JPS6182107A - 光学的欠陥検査装置 - Google Patents

光学的欠陥検査装置

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JPS6182107A
JPS6182107A JP60140100A JP14010085A JPS6182107A JP S6182107 A JPS6182107 A JP S6182107A JP 60140100 A JP60140100 A JP 60140100A JP 14010085 A JP14010085 A JP 14010085A JP S6182107 A JPS6182107 A JP S6182107A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔利用分野〕 本発明は、全体として物体検査装置に関するものでめｐ
、更に詳しくいえば、半導体装置の製造に使用されるフ
ォトマスクの透明性の極めて小さい欠陥全探丁念めに使
用される種類の自動フォトマスク検査装置におけるテジ
タル画像増強装置の使用に関するものでるる。
〔先行技術〕
この出願は下記の米国特許および米国特許出願に関連す
るものでるる。
米国特許−第４，２４７，２０３号、第４，３４７，０
０１号米国特許出願−１９８３年６月２４日第５０５，
８４８号、１９８３年３月１１日第４７４，４６１号、
１９８３年５月８日　第４９２，６５８号、　　　　　
゛１９８３年５月１２日第４９４，７６２号。
大規模集積回路（ＬＳＩ＞の製造における灸留り低下の
大きな原因の１つは、半導体装置ｔフォトリソグラフ技
術で製造する際に使用されるフォトマスクにまち１ちに
生ずる欠陥である。先行技術における諸問題と、それら
の問題の解決技術が前記米国特許お工び米国特許出願に
十分詳しく述べられている。
検査に対する要求がま丁まア厳しくなるにつれて、たと
えば、より小さい諸特徴の認知と、＝９小さい諸欠陥の
検出と、一層高い幾何学的密度金取扱う能力とに対する
要求が厳しくなるにつれて、検査の成否が、光学装置の
物理的限界また（はそれの近くでの検査装置の操作の可
能性により左右される。たとえば、検査装置が非常に小
さい欠陥全確実に「見る」ためには、最悪の場合のノイ
ズしきい値をこえる欠陥ｔｙＲ調する工うに十分に広い
空間周波数帯にわたって光学装置および画像獲得装置の
利得が十分に高くなくてはならない。光学装置の変調伝
達関数の形は、光学装置の制限される開口数（Ｎ、　Ａ
、すなわちＮｕｍｅｒｉｃａｌ　Ａｐｅｒｔ・ｕｒｅ　
）　　と、使用する光の平均波長およびコヒーレントの
程度とにより決定される。開口数が大きくなると光学的
帯域幅が広くなるが、他の性能を許容できる程度に保っ
て、Ｎ、Ａ、ｔ−現用のｏ、８５以上に大幅に増大する
ことｆ′ｉ現在では極めて困難でるる。液浸対物レンズ
に：り一層高い有用なＮ、Ａ、　？得ることができるが
、試料が汚染される危険がめる比めにこの用途には向か
ない。元の波長金短くすると光学装置の帯域幅が広くな
るが、現在用いられている５４０ｎｔｎより十分に短い
波長においてシリコンフォトダイオードの感度が急に低
下しはじめる。他の種類のフォトダイオードはシリコン
フォトダイオードはどの感度、速度および素子数を達成
できない。便用する元の可干渉性（コヒーレントイ）が
高くなると低い周波数および中間周波数における光利得
ｔ−高くできるが、それに伴ってコストが上昇する。
可干渉性が高くなると光の帯域幅カニ狭くなり、フリン
ジング（ｆｒｉｎｇｉｎｇ　）の確率が高くなり、光学
系を輝度が直線であるとして取扱うことの妥当性が低下
する。それらの制約が加えられ、かつ小さい欠陥に対す
る変調を改善する必要がめる次めに、装置の変調伝達関
