を保有する。パイプ２０から隔離された室は
、圧縮空気または他の不活性の気体（例えば、窒素）を
保有する。部材１５の下方運動の間、作動油はシリンダ
１８からアキュムレータ１９内に流れて、空気を保有す
る室を圧縮する可撓性を有するダイヤフラムを押圧し、
この室内の圧力を上昇させる。この状態は更に作動油の
圧力を上昇させ、これが更に部材１５に対して加えられ
る重力釣合い作用力を上昇させる結果となる。部材１５
の上方向運動において、作動油が作動油室から出る時、
作動油はアキュムレータ１９からシリンダ１８へ流入し
てダイヤフラムを押圧する圧縮空気が前記空気室を膨張
させる。

本発明の望ましい実施態様が第２図の概略図に示されて
いる。多くの点において、第２図に示されるロボットは
第１図に概略が示されたロボットと類似する（例えば、
可動部材１５、モータ１６、ピラー１２、可動アーム１
３、ボールねじ１７、アキュムレータ１９、基部１４お
よびプラットフォーム２６）。第１図に対する第２図に
示された重要な相違点は、シリンダ３１のロッド３２を
可動部材１５に対して結合する方法、重力釣合い作用力
を部材１５に対して与える方法、流体の圧力を受けるシ
リンダ３１のピストン（図示せず）の側に対するシリン
ダ３１の作用状態、加圧流体がシリンダ３１に導入され
るシリンダ３１のピストン（図示せず）の側におけるア
キュムレータ１９のシリンダ３１に対する結合状態、お
よびシリンダ３１の比較的小さな寸法である。第２図に
おいては、モータ１６（例えば、電動サーボモータ、望
ましくは直流サーボモータ）がボールねじ１７を駆動し
て部材１５を下方に運動させる時、ボルト３６により部
材１５に取付られ、部材３５のスプロケットホイール３
９およびロッド３２に対し取付けられた部材３３のスプ
ロケットホイール３８を通りかつボルト３７により頂板
１１に取付けられたチェーン３４がロッド３２を引張っ
て支持部２１により基部１４に対して取付けられたシリ
ンダ３１からロッド３２を延長させる。ロッド３２がシ
リンダ３１から延長させられると、加圧流体がシリンダ
３１からパイプ４０を介して固定具２２により基部１４
に対して固定されたアキュムレータ１９へ流れる。加圧
流体は、シリンダ３１内でロッド３２に取付けられたピ
ストン（図示せず）に対して作用力を及ぼし、この作用
力は重力釣合い作用力としてリンク・チェーン３４およ
びスプロケット３３．３５を介して部材１５に伝達され
る。駆動モータ１６がボールねじ１７を駆動して部材１
５を上方向に駆動すると、ロッド３２はシリンダ３１内
のロッド３２に取付けられたピストン（図示せず）のロ
ンド側に作用する加圧流体の作用力によりシリンダ３１
内に後退し、加圧流体はアキュムレータ１９からパイプ
４０を経てシリンダ３１内のピストン（図示せず）のロ
ンド側へ流れる。加圧流体によりシリンダ３１内のピス
トン（図示せず）に生じる作用力は、ロッド３２、チェ
ーン３４および部材３３．３５を介して部材１５に対し
て与え釣合い作用力として伝達される。

第２図に概略が示される本発明のロボットにおいては、
モータ１６上の負荷は、アキュムレータ１９、パイプ４
０、シリンダ３１、ロッド３２、リンク・チェーン３４
、部材３３，３５、およびアキュムレータ１９とシリン
ダ３１間の閉回路結合部における加圧流体の組合せを介
して部材１５の上方向の運動中本発明によらない場合に
存在する負荷よりも小さく々る。第２図に示されたロボ
ットにおいては、アキュムレータ１９はこれを加圧され
た空気室とパイプ４０と連通ずる作動油室とに仕切る可
撓性に富むダイヤフラムまたは可撓性を有する隔膜を有
し、作動油はパイプ４０とシリンダ３１内に存在する。

この構成においては、相互に接触することなく作用力を
及ぼし得るように加圧空気および作動油は可撓性を有す
るダイヤフラムまたは可撓性を有する隔膜によって相互
に分割され、この構成は空油圧系として公知である。作
用においては、アキュムレータ内の空気量は部材１５の
上下方向の運動によりそれぞれ圧縮膨張させられる。部
材１５上に取付けられたアーム１３は、図示しないモー
タ（例えば、電動サーボモータ、望ましくは直流サーボ
モータ）によって駆動されて水平方向の直線経路内で運
動する。基部１４は、モータ（例えば、電動サーボモー
タ、望ましくは直流サーボモータ）によりプラットフォ
ーム２６上で回転させられる。アキュムレータ１９とシ
リンダ３１間の閉回路の加圧流体結合部は、シリンダ３
１に対する加圧流体の外部の供給源の必要を省く。第２
図のチェーン３４および部材３３．３５の代りに、ワイ
ヤ・ケーブルおよびプーリをそれぞれ使用することがで
きる。

