JPS6172026A - ポリシラザン樹脂の製造法 - Google Patents
ポリシラザン樹脂の製造法Info
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- JPS6172026A JPS6172026A JP59193867A JP19386784A JPS6172026A JP S6172026 A JPS6172026 A JP S6172026A JP 59193867 A JP59193867 A JP 59193867A JP 19386784 A JP19386784 A JP 19386784A JP S6172026 A JPS6172026 A JP S6172026A
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- polysilazane
- ammonia
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- dihalosilane
- polysilazane resin
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[9A明の技術分野]
本発明はポリシラザン樹脂の製造法に関し、さらに詳し
くは、窒化ケイ素および窒化ケイ素含有セラミックスを
得るのに有用なポリシラザン樹脂の製造法に関するもの
である。
くは、窒化ケイ素および窒化ケイ素含有セラミックスを
得るのに有用なポリシラザン樹脂の製造法に関するもの
である。
ケイ素−窒素−ケイ素結合を有する化合物はシラザンと
呼ばれ、該化合物の製造法としては当業界において、次
式(1)8よび次式(2):で示されるように、相当す
るクロロシランとアンモニアとを気相または液相で接触
させることにより製造する方法が知られている。しかし
ながら、上記式(1)および(2)の方法で得られるシ
ラザン化合物はいずれもシラザンオリゴマーが主であり
、この方法では高分子量のシラザン化合物、すなわちポ
リシラザン樹脂は得られない。
呼ばれ、該化合物の製造法としては当業界において、次
式(1)8よび次式(2):で示されるように、相当す
るクロロシランとアンモニアとを気相または液相で接触
させることにより製造する方法が知られている。しかし
ながら、上記式(1)および(2)の方法で得られるシ
ラザン化合物はいずれもシラザンオリゴマーが主であり
、この方法では高分子量のシラザン化合物、すなわちポ
リシラザン樹脂は得られない。
ここで、式(2)によって得られるシラザンオリゴマー
(環状3琶体および環状4Ik体)を触媒存在下にて熱
分解することにより直鎖状のポリシラザン樹脂が得られ
ることがジャーナル拳オブ・ポリマー・サイエンス (
Journal of Pa17marScience
) A ?、 45(lθ80に報告されている。しか
しながら、この方法は、目的とするポリシラザン樹脂の
収率が非常に低い、また、メチルトリクロロシランとジ
メチルジクロロシランの混合物に過剰のアンモニアを接
触させることによりポリシラザン樹脂を得る方法がジャ
ーナル・オブ・ポリマー令すイエ7ス(Journal
of Polymer 5cience)A 2 、
3+79(+9114)に報告されている。しかしなが
ら、この方法の場合は、実際には式(2)に示した反応
生成物、すなわちシラザンオリゴマーが主生成物となっ
てしまうため、やはり目的とするポリシラザン樹脂の収
率は非常に低い。
(環状3琶体および環状4Ik体)を触媒存在下にて熱
分解することにより直鎖状のポリシラザン樹脂が得られ
ることがジャーナル拳オブ・ポリマー・サイエンス (
Journal of Pa17marScience
) A ?、 45(lθ80に報告されている。しか
しながら、この方法は、目的とするポリシラザン樹脂の
収率が非常に低い、また、メチルトリクロロシランとジ
