JPS63178335U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63178335U JPS63178335U JP6967387U JP6967387U JPS63178335U JP S63178335 U JPS63178335 U JP S63178335U JP 6967387 U JP6967387 U JP 6967387U JP 6967387 U JP6967387 U JP 6967387U JP S63178335 U JPS63178335 U JP S63178335U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- claw
- comes
- contact
- workpiece
- semiconductor
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図はこの考案にかかる一実施例の半導体用
チヤツクを示し、第１図ａはハンド部の正面図、
第１図ｂはチヤツク部分の正面図、第２図は従来
の装置を示し、第２図ａは装置の正面図、第２図
ｂは装置の上面図、第２図ｃはハンド部の正面図
である。 １１……ハンド、１２……クランプロツド、１
３……第１の爪、２３……第２の爪、１００……
ＩＣ。
チヤツクを示し、第１図ａはハンド部の正面図、
第１図ｂはチヤツク部分の正面図、第２図は従来
の装置を示し、第２図ａは装置の正面図、第２図
ｂは装置の上面図、第２図ｃはハンド部の正面図
である。 １１……ハンド、１２……クランプロツド、１
３……第１の爪、２３……第２の爪、１００……
ＩＣ。
Claims (1)
- 半導体ハンドリング・ロボツトにおけるワーク
クランプ部の半導体用チヤツクが、近接離隔可能
な対のクランプロツド、該アームの夫々の先端に
対向して設けられクランプロツドの近接によりワ
ークの下面に接触する第一の爪、および上記クラ
ンプロツドに上記第一の爪と同じ方向で長く設け
られて第一の爪が接触したワークの上面に接する
第二の爪を具備したことを特徴とする半導体用チ
ヤツク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6967387U JPS63178335U (ja) | 1987-05-12 | 1987-05-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6967387U JPS63178335U (ja) | 1987-05-12 | 1987-05-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63178335U true JPS63178335U (ja) | 1988-11-18 |
Family
ID=30910623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6967387U Pending JPS63178335U (ja) | 1987-05-12 | 1987-05-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63178335U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002355786A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-10 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 電子部品のクランプ機構及びクランプ装置 |
-
1987
- 1987-05-12 JP JP6967387U patent/JPS63178335U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002355786A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-10 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 電子部品のクランプ機構及びクランプ装置 |
| JP4504592B2 (ja) * | 2001-05-30 | 2010-07-14 | 富士機械製造株式会社 | 電子部品のクランプ機構及びクランプ装置 |