第３図および第４図は、本発明の実施によるアキュムレ
ータとシリンダ間の加圧流体の閉回路の流動経路、およ
び上下に運動可能な部材の垂直方向の運動限界点または
その付近におけるアキュムレータとシリンダの状態を示
している。第３図および第４図においては、上下方向に
運動可能な部材（５５）は図示しない手段（例えば、電
動機）により上下方向に駆動される。本発明の実施にお
けるアキュムレータとシリンダ間の加圧流体の閉回路の
流れを説明する目的のため、アキュムレータおよびシリ
ンダの概略が第３図および第４図において示されている
。このため、第３図および第４図に示される形式のアキ
ュムレータ（即ち、単一の室を有し、同室内の流体に対
して圧力を直接及ぼすための機械的な手段を持たない）
が本発明の実施において使用□可能であるが、相互に隔
離された２つの室を形成するアキュムレータの内側に可
撓性の隔膜を有するアキュムレータもしくは変更可能な
容積を有する他の公知のアキュムレータを使用すること
が望ましい。このような望ましいアキュムレータは、本
発明の実施において圧力流体として作動油を使用するた
めに特に望ましい。第３図および第４図は、空油圧流体
系（例えば、圧縮空気および作動油）の使用状態を示す
。ピストン５３およびロッド５４を取付けたシリンダ５
０は、パイプ５２によりアキュムレータ５１に対して閉
回路で結合されている。作動油５６はシリンダ５０とア
キュムレータ５１間を流れる。変更可（１日） 能な体積の加圧空気５７はアキュムレータ５１内の作動
油供給源５６の上方に存在する。第３図においては、上
下に運動可能な部材５５がその下方運動の限界点または
その付近に位置する。作動油５６の略々全量がシリンダ
５０から押出され、矢印で示されるようにパイプ５２を
経てアキュムレータ５１に対して送られて加圧された空
気の体積５７を最小および最大圧力に圧縮する。上下方
向に運動可能な部材５５がその下方運動限界点から上方
へ移動すると（第３図）、第４図の矢印で示されるよう
に加圧空気量が膨張して作動油５６を加圧空気の圧力下
にあるアキュムレータ５１からパイプ５２を介してシリ
ンダ５０内へ強制して、作用力をピストン５３に対して
及ぼし、この作用力はピストン５３と結合されたロッド
５４によって重力釣合い作用力として可動部材５５へ伝
達される。可動部材５５がその上方運動の限界点または
その付近にある第４図において、アキュムレータ５１内
の加圧空気量５７はその最大点にあり、アキュムレータ
５１内の作動油量５６はその最小点にある。可動部材５
５に対して重力釣合い作用力として伝達された作用力は
、第３図のその最大値またはその付近となり、また第４
図におけるその最小値またはその付近にある。第５図に
おいては、シリンダ６０と可動部材６１間の別の結合状
態が概略図で示される。部材６１は、駆動モータ６５お
よびこのモータ６５により駆動されるボールねじ６６に
より基部６３および頂板６４に対して取付けられた案内
柱体６２上を上下方向に駆動される。シリンダ６０は、
ピストン・ロッド６７、スプロケット６９上を通るチェ
ーン６８およびスプロケット７１上を通るチェーン７０
により結合され、結合部７６により部材６１に対して取
付けられている。チェーン６８．７０は、自由端部をそ
れぞれスプロケット６９．７１０反対側に有する。部材
６１が上昇する時、ピストン・ロッド６７は、フランジ
７３により基部６３に取付けられたアキュムレータ７２
がらパイプ７４を介して支持部７５により基部６３に取
付けられたシリンダ６０に流れる加圧流体の圧力下で、
シリンダ６０内に引込む。アキュムレータ７２、パイプ
７４およびシリンダ６０は、作動油がアキュムレータ７
２内に存在する閉回路の空油圧作動系、パ“イブ７４お
よびシリンダ６０からなり、圧縮された空気量はアキュ
ムレータ７２内の作動油よりも高い位置にあって作動油
に対して圧力を与えることが望ましい。シリンダ６０内
に引込むロッド６７はチェーン６８に対し下方向の作用
力を及ぼして、共通の軸上でスプロケット６９に対して
堅固に結合されたスプロケット６９およびスプロケット
７１を引戻す。スプロケット７１がスプロケット６９と
同じ方向に回転すると、このスプロケットはチェーン７
０に対して、従ってチェーン７０に取付けられた部材６
１に対して上方向の作用力を与える。