数を修正する非光学的技術が開発されている。
〔発明の概要〕
本発Ｆ！Ａは、画像を劣化させるメカニズムを認識し、
はとんど劣化していない形に戻すように、その劣化させ
られた画像をフィルタで処理することにより、前記諸問
題を解決するものでりる。たとえば、本発明が適用され
る自動フォトマスク検査装置においては、元点拡がｐ関
数の幅が零でないこと、動いている画像を標本化するこ
との関数として生ずるぼけと、フォトダイオード・プレ
イにおける隣接するセンサ堝所の間の非零結合とによっ
て画像が劣化する。それらの要因の組合わされた効果を
、二次元ぼけ関数（ｂｌｕｒｒｉｎｇ　ｆｕｎｃｔｉｏ
ｎ）　　により劣化していない画像のコンボリューショ
ンとして空間領域内で数学的に表わすことができ、また
は二次元ぼけ関数のフーリエ変換により乗ぜられた劣化
していない画像のフーリエ変、−換の積として同波数領
域内で数学的に表わすことができる。二次元ぼけ関数の
フーリエ変換の逆に等しい伝達関数全有するフィルタが
導入されると１それの出力端子に現われるデータは劣化
されない画像を表わす。実際には、そのフィルタの出力
端子における信号対ノイズ（Ｓハ）比を、それの入力端
子における与えられた有限Ｓハ比に維持し、およびハー
ドウェアにエフ実行される演算の有限な精度を維持する
ように、フィルタの関数全前記理想的な関数から必然的
にずらす。その理想は実際には達成できないが、小さい
欠陥全確案に検出できる工うに、それらの欠陥の変調に
対して必要な改良をこの技術かも之ら丁ことが示されて
いる。
フィルタの機能全欠陥検出機能に組合わせることができ
るが、それらの機能全ハードウェアにおいて分離するこ
とによって、用いられるハードウェアの構成全大幅に簡
単にでき、かつノー−ドウエアの性能全装置の他の性能
パラメータの変動に合致させるのに大きな融通性を持几
せることができることに注意することが重要である。
この実織例においては、フィルタの機能は７ｘ７の有限
インパルス応答フィルタ？使用することにより実権でき
る。このフィルタは各入力ピクセルと、それに最も近い
４８個の入力ピクセルとの重みづけられた和として、修
正された出力ピクセル全発生する。非常に高いデータ伝
送速度全達成するＬうにこのフィルタはハードウェアで
構成さｎるが、重みづけ丁なわち係数は、フィルタで他
の装置性能パラメータの変化に適合させるためにソフト
ウェアにより変えることができる。光点拡が９関数が円
対称で、１ａＪきによるｔｉけが左右対称であり、かつ
フォトダイオード結合係数が上下対称であるから、二次
元ぼけ関数、したがって逆フイルタ関数の係数も上下対
称と左右対称？示す。本発明の構成は、本発明以外では
組合わせることができない数学的演ｇｔ−組合わせるこ
とにエフこの対称性を利用し、したがってハードウェア
の構成が簡単になる。
したがって、本発明の目的は、後段の欠陥検出装置が、
検査されている物体の諸特徴によく対応するデータに対
して機能を実施できるように、画像獲得装置にＬジ得几
デジタル画儂データを増強する手段を得ることでるる。
本発明の別の目的は、デジタル画像データを増強および
復旧する友めにデジタル・フィルタ技術が用いられる前
記した工うな種類の手段を得ることでおる。
要約すれば、本発明に従って、画像獲得サブシステムと
欠陥検出サブシステムの間で、自動フォトマスク検査装
置の信号流の中に、有限インパル、ス応答フィルタの形
で画像増強手段が含まれる。
このフィルタは、装置の光学装置にエリひき起される劣
化と、装置の光学装置に対する物体の動きに＝９ひき起
される劣化と、光検出器プレイの隣接する素子の間での
信号の重なり合いにエリひき起される劣化とを補償する
ために設計される。
本発明の重要な利点は、画像を表わす２進データが、欠
陥検出サブシステムへ与えられる２進データよりはるか
