JPS6171308A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
- Publication number
- JPS6171308A JPS6171308A JP19322684A JP19322684A JPS6171308A JP S6171308 A JPS6171308 A JP S6171308A JP 19322684 A JP19322684 A JP 19322684A JP 19322684 A JP19322684 A JP 19322684A JP S6171308 A JPS6171308 A JP S6171308A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspected
- line
- sampling
- data
- line speed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、ラインに流れる鉄鋼、薄膜体、硝子等の帯状
形状体の表面検査を行なう表面検査装置に関する。
形状体の表面検査を行なう表面検査装置に関する。
第２図は従来の表面検査装置の概略構成図である。この
表面検査装置は、ラインに流れる鉄鋼などの被検査体１
上に表面検出へ、ド２を設け、この表面検出ヘッド２に
より検出された被検査体Ｉの表面検出データ（例えば欠
陥データ）を逐次Ｍｎ記憶し、サンプリング信号Ｓを受
’ｄる毎に積ηされた表面検出データを表面データ処理
部３に送出して被検査体１０表面状態を得ろものである
。そうして、表面検出データの処理結果から欠陥等の位
置が求められ、この位置に従って例えば第３図に示すマ
ーキング装置４により被検査体１上の欠陥部分に所望色
（例えば青色）が染色され欠陥のマーキングが行なわれ
る。もしくは、この欠陥位置に従って被検査体１の剪断
器による切断位置の決定が行われる。
表面検査装置は、ラインに流れる鉄鋼などの被検査体１
上に表面検出へ、ド２を設け、この表面検出ヘッド２に
より検出された被検査体Ｉの表面検出データ（例えば欠
陥データ）を逐次Ｍｎ記憶し、サンプリング信号Ｓを受
’ｄる毎に積ηされた表面検出データを表面データ処理
部３に送出して被検査体１０表面状態を得ろものである
。そうして、表面検出データの処理結果から欠陥等の位
置が求められ、この位置に従って例えば第３図に示すマ
ーキング装置４により被検査体１上の欠陥部分に所望色
（例えば青色）が染色され欠陥のマーキングが行なわれ
る。もしくは、この欠陥位置に従って被検査体１の剪断
器による切断位置の決定が行われる。
ととろで、積算された表面検出データのサンプリングは
次のような手段により行なわれている。すなわち□、一
定時間毎に信号をＣｃする信号発生器を設け、この信号
発生器の信号を受けて所定周期毎にサンプリング信号Ｓ
を作成して表面検出データを表面データ処理部３に送出
する手段、また被検査体ノの移動速度すなわちライン速
度を検出してそのライン速度に応じた・やルス信号を発
生する／ＩＰルスジェネレータを設け、このｔ４ルスジ
ェネレータの発生ノクルス数が所定値に達したとき、す
なわち被検査体１が一定距離だけ移動したときにサンプ
リング信号５を発してサンプリングを行なう手段である
。なお、ノやルスジェネレータは、被検査体１が鉄鋼の
場合、そのコイルの回転数を検出するも−のとなる。
次のような手段により行なわれている。すなわち□、一
定時間毎に信号をＣｃする信号発生器を設け、この信号
発生器の信号を受けて所定周期毎にサンプリング信号Ｓ
を作成して表面検出データを表面データ処理部３に送出
する手段、また被検査体ノの移動速度すなわちライン速
度を検出してそのライン速度に応じた・やルス信号を発
生する／ＩＰルスジェネレータを設け、このｔ４ルスジ
ェネレータの発生ノクルス数が所定値に達したとき、す
なわち被検査体１が一定距離だけ移動したときにサンプ
リング信号５を発してサンプリングを行なう手段である