メチルジクロロシランの混合物に過剰のアンモニアを接
触させることによりポリシラザン樹脂を得る方法がジャ
ーナル・オブ・ポリマー令すイエ7ス(Journal
of Polymer 5cience)A 2 、
3+79(+9114)に報告されている。しかしなが
ら、この方法の場合は、実際には式(2)に示した反応
生成物、すなわちシラザンオリゴマーが主生成物となっ
てしまうため、やはり目的とするポリシラザン樹脂の収
率は非常に低い。
さらには、特開昭環58−83725号公報に示される
ように、塩素含有ジシランとアンモニアとを25〜37
0°Cの温度で接触させ、ポリシラザン樹脂を得る方法
が知られている。この方法によれば、外観上高粘度の液
体からガラス状に至る高分子量のポリシラザン樹脂まで
、広範囲の分子量に亘るポリシラザン樹脂が得られると
報告されている。しかし、原料となる塩素含有ジシラン
は、メチルクロロシラン類を直接法で合成する際に、メ
チルクロロシラン類を蒸留により分離した残液として得
られるものであって、11!素数が異なるジメチルテト
ラクロロジシラン、トリメチルトリクロロジシラン、テ
トラメチルジクロロジシランなどの混合物である。とこ
ろが、これらのジシラン類は沸点が近似しており、この
ようなジシラン混合物から特定の塩素含有ジシランを単
離するのは非常に困難である。したがって、工業的にポ
リシラザン樹脂を製造する場合、原料となる塩素含有ジ
シランは混合物の状態で使用されるため、この方法によ
り一定の性状のポリシラザン樹脂を得ることは非常に困
難である。
ように、塩素含有ジシランとアンモニアとを25〜37
0°Cの温度で接触させ、ポリシラザン樹脂を得る方法
が知られている。この方法によれば、外観上高粘度の液
体からガラス状に至る高分子量のポリシラザン樹脂まで
、広範囲の分子量に亘るポリシラザン樹脂が得られると
報告されている。しかし、原料となる塩素含有ジシラン
は、メチルクロロシラン類を直接法で合成する際に、メ
チルクロロシラン類を蒸留により分離した残液として得
られるものであって、11!素数が異なるジメチルテト
ラクロロジシラン、トリメチルトリクロロジシラン、テ
トラメチルジクロロジシランなどの混合物である。とこ
ろが、これらのジシラン類は沸点が近似しており、この
ようなジシラン混合物から特定の塩素含有ジシランを単
離するのは非常に困難である。したがって、工業的にポ
リシラザン樹脂を製造する場合、原料となる塩素含有ジ
シランは混合物の状態で使用されるため、この方法によ
り一定の性状のポリシラザン樹脂を得ることは非常に困
難である。
[発明の目的]
本発明は、ケイ素−水素結合という比較的容易に分離し
やすい結合を有するジハロシランを出発原料とすること
により、触媒などを使用せずに高分子量のポリシラザン
樹脂を製造することを目的とする。
やすい結合を有するジハロシランを出発原料とすること
により、触媒などを使用せずに高分子量のポリシラザン
樹脂を製造することを目的とする。
[発明の概要]
本発明者は、上記目的を達成すべく検討を重ねた結果、
一般式RHS + X 2で示されるジハロシランを用
いた場合は、一般式R25iX、、で示されるジハロシ
ランにくらべて高分子量のシラザンオリゴマーが得られ
、しかも得られたシラザンオリゴマーは室温では比較的
安定であるが、加熱することにより容易にさらに高分子
化することを見出し、本発明を完成するに至った。
一般式RHS + X 2で示されるジハロシランを用
いた場合は、一般式R25iX、、で示されるジハロシ
ランにくらべて高分子量のシラザンオリゴマーが得られ
、しかも得られたシラザンオリゴマーは室温では比較的
安定であるが、加熱することにより容易にさらに高分子
化することを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明のポリシラザン樹脂の製造法は、アン
