JPS60116240U - ステツプエツチング用治具 - Google Patents

ステツプエツチング用治具

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JPS60116240U
JPS60116240U JP162284U JP162284U JPS60116240U JP S60116240 U JPS60116240 U JP S60116240U JP 162284 U JP162284 U JP 162284U JP 162284 U JP162284 U JP 162284U JP S60116240 U JPS60116240 U JP S60116240U
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JP
Japan
Prior art keywords
step etching
etching jig
jig
sample
tweezers
Prior art date
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Pending
Application number
JP162284U
Other languages
English (en)
Inventor
文彦 佐藤
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
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Publication of JPS60116240U publication Critical patent/JPS60116240U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のステップエツチングの図、第２図はステ
ップエツチングされた試料片の側面図、第３図は本考案
にかかる実施例の図である。 １・・・・・・耐酸性テープ、２・・・・・・試料片（
エツチングされる部分）、３・・・・・・試料片（エツ
チングされた部分）、１０・・・・・・ピンセット、１
１・・・・・・先端部分、１２・・・・・・ゴム。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体中の不純物濃度測定に用いるステップエツチング
    用治具において、ピンセット状の形状を有して試料片を
    狭む機構を持ち、さらに試料を狭む部分にはゴムがはら
    れている事を特徴とするステップエツチング用−治具。
JP162284U 1984-01-10 1984-01-10 ステツプエツチング用治具 Pending JPS60116240U (ja)

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JP162284U JPS60116240U (ja) 1984-01-10 1984-01-10 ステツプエツチング用治具

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP162284U JPS60116240U (ja) 1984-01-10 1984-01-10 ステツプエツチング用治具

Publications (1)

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JPS60116240U true JPS60116240U (ja) 1985-08-06

Family

ID=30474534

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP162284U Pending JPS60116240U (ja) 1984-01-10 1984-01-10 ステツプエツチング用治具

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JP (1) JPS60116240U (ja)

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