。なお、ノやルスジェネレータは、被検査体１が鉄鋼の
場合、そのコイルの回転数を検出するも−のとなる。
しかしながら、上記のサンプリングの手段では次のよう
な欠点がある。まず、す／プリング周期を一定とする手
段では、被検査体１のライン速度が変化するとサンプリ
ング毎の表面検出データの被検査体１に対するサンプリ
ング長さΔ１つまりサンプリング面ｙｔＡが異なったも
のと々って１−まう。このため、欠陥等の正確な位置を
移動する被検査体１に対して追従すること、すなわちト
ラッキングが困難となり、マーキングを行なう場合、マ
ーキングした位置と実際の欠陥等の位置とが合わ々くな
る場合がある。
な欠点がある。まず、す／プリング周期を一定とする手
段では、被検査体１のライン速度が変化するとサンプリ
ング毎の表面検出データの被検査体１に対するサンプリ
ング長さΔ１つまりサンプリング面ｙｔＡが異なったも
のと々って１−まう。このため、欠陥等の正確な位置を
移動する被検査体１に対して追従すること、すなわちト
ラッキングが困難となり、マーキングを行なう場合、マ
ーキングした位置と実際の欠陥等の位置とが合わ々くな
る場合がある。
また、被検査体Ｉが一定距離だけ流れたときにサンプリ
ングする手段では、サンプリング長さΔｊがラインの層
高速度によって決定されてしまい、サンプリング長さΔ
ｌが長ずざると被検査体１のライン流れ方向に対する欠
陥位置のトラ、キングが不正確となってしまう。したが
って、上記手段と同様に正確なマーキングが出来なくな
ってしまう。
ングする手段では、サンプリング長さΔｊがラインの層
高速度によって決定されてしまい、サンプリング長さΔ
ｌが長ずざると被検査体１のライン流れ方向に対する欠
陥位置のトラ、キングが不正確となってしまう。したが
って、上記手段と同様に正確なマーキングが出来なくな
ってしまう。
本発明は上記実情に基づいてなされたもので、その目的
とするところは、被検査体のライン速度に応じてサンプ
リング周期を可変し、もって被検査体に対する表面検出
データの位Ｗｌｔ−正確にトラ、キングできる表示検査
装置を提供することＫある。
とするところは、被検査体のライン速度に応じてサンプ
リング周期を可変し、もって被検査体に対する表面検出
データの位Ｗｌｔ−正確にトラ、キングできる表示検査
装置を提供することＫある。
本発明は、ラインに流れる被検査体の表面状態を検出す
る表面検出器から送出する表面データのサンプリングタ
イミングを、サンプリングタイミング演算部において被
検査体の移動速度に応じたライン速度ノールス信号とク
ロック−々ルス信号とにより求められた被検査体の移動
速度に応じて可変し、このサンプリングタイミングでも
って送出された表面検出データとそのサンプリングタイ
ミングとを受けて移動する被検査体に対する位置を追従
させた表面状態データを得る表示検査装置である・ 〔発明の実施例〕 以下、本発明に係る表面検査装置の一実施例について第
１図を参照して説明する。第１図は本発明の表面検査装
置の構成図である。表面検出へ、ド１０は、ラインに流
れる鉄鋼等の被検査体Ｓ上に設けられ、被検査体Ｓの表
面を走査して例えば欠陥尋を検出し、その表面検出デー
タすなわち欠陥データを得るものでありて、この欠陥デ
ータは遂次積算され、サンプリング指令信号Ｑを受けて
積算された欠陥データを送出するものとなっている。ラ
インパルス発生器１１は、被検査体Ｓの流れ速度に応じ
た回転体の回転により被検査体Ｓが一定距離（例えば１
ｍ）流れたときにパルスすなわちライン速度・やルス信
号を発生するものである。
る表面検出器から送出する表面データのサンプリングタ
イミングを、サンプリングタイミング演算部において被
検査体の移動速度に応じたライン速度ノールス信号とク
ロック−々ルス信号とにより求められた被検査体の移動
速度に応じて可変し、このサンプリングタイミングでも
って送出された表面検出データとそのサンプリングタイ
ミングとを受けて移動する被検査体に対する位置を追従