モニアと一般式: %式% (式中、Rは炭素数1〜6の一価の炭化水素基を表し、
又はハロゲン原子を表す) で示されるジハロシランとを接触させ、ついで得られる
ポリシラザン中間体を50〜500℃の温度で熱処理す
ることを特徴とする。
モニアと一般式: %式% (式中、Rは炭素数1〜6の一価の炭化水素基を表し、
又はハロゲン原子を表す) で示されるジハロシランとを接触させ、ついで得られる
ポリシラザン中間体を50〜500℃の温度で熱処理す
ることを特徴とする。
本発明で出発原料として用いられるジハロシランは一般
式RHS IX 2で示されるものである。ここで、R
は炭素数1〜6の一価の炭化水素基で、メチル基、エチ
ル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基のようなアル
キル基;ビニル基、アリル基のようなアルケニル基;フ
ェニル基などが例示されるが、合成のしやすさなどから
はメチル基またはフェニル基が好ましい、Xはフッ素、
塩素、臭素、ヨウ素のハロゲン原子であるが、一般的に
は塩素原子である。
式RHS IX 2で示されるものである。ここで、R
は炭素数1〜6の一価の炭化水素基で、メチル基、エチ
ル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基のようなアル
キル基;ビニル基、アリル基のようなアルケニル基;フ
ェニル基などが例示されるが、合成のしやすさなどから
はメチル基またはフェニル基が好ましい、Xはフッ素、
塩素、臭素、ヨウ素のハロゲン原子であるが、一般的に
は塩素原子である。
本発明の目的であるポリシラザン樹脂を製造するに際し
ては、出発原料として同一のR基のみを有するジハロシ
ランを用いてもよく、また相異なるR基を有するジハロ
シランを所定の比に混合して用いてもよい、なお、ケイ
素原子に結合した水素原子を有するジハロシラン類を用
いることは本発明では必須であるが、1つのケイ素原子
に2個以上の水素原子が結合するハロシラン類を用いた
場合は5得られるシラザンオリゴマーの安定性が乏しく
、また原材料としても一般的でないので、本発明におい
てはハロシラン類を出発原料として使用しない。
ては、出発原料として同一のR基のみを有するジハロシ
ランを用いてもよく、また相異なるR基を有するジハロ
シランを所定の比に混合して用いてもよい、なお、ケイ
素原子に結合した水素原子を有するジハロシラン類を用
いることは本発明では必須であるが、1つのケイ素原子
に2個以上の水素原子が結合するハロシラン類を用いた
場合は5得られるシラザンオリゴマーの安定性が乏しく
、また原材料としても一般的でないので、本発明におい
てはハロシラン類を出発原料として使用しない。
本発明に用いられるジハロシランは、一般的には直接法
の副生成物、塩素含有ジシランの塩酸による分解、グリ
ニヤール反応などによって工業的に得られるものである
。
の副生成物、塩素含有ジシランの塩酸による分解、グリ
ニヤール反応などによって工業的に得られるものである
。
本発明で使用されるアンモニアは、ジハロシランの加水
分解および生成するシラザンオリゴマーの加水分解を防
ぐため1本質的に無水であることが好ましい、ここで本
質的に無水とは絶対的な無水の状態ではなく、多少の水
分は許容でさるという意味である。
分解および生成するシラザンオリゴマーの加水分解を防
ぐため1本質的に無水であることが好ましい、ここで本
質的に無水とは絶対的な無水の状態ではなく、多少の水
分は許容でさるという意味である。
反応は、アンモニアとジハロシランが互いに接触すると
同時に進行し、アミノシラン化合物を経てポリシラザン
中間体が形成される。原料を添加する順序について何ら
制限はないが、アンモニアがガス状であるため、一般的
にはジハロシランにアンモニアを導入する方法がとられ
る。この場合、ジハロシラン1モルに対し、常温で1気
圧のアンモニアガスを通常約3〜5モル供給する0反応