に正確でるるから、検出サブシス゛　テムは、データ中
に現われるということが知られている誤り全補償するた
めにのみ用いられる機能金倉む必要がないことでろる。
し次がって、小さい欠陥の検出は一層正確に行われ、装
置に誤りが生ずる可能性が大幅に減少させられる。
〔実権例〕
以下、図面を参照して本発明ヲ洋しく説明する。
まず、本発明の好適な実権例の詳しい説明上行う友めに
全体的なブロック図が示されている第１図？参照する。
検査せねばならない極めて小さい特徴を有する物体１２
を光学的に検査するために、画像獲得器１０が含まれる
。この画像獲得２Ｓ１０の電気的、光学的および機械的
な制約のために、それの出力端子１３に現われる信号は
、画像獲得器１０の詳しい解析により予め定めることが
てきる工うにしているいろと劣化させられる。
通常の画像検査装置においては、出力端子で３に現われ
比信号は欠陥検出器１４へ直接与えられ、劣化させられ
たデータを通訳し、そのデータ中に現われる欠陥を検出
する几めに各種のアルゴリズムが使用される。そのよう
にして得た出力をデータ記録／表示器１６などにより記
鎌ま次は表示する。
本発明に従って、画像獲得器１０と欠陥検出器１４の間
に画像増強器１Ｂを挿入して、装置に起因する画像の劣
化を補償する。
次に、本発明の画像増強器金倉む実際の自動フォトマス
ク検査装置の詳しいブロック図が示されている第２図を
参照する。第２図に示すフォトマスク検査装置お工び別
のフォトマスク検査装置の詳しい説明が前記米国特許お
工び前記未決の米国特許出頭において行わｒ−でいるが
、以下に行う第２図についての簡単な説明から、第２図
に示す装置の主な部品について知ることができるであろ
う。
第２図に示す実施例においては、第１図に示す機能ブロ
ックがそれぞれ破線で囲まれ、同じ参照番号で示されて
いる。
この装置の種々の機能部品の概略がｗＪｚ図に示され、
検査すべきマスク１２全送る几めに、花崗岩製の台３１
の上に空気軸受段３０が装着される。
空気軸受段３０はモータ３２，３４に＝りＸ方向とＹ方
向にそれぞれ動くことができ、空気軸受段３０のマスク
保持部３６がモータ３８にエリθ軸全中心として回るこ
とができる。
台３１の下側に照明器４０が配置される。この照明器４
０は穴を通じてマスク１２ｔ−下側から照明する。左側
検査光学口４２と右側検査光学器４４が、検査されてい
るマスクの０１−双眼観察ヘッド４６と、左検出器４８
お工び右検出器５０へ投写する。検査光学器４２．４４
は自動焦点手段５２にエリ焦点を自動的に合わされる。
検出器４８゜５０からのデータ出力が左と石の画像増強
器５４．５６へそれぞれ与えられる。それらの画像増強
装置は画像獲得器１０にエリひき起される画像の劣化？
補償する。画像増強器ｓ４．ｓａにエリ修正された、す
なわち「Ｐ波された」画像データはデジタル形式で左と
右のピクセル・メモリ６０゜６２へそれぞれ与えられる
。それぞれのメモリに格納され次データは欠陥解析器６
４にニジ比較され、その欠陥解析器は欠陥検出信号をマ
イクロプロセッサ７０へ与える。
マスクの２つの画像の位置合わせ修正を電子的に行う交
めに、精密位置合わせ修正装置６６も利用される。空気
軸受段３０の動きはマイクロプロセッサＴＯにエフ制御
される。マイクロプロセッサ７０は、プログラム命令と
、手動制御器８６からの手動入力と、段位置センサ７８
から受は几データとに応じて、Ｘ、Ｙお工びθ駆動量７
２，７４．７６を附勢する。キーボード８４に工ってオ
ペレータは制御でき、装置により発生されたデータはフ
ロッピーディスク８０、カセットテープ８２に格納する
友めに、またはプリンタ９０にエフ印字する７ζめに出
力できる。検査されたマスクはＣＲＴ表示器８８にエフ
表示することもできる。