部材６１上のチェーンにより与えられる上方向の作用力
は重力釣合い作用力である。このため、シリンダ６０内
の図示しないピストンに対する加圧流体の作用力は、重
力釣合い作用力として部材６１に対して伝達される。駆
動モータ６５がこれに取付けられたボールねじ６６を介
して部材６１を下（２１）　　　　　　　　　　　　　
−−一方に駆動する時、下方向の作用力がスプロケット
７１を回転させるチェーン７０上に及ぼされ、これがス
プロケット６９を同じ方向に回転させる。

スプロケット６９が回転すると、上方向の作用力がチェ
ーン６８に与えられてこれがチェーン６８に取付けられ
たロッド６７をシリンダ６０から延長させ、流体は内部
の図示しないピストンによってシリンダ６０からパイプ
７４を通ってアキュムレータ７２内へ強制され、これに
よりアキュムレータ７２内の流体の圧力を上昇させる。

アキュムレータ７２内のこの上昇した圧力はパイプ７２
内の流体、従ってシリンダ６０内の流体に対して伝達さ
れる。このため、シリンダ６０内の上昇した圧力は部材
６１に対する荷重支持作用をもたらすことができ、どん
な荷重でも部材６１によって支持することができる。ス
プロケット６９および７１は、スプロケット７１の外周
部がスプロケット６９の外周部の数倍（例えば、２倍）
となるように配置されることが望ましい。あるいはまた
、２つのスプロケットの歯数およびピッチが同じ場合に
は、スプロケット７１の直径をスプロケット６９の直径
の数倍とし、またスプロケット７１の歯数をスプロケッ
ト６９の歯数の数倍とすることもできる。

スプロケット６９と７１間のこのような関係が、さもな
ければ部材６１０所要の垂直方向の運動度を得るため必
要となるよりも短いシリンダ（例えば、比較的短いピス
トンの移動量即ち行程を有するシリンダ）の使用が可能
となる点で有利である。

基部６３は、プラットフォーム７８上で回転自在に支持
され、また図示しない駆動手段（例えば、電動サーボモ
ータ）によりプラットフォーム７８上で回転させられる
。部材６１は、その上に支持された水平方向に運動可能
な図示しない駆動手段（例えば、電動サーボモータ）に
より駆動されるアーム７７を有する。

本発明の実施においては、加圧流体の最大圧力が上下方
向に運動可能な部材の下方の運動限界点において、シリ
ンダのピストンに対する作用力が駆動手段および上下に
運動可能な部材に作用する摩擦作用力、上下に運動可能
な部材に作用する重力の最大値および下方向の最大作用
力の和と等しくなるような値に調整され、上下に運動可
能な部材を駆動する駆動手段はこの駆動手段に過大な負
荷を与えることなく上下に運動可能な部材に対して作用
力を及ぼすことができる。本発明の実施においては、加
圧空気は他の加圧した不活性気体（例えば、９素）と置
換することができる。使用される単一の加圧流体が液体
（例えば、作動油）である場合は、アキュムレータがこ
の液体に対して機械的な負荷を与え、かつアキュムレー
タ技術において周知の如く液体に対する貯蔵空間がアキ
ュムレータ内に移動させられることが必要となる。

例えば、ピストン型のアキュムレータ、ダイヤフラム型
のアキュムレータ、荷重型のアキュムレータ、ばね型の
アキュムレータおよび嚢体型のアキュムレータの如き当
技術において周知の種々のアキュムレータが本発明の実
施において使用可能である。