させた表面状態データを得る表示検査装置である・ 〔発明の実施例〕 以下、本発明に係る表面検査装置の一実施例について第
１図を参照して説明する。第１図は本発明の表面検査装
置の構成図である。表面検出へ、ド１０は、ラインに流
れる鉄鋼等の被検査体Ｓ上に設けられ、被検査体Ｓの表
面を走査して例えば欠陥尋を検出し、その表面検出デー
タすなわち欠陥データを得るものでありて、この欠陥デ
ータは遂次積算され、サンプリング指令信号Ｑを受けて
積算された欠陥データを送出するものとなっている。ラ
インパルス発生器１１は、被検査体Ｓの流れ速度に応じ
た回転体の回転により被検査体Ｓが一定距離（例えば１
ｍ）流れたときにパルスすなわちライン速度・やルス信
号を発生するものである。
さて、１２はサンプリングタイミング演算部であって、
このす／グリフグタイミング演算部１２はライン／母ル
ス発生器１ノから出力されるライン速度ノＪ？ルス信号
とクロックパルス発生器１３から出力される所定周期の
クロックツ々ルス信号とから被検査体Ｓの移動速度を求
め、この速度に比例した周期のサンプリング指令信号Ｑ
を送出する機能をもったものである・ 表面データ処理部１４は、す／プリ／グタイミ／グ演ｎ
部１２から送出されたサンプリング指令信号Ｑを受けて
表面検出ヘット９１０から欠陥データを取込み、これら
サンプリング指令信号Ｑと欠陥データとから移動する被
検査体Ｓに対する位泗゛データをもった表面状態データ
例えば欠陥形状を識別したデータを得るものである。
このす／グリフグタイミング演算部１２はライン／母ル
ス発生器１ノから出力されるライン速度ノＪ？ルス信号
とクロックパルス発生器１３から出力される所定周期の
クロックツ々ルス信号とから被検査体Ｓの移動速度を求
め、この速度に比例した周期のサンプリング指令信号Ｑ
を送出する機能をもったものである・ 表面データ処理部１４は、す／プリ／グタイミ／グ演ｎ
部１２から送出されたサンプリング指令信号Ｑを受けて
表面検出ヘット９１０から欠陥データを取込み、これら
サンプリング指令信号Ｑと欠陥データとから移動する被
検査体Ｓに対する位泗゛データをもった表面状態データ
例えば欠陥形状を識別したデータを得るものである。
次に上記の如く構成された装置の動作について説明する
・ラインに被検査体Ｓがライン速度１１（ｔ）で流れる
と、ラインパルス発生器１１からは２イ／速度υ（１）
に応じたライン速度パルス信号が出力される。このライ
ン速度／９ルス信号はサンプリングタイミング演算部１
２に送られ、このす／ブリングタイミング演算部１２に
よシ表面検出へ、ド１０の表面検出データの送出タイミ
ングが決足される。すなわち、被検査体Ｓが最低速度で
ライン上を流れていると、検出タイミング演算部１２は
ライン速度・臂ルス信号とクロックツ譬ルス発生器１３
からのクロックパルス信号とにより被検査体Ｓの流れ速
度を求め、この速度すなわち最低速度に対応したサング
リフグ長さΔＬｏのす／プリング周期に相当する時間毎
にサンプリング指令信号を送出する。これによシ、表面
検出へ、ドｌＯからは、す／プリング長さΔＬｏＫ相じ
た面ａＩＳｏにおける欠陥データが表面データ処理部１
４に送出される。
・ラインに被検査体Ｓがライン速度１１（ｔ）で流れる
と、ラインパルス発生器１１からは２イ／速度υ（１）
に応じたライン速度パルス信号が出力される。このライ
ン速度／９ルス信号はサンプリングタイミング演算部１
２に送られ、このす／ブリングタイミング演算部１２に
よシ表面検出へ、ド１０の表面検出データの送出タイミ
ングが決足される。すなわち、被検査体Ｓが最低速度で
ライン上を流れていると、検出タイミング演算部１２は
ライン速度・臂ルス信号とクロックツ譬ルス発生器１３
からのクロックパルス信号とにより被検査体Ｓの流れ速
度を求め、この速度すなわち最低速度に対応したサング
リフグ長さΔＬｏのす／プリング周期に相当する時間毎
にサンプリング指令信号を送出する。これによシ、表面
検出へ、ドｌＯからは、す／プリング長さΔＬｏＫ相じ
た面ａＩＳｏにおける欠陥データが表面データ処理部１