が進行するに伴い、塩化アンモニウムの生成量が増え1
反応混合物の粘度を著しく高める。そのため、ジハロシ
ランを沸点の低い溶媒に加え、反応混合物の攪拌が均一
に行われるようにするのが望ましい、このような低沸点
溶媒としては、ペンタン、ペンタン、ヘキサン、ベンゼ
ン、トルエンなどがあげられる。これらの溶媒は先述し
た理由から本質的に無水であることが好ましく、一般的
に乾燥したのちに使用する。かかる溶媒を用いる場合は
、通常、ジハロシラン 100重量部に対し100〜1
000重量部の溶媒が加えられる。
同時に進行し、アミノシラン化合物を経てポリシラザン
中間体が形成される。原料を添加する順序について何ら
制限はないが、アンモニアがガス状であるため、一般的
にはジハロシランにアンモニアを導入する方法がとられ
る。この場合、ジハロシラン1モルに対し、常温で1気
圧のアンモニアガスを通常約3〜5モル供給する0反応
が進行するに伴い、塩化アンモニウムの生成量が増え1
反応混合物の粘度を著しく高める。そのため、ジハロシ
ランを沸点の低い溶媒に加え、反応混合物の攪拌が均一
に行われるようにするのが望ましい、このような低沸点
溶媒としては、ペンタン、ペンタン、ヘキサン、ベンゼ
ン、トルエンなどがあげられる。これらの溶媒は先述し
た理由から本質的に無水であることが好ましく、一般的
に乾燥したのちに使用する。かかる溶媒を用いる場合は
、通常、ジハロシラン 100重量部に対し100〜1
000重量部の溶媒が加えられる。
反応は、アンモニアとジハロシランが互いに接触すると
同時に進行することから、室温で反応を行うこともでき
る。また、反応を促進させるため1反応系を加熱しても
よい、一般には、反応を常圧下で行う場合、低沸点溶媒
が還流する温度まで加熱する。さらには、反応を促進す
る目的で。
同時に進行することから、室温で反応を行うこともでき
る。また、反応を促進させるため1反応系を加熱しても
よい、一般には、反応を常圧下で行う場合、低沸点溶媒
が還流する温度まで加熱する。さらには、反応を促進す
る目的で。
密封下で行ってもよい0反応時間は通常、0.5〜5時
間である。
間である。
反応終了後、アンモニウム塩をろ過し、ろ液を加熱また
は減圧処理することによって、低沸点溶媒および揮発性
の生成物を除去すると、ポリシラザン中間体が得られる
。なお、発明においては、精製処理を施すことなく、上
記反応で得られた反応混合物をそのまま以下の熱処理に
付しても差支えない。
は減圧処理することによって、低沸点溶媒および揮発性
の生成物を除去すると、ポリシラザン中間体が得られる
。なお、発明においては、精製処理を施すことなく、上
記反応で得られた反応混合物をそのまま以下の熱処理に
付しても差支えない。
つぎに、本発明では、このようにして得られたポリシラ
ザン中間体もしくは反応混合物を50〜500℃の範囲
の温度で熱処理することによりポリシラザン樹脂を製造
する。この反応では、副生成物の生成とポリシラザン中
間体の加水分解を防ぎ、目的物の収率を向上させるため
に、不活性かつ本質的に無水の雰囲気内で熱処理するこ
とが好ましい0本発明の目的上、不活性とは、反応をア
ルゴン、窒素またはヘリウムなどの不活性ガス雰囲気下
で行うことを意味する。また、木質的に無水とは前記と
同じ意味を有する。
ザン中間体もしくは反応混合物を50〜500℃の範囲
の温度で熱処理することによりポリシラザン樹脂を製造
する。この反応では、副生成物の生成とポリシラザン中
間体の加水分解を防ぎ、目的物の収率を向上させるため
に、不活性かつ本質的に無水の雰囲気内で熱処理するこ
とが好ましい0本発明の目的上、不活性とは、反応をア
ルゴン、窒素またはヘリウムなどの不活性ガス雰囲気下
で行うことを意味する。また、木質的に無水とは前記と
同じ意味を有する。
上記反応において、ポリシラザン樹脂の重合度は加熱温
度および時間により設定でき1重合度が数十から致方以
