JPS6182141A - 分光光度計 - Google Patents
分光光度計Info
- Publication number
- JPS6182141A JPS6182141A JP20533384A JP20533384A JPS6182141A JP S6182141 A JPS6182141 A JP S6182141A JP 20533384 A JP20533384 A JP 20533384A JP 20533384 A JP20533384 A JP 20533384A JP S6182141 A JPS6182141 A JP S6182141A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- light
- optical system
- spectroscope
- integrating sphere
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/255—Details, e.g. use of specially adapted sources, lighting or optical systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ・ 産業上の利用分野
本発明は大型任意形状の試料例えば自動車のフ形
ロントガラスのような物をそのま＼の簗で透過率を測定
すると云うような要求に応じ得る分光光度計に関する。
すると云うような要求に応じ得る分光光度計に関する。
口・ 従来技術
従来の分光光度計は、分光器、測定光学系、試料室、測
光回路等が構造的に一体化されておシ、試料室はせまく
、形が固定していて試料の設定。
光回路等が構造的に一体化されておシ、試料室はせまく
、形が固定していて試料の設定。
種々な測定補助具の配置の自由が乏しく、大型任意形状
の試料の測定には不向きであった。また大型試料殊に厚
さの厚い試料の測定に当っては次のような光学的な問題
があったっ 即ち、透過率の測定においては、試料を置かないで１０
０チ透過率に対応する測光出力を求め（１００％透過率
測定）、次に試料を置いて測光出力を求め（試料測定）
、両側光出力の比として試料の透過率を得るのであるが
、測定光学系から分光器の入口スリットに入射する光束
が第２図Ａに示すように１００％透過率測定時に入口ス
リットＳｌ上に最も良く集光されるように測定光学系を
調整しておくと、試料測定の場合第２図Ｂに示すように
、試料Ｇによる光の屈折により、入口スリットＳ１に入
射する光束の集光点が８１より後方に移動し、また試料
面の傾きによって横方向にずれ、光束の分光器への入射
効率が低下する。このため見掛けの透過率が実際の透過
率より小さく表われる。
の試料の測定には不向きであった。また大型試料殊に厚
さの厚い試料の測定に当っては次のような光学的な問題
があったっ 即ち、透過率の測定においては、試料を置かないで１０
０チ透過率に対応する測光出力を求め（１００％透過率
測定）、次に試料を置いて測光出力を求め（試料測定）
、両側光出力の比として試料の透過率を得るのであるが
、測定光学系から分光器の入口スリットに入射する光束
が第２図Ａに示すように１００％透過率測定時に入口ス
リットＳｌ上に最も良く集光されるように測定光学系を
調整しておくと、試料測定の場合第２図Ｂに示すように
、試料Ｇによる光の屈折により、入口スリットＳ１に入
射する光束の集光点が８１より後方に移動し、また試料
面の傾きによって横方向にずれ、光束の分光器への入射
効率が低下する。このため見掛けの透過率が実際の透過
率より小さく表われる。
ハ・ 発明が解決しようとする問題点
本発明は分光光度計を大型任意形状の試料測定を可能に
する溝道にすると共に、試料による屈′折−光散乱等に
よって測定光束の分光器への入射効率が変化することの
影響を除去しようとするものである。
する溝道にすると共に、試料による屈′折−光散乱等に
よって測定光束の分光器への入射効率が変化することの
影響を除去しようとするものである。
二０問題解決のための手段
本発明は分光器と測定光学系とを構造的に分離し、着脱
自在な治具によって両者の光軸合せを行うようにし、分
光器と測定光学系との間の開放空間を試料設定空間とし
て、試料の形状に対する制御をなくし、試料設定空間が
開放空間であることによって、外光が測定の妨害になる
のを防ぐだめ、測定光束をチョッピングし、試料の有無
による光束の移動の影響を除去するため、試料透過光を
積分球を介して分光器に導入するようにした。
自在な治具によって両者の光軸合せを行うようにし、分
光器と測定光学系との間の開放空間を試料設定空間とし
て、試料の形状に対する制御をなくし、試料設定空間が
開放空間であることによって、外光が測定の妨害になる
のを防ぐだめ、測定光束をチョッピングし、試料の有無
による光束の移動の影響を除去するため、試料透過光を
積分球を介して分光器に導入するようにした。
ホ・作用
