JPS60142067U - ウエ−ハ保持具 - Google Patents
ウエ−ハ保持具Info
- Publication number
- JPS60142067U JPS60142067U JP2760684U JP2760684U JPS60142067U JP S60142067 U JPS60142067 U JP S60142067U JP 2760684 U JP2760684 U JP 2760684U JP 2760684 U JP2760684 U JP 2760684U JP S60142067 U JPS60142067 U JP S60142067U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer holder
- holding
- tongue
- tip
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、本考案の半導体ウェーハ保持具の構成例を示
す側面図、第２図は、半導体ウェーハ保持具の全体的な
形状と半導体ウェーハの保持状態を示す斜視図、第３図
は、挾持用舌片の他の形状を例示する図、第４図は、ス
トッパ機能を付与した挾持部の構造を示す図である。 １．３・・・・・・取手部、２，４・・曲挾持用舌片、
５・・・・・・弾性体（板ばね）、６・・・・・・テフ
ロン等の部材、７・・・・・・半導体ウェーハ、７０・
・・・・・挾持される ′周縁部分、８・・・・・・ス
トッパ。 ′ 第３図 ′ 第４図 −−
す側面図、第２図は、半導体ウェーハ保持具の全体的な
形状と半導体ウェーハの保持状態を示す斜視図、第３図
は、挾持用舌片の他の形状を例示する図、第４図は、ス
トッパ機能を付与した挾持部の構造を示す図である。 １．３・・・・・・取手部、２，４・・曲挾持用舌片、
５・・・・・・弾性体（板ばね）、６・・・・・・テフ
ロン等の部材、７・・・・・・半導体ウェーハ、７０・
・・・・・挾持される ′周縁部分、８・・・・・・ス
トッパ。 ′ 第３図 ′ 第４図 −−
Claims (2)
- （１）取手部とこれに繋る挟持用舌片部とからなる２個
の保持部材を対向させて配置するとともに、両保持部材
を弾性体を介して結合し、前記挟持用舌片を常時閉成さ
せ、さらに、前記挾持′ 用舌片の先端部を、半
導体ウェーハの周縁部に沿う円弧状としたことを特徴と
するウェーハ保持具。 - （２）５挟持用舌片の少くとも一方の先端部から所定の
距離だけ離間した位置にストッパが形成されていること
を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項に記載のウ
ェーハ保持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2760684U JPS60142067U (ja) | 1984-02-28 | 1984-02-28 | ウエ−ハ保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2760684U JPS60142067U (ja) | 1984-02-28 | 1984-02-28 | ウエ−ハ保持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60142067U true JPS60142067U (ja) | 1985-09-20 |
Family
ID=30524717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2760684U Pending JPS60142067U (ja) | 1984-02-28 | 1984-02-28 | ウエ−ハ保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60142067U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6447044U (ja) * | 1987-09-17 | 1989-03-23 | ||
| JP2015230917A (ja) * | 2014-06-03 | 2015-12-21 | 三菱電機株式会社 | ウエハハンドリング装置、ウエハ用ピンセット |
| JP2021153115A (ja) * | 2020-03-24 | 2021-09-30 | 三菱電機株式会社 | ピンセット |
-
1984
- 1984-02-28 JP JP2760684U patent/JPS60142067U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6447044U (ja) * | 1987-09-17 | 1989-03-23 | ||
| JP2015230917A (ja) * | 2014-06-03 | 2015-12-21 | 三菱電機株式会社 | ウエハハンドリング装置、ウエハ用ピンセット |
| JP2021153115A (ja) * | 2020-03-24 | 2021-09-30 | 三菱電機株式会社 | ピンセット |
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