JPS6175964U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6175964U JPS6175964U JP15788084U JP15788084U JPS6175964U JP S6175964 U JPS6175964 U JP S6175964U JP 15788084 U JP15788084 U JP 15788084U JP 15788084 U JP15788084 U JP 15788084U JP S6175964 U JPS6175964 U JP S6175964U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer cassette
- finger
- cassette holder
- tweezers
- holders
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Description
第１図はウエーハカセツトを保持した実施例の
概要図、第２図は本考案実施例のウエーハカセツ
ト保持具の外観図である。 １……ウエーハカセツト、２……半導体ウエー
ハ、３……ウエーハカセツト保持具、４，６……
指状保持部、７……支点、８……作用点、９……
アーム、１０……バネ。
概要図、第２図は本考案実施例のウエーハカセツ
ト保持具の外観図である。 １……ウエーハカセツト、２……半導体ウエー
ハ、３……ウエーハカセツト保持具、４，６……
指状保持部、７……支点、８……作用点、９……
アーム、１０……バネ。
Claims (1)
- ピンセツトの先端の２本の指状保持部の一方が
横方向に伸長し得るように形成されたウエーハカ
セツト保持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15788084U JPS6175964U (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15788084U JPS6175964U (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6175964U true JPS6175964U (ja) | 1986-05-22 |
Family
ID=30715870
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15788084U Pending JPS6175964U (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6175964U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100945465B1 (ko) | 2008-11-05 | 2010-03-05 | 르노삼성자동차 주식회사 | 차량용 실내 후사경 조립장치 |
-
1984
- 1984-10-19 JP JP15788084U patent/JPS6175964U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100945465B1 (ko) | 2008-11-05 | 2010-03-05 | 르노삼성자동차 주식회사 | 차량용 실내 후사경 조립장치 |
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