JPS6176676U - - Google Patents
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- JPS6176676U JPS6176676U JP16163684U JP16163684U JPS6176676U JP S6176676 U JPS6176676 U JP S6176676U JP 16163684 U JP16163684 U JP 16163684U JP 16163684 U JP16163684 U JP 16163684U JP S6176676 U JPS6176676 U JP S6176676U
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- JP
- Japan
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- sample
- chamber
- preliminary chamber
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- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16163684U JPS6176676U (el) | 1984-10-25 | 1984-10-25 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16163684U JPS6176676U (el) | 1984-10-25 | 1984-10-25 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6176676U true JPS6176676U (el) | 1986-05-23 |
Family
ID=30719538
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16163684U Pending JPS6176676U (el) | 1984-10-25 | 1984-10-25 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6176676U (el) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61294747A (ja) * | 1985-06-21 | 1986-12-25 | Anelva Corp | 超高真空用試料移動装置 |
JP2012138233A (ja) * | 2010-12-27 | 2012-07-19 | Jeol Ltd | 試料ホルダの排気方法及び装置 |
JP2013137995A (ja) * | 2011-11-28 | 2013-07-11 | Jeol Ltd | イオンビーム加工装置、試料加工方法及び試料容器 |
JPWO2013035866A1 (ja) * | 2011-09-09 | 2015-03-23 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 生物試料をそのままの姿で観察するための電子顕微鏡による観察方法とそれに用いられる真空下での蒸発抑制用組成物、走査型電子顕微鏡および透過型電子顕微鏡 |
JP2015103431A (ja) * | 2013-11-26 | 2015-06-04 | 日本電子株式会社 | 試料導入装置および荷電粒子線装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5012961A (el) * | 1973-04-11 | 1975-02-10 | ||
JPS5931147B2 (ja) * | 1975-10-24 | 1984-07-31 | 松下電器産業株式会社 | Fm ホウソウロクオンソウチ |
-
1984
- 1984-10-25 JP JP16163684U patent/JPS6176676U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5012961A (el) * | 1973-04-11 | 1975-02-10 | ||
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