本発明の望ましい実施態様である工業用ロボットは、関
節付きのロボットおよび円筒状の連動ロボットに限定さ
れるものではないがこれを含む上下に運動可能な部材を
備えたいくつかの公知の形式のロボットのいずれでもよ
い。本文の開示および頭書の特許請求の範囲においては
、用語マニピュレータとは工業用ロボットの意味内に含
まれるべきものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による工業用ロボットを示す概略側面図
、第２図は本発明による工業用ロボットの望ましい一実
施態様を示す概略側面図、第３図は重力釣合い作用力、
および本発明による運動可能な被駆動部材の下方運動に
おける流体の流れを与えるための閉回路加圧流体装置を
示す概略図、第４図は重力釣合い作用力、および本発明
による運動可能な被駆動部材の上向き運動における流体
の流れを与えるための閉回路加圧流体装置を示す概略図
、および第５図は本発明による工業用ロボットの一実施
態様を示す概略側面図である。 １０・・・ロボット、１１・・・頂板、１２・・・ピラ
ー、１３・・・可動アーム、１４・・・基部、１５・・
・可動部材、１６・・・モータ、１７・・・ボールネジ
、１８・・・シリンダ、１９・・・アキュムレータ、２
ｏ・・・パイプ、２１・・・支持部、２２・・・固定具
、２３・・・ピストン・ロッド、２４・・・ブラケット
、２５・・・ブラケット、２６・・・プラットフォーム
、２７・・・排気ポート、３１・・・シリンダ、３２・
・・ロッド、３３・・・スプロケット、３４・・・チェ
ーン、３５・・・スプロケット、３８・・・スプロケッ
トホイール、４０・・・パイプ、５ｏ・・・シリンダ、
５１・・・アキュムレータ、５２・・・パイプ、５３・
・・ピストン、５４・・・ロッド、５５・・・可動部材
、５６・・・作動油、５７・・・加圧空気、６０シリン
ダ、６１・・・可動部材、６２・・・案内柱体、６３・
・・基部、６４・・・頂板、６５・・・駆動モータ、６
６・・・ボールねり、、６７・・・ピストン・ロッド、
６８・・・チェーン、６９・・・スプロケット、７０・
・・チェーン、７１・・・スプロケット、７２・・・ア
キュムレータ、７３川フランジ、７４・・・パイプ、７
５・・・支持部、７６・・・結合部、７７・・・アーム
、７８・・・プラントフオーム。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、（ａ）対象物を空中に制御自在に定置するよう上下
   に運動可能な被駆動部材と、 （ｂ）該部材を駆動する装置と、 （ｃ）前記部材に重力釣合い作用力を与えるよう部材と
   結合された閉回路型加圧流体装置とを含む工業用マニピ
   ュレータにおいて、 （１）重力釣合い作用力を前記部材に付加するよう前記
   部材と結合されたピストンを有する加圧された流体シリ
   ンダと、 （２）該シリンダと閉回路結合状態にある加圧流体アキ
   ュムレータと、 （３）前記シリンダと前記アキュムレータ間の加圧流体
   結合装置と、 （４）加圧状態の流体とからなることを特徴とするマニ
   ピュレータ。 ２、特許請求の範囲第１項記載の工業用マニピュレータ
   において、該マニピュレータが工業用ロボットであるこ
   とを特徴とするマニピュレータ。 ３、特許請求の範囲第２項記載のマニピュレータにおい
   て、前記流体シリンダが液体圧作動シリンダであること
   を特徴とするマニピュレータ。 ４、特許請求の範囲第２項記載の工業用マニピュレータ
   において、前記流体シリンダが空圧作動シリンダである
   ことを特徴とするマニピュレータ。 ５、特許請求の範囲第２項記載の工業用マニピュレータ
   において、前記流体シリンダのピストンが前記被駆動部
   材に対して直接結合されることを特徴とするマニピュレ
   ータ。 ６、特許請求の範囲第２項記載の工業用マニピュレータ
   において、前記流体シリンダのピストンが、スプロケッ
   トと係合しかつ前記被駆動部材及びピストンに対し結合
   されたチェーンを介し前記被駆動部材に取付けられてい
   ることを特徴とするマニピュレータ。 ７、特許請求の範囲第２項記載の工業用マニピュレータ
   において、前記流体シリンダのピストンが、プリー上に
   掛渡されかつ前記被駆動部材及びピストンに対し結合さ
   れたケーブルにより前記被駆動部材に取付けられること
   を特徴とするマニピュレータ。 ８、特許請求の範囲第２項記載の工業用マニピュレータ
   において、前記アキュムレータがダイヤフラム型のアキ
   ュムレータであることを特徴とするマニピュレータ。 ９、特許請求の範囲第２項記載の工業用マニピュレータ
   において、前記アキュムレータが、重錘型アキュムレー
   タ、ばね装填型アキュムレータ及びピストン型アキュム
   レータからなるアキュムレータ群から選択されることを
   特徴とするマニピュレータ。 １０、特許請求の範囲第２項記載の工業用マニピュレー
   タにおいて、前記加圧流体が作動油であることを特徴と
   するマニピュレータ。 １１、特許請求の範囲第２項記載の工業用マニピュレー
   タにおいて、前記加圧流体が圧縮された空気と作動油の
   組合せであることを特徴とするマニピュレータ。 １２、特許請求の範囲第２項記載の工業用マニピュレー
   タにおいて、前記駆動装置が電動サーボモータとボール
   ねじからなることを特徴とするマニピュレータ。 １３、特許請求の範囲第２項記載の工業用マニピュレー
   タにおいて、円筒状の座標系内に３つの運動方向を有す
   ることを特徴とするマニピュレータ。 １４、特許請求の範囲第２項記載の工業用マニピュレー
   タにおいて、関節付きアームを有することを特徴とする
   マニピュレータ。 １５、特許請求の範囲第６項記載の工業用マニピュレー
   タにおいて、前記加圧流体が圧縮空気と作動油の組合せ
   であり、前記駆動装置が電動サーボモータとボールねじ
   からなり、前記被駆動部材を上下に運動可能に支持し案
   内する少なくとも２つの柱体を更に設けることを特徴と
   するマニピュレータ。