第２図に示す装置の動作上簡単に説明するｔめには、光
学器４２．４４は光検出器アレイの上に光像を投写する
こと？指摘せねばならない。その光検出器アレイの幅は
光検出器１個分でメ９、長さは光検出器５１２個分でろ
る。光検出器アレイの各光検出器の出力はデジタル化さ
れてから画像増強器５４．５６へ入力される。それらの
画像増強器は加えられ次出力全ピクセルの形でバッファ
されてから、対象とするピクセル１０２　を中心とする
７×７のピクセル・アレイ１００　（第３図）として観
察される。各ピクセル１０２　ｋ、それの５ｊ！際の検
出されｆｃ＠ばかりでなく、そのピクセルの周囲の４８
個のピクセルの影響も基にして評価することにより、画
像検出全非常に正確に行うことができることかわかるで
あろう。しかし、先に指摘し７ＣＪＣうに、７×７　の
ピクセルやアレイの各ピクセルを表わ丁検出され之デー
タは、画潅獲得器１０の動作が理想的ではない几めに、
劣化させられる。
また、先に述べたように、左と右の画像増強器５４．５
６の目的はデータ？修正して、そのデータ全実際の値に
できるだけ近くなるように再構成することでろる。光学
系が画像をぼかし定時に、それらの光学系が円対称の光
点拡がり関数を画像により巻くことにより画像ｔぼかす
こと？認めると、画像増強フィルタも二次元でなければ
ならない。更に、検出用光学系全通って画像を動かす段
の動きによりるる大きさのぼけがひき起されることを認
めると、そのような劣化がｌＸ５１２　　の光検出器ア
レイ（図示せず）の長手軸に垂直な１つの方向に起るこ
とがわかるでろろう。ま友、段の動きによるぼけは１つ
の直交する方向に起るが、るるフォトダイオードから別
のフォトダイオードへのセンサの結合誤差は他の直交す
る方向でるることもわかるでろろう。したがって、それ
らの劣化源の作用が組合わさって二次元のぼけが生ずる
から、画像データ會再構成する几めには二次元フィルタ
ーを必要とする。それらの現象の組合わされ次効果は左
右対称および上下対称でるることも明らかでろる。
るる特定のピクセルに対する上記劣化の特殊な効果の原
因が周囲の４８個の各ピクセルにろることが判明し、そ
のピクセル・マトリックスに７に７の修正係数マ）　Ｉ
Ｊラックス重ね合わせ友とすると、各係数の積の和に、
それに対応するピクセルを乗することにより、ピクセル
１０２　のデータ値をエフ正確に表わす値全生ずる。し
比がって、画像増強器の一実施例がその工うなフィルタ
全直接に構成することがめる。しかし、含まれている対
称性ｔ−認識すると、得られる積の数は、中心の周囲に
対称的に配置されているピクセルが以前に加え合わされ
たものでるるとすると、１６にまで減少できる。
そのＬりな構成の一例が第４図にブロック図で示されて
いる。第２図に示す画像増強器５４．５６の１つ金表わ
す第４図において、差動受信器１１０は検出器４８（５
０）から出力を受け、適切なレベル変換を行ってからそ
の出力を列バッファ１１２へ与える。この列バッファは
ピクセル１０３〜１０９（第３図）を１つの群として動
作できるようにする。７×７のマトリックスは上下対称
でろるから、ピクセル１０３のフィルタ係数はピクセル
１０９のそれに等しく、ピクセル１０４のフィルタ係数
はピクナル１０Ｂのそれに等しく、ピクセル１０５□ のフィルタ係数はピクセル１０７　のそれに等しいこと
がわかるでろろう。ピクセル１０Ｂ　は最初の列すなわ
ち０列のまん中のピクセルでるる。バッファ１１２はピ
クセル１０３の値？ピクセル１０９の値に加えてその和
音出力し、ピクセル１０４　と１０８の値を加えてその
和を出力し、ピクセル１０５　と　１０７　の値を加え
てその和を出力し、かつピクセル１０６の値を出力する
。それから、それら４つの値は４列で重みづけられた加
算回路１１４〜１２０へ入力される。各加算回路は４つ