上のポリシラザン樹脂が得られる。しかし、50℃未満
では重合反応が起りにくく、また500℃を越えると重
合度の調節が困難となる。好ましくは、 150〜35
0℃の温度で加熱し、重合反応を行う0反応時間は通常
、 0.2〜10時間である。
度および時間により設定でき1重合度が数十から致方以
上のポリシラザン樹脂が得られる。しかし、50℃未満
では重合反応が起りにくく、また500℃を越えると重
合度の調節が困難となる。好ましくは、 150〜35
0℃の温度で加熱し、重合反応を行う0反応時間は通常
、 0.2〜10時間である。
以上の一連の反応により、本発明の目的とするポリシラ
ザン樹脂が得られる。
ザン樹脂が得られる。
[発明の効果]
本発明によれば、触媒などを使用せずに高分子量のポリ
シラザン樹脂を得ることができる。しかも、ポリシラザ
ン樹脂の使用目的とあわせ、その重合度を任意に調整す
ることが可能である。したかって1本発明は、窒化ケイ
素および窒化ケイ素セラミックスの原料、または窒化ケ
イ素などの粉末焼結時に使用される焼結剤として使用さ
れるポリシラザン樹脂の製造法として非常に有用である
。
シラザン樹脂を得ることができる。しかも、ポリシラザ
ン樹脂の使用目的とあわせ、その重合度を任意に調整す
ることが可能である。したかって1本発明は、窒化ケイ
素および窒化ケイ素セラミックスの原料、または窒化ケ
イ素などの粉末焼結時に使用される焼結剤として使用さ
れるポリシラザン樹脂の製造法として非常に有用である
。
[発明の実施例]
実施例1
攪拌器の付いた耐圧反応容器に、メチルジクロロシラン
CHHSiC見、、 100重量部および低沸点溶媒と
してn−へキサ7440重量部を仕込んだ、その後、耐
圧反応容器に付いたガス導入口より乾燥アンモニアを吹
込んだ、アンモニアを吹込むと同時に圧力が上昇し、反
応温度も上昇した0反応温度を80℃以下に調整するよ
うに、徐々にアンモニアガスを導入しつづけ、30分後
には反応による発熱およびアンモニアガスの圧力低下が
見られなくなった。アンモニアガスの供給量は50fi
4部であった。ついでアンモニアガスの導入を中止し
、さらに30分間攪拌を続けた後、反応物を耐圧反応容
器から取り出した。しかる後、アンモニウム塩をろ過し
、得られたか液を減圧下で蒸留して低沸点生成物および
n−へキサンを除去し、比較的粘稠なポリシラザンオリ
ゴマー35.8重量部を得た。
CHHSiC見、、 100重量部および低沸点溶媒と
してn−へキサ7440重量部を仕込んだ、その後、耐
圧反応容器に付いたガス導入口より乾燥アンモニアを吹
込んだ、アンモニアを吹込むと同時に圧力が上昇し、反
応温度も上昇した0反応温度を80℃以下に調整するよ
うに、徐々にアンモニアガスを導入しつづけ、30分後
には反応による発熱およびアンモニアガスの圧力低下が
見られなくなった。アンモニアガスの供給量は50fi
4部であった。ついでアンモニアガスの導入を中止し
、さらに30分間攪拌を続けた後、反応物を耐圧反応容
器から取り出した。しかる後、アンモニウム塩をろ過し
、得られたか液を減圧下で蒸留して低沸点生成物および
n−へキサンを除去し、比較的粘稠なポリシラザンオリ
ゴマー35.8重量部を得た。
このポリシラザン中間体について分析を行ったが、次の
ような物性を有する化合物であった。
ような物性を有する化合物であった。
ポリシラザンオリゴマー (CHaH9+NH)、:元
素分析(%) )Iニア、3B、 C:lIl、25.
N:13.05NH(1110) 次に、このポリシラザンオリゴマー30i 4部を再び
耐圧反応容器に入れ、窒素ガス置換を行った後1種々の
加熱条件下で熱処理を行った。熱処理終了後、室温にま
で冷却したところ、分解ガスが発生しており、残留圧力
がa察された0分解ガスを放出後、分解物を取り出した
ところ、白色ないし透明のポリシラザン樹脂が得られた
。その結果を表に示す。
素分析(%) )Iニア、3B、 C:lIl、25.
