JPS6280952A - 走査形電子顕微鏡 - Google Patents
走査形電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS6280952A JPS6280952A JP21789785A JP21789785A JPS6280952A JP S6280952 A JPS6280952 A JP S6280952A JP 21789785 A JP21789785 A JP 21789785A JP 21789785 A JP21789785 A JP 21789785A JP S6280952 A JPS6280952 A JP S6280952A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- valve
- socket
- closed
- board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は走査形電子顕微鏡に係り、特にＩＣを動作状態
でａ察する走査形電子顕微鏡に関する。
でａ察する走査形電子顕微鏡に関する。
従来ｒｃを動作状態でｗｉ察する走査電子顕微鏡（ＳＥ
Ｍ）を第３図を基に説明する。試料室ｌには０リング２
を介して対物レンズ３がある。対物レンズ３の上部には
図示を省略したが電子光学系が配置されている。また試
料室１には試料ステージがあり、この試料ステージはベ
ース４の上にＸテーブル５．Ｙテーブル６があり、それ
ぞれのテーブルは駆動軸７を介してＸつまみ８．Ｙつま
み９がある。試料室１はバルブ１０を介して真空ポンプ
（図示省１１１８）によって排気されている。Ｙテーブ
ル６にはＩＣソケット１１が固定され、このＩＣソケッ
ト１１にはｍｔｓすべきＩＣ１２がある。
Ｍ）を第３図を基に説明する。試料室ｌには０リング２
を介して対物レンズ３がある。対物レンズ３の上部には
図示を省略したが電子光学系が配置されている。また試
料室１には試料ステージがあり、この試料ステージはベ
ース４の上にＸテーブル５．Ｙテーブル６があり、それ
ぞれのテーブルは駆動軸７を介してＸつまみ８．Ｙつま
み９がある。試料室１はバルブ１０を介して真空ポンプ
（図示省１１１８）によって排気されている。Ｙテーブ
ル６にはＩＣソケット１１が固定され、このＩＣソケッ
ト１１にはｍｔｓすべきＩＣ１２がある。
ＩＣソケット１１の各端子は真空シールされたコネクタ
１３とリードｆｉ１４によって接続されている。又試料
ステージと試料室１との間にはＯリング１５があり、試
料ステージはガイド捧１６をガイドとして移動できる構
造となっている。
１３とリードｆｉ１４によって接続されている。又試料
ステージと試料室１との間にはＯリング１５があり、試
料ステージはガイド捧１６をガイドとして移動できる構
造となっている。
従来１！察すべきＩＣ１２を交換する場合はバルブ１０
を閉じ試料室１を大気圧にし、試料ステージを引き出し
て行なっていたが、このような方法だと、真空排気に約
３０分と多大な時間を必要とし、作業能率が悪かった。
を閉じ試料室１を大気圧にし、試料ステージを引き出し
て行なっていたが、このような方法だと、真空排気に約
３０分と多大な時間を必要とし、作業能率が悪かった。
試料予備排気室を持つＳＥＭもあるが、ＩＣを動作状態
でｒｉｉ察するためにはリード線があるため試料予備排
気室が使用できなかった。
でｒｉｉ察するためにはリード線があるため試料予備排
気室が使用できなかった。
本発明の目的は、作業能率を向上することができる走査
形電子顕微鏡を提供することにある。
形電子顕微鏡を提供することにある。
観察すべきことを基板にセットし、試料ステージ側には
この基板が挿入できるような基板ソケットを設け、この
基板ソケットはコネクタを接続する。このようにすると
従来と異なり、リード線が邪魔にならずＩＣをセットし
た基板が試料交換室を通して挿入できる。
この基板が挿入できるような基板ソケットを設け、この
基板ソケットはコネクタを接続する。このようにすると
従来と異なり、リード線が邪魔にならずＩＣをセットし
た基板が試料交換室を通して挿入できる。
このように、本発明は、内部が真空に保持されている試
料室内に設けられる試料ステージに載置されたＩＣソケ
ット上に設けられたｍ察すべきＩＣに試料室外より電圧
を印加する走査形電子顕微鏡において、上記ＩＣソケッ
トに載置されているＩＣを着脱可能に載置できる基板を
設け、該基板に基板ソケットを設けることにより基板ソ
ケットと基板を通して上記ＩＣに電圧を印加できるよう
にしたことを特徴とするものである。