の係数を含む。４列で重みづけられ几加算回路は係数マ
）　ＩＪラックス４つの列に対応する。列重みづけられ
た各加算回路に含まれている４つの係数はそれに入力さ
れた４つの和に適切な係数を乗じて、それの積を加え合
わせる。し几がって、列重みづけられ定４つの加算回路
の出力は、現在列バッファに含まれている７つのピクセ
ルにＬる未来の全てのフィルタ出力への寄与を表わす。
列バッファ１１２から０列のデータが出力されてから１
本の垂直線に相当する時間の経過後に、１列（第３図）
に対応するデータがバッファ１１２に現われ、ｌクロッ
ク期間後に２列に対応するデータがバッファ１１２に現
われる、等ということがわかる。適切に構成された遅延
線１２２〜１２８を用いることにエフ、加算回路１１４
〜１２Ｇ　の４つの和出力によって、マトリックス１０
０に対応する全てのデータが遅延線の出力タップに現わ
れることになることがわかるでろろう。その結果として
、各クロック期間ごとに、０行と６行に対応する２つの
行の和が遅延１１１１２２７３”ら出力され、１行と５
行に対応する２つの行の和が遅延１ａ１２４η島ら出力
され、２行と４行に対応する２つの行の和が遅延線１２
６から出力され、３行の和が遅延線１２８により出力さ
れる。それらの和は付加算器１３０　により加え合わさ
れて、ピクセル１０２のＰ波された値に対応する複合信
号にされてから線１３１へ出力される。その複合信号は
出力クランプ１３２へ与えられる。この出力クランプ１
３２は、どの信号も所定の上限と下限をこえないように
して、クランプされｔ出力音出力ドライノ（１３４へ与
える。この出力ドライバ１３４はその出力全欠陥検出器
１４の次のメモリへ与える。この回路とともに適切なタ
イミング回路１３６と）くスインターフェイス１３８が
含まれる。バスインターフェイスにより加算面路１１４
〜１２０の設定と調整の少くとも一方を行うことができ
る。
第４因に示されている本発明の笑織例全更に説明する九
めに、第５図に示されている２変換図金参照する。図示
の１うに、列バッファ１１２　に、縦続接続されて１本
の遅延線全構成する６本のピクセル遅延線１４０〜１５
０と、３個の対称加算器１５２〜１５６　とｔ含む。友
とえば、第３図の０行におけるピクセルに対応するデー
タがノくツファ１１２へ入力されて、ピクセル１０９に
対応するデータが遅延線１５０上にあり、ピクセル１０
８のデータが遅延１ｉ１１４８　上にるる、等とする工
うにされたとすると、ピクセル１０３，１０９　　に対
応ブるデータは対称加算器１５２に工９加え合わされて
線１５３へ出力され、ピクセル１０４，１０８に対応す
るデータが遅延線１４０，１４８　に格納されて、対称
加算器１５４により加え合わされて線１５５へ出力され
、ピクセル１０５，１０７に対応するデータが遅延線１
４２，１４６　に含まれて、対称加算器１５６にエフ加
え合わされてから線１５１へ出力される。ピクセル１０
６　に対応するデータは遅延線１４４に格納されてから
線１５８へ出力される。
それから、それらの和は列重みづけられた４つの各加算
回路１１４〜１２０へ入力される。各加算回路は４つの
増幅器１６０　を含む。各増幅器は１６種類の係数の１
つに対応する利得上布する。−！几各加算回路鉱加算器
１６２　を含む。この加算器１６２　はそれに入力さル
たピクセル積を加え合わせて、４つの６和に対応する信
号全線１６４，１６６．１６８，１７０へそれぞれ出力
する。
線１６４〜１７０へ出力されたそれらの出力信号は６個
のセンサ走査の遅延線１２２と、１つのセンサ走査お工
び４つのセンサ走査の遅延線１２４と、縦続接続された
２つの走査遅延線１２６　と、１つの走査遅延線１２８
　とに入力される。し次がって、列バッファ１１２内の
６列目からのデータが出現し九のに続いて、図示の遅延
