JPS60928U - ウエハ固定治具 - Google Patents

ウエハ固定治具

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Publication number
JPS60928U
JPS60928U JP9312483U JP9312483U JPS60928U JP S60928 U JPS60928 U JP S60928U JP 9312483 U JP9312483 U JP 9312483U JP 9312483 U JP9312483 U JP 9312483U JP S60928 U JPS60928 U JP S60928U
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JP
Japan
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fixing jig
wafer
wafer fixing
flat plate
contacts
Prior art date
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Pending
Application number
JP9312483U
Other languages
English (en)
Inventor
克美 鈴木
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
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Publication of JPS60928U publication Critical patent/JPS60928U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は従来のウェハ治具の構造を説明す
る断面図、第３図は本考案の第１の実施例の斜視図、第
４図は本考案の実施例の使用時を示す平面図、第５図は
本考案の第２の実施例の斜視図である。図において、１
・・・・・・ウェハ、２・・曲試料台、３・・・・・・
ネジ、１０．２０，３０．４０・・・・・・ウェハ治具
、□゛１１・・・・・・穿口、１２・・間座ぐり、３２
・・・・・・主平面、３３．４１・・・・・・長穿穴、
３４・・・・・・把持面、４２・・・・・・先端部、で
ある。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 固定すべきウェハより少し厚さの厚い平板体の一側面に
    このウェハの一端部を接触して支持する傾斜面を設け、
    前記平板体にこの板面と垂直に取付ネジの挿入される長
    円状穴を穿設したことを特徴とするウェハ固定治具。
JP9312483U 1983-06-17 1983-06-17 ウエハ固定治具 Pending JPS60928U (ja)

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JP9312483U JPS60928U (ja) 1983-06-17 1983-06-17 ウエハ固定治具

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JP9312483U JPS60928U (ja) 1983-06-17 1983-06-17 ウエハ固定治具

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Publication Number Publication Date
JPS60928U true JPS60928U (ja) 1985-01-07

Family

ID=30223756

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