４に送出される。
ここで、被検査体Ｓのライン速度が遠くなシ例えば２倍
になったとする。するとサンプリングタイミング演算部
１２は２・Δｔのす／ブリング長さに相当する周期毎に
サンプリング指令信号Ｑを送出する。さらに被検査体Ｓ
のライン速度が遠くな９１倍となったとすれば、サンプ
リング演算部１２はｎ・Δｔのす／ブリング長さに相当
する周期毎にサンプリング指令信号Ｑを送出する・ そうして、被検査体Ｓのライ／速度ν（１）に応じたサ
ンブリング長さの欠陥データが表面データ処理部１４に
送出され、この表面データ処理部１４において被検査体
Ｓ上の検出位置と対応のとれた欠陥形状識別データ等が
得らｎる。
になったとする。するとサンプリングタイミング演算部
１２は２・Δｔのす／ブリング長さに相当する周期毎に
サンプリング指令信号Ｑを送出する。さらに被検査体Ｓ
のライン速度が遠くな９１倍となったとすれば、サンプ
リング演算部１２はｎ・Δｔのす／ブリング長さに相当
する周期毎にサンプリング指令信号Ｑを送出する・ そうして、被検査体Ｓのライ／速度ν（１）に応じたサ
ンブリング長さの欠陥データが表面データ処理部１４に
送出され、この表面データ処理部１４において被検査体
Ｓ上の検出位置と対応のとれた欠陥形状識別データ等が
得らｎる。
このように本発明の装置においては、表面検出ヘッド１
０から送出する欠陥データのサンシリフグタイミングを
、サンプリングタイミング演算部１．２１’１ｍおいて
ラインパルス発生器１１からのライン速度パルス信号と
クロックパルス信号とＫより求められたライン速度に応
じて可変し、この可変されたサンブリフグタイミングで
・もって得られた欠陥データをその送出タイミン
グに対応して処理し、移動する被検査体Ｓに対する位置
を追従する位置をもった表面の欠陥形状識別データ等を
得るようにしたので、得られ念欠陥形状識別データ等の
被検査体Ｓにおける位置が容易にトラッキングでき欠陥
のマーキングをする場合、実際に欠陥が存在する位１１
に確 ４゜実にマーキングすることができる。以上の
ように被検査体Ｓのライン速度で（１）が変化しても得
られる欠陥データの位置が被検査体Ｓの実際の位置と対
応が容易にとれる以外に１本発明の装置では特に被検査
体Ｓのライン速度が遅い場合、ライン速度が速い場合と
比較して欠陥の分解能が被検査体Ｓの流れ速度に反比例
して向上する。
０から送出する欠陥データのサンシリフグタイミングを
、サンプリングタイミング演算部１．２１’１ｍおいて
ラインパルス発生器１１からのライン速度パルス信号と
クロックパルス信号とＫより求められたライン速度に応
じて可変し、この可変されたサンブリフグタイミングで
・もって得られた欠陥データをその送出タイミン
グに対応して処理し、移動する被検査体Ｓに対する位置
を追従する位置をもった表面の欠陥形状識別データ等を
得るようにしたので、得られ念欠陥形状識別データ等の
被検査体Ｓにおける位置が容易にトラッキングでき欠陥
のマーキングをする場合、実際に欠陥が存在する位１１
に確 ４゜実にマーキングすることができる。以上の
ように被検査体Ｓのライン速度で（１）が変化しても得
られる欠陥データの位置が被検査体Ｓの実際の位置と対
応が容易にとれる以外に１本発明の装置では特に被検査
体Ｓのライン速度が遅い場合、ライン速度が速い場合と
比較して欠陥の分解能が被検査体Ｓの流れ速度に反比例
して向上する。
本発明によれば、表面検出器からの表面検出ｒ−タのす
／！ブリングタイミング、被検査体ｐ移動速度に応じた
ライン速度パルス信号とクロ、り・ダルス信号とによシ
求められた被検査体り移動速度に応じて可変し、このす
／ブリングタイミングと、このサンブリングタイミング
で賢けとりた表面検出データとから被検査体に対する実
際の位置との関係のとれた表面状態データを得るので、
被検査体く対する表面検出データの位置を正確にトラ、
キングできる表面検査装置を提供できる。
／！ブリングタイミング、被検査体ｐ移動速度に応じた
ライン速度パルス信号とクロ、り・ダルス信号とによシ