線のいくつかのタップに現われるデータは、７×７のマ
トリックス中の各ピクセル行に対する値の和に対応し、
線１３１に現われる和出力はピクセル１０２のＰ波され
た値に等しい。同様に、次のクロック期間中に、線１３
１　に現われる信号はピクセル１１１　に対応し、その
次の信号はピクセル１１３に対応する等でるる。
そシテ、２変換入力’ｋＰ　（Ｚｘ、ＺＶ）　　とＴｂ
と、２変換出力は次の通り表わされる。
ここで、 左右対称性から Ｃｉ、ｊ　＝　Ｃｉ、６−ｊ　：　０≦ｌ≦６．０≦ｊ
≦３上下対称性から Ｃｉ、ｊ＝０６−量、ｊ　：　　ｏ≦　ｌ　≦３　、０
−コー６以上の説明から、検出器４８と５０にエフ出力
された全てのデータをそれぞれ画像増強器５４゜５６に
通すことにエフ、ピクセル・メモリ６０゜６２にそれぞ
れ格納されているデータはフォトマスク１２のパターン
情報音はるかに正確に表し、欠陥解析器６４が、はるか
に高い確度および容易さで、それの解析機能を行うこと
ができることがわかるであろう。
以上、有限インパルス応答フィルタを用いる１つの実施
例について本発明を説明し次が、本発明の要旨全逸脱し
ない多様なやり方で構成された他の種類のデジタル・フ
ィルタ全周いて画像増強動作に行えることｔ理解すべき
である。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明のフォトマスク検査装置の全体の部品欠
示すブロック図、第２図は本発明の自動フォトマスク検
査装置の一実施例を示す詳細なブロック図−第３図は本
発明の好適な実施例の動作態様を絵画的に表わすピクセ
ル図、第４図は本発明の画像増強器の機能部品を示すブ
ロック図、第５図はフィルタ機能の一例全実行するため
のロジックを示す線図でるる。 １０・・・・画像獲得器、１４・・・・欠陥検出器、１
６・・・・データ記録／表示器、１８・・・・画像増強
器、４８，５０・・・・検出器、５２・・・・自動焦点
手段、５４．５６・φ・・画像増強器、６０．６２・・
・・ピクセル・メモリ、６４・・・・欠陥解析器、６６
・・・・位置合わせ修正器、７０・・・・マイクロプロ
セッサ、Ｔ８・・・・段位置センサ、１１０　・尋・・
差動受信器、１１２　・・・・列バッファ、１１４〜１
２０・・・・列重みづけらｔ′Ｌｆｃ加算回路、１２２
〜１２８・・・・デジタル遅延線、１３Ｇ　　−・Φ・
行加算ｆ３．１３２　・・・・出力クランプ、１３４・
・・・出力ドライバ。 特許出願人　　　ケイエルエイ・インストラメンッ・コ
ーポレーション

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）視認可能なパターンをピクセルごとに検査して、
    それの各ピクセルに対応するデジタル・データ信号を発
    生する画像獲得手段と、 二次元デジタル、フィルタによつて前記デジタル・デー
    タ信号を処理することにより、前記各ピクセルに対応す
    るデジタル・データ信号を修正された信号値に変換する
    ことによつて、前記修正された各信号値が、対応する入
    力デジタル・データ信号値よりも一層良く実際のピクセ
    ル・データを表すようにする画像増強手段と、 修正された前記信号値を受け、前記パターン中に欠陥が
    現われているか否かを判定する欠陥検出手段と、 この欠陥検出手段により検出されたどのような欠陥も記
    録することおよび表示することの少くとも一方の動作を
    行うデータ記録手段と を備えることを特徴とする視認可能なパターン中の欠陥
    を検出する光学的欠陥検査装置。
  2. （２）特許請求の範囲第１項記載の光学的検査装置であ
    つて、前記画像増強手段は有限インパルス応答フィルタ
    手段を含み、このフィルタ手段の空間係数は、前記画像