料室内に設けられる試料ステージに載置されたＩＣソケ
ット上に設けられたｍ察すべきＩＣに試料室外より電圧
を印加する走査形電子顕微鏡において、上記ＩＣソケッ
トに載置されているＩＣを着脱可能に載置できる基板を
設け、該基板に基板ソケットを設けることにより基板ソ
ケットと基板を通して上記ＩＣに電圧を印加できるよう
にしたことを特徴とするものである。
以下、本発明の実施例について説明する。
第１図には、本発明の一実施例が示されている。
図において、試料室１にはＯリング１７を介して試料予
備排気室１８が設けられている。試料室１には試料を挿
入するための穴１９があり、この穴１９にはバルブ２０
が設けられている。又試料予備排気室には試料挿入用の
移動棒２１が０リング２２を介して設けられている。試
料ステージには基板ソケット２３が固定され、基板２４
が挿入される。基板２４の詳細図を第２図に示す。第２
図のａは基板の平面図、ｂは正面図である。基板２４に
はＩＣソケット１１が固定され、このＩＣソケット１１
には観察すべきＩＣ１２が挿入されている。又基板２４
にはめねじのある金具２５が取付けである。ＩＣソケッ
ト１１の各々の「アシ」は基板２４の端子部２６と接続
され、端子部２６は基板ソケット２３に挿入される。基
板ソケット２３とコネクタ１３とはリード線１４で接続
されている。試料予備排気室１８にはバルブ２７を介し
真空ポンプ（図示省略）が接続されている。
備排気室１８が設けられている。試料室１には試料を挿
入するための穴１９があり、この穴１９にはバルブ２０
が設けられている。又試料予備排気室には試料挿入用の
移動棒２１が０リング２２を介して設けられている。試
料ステージには基板ソケット２３が固定され、基板２４
が挿入される。基板２４の詳細図を第２図に示す。第２
図のａは基板の平面図、ｂは正面図である。基板２４に
はＩＣソケット１１が固定され、このＩＣソケット１１
には観察すべきＩＣ１２が挿入されている。又基板２４
にはめねじのある金具２５が取付けである。ＩＣソケッ
ト１１の各々の「アシ」は基板２４の端子部２６と接続
され、端子部２６は基板ソケット２３に挿入される。基
板ソケット２３とコネクタ１３とはリード線１４で接続
されている。試料予備排気室１８にはバルブ２７を介し
真空ポンプ（図示省略）が接続されている。
以上のような構造のＳＥＭの試料室における試料交換の
手順を説明する。まずバルブ２０を開き移動棒２１を金
具２５のめねじ部に挿入する。移動棒２１を引くとＩＣ
１２が基板２４と共に試料予備排気室へ移動できる。こ
の後バルブ２０を閉じ、試料予備排気室１８を大気圧に
する。ＩＣ交換窓（図示省略）を開けＩＣ１２を交換す
る。次にＩＣ交換窓を閉じバルブ２７を開き、試料予備
排気室１８を１〜１０Ｐａ程度に真空排気する。
手順を説明する。まずバルブ２０を開き移動棒２１を金
具２５のめねじ部に挿入する。移動棒２１を引くとＩＣ
１２が基板２４と共に試料予備排気室へ移動できる。こ
の後バルブ２０を閉じ、試料予備排気室１８を大気圧に
する。ＩＣ交換窓（図示省略）を開けＩＣ１２を交換す
る。次にＩＣ交換窓を閉じバルブ２７を開き、試料予備
排気室１８を１〜１０Ｐａ程度に真空排気する。
次にバルブ２７を閉じバルブ２０を開く。移動棒２１を
押し、観察すべきＩＣ１２をセットした基板２４の端子
部２６を基板ソケット２３に挿入する。移動棒２１を回
転し金具２５より取はずし引きぬく。バルブ２０を閉じ
る０以上で試料（ＩＣ）の交換は完了し、コネクタ１３
から電圧を印加するとリード線１４、基板ソケット２３
、基板端子部２６．ＩＣソケット１１を介してＩＣに印
加できる。
押し、観察すべきＩＣ１２をセットした基板２４の端子
部２６を基板ソケット２３に挿入する。移動棒２１を回
転し金具２５より取はずし引きぬく。バルブ２０を閉じ
る０以上で試料（ＩＣ）の交換は完了し、コネクタ１３
から電圧を印加するとリード線１４、基板ソケット２３
、基板端子部２６．ＩＣソケット１１を介してＩＣに印
加できる。
試料予備排気室１８の排気は１〜１０Ｐａ程度で良いた
め排気時間は１〜２分程度で充分である。
め排気時間は１〜２分程度で充分である。
以上説明したように、従来は試料室全体を大気圧にし、
ｔａｐすべきＩＣを交換し、真空排気していたため、排
気時間は３０分程度必要としていた。
ｔａｐすべきＩＣを交換し、真空排気していたため、排
気時間は３０分程度必要としていた。
本発明によれば、試料予備排気室で排気し、その後試料
室へ挿入するため排気時間は１〜２分となり、試料交換
時間を大幅に向上できる。
室へ挿入するため排気時間は１〜２分となり、試料交換