求められた被検査体り移動速度に応じて可変し、このす
／ブリングタイミングと、このサンブリングタイミング
で賢けとりた表面検出データとから被検査体に対する実
際の位置との関係のとれた表面状態データを得るので、
被検査体く対する表面検出データの位置を正確にトラ、
キングできる表面検査装置を提供できる。
第１図は本発明に係る表面検査装置の一実施例を示す構
成図、第２図は従来の表面検査装置の概略構成図、第３
図Ｆｉ！−キング装置を備えた表面検査装置の概略構成
図である。 １０・・・表面検出ヘッド、１１・・・ラインノやルス
発生器、１２・・・す／グリ／グタイミ／グ演算部、１
３・・・クロ、クツ９ルス発生器、１４・・・表面デー
タ処ｆ！Ｐ部、Ｓ・・・被検査体。
成図、第２図は従来の表面検査装置の概略構成図、第３
図Ｆｉ！−キング装置を備えた表面検査装置の概略構成
図である。 １０・・・表面検出ヘッド、１１・・・ラインノやルス
発生器、１２・・・す／グリ／グタイミ／グ演算部、１
３・・・クロ、クツ９ルス発生器、１４・・・表面デー
タ処ｆ！Ｐ部、Ｓ・・・被検査体。
Claims (1)
- ライン上部に設けられ、このラインに流れる被測定体の
表面状態を検出する表面検出器と、前記被検査体の移動
速度に応じたライン速度パルス信号を送出するラインパ
ルス発生器と、このラインパルス発生器から送出される
ライン速度パルス信号と所定周期のクロックパルス信号
とにより前記被検査体の移動速度を演算し求め、前記表
面検出器の前記被検査体に対する検出領域を移動速度に
比例して増減させるサンプリングタイミング信号を作成
するサンプリングタイミング演算部と、このサンプリン
グタイミング演算部から送出されるサンプリングタイミ
ング信号を受けて前記表面検出器からの表面検出データ
を取込み、移動する前記被検査体に追従する位置データ
をもった表面状態データを得る表面データ処理部とを具
備したことを特徴とする表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19322684A JPS6171308A (ja) | 1984-09-14 | 1984-09-14 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19322684A JPS6171308A (ja) | 1984-09-14 | 1984-09-14 | 表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6171308A true JPS6171308A (ja) | 1986-04-12 |
Family
ID=16304413
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19322684A Pending JPS6171308A (ja) | 1984-09-14 | 1984-09-14 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6171308A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1130591A (ja) * | 1997-07-11 | 1999-02-02 | Asahi Chem Ind Co Ltd | フィルムシート欠陥検査方法及びフィルムシート欠陥検査装置 |
-
1984
- 1984-09-14 JP JP19322684A patent/JPS6171308A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1130591A (ja) * | 1997-07-11 | 1999-02-02 | Asahi Chem Ind Co Ltd | フィルムシート欠陥検査方法及びフィルムシート欠陥検査装置 |
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