    獲得手段に固有の測定可能な劣化に逆に対応するために
    選択されることを特徴とする光学的検査装置。
  3. （３）特許請求の範囲第２項記載の光学的検査手段であ
    つて、ｎを奇数の整数、Ｃｉ、ｊをピクセル係数のｎ×
    ｎマトリックスにおける特定のピクセル係数として、前
    記有限インパルス応答フィルタ手段は Ｐ（Ｚｘ、Ｚｙ）▲数式、化学式、表等があります▼▲
    数式、化学式、表等があります▼Ｃｉ、ｊＺｘ＾−＾ｉ
    Ｚｙ＾−＾ｊとして表わされ、前記ピクセル係数Ｃｉ、
    ｊは、左右の対称のために、 Ｃｉ、ｊ＝Ｃ＿ｉ、＿（＿ｎ＿−＿１＿）＿−＿ｊ０≦
    １≦（ｎ−１）、０≦ｊ≦（ｎ−１）／２および、上下
    の対称のために、 Ｃ＿ｉ、＿ｊ＝Ｃ＿（＿ｎ＿−＿１＿）＿−＿ｉ、＿ｊ
    ０≦１≦（ｎ−１）／２、０≦ｊ≦（ｎ−１）であるこ
    とを特徴とする光学的検査装置。
  4. （４）特許請求の範囲第１項記載の光学的検査装置であ
    つて、前記画像増強手段は、 前記画像獲得手段により検査されるピクセルを囲むピク
    セル・データのｎ×ｎアレイの各列中に含まれているデ
    ータに対応するピクセル・データ信号を出力する列バッ
    ファ手段と、 前記アレイのある特定の列中の各前記ピクセル・データ
    信号に、前記アレイ中のピクセル・データの位置に対応
    する所定の係数を乗じ、かつ各前記列のそれの積を加え
    合わせてｎ列のデータ信号を形成する列重みづけられた
    加算手段と、 前記ｎ列のデータ信号を所定のやり方で遅延させる遅延
    線手段と、 前記ｎ列のデータ信号を加え合わせて、前記検査された
    ピクセルを表わす増強されたデータ信号を発生する行加
    算手段と を含むことを特徴とする光学的検査装置。
  5. （５）特許請求の範囲第４項記載の光学的検査装置であ
    つて、前記ｎ×ｎアレイの前記係数は２本の直交軸に関
    して対称的であり、前記列バッファ手段は前記アレイの
    列中のｎ個のピクセル・データ信号を一時的に格納する
    手段を含み、それの中間点の各側における対応するピク
    セル・データ信号を一緒に加え合わせて、複数の加え合
    わされた対称的なピクセル・データ信号を発生する複数
    の対称加算手段を含み、 前記列重みづけられた加算手段は、４列の重みづけられ
    た加算回路網を含み、各加算回路網は前記加え合わされ
    た対称的な各ピクセル・データ信号を乗する複数の所定
    係数を有し、前記各回路網はそれの積を加え合わせて前
    記ｎ列データ信号のそれぞれ１つを発生することを特徴
    とする光学的検査装置。
  6. （６）検査すべき物体を支持し、それらの物体を検査路
    に沿つて同時に動かすキャリッジ手段と、前記検査路に
    沿つて動かされている前記物体の対応する部分を照明す
    る照明手段と、 照明された前記部分を個々に検査し、照明された前記部
    分にそれぞれ対応する第１と第２の電気信号を発生する
    電気光学的手段と、 画像増強手段と、 記憶装置と、 この記憶装置を走査する手段と、 比較手段と を備え、前記第１と第２の電気信号は、前記電気光学的
    手段の限られた電気的、機械的および光学的な性能を反
    映する誤差成分を含み、 前記画像増強手段は前記第１と第２の電気信号を受けて
    、前記誤差成分を十分に減少し、第１と第２の改善され
    た電気信号を発生し、 前記記憶装置は前記第１と第２の修正された電気信号を
    格納し、 前記走査手段は前記第１の修正された信号の読出しを、
    前記第２の修正された信号の読出しに電子的に整列させ