時間を大幅に向上できる。
第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は第１図中
の基板詳３Ｉ図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、
第３図は従来装置の断面図である。 １・・・試料室、１１・・・ＩＣソケット、１２・・・
ＩＣ１１８・・・試料予備排気室、２３・・・基板ソケ
ット、２４・・・基板。
の基板詳３Ｉ図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、
第３図は従来装置の断面図である。 １・・・試料室、１１・・・ＩＣソケット、１２・・・
ＩＣ１１８・・・試料予備排気室、２３・・・基板ソケ
ット、２４・・・基板。
Claims (1)
- １、内部が真空に保持されている試料室内に設けられる
試料ステージに載置されたＩＣソケット上に設けられた
観察すべきＩＣに試料室外より電圧を印加する走査形電
子顕微鏡において、上記ＩＣソケットに載置されている
ＩＣを着脱可能に載置できる基板を設け、該基板に基板
ソケットを設けることにより基板ソケットと基板を通し
て上記ＩＣに電圧を印加できるようにしたことを特徴と
する走査形電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21789785A JPS6280952A (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 | 走査形電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21789785A JPS6280952A (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 | 走査形電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6280952A true JPS6280952A (ja) | 1987-04-14 |
Family
ID=16711469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21789785A Pending JPS6280952A (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 | 走査形電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6280952A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008305679A (ja) * | 2007-06-07 | 2008-12-18 | Sanyu Electron Co Ltd | 電子顕微鏡用の引張装置 |
| EP2565900A3 (en) * | 2007-11-13 | 2013-08-14 | Carl Zeiss NTS Ltd. | Beam device and system comprising a particle beam device and an optical microscope |
-
1985
- 1985-10-02 JP JP21789785A patent/JPS6280952A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008305679A (ja) * | 2007-06-07 | 2008-12-18 | Sanyu Electron Co Ltd | 電子顕微鏡用の引張装置 |
| EP2565900A3 (en) * | 2007-11-13 | 2013-08-14 | Carl Zeiss NTS Ltd. | Beam device and system comprising a particle beam device and an optical microscope |
| US8530856B2 (en) | 2007-11-13 | 2013-09-10 | Carl Zeiss Nts Limited | Beam device system comprising a particle beam device and an optical microscope |
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