N:13.05NH(1110) 次に、このポリシラザンオリゴマー30i 4部を再び
耐圧反応容器に入れ、窒素ガス置換を行った後1種々の
加熱条件下で熱処理を行った。熱処理終了後、室温にま
で冷却したところ、分解ガスが発生しており、残留圧力
がa察された0分解ガスを放出後、分解物を取り出した
ところ、白色ないし透明のポリシラザン樹脂が得られた
。その結果を表に示す。
得られたポリシラザン樹脂の分析結果の代表例を以下に
示す。
示す。
ポリシラザン樹脂:
元素分析(%) H:8.8+、 C:13.00.
N:6.88のみであった。
N:6.88のみであった。
比較例1
メチルジクロロシランのかわりにジメチルジクoaシラ
7 (C13)2SiCJL、、 100 mN部およ
びn−ヘキサン440重量部を用いたこと以外は、実施
例1と同様にアンモニアと反応させた0反応物からアン
モニウム塩をろ別し、溶媒であるn−へキサンを除去し
たところ、環状[((:H) 5iNH+3および[(
CH3)25+NH] 4の混合物が得られた。この混
合物中における[((H3)、、5iNH]3および[
(CII a ) 2 S i N旧。
7 (C13)2SiCJL、、 100 mN部およ
びn−ヘキサン440重量部を用いたこと以外は、実施
例1と同様にアンモニアと反応させた0反応物からアン
モニウム塩をろ別し、溶媒であるn−へキサンを除去し
たところ、環状[((:H) 5iNH+3および[(
CH3)25+NH] 4の混合物が得られた。この混
合物中における[((H3)、、5iNH]3および[
(CII a ) 2 S i N旧。
の含有量はガスクロマトグラフィー分析によるとそれぞ
れ71.36重量%および10.81重量%であった。
れ71.36重量%および10.81重量%であった。
この環状混合物を実施例1と同様に耐圧反応容器に入れ
、 300℃で2時間熱処理を行ったが、環状混合物の
性状に何ら変わりはなかった。さらにガスクロマトグラ
フィーにより[(+、H) SiN旧3および [((
:H3)2SiNH] 4の含有量を分析したが、それ
ぞれ71.42重量%および 10.20重量%であっ
て環状混合物が変化していないことを示した。
、 300℃で2時間熱処理を行ったが、環状混合物の
性状に何ら変わりはなかった。さらにガスクロマトグラ
フィーにより[(+、H) SiN旧3および [((
:H3)2SiNH] 4の含有量を分析したが、それ
ぞれ71.42重量%および 10.20重量%であっ
て環状混合物が変化していないことを示した。
実施例2
ジハロシランとしてフェニルジクロロシランCHH9i
C12100重量部を用いたこと以外は実施例1と同様
の方法でアンモニアガスと反応させた0反応温度が最高
81℃まで上昇したが、40分後には温度低下がみられ
、7ンモニアガスの圧力低下も少なくなった。アンモニ
アガスを供給量は35重量部であった。ついで度広開始
1時間後にアンモニアガスの導入を中止し、さらに30
分間攪拌を続けた0反応終了後、アンモニウム塩をろ別
し、ざらにn−へ午サンを減圧下で取り除いたところ、
粘稠なポリシラザンオリゴ−v−38重量部が得られた
。
C12100重量部を用いたこと以外は実施例1と同様
の方法でアンモニアガスと反応させた0反応温度が最高
81℃まで上昇したが、40分後には温度低下がみられ
、7ンモニアガスの圧力低下も少なくなった。アンモニ
アガスを供給量は35重量部であった。ついで度広開始
1時間後にアンモニアガスの導入を中止し、さらに30
分間攪拌を続けた0反応終了後、アンモニウム塩をろ別
し、ざらにn−へ午サンを減圧下で取り除いたところ、
粘稠なポリシラザンオリゴ−v−38重量部が得られた
。
ポリシラザンオリゴマー (CaHsH9+NI’)n
’分子量 25G 元素分析(%) H:5.58. C:52.25.