    、 前記比較手段は電子的に整列された信号を比較して、そ
    れらの信号の間のどのような差も指示することを特徴と
    する２個の類似する物体の差違を検出する光学的検査装
    置。
  7. （７）特許請求の範囲第６項記載の光学的検査装置であ
    つて、前記第１と第２の電気信号は、検査される物体の
    ピクセルの画像内容にそれぞれ対応するデジタル・デー
    タの流れの形であり、前記画像増強手段は前記各ピクセ
    ルに対応する信号値を、前記誤差成分を補償するために
    選択された所定の係数を乗ぜられた隣接するピクセル値
    のデータ値をまとめて考えることにより決定される修正
    された信号値に変換することを特徴とする光学的検査装
    置。
  8. （８）特許請求の範囲第７項記載の光学的検査装置であ
    つて、前記画像増強手段は有限インパルス応答フィルタ
    手段を含み、このフィルタ手段の空間係数は前記誤差成
    分に逆に対応するために選択されることを特徴とする光
    学的検査装置。
  9. （９）特許請求の範囲第８項記載の光学的検査装置であ
    つて、 ｎを奇数の整数、 Ｃｉ、ｊがピクセル係数のｎ×ｎのマトリックスにおけ
    るある特定のピクセル係数を示し、左右対称のために Ｃ＿ｉ、＿ｊ＝Ｃ＿ｉ、＿（＿ｎ＿−＿１＿）＿−＿ｊ
    ０≦１≦（ｎ−１）、０≦ｊ≦（ｎ−１）／２および、
    上下対称のために Ｃ＿ｉ、＿ｊ＝Ｃ＿（＿ｎ＿−＿１＿）＿−＿ｉ、＿ｊ
    ０≦ｉ≦（ｎ−１）／２、０≦ｊ≦（ｎ−１）として、
    前記有限インパルス応答フィルタ手段は、Ｐ（Ｚｘ、Ｚ
    ｙ）▲数式、化学式、表等があります▼▲数式、化学式
    、表等があります▼Ｃｉ、ｊＺｘ＾−＾ｉＺｙ＾−＾ｊ
    として表わされることを特徴とする光学的検査装置。
  10. （１０）特許請求の範囲第７項記載の光学的検査装置で
    あつて、前記画像増強手段は、 前記画像獲得手段により検査されるピクセルを囲むピク
    セル・データのｎ×ｎのアレイの各列中に含まれている
    データに対応するピクセル・データ信号を出力する列バ
    ッファ手段と、 前記アレイのある特定の列中の各前記ピクセル・データ
    信号に、前記アレイ中のピクセル・データの位置に対応
    する所定の係数を乗じ、かつ前記列のそれの積を加え合
    わせてｎ列のデータ信号を形成する列重みづけられた加
    算手段と、 前記ｎ列のデータ信号を所定のやり方で遅延させる遅延
    線手段と、 前記ｎ列のデータ信号を加え合わせて、前記検査された
    ピクセルを表わす増強されたデータ信号を発生する行加
    算手段と を含むことを特徴とする光学的検査装置。
  11. （１１）特許請求の範囲第１０項記載の光学的検査装置
    であつて、前記ｎ×ｎのアレイの前記係数は２本の直交
    軸に関して対称的であり、前記列バッファ手段は前記ア
    レイの列中のｎ個のピクセル・データ信号を一時的に格
    納する手段を含み、それの中間点の各側における対応す
    るピクセル・データ信号を一緒に加え合わせて、複数の
    加え合わされた対称的なピクセル・データ信号を発生す
    る複数の対称加算手段を含み、 前記列重みづけられた加算手段は、４列の重みづけられ
    た加算回路網を含み、各加算回路網は前記加え合わされ
    た対称的な各ピクセル・データ信号を乗する複数の所定
    係数を有し、前記各回路網はそれの積を加え合わせて前
    記ｎ列データ信号のそれぞれ１つを発生することを特徴
    とする光学的検査装置。
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