測定光学系と分光器とが構造上分離しているので、両者
間の空間は必要に応じて大小任意に設定でき、開放空間
であるから大型任意形状の試料をセットできる。試料設
定空間が開放空間であると外光の影響を受けるが、外光
は変化のおそい昼光と電灯とか螢光灯のような商用周波
数で脈動している光とであるから、測定光束を商用電源
周波数と異る周期でチョッピングし、測光出力からチョ
ッピング周波数の信号だけを抽出することにより外光の
影響を除去できる。積分球の光入射窓の広さを、測定光
束の試料の有無による移動をカバーできる大きさにして
おくことにより、光束の移動にかかわシなく、測定光の
分光器への入射効率を ”一定にすることができる。
間の空間は必要に応じて大小任意に設定でき、開放空間
であるから大型任意形状の試料をセットできる。試料設
定空間が開放空間であると外光の影響を受けるが、外光
は変化のおそい昼光と電灯とか螢光灯のような商用周波
数で脈動している光とであるから、測定光束を商用電源
周波数と異る周期でチョッピングし、測光出力からチョ
ッピング周波数の信号だけを抽出することにより外光の
影響を除去できる。積分球の光入射窓の広さを、測定光
束の試料の有無による移動をカバーできる大きさにして
おくことにより、光束の移動にかかわシなく、測定光の
分光器への入射効率を ”一定にすることができる。
へ・実施例
第１図は本発明の一実施例を示す。Ｌは光源を含む測定
光学系、Ｍは分光器、ｐｃは測光回路、Ｓ工Ｇは信号処
理回路で、Ｐは分光器Ｍの光入射側に付設される前置光
学系である。ＡＬは治具であって、分光器Ｍに取付けら
れるガイドレール状の金具であシ、測定光学系りはこの
治具に沿って摺動させることができ、この治具に沿って
摺動させることによシ、前置光学系Ｐと光軸を合せた状
態で両者間の距離を変えることができる。測定光学系り
と前置光学系Ｐとの間の空間が試料設定空間であシ、図
では自動車のフロントガラスが試料Ｇとして設置されて
いる。測定光学系りは位置決めが終ったら治具ＡＬは取
外す。
光学系、Ｍは分光器、ｐｃは測光回路、Ｓ工Ｇは信号処
理回路で、Ｐは分光器Ｍの光入射側に付設される前置光
学系である。ＡＬは治具であって、分光器Ｍに取付けら
れるガイドレール状の金具であシ、測定光学系りはこの
治具に沿って摺動させることができ、この治具に沿って
摺動させることによシ、前置光学系Ｐと光軸を合せた状
態で両者間の距離を変えることができる。測定光学系り
と前置光学系Ｐとの間の空間が試料設定空間であシ、図
では自動車のフロントガラスが試料Ｇとして設置されて
いる。測定光学系りは位置決めが終ったら治具ＡＬは取
外す。
測定光学系りでＢは光源、 ｌｌ、１２．１３はレン
ズ、ＣＨはチョッパであり、Ｔはチョッパの回転と同期
した信号を取出すホトカプラ等のセンサである。分光器
Ｍにおいて、Ｓｌは入口スリット、Ｓ２は出口スリット
であり、ｇは回折格子である。
ズ、ＣＨはチョッパであり、Ｔはチョッパの回転と同期
した信号を取出すホトカプラ等のセンサである。分光器
Ｍにおいて、Ｓｌは入口スリット、Ｓ２は出口スリット
であり、ｇは回折格子である。
前置光学系Ｐにおいて、工Ｓは積分球であり、光入射窓
Ｗ１が測定光学系りに向って開口しており、光出射窓Ｗ
２の像がレンズ１５．ミラーｍ１によって分光器Ｍの入
口スリットＳｌ上に形成されるようになっている。
Ｗ１が測定光学系りに向って開口しており、光出射窓Ｗ
２の像がレンズ１５．ミラーｍ１によって分光器Ｍの入
口スリットＳｌ上に形成されるようになっている。
測光回路ｐｃにおいて、Ｄは光検出器であり、その出力
はアンプを介して信号処理回路ＳｌＧに送られる。信号
処理回路ＳｌＧではチョッパＣＨの回転センサＴから送
られて来る同期信号を用いて、測光回路ｐｃの出力から
測定光に関する成分を取出す。
はアンプを介して信号処理回路ＳｌＧに送られる。信号
処理回路ＳｌＧではチョッパＣＨの回転センサＴから送
られて来る同期信号を用いて、測光回路ｐｃの出力から
測定光に関する成分を取出す。
図の実施例では試料は大型で曲っているので、前置光学
系の入口よシ稍離して設置され、前置光学系の入口には
遮光筒ＡＤが取付けられている。
系の入口よシ稍離して設置され、前置光学系の入口には
遮光筒ＡＤが取付けられている。
遮光筒は着脱自在であって、なくても良いが、大型試料
と前置光学系とが試料設定時のミスで直接衝突すると云
うような危険を防ぐこと、及び外光が余り多いと測光系
のダイナミックレンジを圧迫性の場合は、試料を積分球
の入射恣ｗ１に接触させるのが良い。
と前置光学系とが試料設定時のミスで直接衝突すると云
うような危険を防ぐこと、及び外光が余り多いと測光系
のダイナミックレンジを圧迫性の場合は、試料を積分球
の入射恣ｗ１に接触させるのが良い。
なお上述実施例で分光器Ｍと測光回路ＰＣとの間に第２
試料室ＳＣが設けられているが、もちろんこれはなくて
もよい。また前置光学系Ｐは分光器の付属装置として着
脱可能としておくことにより、通常の分光光度計として
利用することもできる０ ト、効果 本発明分光光度計は上述したような構成で、分光器の前