N:10.79次に、このポリシラザンオリゴマー38
重量部を実施例1と同様に、300℃の温度で2時間熱
処理を行ったところ、少量の液体の他に、固体状のポリ
シラザン樹脂31重量部が得られた。このポリシラザン
樹脂の分析結果を以下に示す。
’分子量 25G 元素分析(%) H:5.58. C:52.25.
N:10.79次に、このポリシラザンオリゴマー38
重量部を実施例1と同様に、300℃の温度で2時間熱
処理を行ったところ、少量の液体の他に、固体状のポリ
シラザン樹脂31重量部が得られた。このポリシラザン
樹脂の分析結果を以下に示す。
ポリシラザン樹脂;
Claims (4)
- (1)アンモニアと一般式: RHSiX_2 (式中、Rは炭素数1〜6の一価の炭化水素基を表し、
Xはハロゲン原子を表す) で示されるジハロシランとを接触させ、ついで得られる
ポリシラザン中間体を50〜500℃の温度で熱処理す
ることを特徴とするポリシラザン樹脂の製造法、 - (2)Rがメチル基である特許請求の範囲第1項記載の
ポリシラザン樹脂の製造法。 - (3)Rがフェニル基である特許請求の範囲第1項記載
のポリシラザン樹脂の製造法。 - (4)熱処理の温度が150〜350℃である特許請求
の範囲第1項記載のポリシラザン樹脂の製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59193867A JPS6172026A (ja) | 1984-09-18 | 1984-09-18 | ポリシラザン樹脂の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59193867A JPS6172026A (ja) | 1984-09-18 | 1984-09-18 | ポリシラザン樹脂の製造法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6172026A true JPS6172026A (ja) | 1986-04-14 |
JPH0471411B2 JPH0471411B2 (ja) | 1992-11-13 |
Family
ID=16315071
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59193867A Granted JPS6172026A (ja) | 1984-09-18 | 1984-09-18 | ポリシラザン樹脂の製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6172026A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0312825A2 (de) * | 1987-10-06 | 1989-04-26 | Hoechst Aktiengesellschaft | Polymere Hydridochlorsilazane und Verfahren zu ihrer Herstellung |
JPH01118528A (ja) * | 1987-10-31 | 1989-05-11 | Res Dev Corp Of Japan | メチルポリシラザンの製造法 |
JPH01188531A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-07-27 | Hoechst Ag | ポリシラザン、それらの製造方法、それから製造されうる窒化ケイ素含有セラミック材料ならびにそれらの製造方法 |
JP2008088224A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Toshiba Corp | ポリシラザンまたはポリシラザン溶液の取り扱い方法、ポリシラザンまたはポリシラザン溶液、半導体装置の製造方法 |
CN100435860C (zh) * | 2003-10-30 | 2008-11-26 | 京瓷株式会社 | 生物构件及其制造方法 |
CN108676167A (zh) * | 2018-04-03 | 2018-10-19 | 中国科学院化学研究所 | 一种聚硅氮烷的制备装置与方法 |
-
1984
- 1984-09-18 JP JP59193867A patent/JPS6172026A/ja active Granted
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0312825A2 (de) * | 1987-10-06 | 1989-04-26 | Hoechst Aktiengesellschaft | Polymere Hydridochlorsilazane und Verfahren zu ihrer Herstellung |
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CN100435860C (zh) * | 2003-10-30 | 2008-11-26 | 京瓷株式会社 | 生物构件及其制造方法 |
JP2008088224A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Toshiba Corp | ポリシラザンまたはポリシラザン溶液の取り扱い方法、ポリシラザンまたはポリシラザン溶液、半導体装置の製造方法 |
CN108676167A (zh) * | 2018-04-03 | 2018-10-19 | 中国科学院化学研究所 | 一种聚硅氮烷的制备装置与方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0471411B2 (ja) | 1992-11-13 |
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