置光学系として積分球を用いているから、試料による測
定光束の移動の影響がなく、試料空間が開放空間である
から大型任意形状の試料の測定が可能となシ、工場の製
造現場等で、加工部品とか製品の直接測定ができ品質管
理上の有力な武器となるものである。
試料室ＳＣが設けられているが、もちろんこれはなくて
もよい。また前置光学系Ｐは分光器の付属装置として着
脱可能としておくことにより、通常の分光光度計として
利用することもできる０ ト、効果 本発明分光光度計は上述したような構成で、分光器の前
置光学系として積分球を用いているから、試料による測
定光束の移動の影響がなく、試料空間が開放空間である
から大型任意形状の試料の測定が可能となシ、工場の製
造現場等で、加工部品とか製品の直接測定ができ品質管
理上の有力な武器となるものである。
第１図は本発明の一実施例の平面図、第２図は従来例の
問題点を説明する図で、同人は試料がないとき、同Ｂは
試料をセットしたときの状態を示す。 代理人 弁理士 係 浩 介 ヤ２図
問題点を説明する図で、同人は試料がないとき、同Ｂは
試料をセットしたときの状態を示す。 代理人 弁理士 係 浩 介 ヤ２図
Claims (1)
- 測定光学系と分光器とを構造的別体とし、両者間の位置
決めをする治具を分光器に着脱可能に設け、測定光学系
と分光器との間の開放空間を試料設定空間とし、分光器
の光入口側に積分球を配置して試料透過光を積分球を介
して分光器に入射させる構成とし、測定光を商用交流周
期と異る周期でチョッピングする手段を設けたことを特
徴とする分光光度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20533384A JPS6182141A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 分光光度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20533384A JPS6182141A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 分光光度計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6182141A true JPS6182141A (ja) | 1986-04-25 |
Family
ID=16505182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20533384A Pending JPS6182141A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 分光光度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6182141A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63139234A (ja) * | 1986-12-02 | 1988-06-11 | Canon Inc | 光学装置 |
| US5176229A (en) * | 1989-09-29 | 1993-01-05 | Atsugi Unisia Corporation | Hydraulic shock absorber with a rod guide having an annular doubled wall section |
| JP2012047732A (ja) * | 2010-07-30 | 2012-03-08 | Hoya Corp | 透過率測定装置、フォトマスクの透過率検査装置、透過率検査方法、フォトマスク製造方法、パターン転写方法、フォトマスク製品 |
-
1984
- 1984-09-28 JP JP20533384A patent/JPS6182141A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63139234A (ja) * | 1986-12-02 | 1988-06-11 | Canon Inc | 光学装置 |
| US5176229A (en) * | 1989-09-29 | 1993-01-05 | Atsugi Unisia Corporation | Hydraulic shock absorber with a rod guide having an annular doubled wall section |
| JP2012047732A (ja) * | 2010-07-30 | 2012-03-08 | Hoya Corp | 透過率測定装置、フォトマスクの透過率検査装置、透過率検査方法、フォトマスク製造方法、パターン転写方法、フォトマスク製品 |
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